ESD管理手冊S

1、版本變更記錄版本變更內(nèi)容描述批準(zhǔn)人批準(zhǔn)日期A初版發(fā)行（恒信靜電中心培訓(xùn)專用）目錄1 目的2 適用范圍3 名詞解釋4 功能權(quán)責(zé)5 生產(chǎn)流程6 管理要求6.1基本原理6.2修正6.3靜電敏感件6.4 ESD培訓(xùn)6.5產(chǎn)品認(rèn)可6.6符合性驗證6.7接地6.8人員接地6.9 EPA6.9.1 區(qū)域界定6.9.2人員管控6.9.3絕緣體管控6.9.4孤立導(dǎo)體管控6.10包裝6.11標(biāo)記7 持續(xù)改進(jìn)8 相關(guān)程序文件及記錄表單9 參考文件1 目的公司按照ANSI/ESD S20.20和IEC 61340-5-1標(biāo)準(zhǔn)實施靜電防護(hù)管理，其目的在于：1）減少靜電對產(chǎn)品的損害，提高產(chǎn)品品質(zhì)，提高客戶滿意度。2）明確

2、靜電防護(hù)措施和實施要求，為公司各部門和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的防靜電建立統(tǒng)一規(guī)則。3）建立規(guī)范要求供應(yīng)商和其他協(xié)作/服務(wù)公司提供滿足期望的產(chǎn)品或服務(wù)。4）通過二方、三方稽核，獲得客戶/機構(gòu)認(rèn)可，持續(xù)改進(jìn)提高靜電防護(hù)水平。2 適用范圍本ESD管理手冊適用于公司所有靜電放電敏感元器件的生產(chǎn)過程，也適用于外協(xié)廠方、供應(yīng)商和合作方等與靜電敏感件相關(guān)各方，同時也適用于公司產(chǎn)品的最終用戶的靜電放電 防護(hù)控制。本ESD管理手冊適用于靜電放電敏感度大于等于人體模型（HBM）100伏和帶電器件模型（CDM）200伏以及孤立導(dǎo)體（Insulated conductor）35伏的電氣或電子零件、裝置和設(shè)備等的制造、維修、組裝、安

3、裝、包裝、標(biāo)簽，服務(wù)、測試、檢驗或其它處理活動。若今后 處理的靜電放電敏感元器件的敏感電壓值低于三種模型中任何一種，應(yīng)立即重新評估控制 薦，修正控制措施和要求限值，變更本ESD管理手冊后繼續(xù)實施。3 名詞解釋本ESD管理手冊中使用的名詞參考 ANSI/ESD ADV1.0-2014，為使用人員理加容易理解和實施，結(jié)合公司慣用語，對手冊中常用的名詞作出解釋。AC equipme nt grou nd，交流設(shè)備接地：交流設(shè)備電源線中地線的接地。Auxiliary Grou nd ，輔助接地：單獨使用交流設(shè)備接地以外的接地，包括專設(shè)的弱電接地， 靜電接地。Poi nt-to-poi nt resis

4、ta nee，點對點電阻：表面兩電極之間的電阻。Complia neeverificatio n，符合性驗證：測試表明性能沒有超過初始選擇的限值，即指監(jiān)測、稽查、點檢。Co nductive material (resista nee)，導(dǎo)體材料(電阻)：表面電阻或體積電阻小于1*10E4歐姆的材料，即指導(dǎo)靜電材料。Dissipative materials，耗散材料：表面電阻或體積電阻大于等于1*10E4 歐姆且小于1*10E11歐姆的材料，即指消散性靜電材料。Electrostatic discharge (ESD)，靜電放電：高靜電場快速自發(fā)的靜電電荷轉(zhuǎn)移，也指防靜 電。Electros

