防靜電管理標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

1、.深圳市杰瑞佳科技深圳有限公司防靜電管理標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范目錄：1. 目的2. 適用范圍3. 引用標(biāo)準(zhǔn)4. 名詞術(shù)語(yǔ)5. 防靜電工作區(qū)系統(tǒng)6. 人體防靜電系統(tǒng)7. 職責(zé)8. 培訓(xùn)9. 采購(gòu)10. 記錄11. 附錄；.April.4, 05-B01. 目的為避免靜電敏感元器件在生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存、檢測(cè)等過(guò)程中受到靜電釋放的影響，從而產(chǎn)生短路、電阻漂移、開(kāi)路、工作性能退化等不良現(xiàn)象。特建立電子產(chǎn)品制造靜電防護(hù)技術(shù)要求，以保證產(chǎn)品品質(zhì)，增加可靠性，減低不良率，節(jié)省產(chǎn)品工時(shí)成本，降低維修費(fèi)用?；陔娮赢a(chǎn)品制造靜電防護(hù)技術(shù)要求文件的頒布，提高員工對(duì)ESD的認(rèn)識(shí)，加強(qiáng)員工自覺(jué)防止ESD現(xiàn)象之觀念，促進(jìn)生產(chǎn)管理水平之提

2、高。2. 適用范圍本文適用于所有車(chē)間中生產(chǎn)制程及電子元器件的采購(gòu)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存、檢測(cè)過(guò)程中的靜電防護(hù)。3. 引用標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 10694-1996 電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測(cè)試方法GB/T 15463-1995 靜電安全名詞術(shù)語(yǔ)GJB 3007 - 97 防靜電工作區(qū)技術(shù)要求GJB 1649 - 93 電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱GB 12014 - 89 防靜電工作服SJ/T 10533-94 電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)要求SJ/T 10630-1995 電子元器件制造防靜電技術(shù)要求ANSI / ESD STM3.1-2000 靜電放電敏感產(chǎn)品防護(hù)用標(biāo)準(zhǔn)：離子發(fā)生器ANSI / ESD S20.20-

3、1999 建立一個(gè)靜電放電控制方案保護(hù)電氣和電子零件，裝置和設(shè)備4. 名詞術(shù)語(yǔ)4.1 靜電： 一種處于相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。它所引起的磁場(chǎng)效應(yīng)可以忽略不計(jì)（靜電可由物質(zhì)的接觸與分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過(guò)程而產(chǎn)生）。4.2 ESD：Electronic Static Discharge，原意是指靜電釋放，即通過(guò)帶靜電區(qū)域直接接觸或感應(yīng)而引起的靜電電荷在不同電勢(shì)物體上的轉(zhuǎn)移。后常指靜電防護(hù)，即避免靜電釋放的發(fā)生。4.3 靜電感應(yīng)：當(dāng)帶電物體靠近某一介質(zhì)時(shí)，在該介質(zhì)表面因感應(yīng)而帶電荷，并形成感應(yīng)電場(chǎng)。4.4 ESDS：Electronic Static Discharge Sen

4、sitive，靜電放電敏感（的），通常用來(lái)指靜電敏感元器件。4.5 防靜電工作區(qū)：由各種防靜電設(shè)施、器件及明確的區(qū)域界限形成的工作場(chǎng)地。4.6 靜電敏感度：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的靜電放電電壓值。4.7 表面電阻/點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：在與材料的同一側(cè)面相接觸的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對(duì)于流過(guò)的電流的比值。該測(cè)量結(jié)果以歐姆為單位來(lái)表示。4.8 體積電阻/對(duì)地電阻/系統(tǒng)電阻：在與材料的相對(duì)兩面相接觸的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對(duì)于流過(guò)的電流的比值。該測(cè)量結(jié)果以歐姆為單位來(lái)表示。4.9 摩擦起電：當(dāng)使兩種材料接觸或相互摩擦后分離時(shí)，產(chǎn)生靜電荷。4.1

5、0 摩擦電壓：物體被摩擦后，表面所帶靜電荷的電壓。4.11 ESD 損傷：由靜電放電引起的電子元器件性能退化或功能失效。4.12 消電時(shí)間（Decay Time）：一個(gè)靜電壓從其初始值降低到一個(gè)給定值（通常是初始值的10%）所需要的時(shí)間。注：國(guó)際慣例對(duì)于小于1E6歐姆的電阻使用10V電壓測(cè)量，大于或等于1E6歐姆的電阻使用100V電壓測(cè)量，防靜電工作區(qū)系統(tǒng)5.1 防靜電工作區(qū)的劃分：5.1.1 根據(jù)GJB 1649規(guī)定的靜電放電電壓敏感的靜電放電敏感元器件組件和設(shè)備的分級(jí). 靜電放電敏感產(chǎn)品按敏感度電壓被分級(jí)為:靜電敏感度級(jí)別靜電敏感電壓（人體模型HBM）I級(jí)01999VII級(jí)20003999

6、VIII級(jí)400015999V根據(jù)該項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，所要求的ESD控制大綱一般只包含對(duì)I和II級(jí)敏感產(chǎn)品的防護(hù)。現(xiàn)按照元器件靜電敏感度和生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)際情況如下： LED芯片的靜電敏感度相對(duì)較高，生產(chǎn)環(huán)境相對(duì)干燥, 凡是直接操作的半成品、成品生產(chǎn)線(xiàn)均定為I級(jí)； 僅僅是器件的存儲(chǔ)和運(yùn)輸，也不需要嚴(yán)格的防靜電措施，理由是產(chǎn)品在這個(gè)時(shí)候沒(méi)有被加工。把這些區(qū)域或車(chē)間定為II級(jí)； 按照上述理由，現(xiàn)規(guī)定敏感級(jí)別為：級(jí)別區(qū)域I級(jí)固焊車(chē)間、灌膠車(chē)間、模壓車(chē)間、外觀、分光、包裝等II級(jí)成品包裝區(qū)域、貨倉(cāng)區(qū)域，生產(chǎn)倉(cāng)，收料倉(cāng)等5.1.2 公司內(nèi)部由黃、黑雙色斑馬線(xiàn)圍起的區(qū)域或門(mén)口

