五軸數(shù)控機(jī)床的運(yùn)動(dòng)精度檢測剖析

五軸數(shù)控機(jī)床的精度檢測方法分析摘要：本文首先對五軸數(shù)控機(jī)床的精度檢測技術(shù)做了一個(gè)簡要概括，然后介紹數(shù)控機(jī)床精度檢測的必要性,指出數(shù)控機(jī)床常見的精度要求及傳統(tǒng)檢測方法,并介紹先進(jìn)檢測方法和檢測儀器、工具,以及各個(gè)檢測方法的特點(diǎn)。關(guān)鍵詞：五軸數(shù)控機(jī)床；精度檢測Precision analysis of detection method of five axis CNC machine toolsAbstract: Firstly，this paper introduces the precision detection technology of five axis NC machine tools, and then introduces the necessity of CNC machine tool accuracy detection accuracy requirements of CNC machine tools, points out the common and the traditional detection method, and introduce advanced detection method and detection instruments, tools, and the characteristics of each detection method.Key words: Five axis NC machine tool；Precision detection1 引言五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床目前已大量用于航空制造等高端制造領(lǐng)域。由于機(jī)床復(fù)雜的機(jī)械結(jié)構(gòu)及控制系統(tǒng)，五軸聯(lián)動(dòng)機(jī)床加工精度檢測及優(yōu)化一直是機(jī)械制造行業(yè)內(nèi)研究的熱點(diǎn)和難點(diǎn)，成為影響產(chǎn)品加工質(zhì)量及效率的關(guān)鍵。對企業(yè)來說,購買數(shù)控機(jī)床是一筆相當(dāng)大的投資,特別是購買大型機(jī)床。實(shí)踐表明,大多數(shù)大型數(shù)控機(jī)床解體發(fā)運(yùn)給用戶安裝時(shí),必須在現(xiàn)場調(diào)試才能符合其技術(shù)指標(biāo),因此,在新機(jī)床檢收時(shí),要進(jìn)行嚴(yán)格的檢定,使機(jī)床一開始安裝就能保證達(dá)到其枝術(shù)指標(biāo)預(yù)期使用性能和生產(chǎn)效率。投入生產(chǎn)的數(shù)控機(jī)床使用一段時(shí)間后,必須再進(jìn)行精度檢定。通常新機(jī)床在使用半年后需再次進(jìn)行檢定,以后每年檢測一次,定期檢測機(jī)床誤差,并及時(shí)校正螺距及反向間隙等,可切實(shí)改善使用中的機(jī)床精度及零件加工質(zhì)量,提高機(jī)床的生產(chǎn)率。2 數(shù)控機(jī)床精度檢測技術(shù)研究現(xiàn)狀 常用的機(jī)床誤差測量方法有直接測量法和間接測量法,其中間接測量法,如首先用典型工件試切或試加工,然后再對所試切的工件進(jìn)行精度檢測。但這種方法的測量結(jié)果中包括了工藝、刀具和材料等因素在內(nèi)，雖然可以通過試件的加工精度間接反映出機(jī)床的精度，但不能精確地用于指導(dǎo)機(jī)床的研發(fā)和改進(jìn)。而直接測量法如用微位移傳感器測量裝夾在主軸上的圓柱形基準(zhǔn)棒或基準(zhǔn)球，或者對裝夾在工件臺面上的基準(zhǔn)量塊或平尺直接進(jìn)行測量,這種方法可以直接獲得某項(xiàng)誤差,但該方法測量效率低,測量的范圍(如行程)有限。 目前世界各國對數(shù)控機(jī)床精度檢測指標(biāo)的定義、測量方法及數(shù)據(jù)處理方法等都有所不同。