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無(wú)塵車間管理制度(某世界500強(qiáng)半導(dǎo)體企業(yè)內(nèi)部規(guī)范-僅供參考) 目 錄1.0 無(wú)塵車間管理的目的2.0 無(wú)塵車間管理的原則3.0 適用范圍4.0 術(shù)語(yǔ)5.0 管理程序51 無(wú)塵車間施工管理制度52 無(wú)塵車間潔凈度定期檢測(cè)制度/測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)53 無(wú)塵車間人員管理制度54 無(wú)塵車間潔凈服管理制度55 無(wú)塵車間物流/潔凈室內(nèi)設(shè)備及工器具管理制度56 無(wú)塵車間清潔、清掃和滅菌管理57 無(wú)塵車間潔凈室安全管理6.0 版本更改記錄10 無(wú)塵車間管理的目的半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程對(duì)車間有明確的潔凈要求,為了滿足生產(chǎn)工藝需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量、安全生產(chǎn),必須對(duì)潔凈室的環(huán)境、人員、物料、設(shè)備、生產(chǎn)過(guò)程等進(jìn)行控制。20 無(wú)塵車間管理的原則2.1 進(jìn)入潔凈室的管理,包括對(duì)潔凈室工作人員進(jìn)入、物料進(jìn)入、各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備、管線的維護(hù)管理,應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。2.2 操作管理技術(shù),對(duì)潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗;操作人員的移動(dòng)和動(dòng)作;室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等,盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖等。2.3 嚴(yán)格各類設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水氣電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具(工裝夾具)等。以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級(jí)。2.4 清掃、滅菌管理,對(duì)潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備、設(shè)施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規(guī)定,防止、捎除潔凈室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖。2.5 潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括:空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。30 適用范圍 半導(dǎo)體公司所有潔凈生產(chǎn)區(qū)及潔凈輔助間(包括人員凈化用室、物料凈化用室和相關(guān)生活用室等)、車間內(nèi)管理區(qū)(包括部分辦公、值班、管理和體息室等)和將來(lái)新建、改建、擴(kuò)建的潔凈廠房及其輔助用房。40 術(shù)語(yǔ)潔凈生產(chǎn)區(qū) 是潔凈廠房的主要部分,對(duì)潔凈級(jí)別有明確規(guī)定的區(qū)域。潔凈輔助間 是潔凈廠房不可缺少的必備房間。潔凈輔助間對(duì)潔凈廠房的平面關(guān)系密切,對(duì)潔凈廠房的建造帶來(lái)影響和投產(chǎn)后能否滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要以及能否可靠地防止生產(chǎn)過(guò)程的污染或交叉污染至關(guān)重要。管理區(qū) 是潔凈廠房?jī)?nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的生產(chǎn)管理、技術(shù)管理用房和必要的操作人員的休息、福利用房。設(shè)備區(qū) 即凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動(dòng)力系統(tǒng)等用房,是潔凈廠房的重要組成部分。