7、掛有靜電標(biāo)示牌的車(chē)間為防靜電工作區(qū)。5.1.3 元器件敏感度分級(jí)由QC1 ESD工程師按后附錄1ESDS元器件分類(lèi)酌情分級(jí)，并確定。5.2 防靜電工作區(qū)基本環(huán)境要求5.2.1 防靜電工作區(qū)應(yīng)保持潔凈，避免有灰塵堆積或漂浮的狀態(tài)發(fā)生5.2.2 車(chē)間內(nèi)溫濕度的控制結(jié)合車(chē)間的實(shí)際情況定為：區(qū)域溫度濕度萬(wàn)級(jí)潔凈室212C % %10萬(wàn)級(jí)潔凈室212C % %普通車(chē)間233C % %5.2.3 在不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響的前提下，允許使用增濕設(shè)備噴灑制劑或水，以增加環(huán)境濕度。5.2.4 防靜電工作區(qū)應(yīng)清楚標(biāo)明區(qū)域界限以及警示標(biāo)志，見(jiàn)附錄14。5.2.5 要求使用防靜電地板或在普通地面上鋪設(shè)防靜電地墊，并保證

8、有效接地。禁止直接使用木制地板或鋪設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板革。5.2.6 天花板及墻壁建議使用防靜電材料制品，一般情況下允許使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。5.3 防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)5.3.1 應(yīng)有獨(dú)立可靠的接地裝置，接地電阻一般應(yīng)小于10歐姆，為保證人員安全，在與人員直接接觸的地方應(yīng)加裝1兆歐姆限流電阻。接地線(xiàn)的要求如下：接地線(xiàn)截面積接地電阻要求接地總線(xiàn)不小于100mm2的銅制導(dǎo)線(xiàn)小于10歐姆ESD線(xiàn)不得直接接在電源零線(xiàn)上。ESD線(xiàn)不得與防雷地線(xiàn)共用。使用三相五線(xiàn)制供電，其大地線(xiàn)可以作為ESD地線(xiàn)，但需保證電源地線(xiàn)與零線(xiàn)不能搭接。接地支干線(xiàn)不小于6 mm2的銅制導(dǎo)線(xiàn)小于1

9、0歐姆設(shè)備和工作臺(tái)的接地線(xiàn)不小于1.25mm2 的多股或單股的銅制絕緣套導(dǎo)線(xiàn)小于10歐姆或0.8兆歐1.2兆歐ESD地線(xiàn)應(yīng)用綠色絕緣套標(biāo)識(shí)。臺(tái)墊等物品的接地配件按照來(lái)料的顏色使用。5.3.2 廠(chǎng)房接地總線(xiàn)的接地電阻小于10歐姆，由行政部負(fù)責(zé)定期檢查，周期為一個(gè)月一次。并填寫(xiě)廠(chǎng)房接地電阻測(cè)試記錄表。5.3.3 車(chē)間內(nèi)部的設(shè)備和工作臺(tái)的接地線(xiàn)的接地狀況由PE負(fù)責(zé)定期檢查，周期為3個(gè)月一次。并填寫(xiě)工作臺(tái)地線(xiàn)接地電阻測(cè)試記錄表。5.3.4 測(cè)試臺(tái)的防靜電設(shè)備，工器具的接地由TE負(fù)責(zé)定期檢查，周期為3個(gè)月一次。并填寫(xiě)工作臺(tái)地線(xiàn)接地電阻測(cè)試記錄表。5.4 防靜電區(qū)域設(shè)備及輔料要求I級(jí)區(qū)域II級(jí)區(qū)域防靜電安

10、全工作臺(tái)防靜電安全工作臺(tái)防靜電容器、運(yùn)輸工具（料盒、料箱、運(yùn)輸車(chē)）防靜電容器、運(yùn)輸工具（料盒、料箱、運(yùn)輸車(chē)）防靜電腕帶防靜電腕帶防靜電工衣（帽）防靜電工衣（帽）防靜電工鞋防靜電工鞋防靜電測(cè)試架離子風(fēng)機(jī)（離子棒/離子風(fēng)槍?zhuān)ㄒ暪ば蚨ǎ┓漓o電烙鐵（如需使用烙鐵）5.5 防靜電工作區(qū)的ESD技術(shù)要求5.5.1 防靜電地板 用防靜電PVC地板專(zhuān)用清潔劑或中性清潔用品定期進(jìn)行清潔，嚴(yán)禁使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿或能溶解PVC材料的化學(xué)溶劑進(jìn)行清洗，如果屬于更嚴(yán)重的污漬，可以使用異丙烯基乙醇清潔。 嚴(yán)禁帶有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦劃、拖拉。 不能將硫化物、丙酮、酒精等物