5、tatic discharge (ESD) protective workstation，ESD 保護(hù)工作站：一個處理靜電放電敏感器件的工作區(qū)域，配備必要的防護(hù)材料和設(shè)備來限制靜電放電對靜電敏感器件的 損害。Electrostatic discharge sen sitivity (ESDS)，靜電放電敏感性：靜電放電導(dǎo)致器件失效。Electrostatic discharge susceptible (ESDS) item，靜電放電敏感器件：有靜電放電敏感級別的的電子電氣零件、裝置、元件、組件或設(shè)備。Electrostatic field ，靜電場：一個因存在電荷而有引力或斥力的空間。Ele

6、ctric field shielding materials，靜電屏蔽材料：表面電阻或體積電阻小于 1*10E3歐姆的材料。ESD protected area (EPA)，靜電放電防護(hù)區(qū)：定義的一個區(qū)域，為控制靜電級別配備必 要的防護(hù)材料、工具和設(shè)備來最大限度地減少損害ESD敏感器件。即指靜電保護(hù)區(qū)，防靜電區(qū)域。Grou ndable poi nt，可接地點：指定或假設(shè)防靜電物品或設(shè)備上適當(dāng)?shù)慕拥匚恢?。In sulative materials，絕緣材料：表面電阻或體積電阻大等于1*10E11歐姆的材料。Resista nee to ground，點對地電阻：表面一個電極和地之間的電阻。S

7、leeve-to-sleeve resista nee，袖對袖電阻：一件展開的工作服兩個袖口之間的電阻。Surface resista nee，使用規(guī)定結(jié)構(gòu)的兩個電極接觸一個材料的表面，直流電壓與電流的比 值。Un protected area （UPA），非防護(hù)區(qū)：EPA的外面的區(qū)域。即指非 EPA，非防靜電區(qū)，靜電保護(hù)區(qū)。Volume resista nee ，體積電阻：使用規(guī)定結(jié)構(gòu)的兩個電極分別接觸一個材料的兩對面，直 流電壓與電流的比值。4. 功能權(quán)責(zé)3.1 ESD小組組織架構(gòu)（如圖）3.2權(quán)責(zé)說明3.2.1 ESD工作組組長由公司任命。負(fù)責(zé)協(xié)調(diào) ESD工作組內(nèi)各成員的工作以及協(xié)調(diào) 其

8、他相關(guān)部門支持ESD管理體系的良好運行，持續(xù)驗證和改進(jìn)使其滿足體系的適宜性、 充分性和有效性。3.2.2 ESD工作組副組長由公司ESD工程師擔(dān)任，負(fù)責(zé)協(xié)助組長協(xié)調(diào)小組工作，監(jiān)查ESD管理體系運行情況，通過日常驗證和年度內(nèi)審等方法持續(xù)發(fā)現(xiàn)ESD管理體系運行的問題，提供糾正措施持續(xù)保障 ESD管理體系運行符合公司需求。5. 生產(chǎn)流程及EPA區(qū)域（如圖）6. 管理要求6.1基本原理A. EPA內(nèi)所有導(dǎo)體（包括人體）應(yīng)該接地。如果特殊情況不能接地，應(yīng)將所有導(dǎo)體（包括人體）相連來建立了一個等電位平衡，只要系統(tǒng)中所有物體都處在同一個電位上， 就可以在高出地電位“零伏特”時仍然可以維持靜電保護(hù)。B. EP

9、A內(nèi)必要的非導(dǎo)體（處理過程需要的絕緣體）因為不能通過接地方式進(jìn)行放電， 采用電離化中和是為這些非導(dǎo)體（例如電路板材料以及器件的封裝）消除靜電最佳 方式，應(yīng)該對必要的非導(dǎo)體可能產(chǎn)生靜電放電危害做出評估來保證實施措施的合理性（見本手冊EPA絕緣體管控章節(jié)）。C. 在靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)周轉(zhuǎn)靜電放電敏感件時，使用低帶電并耗散靜電的材料；在靜電 保護(hù)區(qū)外運送靜電放電敏感件時，應(yīng)使用低帶電且耗散靜電的防護(hù)材料密封起來， 推薦使用低帶電且靜電場屏蔽的材料。6.2 修正（例舉）修正聲明1:公司ESD管理手冊不包含依據(jù)ANSI/ESD S20.20標(biāo)準(zhǔn)的人員接地章節(jié)。 基本原理：已建立全自動化裝配過程，人員與ESDS