50 管理程序51 無(wú)塵車間潔凈室施工管理制度511 背景5111 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行,在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功,現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。5112 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。5113 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建,后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。512 責(zé)任與義務(wù)5121 所有承包商有責(zé)任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序,并且在他們疏于遵從或違反時(shí)給予培訓(xùn)和訓(xùn)練。被分配到潔凈建設(shè)區(qū)域的每位工人有責(zé)任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設(shè)規(guī)則和程序。5122 承包商負(fù)責(zé)執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對(duì)潔凈建設(shè)區(qū)域進(jìn)行檢查,并填寫(xiě)檢查清單。承包商負(fù)責(zé)提供潔凈室所需物品,例如:鞋套,毛巾,墊子和工裝。他也負(fù)責(zé)提供每日?qǐng)?zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設(shè)備。5123 承包商建造區(qū)域入口并對(duì)其進(jìn)行管理。他提供清洗晾曬每個(gè)入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對(duì)在潔凈區(qū)域工作的人員進(jìn)行培訓(xùn),并維護(hù)被允許在此區(qū)域工作的人員身份認(rèn)定和管理。5124 開(kāi)始階段,承包商應(yīng)在每個(gè)入口處安排人員(除非半導(dǎo)體公司在該入口處安排有人員)以確保本規(guī)則和程序的執(zhí)行。 5125重復(fù)違反規(guī)則和程序的人員將被開(kāi)除。沒(méi)有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應(yīng)商將被除名。513 草案細(xì)則潔凈室草案分為三部分,每一部分對(duì)應(yīng)施工的一個(gè)過(guò)程。施工接近完工階段,不允許從外面或潔凈區(qū)域的施工場(chǎng)地帶入臟物。5131第一部分 第一部分主要針對(duì)直到主要施工完成后。包括屋頂,覆層,門(mén)和窗戶。所有工人必須從圖紙上標(biāo)明的通道進(jìn)出施工現(xiàn)場(chǎng)。每個(gè)入口將會(huì)有清洗店。所有工人進(jìn)入必須保持鞋子干凈。不允許穿奇特的服裝,工人的衣服應(yīng)該保持適當(dāng)?shù)母蓛簟,F(xiàn)場(chǎng)安全規(guī)則必須時(shí)刻遵守。 所有設(shè)備和材料必須從一個(gè)入口進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng),并且保持干凈,不允許有碎片掉下。 施工現(xiàn)場(chǎng)內(nèi)不允許吃東西,吸煙,喝酒。 每班結(jié)束時(shí),必須清走所有垃圾和廢舊物品。總之,整個(gè)施工現(xiàn)場(chǎng)每天必須保持干凈。5132第二部分 第二部分主要針對(duì)直到gridline B西邊潔凈區(qū)域的內(nèi)墻完成。此時(shí),只允許承包商雇傭的工人在潔凈區(qū)域。其他供應(yīng)商如果要進(jìn)入潔凈區(qū)域,必須提前向承包商提出申請(qǐng),得到允許后方可進(jìn)入。工人、設(shè)備和材料的入口是經(jīng)過(guò)威世半導(dǎo)體(西安)有限公司管理人員同意的。 gridlines 1和2之間的通向成品倉(cāng)庫(kù)的外門(mén)。 gridlines 15和16之間的通向原料倉(cāng)庫(kù)的外門(mén)。 其它入口必須經(jīng)過(guò)潔凈工程承包商的書(shū)面批準(zhǔn)。兩個(gè)入口旁邊將會(huì)為很可能造成污染的材料準(zhǔn)備或拆包預(yù)留區(qū)域。進(jìn)如潔凈區(qū)域之前,材料和設(shè)備不允許有臟物或由掉下,并且應(yīng)該用干凈的干布擦拭干凈。 任何可能會(huì)造成污染的活動(dòng)必須必須提前經(jīng)過(guò)潔凈工程承包商的批準(zhǔn)。這包括砂紙打磨,碾,開(kāi)鑿,演練,焊接,切割和任何用水或噴淋工作。承包商要用任何可能的方法預(yù)防污染。 裝好的地板必須用PVC板包裝保護(hù)。 