11、品撒落在ESD地板上，如發(fā)生以上情況，應(yīng)立即清潔。 使用防靜電地板蠟水進(jìn)行定期涂敷、養(yǎng)護(hù)，一般6個(gè)月一次。 地板蠟的電阻小于1E9歐姆。 地板安裝時(shí)應(yīng)滿(mǎn)足的ESD技術(shù)指標(biāo)包括：表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E41E9歐姆范圍以?xún)?nèi)。 生產(chǎn)部應(yīng)及時(shí)向行政部要求對(duì)防靜電地板進(jìn)行打蠟維護(hù)，行政部做好地板打蠟后應(yīng)及時(shí)通知QC1部ESD工程師。 對(duì)于K4潔凈室的地板，經(jīng)IE評(píng)估且經(jīng)過(guò)ESD工程師的認(rèn)可，可以不做地板打蠟。 QC1部ESD工程師應(yīng)在行政部對(duì)防靜電地板打蠟后做一次防靜電地板表面電阻、系統(tǒng)電阻測(cè)試，測(cè)試方法見(jiàn)附錄2

12、，并填寫(xiě)防靜電地板電阻測(cè)試記錄表。5.5.2 防靜電安全工作臺(tái)（含測(cè)試臺(tái)） 各區(qū)域的防靜電安全工作臺(tái)由負(fù)責(zé)該區(qū)域的PE或TE確定范圍。例如：回流焊后的檢查臺(tái)、QC1檢查臺(tái)、修理臺(tái)和測(cè)試臺(tái)等。 防靜電安全工作臺(tái)基本要求和禁止項(xiàng)目要求禁止工作臺(tái)表面鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊，同時(shí)臺(tái)墊必須接地。特殊情況可以沒(méi)有臺(tái)墊，但需經(jīng)ESD工程師認(rèn)可。工作臺(tái)上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易產(chǎn)生靜電的雜物.配備腕帶接頭、ESD地線(xiàn)、離子風(fēng)機(jī)（可選）、防靜電工具（可選）和防靜電測(cè)試架距離ESDS元器件30厘米以?xún)?nèi)有摩擦電壓高于200V的物件 在防靜電區(qū)內(nèi)使用不符合防靜

13、電要求的物料且必須時(shí)，必須得到QC1 ESD工程師的評(píng)估和認(rèn)可。 防靜電臺(tái)臺(tái)面應(yīng)滿(mǎn)足ESD技術(shù)指標(biāo)。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E41E9歐姆范圍以?xún)?nèi)。 防靜電臺(tái)椅子應(yīng)滿(mǎn)足ESD技術(shù)指標(biāo)。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均小于1E9歐姆范圍。 防靜電膠簾的表面電阻應(yīng)在1E41E11歐姆內(nèi)。 PE應(yīng)每6個(gè)月做一次相應(yīng)的工作區(qū)域內(nèi)的防靜電臺(tái)墊和防靜電工椅電阻測(cè)試，防靜電臺(tái)墊測(cè)試方法見(jiàn)附錄3，填寫(xiě)防靜電臺(tái)墊電阻測(cè)試記錄表。防靜電工椅測(cè)試方法見(jiàn)附錄8，填寫(xiě)防靜電工椅測(cè)試記錄表，如果有不合格的，須及時(shí)更換。5.5.3 防靜電輔料/工具 防靜電溶

14、劑瓶：系統(tǒng)電阻在1E41E11歐姆范圍。 防靜電烙鐵/焊接工具：從熱的端頭到地的電阻應(yīng)小于10歐姆。 防靜電文件袋(夾): 表面電阻在1E41E11歐姆范圍。 PE應(yīng)每6個(gè)月做一次防靜電輔料電阻測(cè)試，測(cè)試方法見(jiàn)附錄7，填寫(xiě)防靜電輔料電阻測(cè)試記錄表。5.5.4 防靜電包裝及容器 防靜電容器包括ESDS原料包裝袋（盒/盤(pán)）、裝板的料盒、等一切包裝、儲(chǔ)存ESDS的容器。 允許使用局部抗靜電涂料對(duì)容器表面進(jìn)行處理，但使用效果必須由相關(guān)PE定期檢查。 防靜電容器應(yīng)滿(mǎn)足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻(包括內(nèi)外表面)在1E41E1

15、1歐姆范圍，系統(tǒng)電阻在1E41E10歐姆范圍。如果產(chǎn)品或產(chǎn)品的金屬部分不直接與防靜電容器接觸，則允許防靜電容器的電阻小于1E4歐姆。PE應(yīng)每6個(gè)月做一次防靜電容器（包括吸塑、托盤(pán)、料箱等）表面電阻和體積電阻測(cè)試，測(cè)試方法見(jiàn)附錄4。填寫(xiě)防靜電周轉(zhuǎn)容器電阻測(cè)試記錄表，測(cè)試結(jié)果由PE保存半年，并在符合標(biāo)準(zhǔn)的容器上做標(biāo)記。QC2應(yīng)按SEF對(duì)來(lái)料的包裝袋和容器進(jìn)行測(cè)試，并填寫(xiě)防靜電包裝袋 容器電阻測(cè)試記錄表。5.5.5 防靜電運(yùn)輸工具及存放架等 防靜電運(yùn)輸工具包括ESD運(yùn)輸車(chē)、ESD小推車(chē)等 為保護(hù)ESDS不受到外部強(qiáng)靜電場(chǎng)的影響，運(yùn)送ESDS的防靜電運(yùn)輸工具應(yīng)由高導(dǎo)電性材料

16、（建議使用不銹鋼）制作，車(chē)子經(jīng)常固定時(shí)要求硬接地。其對(duì)地電阻應(yīng)小于10歐姆。 當(dāng)運(yùn)輸車(chē)由不銹鋼組成時(shí)，且經(jīng)常移動(dòng)時(shí)，其對(duì)地電阻應(yīng)小于1E9歐姆。 存放架的表面電阻和對(duì)地電阻應(yīng)小于1E9歐姆。 防靜電運(yùn)輸工具應(yīng)滿(mǎn)足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻和對(duì)地電阻小于1E9歐姆。PE應(yīng)每6個(gè)月做一次防靜電運(yùn)輸車(chē)、ESD小推車(chē)之臺(tái)面對(duì)輪腳系統(tǒng)電阻測(cè)試，測(cè)試方法見(jiàn)附錄5。填寫(xiě)防靜電運(yùn)輸工具/存放架電阻測(cè)試記錄表，測(cè)試結(jié)果由PE保存半年，并在符合標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)輸工具上做標(biāo)記。5.5.6 除靜電離子風(fēng)機(jī)/離子棒 當(dāng)防靜電區(qū)域內(nèi)不可避免的需要使用會(huì)產(chǎn)生高靜電的材料時(shí)，且該