10、器件不可能有交互。修正聲明2 :公司防靜電工作臺測量方法中“地”修正為“地面”，上限值仍然符合ESD S20.20符合性驗證限值要求?；驹恚悍漓o電工作臺接地電阻按TR53-01-15測試阻值為臺墊阻值+接地扣阻值 +接地線阻值+接地系統(tǒng)阻值；修正后工作臺接地電阻為臺墊阻值+接地扣阻值+接地線阻值+接地系統(tǒng)阻值+地面阻值，比TR53-01-15測試方法增加了地面的的阻 值，測量值應(yīng)大于TR53-01-15測試方法的測量值，此值若符合 S20.20限值要求， 則TR53-01-15測試方法的測量值應(yīng)符合 S20.20限值要求。實測數(shù)據(jù)：（可以通過較大量的實測數(shù)據(jù)和結(jié)論來論證上面的結(jié)論）6.3靜

11、電敏感件公司使用的微電子線路，分立半導(dǎo)體，厚膜、薄膜電阻，混合器件，印刷電路板及壓電晶體等等都是靜電敏感件，敏感特性由供應(yīng)商根據(jù)IQC/SQE要求提供（需提供 HBM、CDM、MM （ Isolated con ductor ）三類模型的敏感電壓值），IQC/SQE負(fù)責(zé)根據(jù)公司生產(chǎn)的產(chǎn)品動態(tài)列明ESD敏感件清單，當(dāng)發(fā)現(xiàn)敏感度小于適用范 圍（人體模型（HBM）100伏和帶電器件模型（CDM）200伏以及孤立導(dǎo)體（Insulatedconductor）35 伏）電壓時，應(yīng)立即通知 ESD小組負(fù)責(zé)人，由ESD小組組織評估采 取額外的控制要素及調(diào)整要求限值。6.4 ESD培訓(xùn)ESD培訓(xùn)工作依據(jù)公司質(zhì)量

12、管理體系的培訓(xùn)管理程序文件執(zhí)行。641培訓(xùn)內(nèi)容642培訓(xùn)計劃人力資源部統(tǒng)一組織的視頻教學(xué)和講師課堂形式的培訓(xùn)，培訓(xùn)內(nèi)容包括 ESD基礎(chǔ)知識、防護(hù)用品、操作規(guī)范的培訓(xùn)，培訓(xùn)后隨堂進(jìn)行ESD考試，80分為合格，合格者方允許到 EPA上崗。初次培訓(xùn)及考核記錄統(tǒng)一交由人事部門按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序歸檔保存。崗前培訓(xùn)，新員工在 EPA上崗后獨自操作前，由產(chǎn)線小組長負(fù)責(zé)安排崗前培訓(xùn)，加強ESD防護(hù)意識，小組長負(fù)責(zé)人員培訓(xùn)評價， 合格者方允許獨自操作。 評價記錄由各部門按質(zhì)量管理體系的記錄管理程序歸檔保存。6.5產(chǎn)品認(rèn)可6.5.1產(chǎn)品認(rèn)可方法質(zhì)量管理體系的記錄管理程序保存測試報告并接收產(chǎn)品。或者：質(zhì)量