第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必須的。 第二部分草案執(zhí)行期間,潔凈區(qū)域必須每天吸塵。5133 第三部分 第三部分主要針對(duì)直到生產(chǎn)車間全部建成。氣體鼓風(fēng)機(jī)將持續(xù)運(yùn)行以維護(hù)房間的壓力要求。 進(jìn)入的工人穿鞋套和工作服。 所有進(jìn)入潔凈區(qū)域的材料,工具和設(shè)備要用IPA和水的混合物擦拭。 在第三部分草案執(zhí)行期間,潔凈區(qū)域每天要用有過(guò)濾裝置的洗塵設(shè)備吸塵。514 潔凈安裝 必須采取潔凈措施保持安裝潔凈。 各類部件如節(jié)氣閘,擴(kuò)散體在進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)時(shí)應(yīng)潔凈并且拆掉包裝。內(nèi)部表面應(yīng)該用IPA和水的混合物擦拭。 潔凈安裝過(guò)程中,必須密切關(guān)注所采取的潔凈措施的可靠程度,對(duì)于隔離圍護(hù)設(shè)施一定要作到及時(shí)發(fā)現(xiàn)、立即糾正。515 最后潔凈 潔凈區(qū)域的所有安裝完成后,要進(jìn)行最后潔凈。潔凈要用IPA和水的混合物擦拭。先潔凈天花板,然后是墻壁,墻壁應(yīng)從上到下,最后是地面。 最后潔凈完成后,gridline B東邊通過(guò)的區(qū)域?qū)⑹俏ㄒ贿M(jìn)入潔凈室的通道。以前的原料成品倉(cāng)庫(kù)入口將被保護(hù)。 最后潔凈完成后,任何進(jìn)入的人都必須通過(guò)威世半導(dǎo)體(西安)有限公司現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)理的批準(zhǔn)。5.1.6 設(shè)備、物品進(jìn)入潔凈室規(guī)定52 無(wú)塵車間潔凈度定期檢測(cè)制度/測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)5.2.1 為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求,必須定期對(duì)潔凈室內(nèi)的潔凈度進(jìn)行檢測(cè)。5.2.2 檢測(cè)測(cè)試設(shè)備:激光粒子記數(shù)器5.2.3 檢測(cè)周期:每周一上午、下午對(duì)各潔凈區(qū)域進(jìn)行一次檢測(cè)5.2.4 檢測(cè)條件:靜態(tài)潔凈度測(cè)試5.2.5 數(shù)據(jù)收集整理:將每次檢測(cè)的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲(chǔ)存,并在每個(gè)季度末(或下季度初)給各部門(mén)發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報(bào)給各部門(mén)。5.2.6 各潔凈區(qū)域潔凈級(jí)別標(biāo)準(zhǔn):按照半導(dǎo)體公司能源管理標(biāo)準(zhǔn)要求執(zhí)行。區(qū)域、系統(tǒng)名稱潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)于ISO級(jí)別等效于GB級(jí)別K-1系統(tǒng) 劃片區(qū)域靜態(tài)1萬(wàn)級(jí) K-1系統(tǒng)改造前為靜態(tài)10萬(wàn)級(jí) CLASS 7CLASS 8CLASS 7CLASS 8K-2系統(tǒng) 包封區(qū)域靜態(tài)30萬(wàn)級(jí) CLASS 83CLASS 83K-3系統(tǒng) 搪錫區(qū)域靜態(tài)30萬(wàn)級(jí) CLASS 83CLASS 83K-4系統(tǒng) 測(cè)試區(qū)域靜態(tài)30萬(wàn)級(jí) CLASS 83CLASS 83K-8系統(tǒng) 電鍍區(qū)域靜態(tài)30萬(wàn)級(jí) CLASS 83CLASS 83現(xiàn)有其他空調(diào)系統(tǒng) 舒適性空調(diào)系統(tǒng),無(wú)潔凈要求 Not ApplicableNot Applicable5.2.7 潔凈室用凈化空調(diào)系統(tǒng)及設(shè)備的維護(hù)管理與相應(yīng)的操作規(guī)程、維修制度等(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)和潔凈室相關(guān)的公用動(dòng)力系統(tǒng)的設(shè)備、管線等管理維護(hù),如,空氣過(guò)濾器、空調(diào)機(jī)、局部?jī)艋O(shè)備、冷凍機(jī)及水泵、純水設(shè)備、配電設(shè)備、安全報(bào)警設(shè)施等)執(zhí)行威世半導(dǎo)體(西安)有限公司廠務(wù)部相關(guān)SOP文件。