羅茨泵使用說明書

1、1 使 用 說 明 書2 目錄章節(jié)頁號重要安全考慮.5 1. 簡介 .9 1.1 設計和 功能 .9 1.2 標準 規(guī)格 .12 1.3 技術 數據 （si單位 ） .13 1.4 附件 .17 2. 運 輸和 貯存 .18 3. 安 裝與 連接 .18 3.1 安裝 .18 32 充入潤滑油.19 3.3 電氣 接線 .21 3.4 法蘭連接.24 4. 運行 .25 4.1 啟動和用戶指南（變頻器） .25 4.2 啟動 .33 4.3 運行 .33 4.4 停車 和貯 存 .34 4.5 垂直抽氣變?yōu)樗匠?氣 .34 5. 維護 .35 5.1 安 全須 知 .35 5.2 更換 潤滑

2、 油 .36 5.3 清理 風扇 罩和 冷卻 翅片 .37 5.4 清洗入口保護網.38 5.5 清洗 泵腔 .38 5.6 常規(guī)維護.39 5.7 萊寶維修.40 6. 故障信 息和故障排 除 .40 3 6.1 變頻 器上 的故 障信 息.40 6.2 故 障信 息 ，注 解 .42 6.3 泵 故障 排除 .44 符合 ec 聲明 .47 圖參 考圖 -例 如（ 1/2 ） ，依 次表 示圖 號 和序 號我們 保 留修改 設計 和給 定數 據的權 利其中圖例也不受限制4 萊寶維修如果 將 泵返回 萊寶 ，必須 說明 泵中 是 否 存在 對人體健康有傷害 的物質或是否已污染。如果已污染還要

3、說 明危害性 質。如果沒有污染聲 明， 萊寶必然 會將 泵 按地址返還給發(fā)貨者。廢油處理在 1986.11.1通過 的廢 物處 理修 正 法 案 （在 德意志聯(lián)系共和 國內生效 ）中對使 用 過的 油 的處 理有 新條款 。按 照廢物 處 理法規(guī) ，采 取所謂 因 果 律原則 ，因而 ，使 用過的 油的 擁有 者負 有正 確處 理這 些廢物 的責任 。來自真空泵的 使用 過的 油不 得與 其它 物質 相混合。來自真 空泵 使用過 的油 （萊寶 礦 物 油）， 由于 受 到 環(huán)境 大 氣 中氧 氣氧化 、溫度 上 升影響及機械磨損 已 受污染， 所以 必須 按使用 過油 處理規(guī) 程 進行 處理

4、。對受其 它物質污 染 的真空 泵 使用 過油 必須 做標識 ，按 特殊 廢物依 據污染 分類 貯存和 處理 。如果將 泵發(fā)往萊寶維修 ，必 須注明在 泵油 內或在 泵表 面是否 含 有有害物質。當 處理 使用過 油時 ，應遵 守 你所在 國 的安全規(guī) 程 。為 確保泵 從一開始就 一直保 持最佳工 作狀態(tài) ，我們 強烈建議您仔細閱讀本使 用說 明書 。該 圖標 表示 為 防止 人 員傷害必 須 嚴格 遵守 的規(guī) 程 。警告這個特殊 圖 標 警 示高 電壓 引起 的有 關 危險 。標 有這個 圖 標 的 蓋子 ，在 可 靠切 斷電 源后 只能 由經培 訓的 電工 拆卸 。警告表示 為 防止 泵

5、 損 壞或 破壞 而 必須嚴 格 遵守 的規(guī) 程 。警告在 本說明 書 內 強 調的 輔助 應 用信息和 其它 有用信 息 。注意5 重要安全考慮參照 本 說明 書 正 常 使用 時， leybold ruvac真空 泵 的設計能保 證 安全 高效 運行 。認真閱讀 、嚴 格遵 守本節(jié) 所 述 所有 安全 防 護 措施 ，以及 通讀 說明 書 是用戶 應 盡的責任 。本 產品 的 使用和 保 養(yǎng)只 能 由經培訓 的專職 人 員 進 行。有 關具體 要求 和規(guī) 范請咨 詢當 地 經 銷商 。有 關 任 何進 一 步 安全 使用和 / 或維 護問題 請咨詢 您最 近的 萊寶 真空 辦事 處。ruv