17、材料要求被放置在離ESDS 30厘米內(nèi)時(shí)，必須使用離子風(fēng)機(jī)或離子棒。 對(duì)于不能接地又直接接觸ESDS元件的物體，必須保證其保持在零電位狀態(tài)，必要時(shí)，可以使用離子風(fēng)機(jī)消除在這個(gè)過(guò)程中產(chǎn)生的靜電。 離子風(fēng)機(jī)在使用的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生較大功率的RF信號(hào)，因此進(jìn)行通信產(chǎn)品測(cè)試的車(chē)間不適用離子風(fēng)機(jī)。如果要用，則需要通過(guò)QC1 ESD工程師的評(píng)估。 懸掛式離子風(fēng)機(jī)應(yīng)懸掛在離工作臺(tái)面60厘米的高度，（特殊工位可例外，但須經(jīng)ESD工程師認(rèn)可）離子風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口不能有異物阻擋。離子風(fēng)機(jī)的平衡電壓保持在50V以?xún)?nèi)，消電時(shí)間（從1000V中和到100V）應(yīng)小于10秒（高風(fēng)速）。5.

18、5.6.5 臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)應(yīng)放置在工作臺(tái)上且離工作區(qū)域3045厘米左右，以保證有足夠的覆蓋范圍和快速的靜電消除。離子風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口不能有異物阻擋。離子風(fēng)機(jī)的平衡電壓保持在50V以?xún)?nèi)，消電時(shí)間（從1000V中和到100V）應(yīng)小于3秒（高風(fēng)速）。 離子棒應(yīng)懸掛在合適的工作高度以保證除靜電效果，離子棒的平衡電壓應(yīng)保持在50V以?xún)?nèi)，消電時(shí)間（從1000V中和到100V）應(yīng)小于60秒。 QC1 ESD工程師應(yīng)每6個(gè)月做一次離子風(fēng)機(jī)平衡電壓和消電時(shí)間測(cè)試，填寫(xiě)除靜電離子發(fā)生器測(cè)試記錄表，對(duì)不符合要求的離子風(fēng)機(jī)，應(yīng)及時(shí)處理。5.5.7 其它防靜電物料及相關(guān)要求 不在上面

19、列出來(lái)的物料則按一般防靜電要求，表面電阻在1E41E11歐姆內(nèi)，系統(tǒng)電阻在1E41E11歐姆內(nèi)。 特殊情況下，如果找不到合適的供應(yīng)商，又經(jīng)過(guò)ESD專(zhuān)員的評(píng)估，確認(rèn)不會(huì)對(duì)產(chǎn)品構(gòu)成ESD隱患的情況下，可以引入表面電阻或體積電阻小于1E11歐姆的物料。6 人體防靜電系統(tǒng) 6.1 防靜電腕帶6.1.1 直接接觸ESDS的任何人員都應(yīng)按規(guī)定佩帶防靜電腕帶（俗稱(chēng)靜電帶），禁止使用無(wú)線(xiàn)防靜電腕帶。6.1.2 防靜電腕帶的接觸線(xiàn)應(yīng)內(nèi)置一個(gè)1兆歐姆電阻，以保證人體安全以及快速瀉放靜電，防靜電腕帶的腕帶應(yīng)是導(dǎo)電性的，表面電阻應(yīng)小于1E3歐姆。同時(shí)應(yīng)保證防靜電腕帶與人體皮膚有良好的接觸，系統(tǒng)電阻應(yīng)小于

20、35兆歐姆，且使用鱷魚(yú)夾或插頭座可靠的連接在ESD線(xiàn)上。6.1.3 應(yīng)每天一次測(cè)量防靜電腕帶的系統(tǒng)電阻，由拉長(zhǎng)填寫(xiě)靜電帶檢查記錄表，檢查不合格時(shí)應(yīng)交由修理檢修，不能修復(fù)時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換。6.2 防靜電鞋/防靜電鞋套6.2.1 所有進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員都應(yīng)穿用防靜電鞋/鞋套，防靜電鞋/鞋套的使用要保證鞋的系統(tǒng)電阻在1E53.5E7歐姆范圍內(nèi)。應(yīng)每天一次測(cè)量防靜電鞋/鞋套的系統(tǒng)電阻，由拉長(zhǎng)填寫(xiě)防靜電鞋/鞋套檢查記錄表，檢查不合格時(shí)應(yīng)及時(shí)更換。6.3 防靜電工作服6.3.1 防靜電工作服包括防靜電連體衣、防靜電大褂、防靜電工鞋（鞋套）和工帽，防靜電工作服要求使用導(dǎo)電網(wǎng)格防靜電綢制作，制造要求應(yīng)符合GB