5.2.8 參考文件 FSD-SOP-01 供電操作指導(dǎo)書(shū)及規(guī)范制度 FSD-SOP-4-1 AHU系統(tǒng)操作指導(dǎo)書(shū) FSD-SOP-4-2 洗氣塔操作指導(dǎo)書(shū) FSD-SOP-4-3 鍋爐操作指導(dǎo)書(shū) FSD-SOP-4-4 制冷機(jī)操作指導(dǎo)書(shū) FSD-SOP-06 廠務(wù)部安全操作規(guī)程 FSD-SOP-07 設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)流程 FSD-SOP-08 消防系統(tǒng)操作指導(dǎo)書(shū) FSD-SOP-12 廠務(wù)部運(yùn)行管理制度 FSD-SOP-13 市政動(dòng)力能源中斷緊急應(yīng)變計(jì)劃 FSD-SOP-20 廠務(wù)核心機(jī)組應(yīng)急切換操作指導(dǎo)書(shū) ATD1210C 能源管理標(biāo)準(zhǔn) JVP1301C 公共設(shè)施管理規(guī)定53 潔凈室人員管理制度531 潔凈室的人員管理包括:制定專職管理人員的職責(zé)、潔凈室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進(jìn)入潔凈室人員的“人凈程序”管理和退出管理制度等。532 人員凈化與進(jìn)入5.3.2.1 在潔凈廠房?jī)?nèi)眾多的污染源中,人是主要污染源之一,尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動(dòng),會(huì)明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。5.3.2.2 對(duì)于高級(jí)別潔凈區(qū)域,應(yīng)嚴(yán)格控制進(jìn)入人員數(shù)量,并規(guī)范進(jìn)行二次更衣。5.3.2.3 要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級(jí)或延長(zhǎng)空氣過(guò)濾器的使用壽命,對(duì)進(jìn)入潔凈室的人員、物料進(jìn)行凈化十分必要。5.3.2.4 為保持潔凈室空氣潔凈度,應(yīng)盡量減少進(jìn)入潔凈室人員帶入的污染物。所有進(jìn)人潔凈室的人員必須嚴(yán)格地按規(guī)定程序進(jìn)行人身凈化。5.3.2.5 個(gè)人衣服物品全部放到指定的柜子里,去掉化妝,換上指定的服裝,按空氣潔凈度等級(jí)相應(yīng)的脫衣順序脫衣,放在規(guī)定的衣柜內(nèi)。5.3.2.6 進(jìn)入脫衣室,在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脫下放在鞋柜內(nèi),禁止不脫鞋直接跨越更衣凳而進(jìn)入更衣室。5.3.2.7 若公司后期發(fā)展需要更高潔凈級(jí)別要求的潔凈區(qū)域(指高于ISO Class7級(jí)別)進(jìn)入前,需要設(shè)置盟洗室用洗手器洗手(先用潔凈洗滌劑洗滌,再用潔凈水沖洗。洗滌后用自動(dòng)烘手器烘干)。5.3.2.8 凡是交叉污染的媒介,要經(jīng)常洗滌。不要用手觸及高凈化產(chǎn)品和高凈化包裝材料等。要按規(guī)定戴手套和指套。533 潔凈室工作人員須知5.3.3.1 進(jìn)入潔凈室的人員應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行人身凈化制度、路線和程序,任何人不得隨意更改。在潔凈室內(nèi)必須按規(guī)定著衣、戴帽、換鞋。5.3.3.2 進(jìn)入潔凈級(jí)別1萬(wàn)級(jí)以及高于萬(wàn)級(jí)的潔凈區(qū)域,必須至少經(jīng)過(guò)二次更衣??上葟囊淮胃率疫M(jìn)入,進(jìn)行更鞋、脫外衣、換潔凈服、戴口罩、帽子(或潔凈頭套)后,經(jīng)過(guò)走廊進(jìn)入二次更衣室,進(jìn)行二次更衣、更鞋、戴防靜電腕帶、戴口罩、戴帽子,確認(rèn)更換完畢后,進(jìn)入風(fēng)淋室進(jìn)行風(fēng)淋后,才能進(jìn)入萬(wàn)級(jí)以及高于萬(wàn)級(jí)的潔凈區(qū)域。5.3.3.3 嚴(yán)禁不通過(guò)風(fēng)淋而直接走旁通門(mén)進(jìn)入潔凈室。旁通門(mén)只允許人員出到潔凈間外以及發(fā)生緊急情況時(shí)的進(jìn)出。5.3.3.3.1風(fēng)淋室使用須知A. 風(fēng)淋室是工作人員進(jìn)入凈化區(qū)域前進(jìn)行人身凈化的專用設(shè)備,它能將人體表面吸附著的塵埃用高速氣流吹去,使工作人員不帶污染源進(jìn)入凈化區(qū)域,并能使凈化區(qū)域與非凈化區(qū)域起到氣閘作用。B. 