國際上有五種精度標(biāo)準(zhǔn)體系,分別為:德國VDI標(biāo)準(zhǔn)、日本JIS標(biāo)準(zhǔn)、國際標(biāo)準(zhǔn)ISO標(biāo)準(zhǔn)、國標(biāo)GB系列、美國機(jī)床制造商協(xié)會NMTBA。其中NAS979是美國國家航空航天局在二十世紀(jì)七十年代提出的通用切削試件,NAS試件”是通過檢測加工好的圓錐臺試件的“面粗糖度、圓度、角度、尺寸”等精度指標(biāo)來反映機(jī)床的動(dòng)態(tài)加工精度。NAS試件已在三坐標(biāo)數(shù)控機(jī)床的加工精度檢測方面得到了很好的應(yīng)用,但用NAS試件來檢測五軸數(shù)控機(jī)床的加工精度還存在一些問題。成都飛機(jī)工業(yè)(集團(tuán))有限責(zé)任公司于2011年提出了用于檢驗(yàn)五軸數(shù)控機(jī)床的標(biāo)準(zhǔn)試件“S形試件”,該試件是由一個(gè)呈“S”形狀的直紋面等厚緣條和一個(gè)矩形基座組合而成,通過檢測加工試件的“外形輪廓尺寸、厚度、表面粗糙度”等指標(biāo),以及試件上的3條線共99個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)位置來檢驗(yàn)五軸數(shù)控機(jī)床的加工精度,“S形試件”是目前五軸數(shù)控機(jī)床精度檢驗(yàn)通用的檢測試件,該試件已于2011年申請美國國家專利,“S形試件”模型圖及檢測點(diǎn)如圖1.1所示。S試件模型圖測量方法需根據(jù)具體的測量儀器來制訂,機(jī)床精度提髙的需求也促進(jìn)了機(jī)床精度檢測工具的發(fā)展。根據(jù)檢測軌跡的不同,檢測儀器可分為圓軌跡運(yùn)動(dòng)檢測和直線運(yùn)動(dòng)軌跡檢測。由于機(jī)床的圓軌跡運(yùn)動(dòng)包含了較多誤差信息,因此開發(fā)一種用于檢測機(jī)床軌跡運(yùn)動(dòng)的儀器也是國內(nèi)外學(xué)者的研究重點(diǎn)。 Heidenhaim公司研制的平面正交光柵(GGET),既可以檢測圓軌跡又可以檢測直線軌跡或不規(guī)則的異形平面運(yùn)動(dòng)。Wei Gao等用光電自準(zhǔn)直儀檢測主軸偏角的誤差,用電容位移測頭測出了主軸的軸向跳動(dòng)誤差,用直尺和電容位移測頭結(jié)合檢測出了導(dǎo)軌的直線度誤差。用于直線運(yùn)動(dòng)軌跡檢測的儀器,目前比較常用的有雙頻激光干涉儀和激光跟蹤儀。上海交通大學(xué)與美國光動(dòng)公司合作,基于激光多普勒位移測量儀提出了一種沿體對角的機(jī)床空間幾何誤差的激光矢量測量方法,通過分步測量機(jī)床工作空間的4條體角線,并結(jié)合空間誤差綜合模型快速分離機(jī)床的19項(xiàng)誤差。該方法通過添加3個(gè)面上的6條對角線,可以實(shí)現(xiàn)分離出機(jī)床的21項(xiàng)幾何誤差。 根據(jù)國際生產(chǎn)工程協(xié)會(CIRP)的預(yù)測,至2012年,30%-50%的新機(jī)床將配備定位誤差、直線度和各種轉(zhuǎn)向誤差的補(bǔ)償功能。隨著數(shù)控機(jī)床使用數(shù)量的增加,在使用過程中如何對數(shù)控機(jī)床精度進(jìn)行再標(biāo)定及誤差溯源,調(diào)整機(jī)床以排除故障或?qū)ζ溥M(jìn)行誤差補(bǔ)償,并定期地對數(shù)控機(jī)床誤差進(jìn)行檢測和補(bǔ)償?shù)男枨笠矔黾?。提高機(jī)床精度的關(guān)鍵步驟是誤差檢測,因此快速高效的誤差檢測方法也成為研究的重點(diǎn),同時(shí)隨著多軸數(shù)控機(jī)床的廣泛應(yīng)用,研究的對象也逐漸向多軸機(jī)床轉(zhuǎn)移。3 五軸數(shù)控機(jī)床的傳統(tǒng)精度檢測方法五軸機(jī)床一般是比三軸機(jī)床多兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸。首先，要對三個(gè)直線軸進(jìn)行檢測；其次，是針對兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的檢測；最后，要對五軸聯(lián)動(dòng)性能進(jìn)行檢測。主要包括兩個(gè)：（1）三個(gè)直線軸的檢測方法和三軸銑床一樣，所以這里不做敘述。（2）兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的檢測因?yàn)樾D(zhuǎn)軸的各項(xiàng)精度對五軸加工精度的影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于三個(gè)直線軸精度的影響，所以對五軸機(jī)床的檢測重點(diǎn)是兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的精度。旋轉(zhuǎn)軸的精度包括兩個(gè)方面：一方面是旋轉(zhuǎn)軸運(yùn)動(dòng)的精度，主要要檢測每個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的重復(fù)定位精度；另一方面是兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸相互之間的關(guān)系，主要檢測兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸軸線和主軸軸線之間空間幾何關(guān)系是否正確。4.1 測量旋轉(zhuǎn)軸的重復(fù)定位精度方法和直線軸測量方法類似：對于轉(zhuǎn)臺類型的旋轉(zhuǎn)軸，在轉(zhuǎn)臺上固定一個(gè)方塊，用千分表接觸方塊的表面，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺一定角度，再反向旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺同樣多角度，回到原位，觀察兩次表針接觸方塊表面時(shí)的表讀數(shù)是否一致，誤差多少（如圖1）；對于擺頭類型的旋轉(zhuǎn)軸，在主軸上裝上檢測用芯棒，用千分表指針接觸芯棒來檢測（如圖2）。 圖1 測量轉(zhuǎn)臺的重復(fù)定位精度 圖2 測量擺頭的重復(fù)定位精度4.2測定兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸和主軸之間的空間幾何關(guān)系這項(xiàng)需要按照五軸銑床的類型分為三種情況：（1）雙轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)的五軸銑床C軸軸線B軸軸線圖3為一個(gè)雙轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)的示意圖，在圖中標(biāo)出了兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的軸線，這兩根軸線應(yīng)該如圖中那樣相交于一點(diǎn)。如果這兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的軸線不相交，則要測定出兩個(gè)軸線的偏心距離。 圖3 雙轉(zhuǎn)臺結(jié)構(gòu)示意圖 測定方法如下：先將C軸轉(zhuǎn)臺校正，使C軸轉(zhuǎn)臺平行于XY平面（方法略）；再如圖4轉(zhuǎn)臺最高點(diǎn)轉(zhuǎn)臺最高點(diǎn)所示，分別旋轉(zhuǎn)B軸+90和-90，測量兩個(gè)方位下B軸轉(zhuǎn)臺側(cè)面最高點(diǎn)的高度差。如果高差為零，則雙轉(zhuǎn)臺的空間幾何關(guān)系符合理想情況，如果高差不為零，則B、C軸的偏心量為此高差的二分之一。圖4 雙轉(zhuǎn)臺軸線偏心量測定（2）轉(zhuǎn)臺和單擺頭結(jié)構(gòu)的五軸銑床圖5為單擺頭結(jié)構(gòu)的示意圖，圖中標(biāo)出了B軸的軸線和主軸的軸線，這兩個(gè)軸線應(yīng)該相交于一點(diǎn)，如果它們不相交，需要測定出它們的距離，即主軸和擺動(dòng)軸B軸的偏心量。