21、 12014之規(guī)定，其各部分之間應(yīng)存在電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計(jì)應(yīng)能保持在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。6.3.2 進(jìn)入防靜電區(qū)域時(shí)，防靜電工作服、工鞋和工帽要求穿著整齊，全部紐扣（拉鏈）要系好（拉完全），頭發(fā)必須包在工帽內(nèi)，不能有外露。6.3.3 不同使用人員之防靜電工作服按顏色區(qū)分：人員普通工作區(qū)域及10萬(wàn)級(jí)潔凈室萬(wàn)級(jí)潔凈室生產(chǎn)部作業(yè)員工白色的防靜電服（帽）黃色防靜電連體服帽品質(zhì)部員工粉紅色的防靜電服（帽）粉紅色防靜電連體服帽工程人員藍(lán)色的防靜電服（帽）藍(lán)色防靜電連體服帽生產(chǎn)管理人員白色的防靜電服（帽）白色防靜電連體服帽外來(lái)人員白色的防靜電服（帽）白色防靜電連體服帽6.3.4 購(gòu)買(mǎi)防

22、靜電工衣時(shí)應(yīng)滿(mǎn)足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻值（1E5歐姆1E10歐姆）。6.3.5 生產(chǎn)部應(yīng)每半年做一次防靜電工衣表面電阻測(cè)試，測(cè)試方法見(jiàn)附錄6，并填寫(xiě)防靜電工衣表面電阻 測(cè)試記錄表，對(duì)于不符合指標(biāo)要求的防靜電工衣，予以更換。6.4 防靜電手套/指套6.4.1 由消散性材料制成，人體穿戴對(duì)地電阻在1E51E11歐姆范圍，摩擦電壓小于50V。6.5 人體綜合接地測(cè)試系統(tǒng)要求手腕帶-人體工鞋-人體指示燈電阻下限7.5E5歐姆1E5歐姆電阻上限3.5E7歐姆3.5E7歐姆電阻在范圍以?xún)?nèi)綠燈電阻不在范圍以?xún)?nèi)紅燈6.5.1 每個(gè)進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員須進(jìn)行人體綜合接地效果測(cè)試，如果亮紅燈，則表明測(cè)試失敗，應(yīng)

23、更換工鞋/鞋套或手腕帶重新進(jìn)行測(cè)試并通知相關(guān)人員。6.6 人員防靜電一般要求6.6.1 要求進(jìn)入防靜電區(qū)的人員盡量穿著棉質(zhì)衣物，盡量避免穿著尼龍等合成纖維制品，以免產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)導(dǎo)致靜電感應(yīng)放電現(xiàn)象。6.6.2 在防靜電工作區(qū)內(nèi)不得大聲喧嘩，坐立姿勢(shì)端正，避免不必要的走動(dòng)，以及不必要的大幅度身體運(yùn)動(dòng)，如彎腰、晃動(dòng)手臂等，在防靜電工作區(qū)內(nèi)如有必要走動(dòng)，應(yīng)緩步行走，禁止奔跑。6.6.3 接觸靜電敏感器件及組件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶，防靜電腕帶再接入防靜電地線(xiàn)系統(tǒng)，要保證腕帶與皮膚接觸良好，在戴腕帶處皮膚上不得涂護(hù)膚油、防凍油等絕緣物質(zhì)。6.6.4 手持靜電敏感器件及組件時(shí)應(yīng)避免接觸其導(dǎo)電（金屬管腳）部分

24、，操作過(guò)程中應(yīng)盡量減少對(duì)靜電敏感器件及組件的接觸次數(shù)。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆散亂地放在工作臺(tái)面上，確需暫時(shí)疊放時(shí)必須用防靜電材料隔離開(kāi)。6.6.5 外來(lái)人員參觀，必須有本公司人員全程陪同，按參觀路線(xiàn)行進(jìn)，不得隨意走動(dòng)，不得進(jìn)入機(jī)器外圍的斑馬線(xiàn)地標(biāo)，更不得隨意觸摸產(chǎn)品。7 職責(zé)7.1 生產(chǎn)經(jīng)理、課長(zhǎng)、組長(zhǎng)等管理人員，職責(zé)包括：7.1.1 負(fù)責(zé)做好物料、作業(yè)員、及其他進(jìn)出防靜電工作區(qū)人員及物品的出入管理，確保其按ESD要求正確著裝，7.1.2 確保作業(yè)員及在防靜電工作區(qū)內(nèi)的人員正確使用ESD設(shè)備，包括防靜電工衣、防靜電工帽、防靜電工鞋、防靜電腕帶、防靜電臺(tái)墊、離子風(fēng)機(jī)、ESD料盒和ESD

25、地板等；7.1.3 確保無(wú)關(guān)人員不接觸產(chǎn)品，不對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生靜電釋放；7.1.4 對(duì)懷疑是靜電損傷的產(chǎn)品，需要保存樣品并報(bào)告給相應(yīng)的部門(mén)作失效分析；7.1.5 定期檢查防靜電工衣、工鞋、腕帶的ESD品質(zhì)，如有品質(zhì)異常，及時(shí)向采購(gòu)部提出采購(gòu)申請(qǐng)更換；7.1.6 每天檢查ESD設(shè)備、臺(tái)墊等的接地狀況（目視），確保接地線(xiàn)正確的連接到ESD總線(xiàn)上；7.1.7 每六個(gè)月要求服務(wù)組對(duì)防靜電地板進(jìn)行打蠟。7.2 ESD工程師/技術(shù)員，職責(zé)包括：7.2.1 統(tǒng)籌全廠(chǎng)的ESD控制，定期對(duì)生產(chǎn)線(xiàn)的靜電防護(hù)水平做出評(píng)估，并給出改善意見(jiàn)，提高其靜電防護(hù)水平； 7.2.2 負(fù)責(zé)尋找新的防靜電用品的供應(yīng)商，評(píng)估新購(gòu)的防靜電用