風(fēng)淋室設(shè)定和狀態(tài):風(fēng)淋室在投入使用前必須完成調(diào)試和設(shè)定,使之保持自動(dòng)風(fēng)淋狀態(tài)。C. 風(fēng)淋室使用 使用者無(wú)需按任何鍵即可開(kāi)門(mén)進(jìn)入風(fēng)淋室內(nèi),人數(shù)每次限定三人,把門(mén)關(guān)好即可自動(dòng)風(fēng)淋,風(fēng)淋時(shí)旋轉(zhuǎn)身體360度, 等待風(fēng)機(jī)停止工作以后蜂鳴響,內(nèi)門(mén)開(kāi)鎖,用戶出風(fēng)淋室。 按“照明開(kāi)”鍵即可打開(kāi)室內(nèi)照明燈。 風(fēng)淋室的微電腦對(duì)所做設(shè)定有記憶功能,關(guān)閉風(fēng)淋室電源再次打開(kāi)電源時(shí)風(fēng)淋室處于上次操作的最后設(shè)定狀態(tài)。 禁止一線使用者對(duì)設(shè)備的數(shù)值設(shè)定進(jìn)行更改,數(shù)據(jù)更改必須由專業(yè)的管理人員進(jìn)行。 禁止使用者野蠻對(duì)風(fēng)淋室的門(mén)(紅外電控鎖)強(qiáng)行推拉而損壞設(shè)備。 風(fēng)淋設(shè)備若因使用不當(dāng)而損壞,使用部門(mén)應(yīng)據(jù)實(shí)反映損壞原因,并立即報(bào)修。 一線員工在使用過(guò)程中發(fā)現(xiàn)狀態(tài)異常,應(yīng)立即通知主管部門(mén)進(jìn)行處理;并停止使用風(fēng)淋室。D. 風(fēng)淋室正常/異常狀態(tài)的界定:1. 風(fēng)淋室正常初始化自檢:打開(kāi)電源操作面板LED數(shù)碼顯示時(shí)間點(diǎn)亮,同時(shí)電腦控制器做一次檢測(cè),二門(mén)是否關(guān)閉,有門(mén)開(kāi)著則等待關(guān)門(mén),如果二門(mén)都關(guān)閉則自動(dòng)進(jìn)入正常工作狀態(tài)。2. 正常工作狀態(tài) 如果系統(tǒng)處于不工作狀態(tài):按電源開(kāi)關(guān)鍵使系統(tǒng)處于工作狀態(tài),LED被點(diǎn)亮。 按照明開(kāi)/關(guān)則風(fēng)淋室燈被點(diǎn)亮或熄滅,人員可根據(jù)需要循環(huán)選擇。 系統(tǒng)處于正常等待工作狀態(tài)時(shí),風(fēng)淋室的兩扇門(mén)處于關(guān)閉未鎖狀態(tài)。3. 異常狀態(tài):噴嘴出現(xiàn)微弱風(fēng)速、門(mén)不能正常關(guān)閉或開(kāi)啟、電源操作面板無(wú)顯示。5.3.3.3 .2 進(jìn)出風(fēng)淋室流程機(jī)理: 進(jìn)入:當(dāng)外門(mén)(紅外電控鎖)被打開(kāi)時(shí),內(nèi)門(mén)(紅外電控鎖)自動(dòng)閉鎖。如果用戶進(jìn)入風(fēng)淋室,經(jīng)過(guò)紅外探頭,風(fēng)機(jī)將自動(dòng)工作一定時(shí)間,此時(shí)內(nèi)外門(mén)均閉鎖,風(fēng)機(jī)停止工作以后蜂鳴響,內(nèi)門(mén)開(kāi)鎖,用戶出風(fēng)淋室。開(kāi)門(mén)、關(guān)門(mén)整個(gè)過(guò)程結(jié)束。 退出:當(dāng)內(nèi)門(mén)被打開(kāi)時(shí)外門(mén)自動(dòng)閉鎖,用戶關(guān)門(mén)后,則內(nèi)外門(mén)均開(kāi)鎖,用戶可以從任意門(mén)出風(fēng)淋室。開(kāi)門(mén)、關(guān)門(mén),整個(gè)過(guò)程結(jié)束。5.3.3.4 作業(yè)人員在潔凈室內(nèi)工作時(shí),動(dòng)作要輕。嚴(yán)格執(zhí)行操作規(guī)程,不允許跑跳、打鬧及喊叫,不作不必要的動(dòng)作,不作易發(fā)塵和大幅度的動(dòng)作。5.3.3.5 作業(yè)人員在潔凈室內(nèi)工作時(shí),盡量避免人員聚集現(xiàn)象。若個(gè)別工位無(wú)特殊協(xié)作需求,其他工位員工禁止聚集、圍觀與自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。5.3.3.6 為不干擾氣流,在作業(yè)區(qū)上游側(cè)不應(yīng)放物品,生產(chǎn)操作一般應(yīng)在潔凈工作臺(tái)或氣流的上游進(jìn)行。5.3.3.7 不允許將與生產(chǎn)無(wú)關(guān)和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室,嚴(yán)禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進(jìn)行非生產(chǎn)性活動(dòng)。