B軸軸線主軸軸線圖5 轉(zhuǎn)臺和擺頭銑床擺頭部分結(jié)構(gòu)示意圖測定方法如下：先在主軸上裝上檢測用芯棒，校正B軸，使芯棒（主軸軸線）垂直于XY平面（方法略）；再如圖6中所示，分別旋轉(zhuǎn)B軸+90和-90，測量兩個(gè)方位下芯棒側(cè)面最低點(diǎn)的高差。如果高差為零，則擺頭和主軸間的空間幾何關(guān)系符合理想情況，如果高差不為零，則主軸和B軸的偏心量為此高差的二分之一。圖6 擺頭和主軸偏心量測定（3）雙擺頭結(jié)構(gòu)的五軸銑床圖7為雙擺頭結(jié)構(gòu)示意圖，圖中標(biāo)出了主軸軸線、B軸軸線和C軸軸線。理想情況下，主軸軸線和C軸軸線應(yīng)該重合，B軸軸線和它們相交。如果這三個(gè)軸線不符合這種理想情況，需要測定出它們之間的偏心量。C軸軸線B軸軸線主軸軸線圖7 雙擺頭結(jié)構(gòu)示意圖首先，測定B軸和主軸的偏心量，方法和單擺頭銑床的測定方法一樣。然后，測定C軸和主軸的偏心量，方法如下：如圖8左邊所示，在工作臺上固定一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)圓柱型，將千分表表座固定在C軸上，表針接觸圓柱形側(cè)面，調(diào)整機(jī)床XY軸的位置，使得C軸旋轉(zhuǎn)時(shí)千分表讀數(shù)不變，這樣C軸軸線就和圓柱形的中心重合了，將這個(gè)位置機(jī)床的X、Y坐標(biāo)值記錄下來；如圖8右邊所示，先轉(zhuǎn)動(dòng)B軸，使主軸軸線垂直于工作臺（XY平面），再在主軸上裝上檢棒，將表座固定在檢棒上（主軸上），表針接觸圓柱形側(cè)面，調(diào)整機(jī)床XY軸的位置，使得檢棒旋轉(zhuǎn)時(shí)千分表讀數(shù)不變，這樣主軸軸線就和圓柱形中心重合了，將這時(shí)機(jī)床的X、Y坐標(biāo)值同剛剛記錄下來的坐標(biāo)值比較，差值就是C軸軸線和主軸軸線的X、Y偏心量。圖8 雙擺頭銑床C軸和主軸偏心測定綜上所述，雙轉(zhuǎn)臺銑床的B軸、C軸是結(jié)合為一體的雙轉(zhuǎn)臺，要測定出B、C軸的偏心量；轉(zhuǎn)臺和單擺頭銑床的B軸和主軸結(jié)合為一體，要測定出B軸和主軸的偏心量；雙擺頭銑床的B軸、C軸和主軸是結(jié)合為一體的雙擺頭，需要測定出B軸和主軸、C軸和主軸的偏心量。三 五軸聯(lián)動(dòng)性能的檢測五軸聯(lián)動(dòng)性能的檢測不需要按照五軸銑床的類型來分類。五軸聯(lián)動(dòng)性能的檢測的目的有兩個(gè)：一是檢測對五軸銑床幾個(gè)軸之間空間幾何關(guān)系測定的準(zhǔn)確性，二是檢測機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)對五軸空間幾何關(guān)系的補(bǔ)償功能。五軸聯(lián)動(dòng)性能的檢測不能通過直接測量來檢測，而是通過加工一些標(biāo)準(zhǔn)形狀，再測量加工出形狀的誤差來檢測的：（一） 直線在一個(gè)平面上加工一條直線，加工時(shí)要求刀軸連續(xù)變化，圖9中所示就是一種5軸加工直線的刀路，可以嘗試用多種刀軸控制方法來加工。加工用材料可以選擇較易加工的非金屬材料或者有色金屬，刀具用球刀。加工好以后，觀察直線是否彎曲，如果明顯彎曲，則需要重新檢測機(jī)床各項(xiàng)精度，特別是重新測定兩旋轉(zhuǎn)軸和主軸間的偏心關(guān)系是否正確。圖9 變刀軸加工直線刀路（二）平面用球刀精加工一個(gè)平面，將這個(gè)平面分為多段，分別用數(shù)個(gè)不同角度的固定刀軸和連續(xù)變化的刀軸來加工，圖10中所示為這些加工刀路。加工好以后，測量這個(gè)平面上不同段之間的誤差，理想情況下這個(gè)平面仍然是平的，如果誤差過大，則重新測定兩旋轉(zhuǎn)軸和主軸間的偏心關(guān)系是否正確。圖10 多種刀軸控制方法加工同一個(gè)平面（三）球形用球刀精加工球形，要超過半球，刀軸垂直于球面加工，分別采用沿經(jīng)線雙向加工和沿緯線螺旋加工的方法各加工一個(gè)直徑相同的球形，加工刀路如圖11所示。加工好之后，測量兩個(gè)球形的直徑，和標(biāo)準(zhǔn)值比較誤差。