26、品的性能；7.2.3 協(xié)助人力資源部進(jìn)行ESD培訓(xùn)；7.2.4 監(jiān)督各個(gè)部門(mén)的ESD管理情況，及時(shí)反映ESD狀況；7.2.5 對(duì)生產(chǎn)線(xiàn)的靜電損傷樣品作失效分析，解決工序中的ESD情況；7.2.6 定期檢查除靜電離子發(fā)生器的性能，確保其正常工作；7.2.7 負(fù)責(zé)對(duì)打蠟后的地板進(jìn)行測(cè)量。7.2.8 責(zé)成行政部保證車(chē)間內(nèi)的相對(duì)空氣濕度在各車(chē)間規(guī)定的范圍內(nèi)；7.2.9 定期檢查ESD總線(xiàn)的接地狀況，確保其狀況良好；7.2.10 定期使用專(zhuān)用的防靜電地板蠟水對(duì)防靜電地板打蠟，打完蠟后進(jìn)行電阻測(cè)試。7.3 人力資源部，職責(zé)包括：7.3.1 負(fù)責(zé)對(duì)新進(jìn)廠(chǎng)的員工進(jìn)行初步的防靜電知識(shí)培訓(xùn)；7.3.2 定期對(duì)員工

27、進(jìn)行防靜電知識(shí)培訓(xùn)，并進(jìn)行培訓(xùn)的再審核。7.4 開(kāi)發(fā)部，職責(zé)包括：7.4.1 開(kāi)發(fā)部在設(shè)計(jì)新產(chǎn)品時(shí)應(yīng)考慮到器件的靜電敏感度，盡量選用具有最大靜電抗擾度的元件；7.4.2 在新產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段應(yīng)盡量引入防靜電網(wǎng)絡(luò)到電路設(shè)計(jì)中去，以保護(hù)產(chǎn)品里面的靜電敏感元件；7.4.3 要求供應(yīng)商提供元器件靜電敏感度的級(jí)別。包括人體模型(HBM)、機(jī)器模型(MM)和帶電器件模型(CDM) (應(yīng)列明何種標(biāo)準(zhǔn))；7.4.4 做好SEF（包括防靜電指標(biāo)，part number等）給QC部，供QC部抽測(cè)來(lái)料。7.5 品質(zhì)部，職責(zé)包括：7.5.1 確定ESDS敏感級(jí)別，對(duì)成品進(jìn)行靜電放電模擬測(cè)試，確認(rèn)靜電敏感度；7.5.2 根

28、據(jù)SEF負(fù)責(zé)抽測(cè)、監(jiān)控靜電敏感器件來(lái)料和靜電敏感器件產(chǎn)品的品質(zhì)，如發(fā)現(xiàn)異常，應(yīng)及時(shí)反饋信息給ESD工程師或相應(yīng)的部門(mén)。7.6 設(shè)備工程師/技術(shù)員，職責(zé)包括：7.6.1 定期檢查防靜電設(shè)備，確保其可以正常使用，包括防靜電臺(tái)墊、地墊、防靜電容器、運(yùn)輸工具和其它輔助工具的表面電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試等；7.6.2 定期檢查臺(tái)墊和機(jī)器的接地狀況，確保接地良好。7.7 貨倉(cāng)職責(zé)包括：7.7.1 負(fù)責(zé)貨倉(cāng)防靜電措施的維護(hù)和管理。7.7.2 定期通知ESD工程師進(jìn)行檢測(cè)使用中的防靜電用具。8 培訓(xùn)8.1 對(duì)所有可能接觸或接近ESDS的人員，必須進(jìn)行相關(guān)的ESD知識(shí)培訓(xùn)，并加以教育與訓(xùn)練，使之樹(shù)立有效的ESD防護(hù)觀

29、念。培訓(xùn)的有效期為一年。人力資源部應(yīng)填寫(xiě)員工防靜電知識(shí)培訓(xùn)考核記錄表。8.2 防靜電培訓(xùn)的內(nèi)容包括：8.2.1 靜電學(xué)基礎(chǔ)和靜電損害8.2.2 靜電性能測(cè)試8.2.3 防靜電的標(biāo)示與包裝8.2.4 防靜電控制8.2.5 防靜電設(shè)備的使用和檢測(cè)（相關(guān)人員）9 采購(gòu)9.1 所有防靜電用品的采購(gòu)均須要按照附錄16防靜電制品采購(gòu)流程圖執(zhí)行10 記錄序號(hào)記錄名稱(chēng)責(zé)任部門(mén)測(cè)量周期保存期限1防靜電地板電阻測(cè)試記錄表設(shè)備部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月2防靜電臺(tái)墊電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月3靜電帶檢查記錄表生產(chǎn)部每天1個(gè)月4防靜電包裝袋 容器電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部每一批抽測(cè)6個(gè)月5防靜電周轉(zhuǎn)容器電阻測(cè)試紀(jì)錄表品質(zhì)部

30、6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月6除靜電離子發(fā)生器測(cè)試記錄表品質(zhì)部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月7防靜電手套 指套電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部每一批抽測(cè)6個(gè)月8防靜電運(yùn)輸工具 存放架電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月9防靜電工衣表面電阻測(cè)試記錄表生產(chǎn)部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月10員工防靜電知識(shí)培訓(xùn)考核紀(jì)錄表人力資源部一年一年11防靜電輔料電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月12防靜電鞋 鞋套測(cè)試記錄表生產(chǎn)部每天6個(gè)月13廠(chǎng)房接地電阻測(cè)試紀(jì)錄表設(shè)備部1個(gè)月抽測(cè)一年14工作臺(tái)地線(xiàn)接地電阻測(cè)試紀(jì)錄表品質(zhì)部3個(gè)月抽測(cè)1個(gè)月15防靜電椅子電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月11 附錄a附錄1：ESDS元器件分類(lèi)I級(jí)：（0V 1999V）序號(hào)元器件