5.3.3.8 患有以下幾種疾病的員工是不宜進(jìn)入潔凈室的:呼吸系統(tǒng)疾?。ㄈ鐕?yán)重的感冒咳嗽等,患者除了會(huì)傳播病菌、病毒外,還會(huì)因咳嗽而產(chǎn)生大量的污濁顆?;烊霛崈舻目諝庵校⑵つw疾?。ㄈ缑黠@脫皮、掉皮屑的皮炎等);針對(duì)上述情形若采取了可靠的額外人凈措施時(shí)是可以進(jìn)入潔凈室的。534 潔凈室人員退出時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)5.3.4.1 為了防止再次進(jìn)入和往返作業(yè)對(duì)潔凈室造成交叉污染按規(guī)定的順序退出潔凈室。5.3.4.2 潔凈室人員在作業(yè)中途和作業(yè)完畢在退出到更衣區(qū)之前不得脫掉潔凈工作服,進(jìn)入更衣室先脫潔凈室用鞋,放在規(guī)定的場(chǎng)所。5.3.4.3 必要時(shí)脫鞋前洗手,脫鞋后再摘掉帽子,放在規(guī)定處。5.3.4.4 脫潔凈工作服時(shí)不要觸及地板、桌子和其他物品,對(duì)于潔凈服一般由下至上脫(由下至上是指先脫鞋、再脫衣、再去除帽子和口罩),用衣架掛在規(guī)定的處所。5.3.4.5 脫去潔凈工作服以后,若需再進(jìn)潔凈室時(shí),仍需按進(jìn)入潔凈室的順序進(jìn)行人凈。5.3.4.6 退出10K及其以下級(jí)別潔凈室時(shí)不需要經(jīng)過(guò)空氣吹淋。直接走旁通門(mén)退出10K潔凈室是允許的。5.3.4.7 不能穿潔凈工作服上廁所及進(jìn)入動(dòng)力設(shè)備間、倉(cāng)庫(kù)等非潔凈區(qū)域。54潔凈服管理制度潔凈服的管理包括:潔凈服采購(gòu)和制作(含材料選擇)、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。541 潔凈服采購(gòu)和制作5.4.1.1 潔凈服必須選用由專業(yè)廠家制作的合格產(chǎn)品。5.4.1.2 潔凈服必須滿足工藝對(duì)潔凈/防靜電等的全部要求。542 潔凈工作服使用管理基本原則5.4.2.1 人員進(jìn)入潔凈室首先由個(gè)人潔凈工作服專用柜或收納處取出潔凈工作服,若潔凈工作服尚未開(kāi)封,需仔細(xì)切開(kāi)包裝拿出服裝,不沾帶包裝料碎屑。5.4.2.2 穿衣時(shí),不要使衣服觸及地板、桌子、椅子等物品,不要沾污袖子和褲腿下擺,姿勢(shì)要保持直立,按從上至下順序穿衣戴帽穿衣(分體潔凈服先上衣后褲子)穿鞋,必要時(shí)須設(shè)置專用的穿衣臺(tái)。5.4.2.3 戴兜帽和帽子時(shí)要把頭發(fā)全部遮住,頭部緊緊地包在兜帽內(nèi)。5.4.2.4 若不穿潔凈鞋而采取代用鞋套的臨時(shí)措施,穿鞋套時(shí)要把褲腿下擺緊緊地裹在鞋套內(nèi)。5.4.2.5 在不違反潔服使用管理基本原則前提下,生產(chǎn)線可細(xì)化出實(shí)用的和可操作性強(qiáng)的具體規(guī)定。543 潔凈服的清洗規(guī)定5.4.3.1 潔凈服的清洗若采取外協(xié)形式,清洗公司應(yīng)選取經(jīng)考察合格的專業(yè)清洗公司。5.4.3.2 潔凈服的清洗液不得對(duì)潔凈服的性能有影響;潔凈服的面料清洗后不允許有脫絲、掉渣。5.4.3.3 清洗后的衣物防靜電織物性能不應(yīng)被破壞,若被破壞,應(yīng)及時(shí)報(bào)廢或降級(jí)使用,降級(jí)使用應(yīng)有明顯標(biāo)記且禁止在有防靜電要求的區(qū)域內(nèi)使用。5.4.3.4 清洗完成的潔凈服應(yīng)進(jìn)行可靠包裝后運(yùn)送及存放,避免與外界的交叉污染。55 潔凈室物流/潔凈室內(nèi)設(shè)備及工器具管理制度551 物流管理包括:進(jìn)入潔凈室的物料準(zhǔn)入制度,物料的清理和清掃規(guī)定、廢棄物管理制度等。5.5.1.1 為防止污染物帶入潔凈室(區(qū)),所有送入潔凈室(區(qū))的各種物料、原輔料、設(shè)備、工器具包裝材料等均需按要求進(jìn)行外包裝清理、吹凈,有效地清除外表面的微粒。5.5.1.2 在潔凈廠房?jī)?nèi)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)、產(chǎn)品生產(chǎn)的要求設(shè)置必要的物料凈化設(shè)施,包括外包裝清理室,氣閘室或傳遞窗(柜)等。5.5.1.3 物料在外包裝清理室拆除外包裝、裝入潔凈容器內(nèi)或當(dāng)外包裝不能拆除時(shí),對(duì)其擦拭清除塵土或采用其他清除污染物的方式對(duì)設(shè)備、容器工具進(jìn)行清潔處理,并使清理前后的物料以一定標(biāo)志予以區(qū)別。5.5.1.4 潔凈區(qū)域的專用周轉(zhuǎn)小車、周轉(zhuǎn)盒必須有清晰的標(biāo)志,與非潔凈周轉(zhuǎn)小車有明顯的區(qū)分標(biāo)識(shí),禁止混用。