如果有條件，還可以測量兩個(gè)球形的圓度和標(biāo)準(zhǔn)球形的誤差值。圖11 五軸加工球形的兩種刀路以上就是用加工標(biāo)準(zhǔn)形狀的方法來檢測五軸銑床的五軸聯(lián)動(dòng)性能的一種基本方法?？偨Y(jié)如下：先加工一條直線，初步判斷五軸空間幾何關(guān)系測定的正確性，同時(shí)檢測數(shù)控系統(tǒng)的補(bǔ)償功能是否生效。這是一維形狀的檢測，是最基本的要求，在此基礎(chǔ)上才能做下面的檢測。再加工一組平面，檢測五軸空間幾何關(guān)系測定的準(zhǔn)確性，同時(shí)檢測數(shù)控系統(tǒng)的補(bǔ)償功能是否設(shè)定正確。這是二維形狀的檢測，比一維形狀的檢測的要求高一等級，如果檢測合格，說明五軸空間幾何關(guān)系的測定基本準(zhǔn)確，同時(shí)數(shù)控系統(tǒng)基本滿足五軸加工的要求。最后，加工球形，進(jìn)一步檢測五軸空間幾何關(guān)系測定的準(zhǔn)確性，同時(shí)檢測數(shù)控系統(tǒng)的補(bǔ)償功能是否在三維空間做出了正確的運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償。這是三維形狀的檢測，也是最高等級的要求。如果滿足了三維形狀加工的要求，就可以說這臺五軸銑床完全合格，可以勝任生產(chǎn)加工任務(wù)了。4 五軸數(shù)控機(jī)床的先進(jìn)精度檢測方法傳統(tǒng)的檢測方法和檢測工具只是用于精度較低的中小型數(shù)控機(jī)床,國內(nèi)各工廠的大型數(shù)控機(jī)床絕大多數(shù)是進(jìn)口的,均采用高精度的激光干涉儀、球桿儀。如今，通過一系列步驟的直接檢測來判斷機(jī)床的精度，依然是許多機(jī)床生產(chǎn)商和使用者的首選方法。單項(xiàng)檢測法的測量不確定度很小，結(jié)果可信度很高。針對直線軸的比較成熟的檢測法如下:4.1 激光干涉儀測量定位誤差激光干涉儀測量直線運(yùn)動(dòng)軸的定位精度用激光干涉儀測量定位誤差，如圖所示。由于部分機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸安裝在工作臺面以下，其回轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)精度只能在機(jī)床裝配時(shí)進(jìn)行測量和改善。單項(xiàng)檢測法只能實(shí)現(xiàn): 使用激光干涉儀和反射鏡組測量回轉(zhuǎn)軸的角度定位精度4.2 球桿儀法球桿儀法是ISO 230-1中推薦的一種方法，1982年，J BBRYAN在美國Lawrence Livermore國家實(shí)驗(yàn)室，首先開發(fā)出了用于快速檢測數(shù)控機(jī)床運(yùn)動(dòng)誤差的球桿儀&球桿儀由兩個(gè)精密金屬圓球和一個(gè)可伸縮連桿組成，在連桿中間鑲嵌著用于檢測位移的光柵尺，如圖 . 所示&測量時(shí)，一個(gè)圓球通過磁性鋼座固定在工作臺上，另一個(gè)圓球通過同樣的裝置安裝在主軸上。雷尼紹QC20球桿儀設(shè)備球桿儀可以同時(shí)動(dòng)態(tài)測量兩軸聯(lián)動(dòng)狀態(tài)下的圓運(yùn)動(dòng)精度，新式的球桿儀設(shè)備可以在一次安裝后，依次測量XY，YZ，XZ個(gè)平面上的圓軌跡精度。數(shù)控機(jī)床的垂直度、重復(fù)性、間隙、各軸的伺服增益比例匹配、伺服性能和絲杠周期性誤差等參數(shù)指標(biāo)都能從圓運(yùn)動(dòng)輪廓的半徑變化中反映出來。通常，測量周期不超過1h。球桿儀是一維的位移測量，在檢測多軸機(jī)床時(shí)，需要設(shè)置復(fù)雜的聯(lián)動(dòng)方案。一維測量能獲得的信息是有限的，從空間三維測量的角度來講，會遺漏許多關(guān)鍵的誤差源信息，球桿儀的安裝和調(diào)準(zhǔn)依然是一項(xiàng)需要較高技術(shù)的工作，難以實(shí)現(xiàn)機(jī)床精度檢驗(yàn)的自動(dòng)化和高效。