內(nèi)層開路、缺口改善

內(nèi)層開路 缺口改善 目錄 二 相關(guān)改善措施 四 內(nèi)層板開路 缺口現(xiàn)狀分析 五 改善方案 1 潔凈度的整改 六 改善方案 2 曝光雜物的整改 一 改善前后的效果 三 生產(chǎn)流程分析找出重點改善工序 七 改善方案 3 膜下雜物的整改 二 改善措施 干膜房的清潔度的提升 每班次對地面 機臺進(jìn)行全面清潔 將干膜房的潔凈度控制在5萬級以下 內(nèi)層過期干膜和開封超過5天或以上的干膜例用時 曝光人員在曝光前檢查面板是否有膠點 如有需做返工處理 二 改善措施 手動曝光機的清潔方式 由機臺頂部到機臺底部依次清潔 可先用吸塵器將機臺內(nèi)部將灰塵吸走 再用粘塵布將機臺內(nèi)部所有區(qū)域包括所有死角全部擦試一次 擦試完以后用手電將各個區(qū)域檢查一次是否清潔干凈 做內(nèi)層時每做20片菲林拆下檢查時將曝光玻璃臺面的反面進(jìn)行清潔 清潔后檢查玻璃臺面及麥拉膜表面是否有雜物 清潔頻次保證每班次按以上四點進(jìn)行清潔作業(yè) 用時不低于30分鐘 二 改善措施 手動曝光機減少灰塵方式 將手動曝光機的兩側(cè)門張貼粘塵紙 機臺底部靠近曝光框軌道下面放置粘塵紙以減少灰塵 更換頻次每周一保養(yǎng)時更換 手動曝光機使用專用粘塵輪 并且保證粘塵輪的完好 二 改善措施 手動內(nèi)層精密線路 5min 以下板件做出相應(yīng)的規(guī)范 專人對板件進(jìn)行板面進(jìn)行檢查并使用除塵輥進(jìn)行清潔后直接交給曝光人員進(jìn)行生產(chǎn) 禁止將清潔后的板件再次放入板件架上 貼膜機要求每天將內(nèi)部擦試一次 以減少膜下雜物 清潔機粘塵紙每100片更換一次 三 內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移工藝流程 流程 磨板 貼膜 曝光 沖板 蝕刻 顯影 酸蝕 退膜 磨板 去除抗氧化層 粗化基板表面貼膜 熱壓貼上抗蝕感光干膜曝光 通過UV曝光將菲林圖形轉(zhuǎn)移到干膜上沖板 撕掉干膜上的保護(hù)膜顯影 剝除線路圖形以外的干膜酸蝕 蝕刻線路圖形以外的銅箔退膜 去除線路圖形上的干膜沖孔 沖出層壓需要的定位孔 本次改善重點在曝光 三 開路 缺口缺陷現(xiàn)狀 K1 蟲咬開路 缺口K2 曝光雜物開路 缺口K3 銅瘤開路 缺口K4 擦傷開路 缺口K5 圓形開路K6 溝狀蟲咬開路 缺口 從AOI所保留開路 缺口的圖片分析 本次80 開路 缺口主要為K1和K2導(dǎo)致 三 K1 蟲咬開路 缺口 主要特征 線路不良 銅面上被蝕掉一層銅皮或呈凹入圓弧形狀 有側(cè)蝕 原因 膜下雜物 壓輥輕微的空洞 裂紋 壓膜氣泡缺點發(fā)生崗位 貼膜 三 K2 曝光雜物開路 缺口 主要特征 缺陷位置形狀較規(guī)則 邊界清晰 原因 曝光灰塵 雜物 缺點發(fā)生崗位 曝光 三 內(nèi)層開路 缺口圖片 MN427A曝光雜物開路 M600A板面雜物開路 四 干膜房潔凈度改善 1 每班次由菲林檢查人員 顯影人員使用粘塵輥清潔地面 包括所有設(shè)備底部 菲林架底部等死角全部清潔 2 每周保養(yǎng)需將機臺頂部 墻壁四周和天花板頂部清潔一次 五 曝光雜物的整改 使用過期干膜時 如有殘膠反沾曝光前需全檢板面 五 曝光雜物的整改 手動曝光機清潔前雜物灰塵用手摸或放粘塵紙時雜物明顯 但需要用手電的照射下機臺內(nèi)部雜物才明顯 五 曝光雜物的整改 出風(fēng)口改善 將風(fēng)口用制網(wǎng)絲娟包住以減少風(fēng)機灰塵導(dǎo)致開路 五 曝光雜物的整改 用粘塵紙將手動曝光機由頂部依次到底部 順次清潔 以減少灰塵量 五 曝光雜物的整改 清潔后使用手電將各個區(qū)域再次檢查特別是機臺的死角區(qū)域的檢查 手動曝光機機臺內(nèi)部由于光線不強且機臺內(nèi)部設(shè)計的死角很多 由于之前的清潔方法和檢查方法不當(dāng)導(dǎo)致許多死角藏有大量灰塵 五 曝光雜物的整改 曝光框進(jìn)出的軌道無任何防護(hù) 在運行過程中出現(xiàn)掉屑 呈黑色顆粒狀 現(xiàn)暫時將軌道處放置粘塵紙以減少黑色灰塵的來源 要求所放的粘塵紙在周一保養(yǎng)時進(jìn)行更換一次 五 曝光雜物的整改 首先使用菲林清潔劑對曝光框進(jìn)行清潔 包括玻璃臺面的反面清潔 五 曝光雜物的整改 兩曝光框清潔后 將曝光框合上抽真空檢查整個曝光框是否還有雜物 合格后方可做板 六 膜下雜物的整改 手動內(nèi)層精密線路 5min 以下板件 專人對板