5.5.1.5 對(duì)清理外包裝后的物料應(yīng)經(jīng)過(guò)氣閘室或傳遞窗(柜)才能進(jìn)入潔凈室(區(qū)),氣閘室或傳遞窗(柜)的作用與人員凈化用氣閘室相似,用于保持潔凈室的空氣潔凈度和潔凈室內(nèi)必須的壓力。5.5.1.6 傳遞窗(柜)應(yīng)滿足如下要求。兩側(cè)門(mén)上設(shè)窗,能看見(jiàn)內(nèi)部和兩側(cè);確保兩側(cè)門(mén)不能同時(shí)開(kāi)啟(可通過(guò)兩側(cè)門(mén)上設(shè)連鎖裝置或通過(guò)嚴(yán)格管理來(lái)實(shí)現(xiàn));傳遞窗內(nèi)尺寸可適應(yīng)搬運(yùn)物料的大小及重量,氣密性好并有必要的強(qiáng)度;根據(jù)用途的不同可設(shè)置室內(nèi)燈、殺菌設(shè)施。552 潔凈室內(nèi)設(shè)備及工器具管理包括:設(shè)備及工器具的搬入管理,清掃和清潔規(guī)定,設(shè)備及工器具的退出管理等。5.5.2.1 工藝設(shè)備進(jìn)入潔凈區(qū)域前,應(yīng)事先明確運(yùn)輸路線,清除設(shè)備運(yùn)輸通道上的障礙物,包括對(duì)活動(dòng)潔凈圍護(hù)板的拆卸,并作好隔離防護(hù)措施,盡可能避免破壞潔凈區(qū)域的環(huán)境;若設(shè)備搬入可能對(duì)生產(chǎn)造成污染,應(yīng)提前安排局部停產(chǎn)配合設(shè)備搬入。5.5.2.2 隔離防護(hù)的設(shè)施必須確保嚴(yán)密可靠,能夠有效控制污染物的擴(kuò)散,并注意監(jiān)控其完好狀態(tài),若有破損,及時(shí)修補(bǔ)使嚴(yán)密完好。5.5.2.3 設(shè)備進(jìn)入潔凈區(qū)域前,必須先在緩沖區(qū)(或緩沖地帶)進(jìn)行徹底的清潔和擦拭。5.5.2.4 在進(jìn)行設(shè)備、材料搬運(yùn)的過(guò)程中,要嚴(yán)格進(jìn)行潔凈控制,設(shè)備進(jìn)車間前注意在潔凈緩沖區(qū)(或臨時(shí)緩沖走廊)的相關(guān)清潔工作。尤其注意不得穿潔凈服經(jīng)設(shè)備、材料通道門(mén)到戶外,如此經(jīng)過(guò)交叉污染過(guò)的衣服、鞋套、帽子再次無(wú)任何措施又進(jìn)入潔凈室,會(huì)造成潔凈室交叉污染。5.5.2.5 在設(shè)備、材料搬運(yùn)期間應(yīng)盡可能避免讓步接受可能出現(xiàn)的環(huán)境擾動(dòng),對(duì)人員、設(shè)備、材料凈化管制應(yīng)嚴(yán)格進(jìn)行控制。一定要嚴(yán)格控制污染物擴(kuò)散,尤其是交叉污染的現(xiàn)象,否則會(huì)有高效過(guò)濾器(HEPA)的污染損失,以及額外的潔凈清理費(fèi)用。5.5.2.6 如下圖所示,在潔凈室批準(zhǔn)入口處設(shè)置潔凈緩沖/管制間,任何進(jìn)入潔凈室內(nèi)的物品必須經(jīng)過(guò)緩沖間。5.5.2.7 物品進(jìn)入潔凈室的流程。室外預(yù)清潔傳入緩沖區(qū)緩沖區(qū)內(nèi)最終清潔傳入潔凈室內(nèi) 首先,室外、緩沖間(或臨時(shí)緩沖走廊)、潔凈室內(nèi)各有一支搬運(yùn)組(共三組)候命,這三組人員根據(jù)各自的環(huán)境身著不同的服裝:室外身著普通工作服,緩沖間內(nèi)身著清潔的服裝并穿戴鞋套,潔凈室內(nèi)身著完整的潔凈服,帶有口罩和手套等,這三組人互不能進(jìn)入其它人的工作區(qū)域。 當(dāng)有設(shè)備、物品需要運(yùn)輸時(shí),首先室外組人員對(duì)物品進(jìn)行預(yù)清潔,然后打開(kāi)緩沖間室外側(cè)的門(mén)(或設(shè)備預(yù)留進(jìn)出外門(mén)),將物品傳入緩沖區(qū)。必須保證,在打開(kāi)緩沖間室外側(cè)門(mén)(或設(shè)備預(yù)留進(jìn)出外門(mén))時(shí),潔凈室側(cè)的門(mén)處于關(guān)閉狀態(tài)。 緩沖區(qū)(或臨時(shí)緩沖走廊)的那組人員對(duì)物品進(jìn)行最終的清潔,并用干凈的潔凈布檢測(cè)合格后,打開(kāi)潔凈室側(cè)的門(mén),將物品傳入潔凈室內(nèi)。如此才規(guī)范的完成了物品傳送和清潔的過(guò)程。5.5.2.8 設(shè)備搬入完成并就位后,立即清理設(shè)備區(qū)域的雜物、拆除隔離防護(hù)措施、恢復(fù)活動(dòng)潔凈圍護(hù)板,并對(duì)設(shè)備搬入?yún)^(qū)域及附近區(qū)域進(jìn)行徹底的清掃和清潔,使?jié)M足潔凈。5.5.2.9 拆除隔離防護(hù)措施應(yīng)注意控制避免交叉污染,恢復(fù)活動(dòng)潔凈圍護(hù)板應(yīng)保證圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密閉性,密封壓條要保證有效密封,膠密縫應(yīng)恢復(fù)嚴(yán)密平整。