4.3平面光柵法如圖 # 所示，工作臺上置有直徑140mm、刻有高精度正交柵紋的平面光柵，主軸端裝有讀數(shù)光柵&在平面光柵的有效工作范圍內(nèi)，不論按NC指令執(zhí)行的工作臺與主軸所作的相對運(yùn)動(dòng)是規(guī)則的圓運(yùn)動(dòng)、直線運(yùn)動(dòng)或者是不規(guī)則的復(fù)雜曲線運(yùn)動(dòng)，都可通過主軸端的讀數(shù)頭及后續(xù)電路直接讀出其運(yùn)動(dòng)軌跡是否精良的信號，讀數(shù)分辨率可達(dá)5nm。海德漢Heidenhain公司的KGM平面光柵測量系統(tǒng)平面正交光柵法可以通過檢測機(jī)床直線軸復(fù)合軌跡運(yùn)動(dòng)( 直線軌跡和圓軌跡的組合) 的軌跡誤差，解算出數(shù)控機(jī)床的3個(gè)直線軸的21項(xiàng)運(yùn)動(dòng)誤差。除了儀器價(jià)格較高這一點(diǎn)之外，是當(dāng)今現(xiàn)場運(yùn)動(dòng)精度診斷的首選方法。但平面光柵也存在一定的局限性，因?yàn)樗臋z測都局限在平面上，無法評價(jià)五軸機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)（尤其是包含回轉(zhuǎn)軸的聯(lián)動(dòng)）的空間精度。4.4 R-test方法Rest測量裝置由瑞士的S WEIKERT和WKNAPP在2004年發(fā)明Cs7，專門針對五軸數(shù)控機(jī)床的誤差測量。Rest裝置由一個(gè)高精度的標(biāo)準(zhǔn)球(陶瓷或鋼)和安裝有3個(gè)(或者4個(gè))位移傳感器的探測頭組成。傳感器探頭的平而與球體表而相互接觸，標(biāo)準(zhǔn)球和探測頭分別裝在主軸端或工作臺，如圖5所示。機(jī)床做多軸聯(lián)動(dòng)時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)球隨主軸運(yùn)動(dòng)，探測系統(tǒng)隨工作臺運(yùn)動(dòng)，5軸機(jī)床可以保證多軸聯(lián)動(dòng)時(shí)球心和底座的空間相對位置保持不變，即刀具中心點(diǎn)( Tool Center Point)和工件的空間相對位置不變。由于機(jī)床幾何誤差的存在，球體和探測頭的相對位置發(fā)生微小的偏移，空間3個(gè)方向的偏移量被傳感器測得。將3個(gè)(或者4個(gè))位移傳感器的測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為空間X, Y, Z方向的偏移。此外，ZARCAR-BASHI等提出了一種測量設(shè)備CapBall，使用的是非接觸式的傳感器。日本的Soichi IBARAKI等對R-test系統(tǒng)進(jìn)行了更加深入的研究圖，提出使用非接觸式的測量。ISO TC39/SC2己經(jīng)在討論收錄R-test。IBS精密工程和FIDIA己有商用的類似R-test裝置。瑞士的wKNAPP等致力于R-test配合精密球盤的檢測研究D n7，數(shù)控機(jī)床的工作臺上裝上精密的球盤，然后主軸端安裝R-test探測頭，機(jī)床的直線軸按照NC指令運(yùn)動(dòng)，使Rest按照特定的川頁序測量球盤.典型的R-test測量裝置相對于激光干涉儀，平而光柵和球桿儀，R-test具有著3維位移檢測的優(yōu)勢，在一次測量中能獲得的信息很多，能夠分析五軸機(jī)床的大部分誤差源。Rest可以配合標(biāo)準(zhǔn)球或者精密球盤等，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)檢測，具有很大的潛力，是當(dāng)今機(jī)床精度研究的熱點(diǎn)。作者所在課題組正在致力于R-test裝置的原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，會有陸續(xù)的研究成果展示。5 結(jié)束語 對于集機(jī)、電、液、氣于一體的大型數(shù)控機(jī)床的驗(yàn)收,無論是預(yù)驗(yàn)收,還