31、類(lèi)別條件及說(shuō)明1微波器件包括肖特基二極管，點(diǎn)接觸二極管，頻率大于1GHz的二極管2分立MOS場(chǎng)效應(yīng)管包括VWOS及VDMOS等等3表面聲波（SAW）器件4結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管5電荷耦合器件6精密穩(wěn)壓二極管7運(yùn)算放大器包括雙極型工藝及MOS工藝8超高速集成電路包括ECL、HCMOS、FAST等工藝9其他集成電路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等10薄膜電阻器11混合電路使用I級(jí)靜電敏感元器件組裝的混合電路12可控硅TA=100 TO0.175AII級(jí)：（2000V 3999V）序號(hào)元器件類(lèi)別條件及說(shuō)明1分立MOS場(chǎng)效應(yīng)管包括VMOS、VDMOS等2結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管3運(yùn)算放大器包括雙極工藝和MOS

32、工藝4超高速集成電路5其他集成電路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等6精密電阻網(wǎng)絡(luò)包括ECL、HCMOS、FAST等工藝7混合電路使用II級(jí)靜電敏感元器件組裝的混合電路8低功率雙極工藝晶體管PT100mW, IC100mA附錄2：防靜電地板表面電阻/系統(tǒng)電阻測(cè)試方法1. 按下圖確定防靜電地板測(cè)試點(diǎn) 每一個(gè)方格均代表一塊地板，測(cè)試用的電極一個(gè)放在中間的地板上，另外一個(gè)電極依次放在此地板相對(duì)角的四塊地板上面，測(cè)量其表面電阻值。2. 隨機(jī)抽樣測(cè)試點(diǎn)不少于20個(gè)區(qū)域，按下圖所示，每點(diǎn)測(cè)量地板4點(diǎn)表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)3. 隨機(jī)抽樣測(cè)試點(diǎn)不少于5個(gè)區(qū)域，按下圖所示測(cè)量地板系統(tǒng)電阻，并記錄數(shù)據(jù)附錄

33、3：防靜電臺(tái)墊/地墊電阻測(cè)試方法1. 按下圖所示，每張臺(tái)墊/地墊測(cè)量2組表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)2. 按下圖所示，每張臺(tái)墊/地墊測(cè)量2組對(duì)地電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄4：防靜電容器電阻測(cè)試方法1. 按下圖所示，測(cè)量容器表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)2. 按下圖所示，測(cè)量容器體積電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄5：防靜電運(yùn)輸工具/存放架測(cè)試方法1. 按下圖所示，測(cè)量運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)/存放架電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄6：防靜電工衣表面電阻測(cè)試方法1. 將防靜電工衣平坦展開(kāi)放置在光滑的絕緣電阻大于1E12歐姆的平板表面上2. 測(cè)試用兩電極應(yīng)順著導(dǎo)電絲放置3. 按上圖所示，測(cè)量3個(gè)測(cè)試點(diǎn)：同片測(cè)試（褲腰以上一點(diǎn)對(duì)褲腰以下一點(diǎn)）；袖對(duì)腰下部

34、位測(cè)試（袖對(duì)褲腰以下一點(diǎn)）（對(duì)于連體服，用袖對(duì)腳測(cè)試取代袖對(duì)腰測(cè)試）；袖對(duì)袖測(cè)試。其中連體服需要加測(cè)鞋套的對(duì)地電阻。附錄7：普通防靜電材料電阻測(cè)試方法1 對(duì)于新引入的物料要求隨機(jī)抽樣至少三個(gè)樣品，每一個(gè)樣品至少隨機(jī)測(cè)量三次。材料的測(cè)試紀(jì)錄應(yīng)包括表面電阻和體積電阻。2 表面電阻的測(cè)試方法：將材料放置在一個(gè)光滑、平整、潔凈，且表面絕緣電阻大于1E12歐姆的臺(tái)面。在材料表面放置兩個(gè)測(cè)試電極(30cm是建議值，如果材料小于這個(gè)尺寸，則電極放在兩對(duì)角面上)，如下圖所示:3 體積電阻的測(cè)試方法：將材料放置在一個(gè)光滑、平整、潔凈，且表面電阻小于10歐姆的金屬面上，一個(gè)電極放置在金屬面上，另外一個(gè)電極放置在被

35、測(cè)物上。對(duì)于烙鐵，只需要測(cè)量熱的金屬頭到地之間的電阻。附錄8：防靜電工椅的測(cè)試方法1. 要求隨機(jī)抽樣至少5個(gè)樣品，每一個(gè)樣品至少隨機(jī)測(cè)量三次（三個(gè)點(diǎn)）。防靜電工椅的測(cè)試紀(jì)錄應(yīng)包括表面電阻和體積電阻。2. 表面電阻的測(cè)試方法：在表面放置兩個(gè)測(cè)試電極，如下圖所示:3. 體積（對(duì)地）電阻的測(cè)試方法：一個(gè)電極放置在金屬面上，另外一個(gè)電極放置在椅子上。注意，在生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行定期檢測(cè)的時(shí)候，允許直接把一個(gè)電極放置在防靜電地板上，另外一個(gè)電極放置在椅子上。附錄9：物體表面的靜電壓測(cè)量方法1. 使用Simco FMX002靜電壓表去測(cè)量物體表面的靜電壓，要注意以下幾點(diǎn)：儀表的紅外燈指示器要兩個(gè)重合，才算對(duì)焦，此時(shí)