13、管理體系的記錄管理程序保存自測報告和來料檢驗記錄?；蛘撸嘿|(zhì)量管理體系的記錄管理程序保存來料檢驗記錄，合格則接收產(chǎn)品。質(zhì)量管理體系的記錄管理程序負(fù)責(zé)保存記錄，合格則接收產(chǎn)品，不合格者不得繼續(xù)使用，按 質(zhì)量管理體系的不合格品管理程序處理。所有測試報告和測試記錄根據(jù) ESD小組驗證周期（1年）提交到ESD工作組副組長完成年度體 系運行驗證（內(nèi)審）。項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表防靜電服/帽ANSI/ESD STM2.1Rs-s1x10 11 QRp-p1x10 11 Q新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表防靜電鞋ANSI/ESD STM9.1Rp-g1.0x109Q新購5-10%IP

14、QC來料檢驗記錄表腳筋帶ESD SP9.2Rp-g1x109 Q新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表防靜電手套/手指套ANSI-ESD SP15.1Rp-p1x10 11 Q新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表防靜電地面ANSI/ESD STM7.1Rp-p1x109 QRp-g1x109 Q新購新安裝100%IPQCESD組員來料檢驗記錄表點檢記錄表防靜電工作臺 防靜電貨架 移動設(shè)備（推車）ANSI/ESD S4.1Rp-p1x109 QRp-g1x109 Q新購新安裝100%IPQCESD組員來料檢驗記錄表點檢記錄表防靜電工作椅ANSI/ESDSTM12.1Rp-g1x109 Q新購5-1

15、0%IPQC來料檢驗記錄表手腕帶接地連接件（非監(jiān)測）ANSI/ESD S6.1R2 Q新安裝5-10%ESD組員點檢記錄表監(jiān)測報警器產(chǎn)品說明書是否正常新安裝5-10%ESD組員點檢記錄表烙鐵ANSI/ESD S13.1Rt-g2 Q 尖端電壓 20 mV尖端泄漏電流10mA新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表離子風(fēng)扇ANSI/ESD STM3.1-35VVoffset35V衰減時間10S新購100%IPQC來料檢驗記錄表靜電毛刷等工具/、ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書Rp-p1x109 Q新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表包裝材料周轉(zhuǎn)用品ESD S541Rp-p1x1011 QRp-g1x1011 Q

16、新購5-10%IQC來料檢驗記錄表防靜電手腕帶ANSI/ESD S1.1R 內(nèi)1x 10 7q0.8 X106 QvR 腕帶線1.2 X106Q新購5-10%IQC來料檢驗記錄表6.6符合性驗證質(zhì)量管理體系的監(jiān)視和測量管理程序和符合性驗證測試要求定期進(jìn)行測試并記錄，由測試人員所在部門保存測試記錄。質(zhì)量管理體系的測量儀器校驗管理程序校準(zhǔn)檢定，以保證測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。質(zhì)量管理體系的不合格品管理程序處理。所有測試記錄根據(jù) ESD小組驗證周期（1年）提交到ESD工作組副組長完成年度體系運行驗證（內(nèi)審）。項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表防靜電鞋ESD TR 53鞋章節(jié)Rp-g3.5x107

17、q每日100%ESD組員綜合測試儀點檢防靜電手腕帶ESD TR 53腕帶章節(jié)Rp-g3.5 X107Q每日100%ESD組員綜合測試儀點檢監(jiān)視報警器產(chǎn)品說明書是否正常3個月100%ESD組員點檢記錄表手腕帶接地連 接件（非監(jiān)測）ESD TR 53接地系統(tǒng)早節(jié)R2 Q1個月100%ESD組員點檢記錄表烙鐵ESD TR 53焊接烙鐵早節(jié)Rt-g10 Q1個月100%ESD組員點檢記錄表包裝材料ESD TR 53包裝章節(jié)Rp-g1x1011 Q3個月5%ESD組員點檢記錄表靜電毛刷等工具/、ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書Rp-g1x109 Q6個月5%ESD組員點檢記錄表離子風(fēng)風(fēng)扇ESD TR 53離子化設(shè)備

