JRW設(shè)備介紹劉志兵學(xué)習(xí)教案

1、會計學(xué)1JRW設(shè)備設(shè)備(shbi)介紹劉志兵介紹劉志兵第一頁，共13頁。第1頁/共12頁第二頁，共13頁。JRW system：Jas Rework，即光刻膠重工裝置，其目的是，即光刻膠重工裝置，其目的是剝離需要重工的剝離需要重工的JAS有機(jī)絕緣膜裝置。先通過有機(jī)絕緣膜裝置。先通過I-UV單元對有機(jī)單元對有機(jī)絕緣膜進(jìn)行曝光，再通過顯影單元對曝光后的有機(jī)絕緣膜進(jìn)絕緣膜進(jìn)行曝光，再通過顯影單元對曝光后的有機(jī)絕緣膜進(jìn)行顯影，最后再進(jìn)過洗凈行顯影，最后再進(jìn)過洗凈(x jn)單元的清洗，從而達(dá)到去除單元的清洗，從而達(dá)到去除JAS有機(jī)絕緣膜的目的。有機(jī)絕緣膜的目的。1、JRW簡介簡介(jin ji) Pa

2、nel Flow: LD Conv. I-UV DEV UD System Tact: 180 sec第2頁/共12頁第三頁，共13頁。2、JRW LayoutLD/ULDSub ArmRotary StageI-UVDeveloper UnitRoller Conveyor Unit剝離基板上曝光剝離基板上曝光(bo gung)后的后的Jas有機(jī)絕緣膜有機(jī)絕緣膜對對Jas有機(jī)絕緣有機(jī)絕緣(juyun)膜進(jìn)行曝光膜進(jìn)行曝光17105mm第3頁/共12頁第四頁，共13頁。3、Piping Layout第4頁/共12頁第五頁，共13頁。第5頁/共12頁第六頁，共13頁。4、The OutsideL

3、D/ULDSub ArmRotary StageI-UVDeveloper UnitRoller Conveyor UnitIn stage unitI-UV unitDeveloperDeveloper RinseOut of stage第6頁/共12頁第七頁，共13頁。In stage Unit: 3 pin*5=15 pin31 roller.Roller Conveyor Unit：主：主要要(zhyo)包括包括3段，每段段，每段都有都有38 roller. I-UV Unit: 5 pin*5=25 pin第7頁/共12頁第八頁，共13頁。Rotary StageSub Arm：up

4、-hand & down-hand ，各各4 個個arm，各，各12真空真空(zhnkng)吸盤。吸盤。Stage Unit: 3 pin*5=15 pin26 roller，1個靜電個靜電(jngdin)消除器；消除器；第8頁/共12頁第九頁，共13頁。Dev. 1: 3鋼鋼+32白白roller，2個個Nozzle，每個，每個Nozzle上均勻分布上均勻分布5個顯影液（個顯影液（0.5%）管路）管路(un l)和和6個個CDA管路管路(un l)。Dev. 2: 39白白roller； Dev. 3：16白白+2鋼鋼+12白白+4鋼鋼=34 roller；第9頁/共12頁第十頁，共13頁。Rinse 1 & High Press RinseRinse 2Air Knife：11 roller;Out of stage: 3*5=15 pin；29 roller，1個靜電個靜電(jngdin)消除器。消除器。第10頁/共12