5.5.2.10 小型工器具搬入管理需要滿足物流管理要求。5.5.2.11 大型工器具搬入管理可參照工藝設(shè)備搬入管理要求執(zhí)行。5.5.2.12 設(shè)備本身的清掃和清潔由生產(chǎn)部門(mén)及保養(yǎng)部門(mén)進(jìn)行規(guī)定的編制及執(zhí)行,但其可靠性必須滿足潔凈要求。5.5.2.13 設(shè)備和大型工器具的退出與搬入管理類似,也應(yīng)事先明確運(yùn)輸路線,清除設(shè)備運(yùn)輸通道上的障礙物,包括對(duì)活動(dòng)潔凈圍護(hù)板的拆卸,并作好隔離防護(hù)措施,盡可能避免破壞潔凈區(qū)域的環(huán)境;若設(shè)備退出可能對(duì)生產(chǎn)造成污染,應(yīng)提前安排局部停產(chǎn)配合設(shè)備退出。5.5.2.14 設(shè)備和大型工器具退出后,立即清理設(shè)備區(qū)域的雜物、拆除臨時(shí)隔離防護(hù)措施、恢復(fù)活動(dòng)潔凈圍護(hù)板,并對(duì)設(shè)備退出區(qū)域及附近區(qū)域進(jìn)行徹底的清掃和清潔,使?jié)M足潔凈。56 潔凈室清潔、清掃和滅菌管理制度561潔凈車間及潔凈車間走廊清潔操作程序見(jiàn)下表:561-(A)潔凈車間清潔操作程序工具吸塵器、防靜電塵推、長(zhǎng)軟管、小毛刷、簸箕、防靜電塵推布頭、伸縮桿、梯子、防靜電去塵布耗材防靜電去塵劑、防靜電清潔劑。清潔部位1、 車間墻;2、 門(mén)窗、文件柜、地面具體操作方法1、 用伸縮桿配合去塵布,自上而下,進(jìn)行墻體清潔,對(duì)污染較重的局部用去塵布沾取少量純防靜電清潔劑擦 ,用去塵布揩拭干凈。2、 用伸縮桿不方便的局部,應(yīng)用梯子按同上的操作方法清潔墻面(如柜子的上方)。3、 墻面清潔完畢后,用吸塵器加軟管吸取車間地面的粉塵,吸塵器應(yīng)置車間的走廊上,軟管進(jìn)車間,吸塵扒頭應(yīng)從左到右,先遠(yuǎn)后近的區(qū)域進(jìn)行吸塵,吸塵的區(qū)域不能有間隔,以免漏吸(換鞋套)。4、 吸塵完畢后,用塵推按照吸塵的操作方法進(jìn)行,局部污染較重的地方應(yīng)用去塵布沾取少量純防靜電去塵劑,用濕去塵布清潔,然后用干防靜電去塵布揩干。5、 門(mén)窗內(nèi)側(cè)、柜子等附件的清潔用去塵布配合防靜電清潔劑先上后下進(jìn)行清理。6、 整理工具,定期將吸塵器塵袋更換(地點(diǎn):車間外)。7、 車間內(nèi)須回收的廢料放置在防靜電車上,從車間西門(mén)運(yùn)至成品庫(kù)門(mén)口(通知外圍保潔員接應(yīng)),并分類集中至成品庫(kù)內(nèi)。8、 車間垃圾具體清理程序見(jiàn)后附文件。備注以上所用工具及耗材均應(yīng)符合威世公司要求規(guī)定。561-(B)潔凈車間走廊操作程序工具防靜電塵推、擦地機(jī)、吸水器、長(zhǎng)軟管、掃帚、梯子、防靜電去塵布、防靜電塵推布頭耗材防靜電蠟、防靜電清潔劑、防靜電去塵劑清潔部位1、墻面;2、門(mén)窗;3、消防設(shè)施;4、地面具體操作方法1、A)用伸縮桿配合去塵布,自上而下,由左向右,進(jìn)行墻體清潔,對(duì)污染較重的局部用純防靜電清潔劑,用去塵布揩拭干凈。 B)用伸縮桿不方便的局部,應(yīng)用梯子按同上的操作方法清潔墻面;對(duì)于石膏墻墻體用吸塵器自上而下吸取浮塵。2、用去潮塵布配合防靜電清潔劑先上后下,由左至右進(jìn)行清理。3、用無(wú)塵布由上側(cè)、外側(cè)及內(nèi)面全部擦拭干凈,整理好消防設(shè)備并檢查有無(wú)損壞,完好后把門(mén)關(guān)閉;4、用防靜電塵推由一側(cè),依次推塵清潔。打蠟程序用起蠟水先行起蠟,用吸水機(jī)吸凈殘蠟,用清潔拖布脫水后拖凈地面,等地面徹底風(fēng)干,再打防靜電地板蠟(具體方法和步驟詳見(jiàn)562條)。備注以上所用工具及耗材均應(yīng)符合公司要求規(guī)定。正在清潔的區(qū)域應(yīng)設(shè)置標(biāo)志牌,且清潔工作不得與威世員工的正常工作沖突。562 地面打蠟的方法和程序5621 需要準(zhǔn)備的機(jī)器和工具、清潔劑: 洗地機(jī);吸塵吸水機(jī);拋光機(jī);大面積作業(yè)需配備自動(dòng)洗地機(jī) 拖把、蠟拖、拖把扭干器、水推 除蠟劑、中性多功能清潔劑 除蠟墊(黑色)、清潔墊(紅色、白色)、拋光墊(白色)5622 如果地面已經(jīng)打過(guò)蠟,且蠟面已失去光澤或者已經(jīng)磨損出現(xiàn)斑駁和脫落,在打蠟前就需要對(duì)潔凈室地面先進(jìn)行除蠟。除蠟的方法及流程如下:用拖把將除蠟劑均勻涂在蠟的表面,作用5分鐘后看到乳白色泡沫越來(lái)越多,就可以用裝
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