18、章節(jié)-35VVoffset35V衰減時間10S1個月100%ESD組員點檢記錄表防靜電服/帽ESD TR 53服裝章節(jié)Rp-p1x10 11 Q6個月5%ESD組員點檢記錄表防靜電地面ESD TR 53地面章節(jié)Rp-g1x108 Q3個月100%ESD組員點檢記錄表防靜電工作臺防靜電貨架防靜電臺墊ESD TR 53工作表面早節(jié)Rp-g1x109 Q3個月100%ESD組員點檢記錄表移動設(shè)備（推 車、貨架）ESD TR 53移動設(shè)備早節(jié)Rp-g1x109 Q1個月100%ESD組員點檢記錄表防靜電工作椅ESD TR 53座椅章節(jié)Rp-g1x109 Q3個月100%ESD組員點檢記錄表注：公司防靜

19、電工作臺測量方法中“地”修正為“地面”。6.7接地項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表接地體ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書10 Q1年100%ESD組員點檢記錄表接地線ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書1 Q新安裝1年100%ESD組員點檢記錄表設(shè)備接地電阻ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書1 Q新安裝1年100%ESD組員點檢記錄表6.8人員接地項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表鞋/地面系統(tǒng)ANSI/ESDSTM97.1Rp-g1x109 Q新安裝100%ESD組員點檢記錄表（同時滿足）ANSI/ESDSTM97.2峰值電壓100V6.9 EPA所有處理沒有防靜電保護(hù)覆蓋或包裝的ESDS器件的區(qū)域均應(yīng)設(shè)置為

20、EPA，處理包含所有靜電放電敏感元器件的生產(chǎn)過程。區(qū)域設(shè)定包括工廠一樓倉庫電子料區(qū)域，一樓進(jìn)料檢驗電子料檢驗區(qū)域，一樓包裝車間，二樓生產(chǎn)車間，二樓維修室， 但生產(chǎn)車間內(nèi)辦公區(qū)域，更衣室，休息室，茶水間，衛(wèi)生間，非 ESD物料存放區(qū)域 等設(shè)為UPA（非EPA），具體見公司車間平面圖（區(qū)域隨生產(chǎn)可能變更，以 EPA界定 線為準(zhǔn)）。6.9.2人員管控絕緣材料測試章節(jié)測量出其靜電場強后，根據(jù)距離和靜電場強進(jìn)行管控。6.10包裝6.11標(biāo)記圖示1 （ ESD保護(hù)）圖示2 （ ESD驗證合格）圖示3 （ ESDS器件警告）6.11.3 EPA 標(biāo)記圖示4 （EPA入口）圖示5 （EPA地膠）7持續(xù)改進(jìn)1.

21、1 ESD小組應(yīng)組織定期/不定期稽核。1.2稽核過程發(fā)現(xiàn)的不符合情況及潛在問題應(yīng)總結(jié)分析，應(yīng)按不符合、糾正預(yù)防與持續(xù)改進(jìn)程序制定適宜措施保證 ESD管理體系的良好運行。8相關(guān)程序文件及記錄表單ESD敏感件清單文件管理程序記錄管理程序培訓(xùn)管理程序監(jiān)視和測量管理程序測量儀器校驗管理程序ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書不合格品管理程序不符合、糾正預(yù)防與持續(xù)改進(jìn)程序9參考文件除非特別指明，以下文獻(xiàn)的最新版本，修正或校正，作為本標(biāo)準(zhǔn)的部分特別補充。ESD ADV1.0, ESD Association s Glossary of Terms 術(shù)語ANSI/ESD S1.1, Wrist Straps 手腕帶ANSI/ESD STM2.1, Garme nts工作服ANSI/ESD STM3.1, Io nizatio n離子化ANSI/ESD SP3.3, Periodic Verification of Air loni zers空氣電離器監(jiān)測ANSI/ESD S4.1, Worksurfaces-Resistanee Measurements工作表面-電阻測量ANSI/ESD STM4.2, ESD Protective Worksurfaces-Charge Dissipatio n Characteristics 防靜電工作表面-消電特性ANSI/ESD S6.1, Grou