36、儀表距離被測(cè)物大約2.5厘米。靜電壓表在使用的過(guò)程中需要接地。否則讀數(shù)不準(zhǔn)確。靜電壓表的讀數(shù)的單位為KV。測(cè)試圖例如下:附錄10：懸掛式/臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)測(cè)試方法1. 測(cè)量懸掛式離子風(fēng)機(jī)應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀，在評(píng)估新引入的離子風(fēng)機(jī)時(shí)候需要測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的12個(gè)點(diǎn)的平衡電壓和消電時(shí)間。在平時(shí)的定期測(cè)量時(shí)，只需測(cè)量3個(gè)風(fēng)扇口正下方的平衡電壓和消電時(shí)間。標(biāo)準(zhǔn)的12個(gè)點(diǎn)（以小網(wǎng)格表示）如下所示：2. 對(duì)每一個(gè)點(diǎn)均應(yīng)測(cè)量不少于三次。對(duì)每一個(gè)測(cè)試點(diǎn)的平衡電壓的測(cè)量時(shí)間不得少于1分鐘。應(yīng)紀(jì)錄平衡電壓的最大（偏移零點(diǎn)最遠(yuǎn)）值。消電時(shí)間應(yīng)紀(jì)錄最大值。3. 對(duì)新引入的懸掛式離子風(fēng)機(jī)的要求列表：（ANSI / ESD

37、STM3.1-2000 / ANSI / ESD S20.20-1999只對(duì)平衡電壓提出了要求，未強(qiáng)制規(guī)定消電時(shí)間，因此，下表的平衡電壓是強(qiáng)制執(zhí)行，消電時(shí)間只是建議值）位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓(V)消電時(shí)間 (S)平衡電壓(V)消電時(shí)間 (S)CenterTP5&TP80 + 50 V 15 s 0 + 50 V 10 s TP2&TP11 25.0 s 20.0 s30 cm LeftTP1&TP100 + 50 V 25.0 s0 + 50 V 20.0 s TP4&TP7 20.0 s 15.0 s 30 cm RightTP3&TP120 + 50 V 25.0 s 0 + 50 V

38、20.0 s TP6&TP9 20.0 s 15.0 s 4. 測(cè)量臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀測(cè)試，在評(píng)估新引入的離子風(fēng)機(jī)時(shí)候需要測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的12個(gè)點(diǎn)的平衡電壓和消電時(shí)間。在平時(shí)的定期測(cè)量時(shí)，只需測(cè)量正對(duì)風(fēng)扇口30厘米和60厘米兩個(gè)點(diǎn)的平衡電壓和消電時(shí)間。標(biāo)準(zhǔn)的12個(gè)點(diǎn)（以黑豎條表示）如下所示：5. 對(duì)每一個(gè)點(diǎn)均應(yīng)測(cè)量不少于三次。對(duì)每一個(gè)測(cè)試點(diǎn)的平衡電壓的測(cè)量時(shí)間不得少于1分鐘。應(yīng)紀(jì)錄平衡電壓的最大（偏移零點(diǎn)最遠(yuǎn)）值。消電時(shí)間應(yīng)紀(jì)錄最大值。6. 對(duì)新引入的臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)的要求列表：（ANSI / ESD STM3.1-2000 / ANSI / ESD S20.20-1999只對(duì)平衡電

39、壓提出了要求，未強(qiáng)制規(guī)定消電時(shí)間，因此，下表的平衡電壓是強(qiáng)制執(zhí)行，消電時(shí)間只是建議值）位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓(V)消電時(shí)間 (S)平衡電壓(V)消電時(shí)間 (S)center1ft(TP2)0 + 50 V 5.0 s 0 + 50 V 3.0 s 2ft(TP5) 8.0 s 6.0 s 3ft(TP8) 12.0 s 10.0 s 4ft(TP11) 20.0 s 15.0 s 30 cm Left1ft(TP1)0 + 50 VNA0 + 50 VNA2ft(TP4) 30.0 s 25.0 s 3ft(TP7) 15.0 s 12.0 s 4ft(TP10) 25.0 s 20.0 s

40、 30 cm Right1ft(TP3)0 + 50 VNA0 + 50 VNA2ft(TP6) 30.0 s 25.0 s 3ft(TP9) 15.0 s 12.0 s 4ft(TP12) 25.0 s 20.0 s 附錄11手套/手指套的測(cè)量方法1. 穿戴對(duì)地電阻測(cè)試：操作員把測(cè)試儀的兩個(gè)電極分別放在兩塊互相絕緣的金屬板上面, 然后操作員戴上手套/手指套。操作員把戴有手套/手指套的大拇指和食指分別按住那兩塊金屬板，然后按下測(cè)量開(kāi)關(guān)，并等讀數(shù)穩(wěn)定后讀出測(cè)試儀上的讀數(shù)，并記錄下來(lái)。操作員分別用大拇指和其它的手指按住金屬板，然后讀出測(cè)試儀上的讀數(shù)，并記錄下來(lái)。每一種手套/手指套均需要測(cè)量5個(gè)（含）以上的樣品，每次測(cè)量均記錄最大值。2. 表面摩擦電壓測(cè)試：操作員戴上1兆歐的標(biāo)準(zhǔn)手腕帶，鱷魚(yú)夾夾在接地線(xiàn)上面并確認(rèn)接地良好。操作員戴上手套/手指套。一只手拿取高絕緣的塑料板，另一只手/手指摩擦塑料板十次，然后測(cè)量手套/手指套上面的靜電壓，記錄最大值。注意：儀器要離絕緣板30厘米以上，以免影響讀數(shù)。每一種手套/手指套均需要測(cè)量5個(gè)（含）以上的樣品，每次測(cè)量均記錄最大值。附錄12防靜電標(biāo)準(zhǔn)列表：表面電阻系統(tǒng)/穿戴電阻消電時(shí)間摩擦/平衡電壓防靜電地板/防靜電臺(tái)墊/地