6、ac 泵 ws 2001 fc是按 當前 工 藝 狀況 和當 前有效 安全規(guī) 范 制 造出 來的，已通過生產廠家 安 全鑒 定。萊寶規(guī) 定的 工 廠缺 省設 定值 只有 經過 生產廠 家書面 批 準后才 能 更改。當 使用泵 時， 必須考慮 到潛 在危 險使 泵在 任何時 候都 處于 完好 工作狀態(tài)。警告不遵 守下述規(guī)程會導 致人 員嚴 重傷 害！ 不得 廢 止 安全 裝置 。 在對 ruvac 的 任何 維護 或維修 工作開 始前， 必須 切斷泵 所有 電源 。 泵 所 有 盲 板不 拆掉 不得 啟動 ，否 則會 造 成 嚴 重傷害 事故 。如果 必 須 將排 出氣 體收 集起 來， 注意

7、不 允 許 排氣 端過壓 。 不得以任 何方式堵塞排 氣的 氣流。 標準 型 ruvac 不適宜 工作 在 易爆場 所，此 類應用 需求請 與我 們聯(lián)系 。 首次 啟 動 前，電 機線 路必 須裝 有電 機保 護開關 ，請 注意本 說明 書中 信 息 或 電 機（ 線路 圖 中 的 注釋 ） 。 ruvac不適 合 抽 空 可燃 和 易爆 氣體或 蒸汽 。 放射 性 和有 毒物質 自 燃物 ruvac必 須 裝有系 統(tǒng) 控 制 電路， 以便 因 電 機溫度開 關致 使泵 停機 后 ， 泵 不 能自 動啟動 。 這 相6 當 采用應 急停 車電 路 。 在 確 定故 障原因 后 ， 泵應 手動再

8、 次啟動 。 人體 任 何 部分 都不 得 暴露 在真空 中。 如 果 未 連 接抽氣 管 線 或 進 口 無 盲 板 ， 不 得 啟 動ruvac 。 ruvac （包括 它 的附件） 工 作位 置 其 垂直 度 偏角 不得大 于 5o。ruvac的 位置 確定必 須 便于操 作所 有 控 制鈕 。 在一 定 環(huán)境 條 件下 ，ruvac溫度 可 高達 80 （176 ） ， 因而 有燙 傷危 險 。注意 泵 上指 示危險 圖標，如 果 是熱 泵， 要穿戴 所需 防 護服。ruvac噪聲 水平 低 于 72 db (a) 。采 取 適 當保護 措施 保 護您 的聽力 。警告 在 抽 空氧 氣

9、濃 度 高于大 氣濃 度（21%）的 氧 氣（ 或其它 高反 應氣 體 ） 時 ， 必須 使用 特 殊 泵 。這 種泵必 須進 行改 進 和 脫脂 ，必 須使 用 特 殊 潤滑油（ 如 pfpe） 。 ruvac 試運行 前 ， 必 須確 保抽 空介 質與泵 相 容，避 免出現 危險 狀態(tài) 。 必 須 遵 守所 有相關 安 全 標準 和規(guī)程 。 在正 確 連 接排 氣管 線 后 再使用 ruvac 。 必須 使 用 允許 的方 法 移 動 ruvac ，標準 泵 都有兩 個吊耳 。 不 允 許 通 過吸 入 口 吸 入 小 物 體 （ 螺 釘 ， 螺 母 ，墊圈 ，導 線頭等 ） ， 建議 使

10、 用入口 濾 網。 在 能 產 生 研磨 或 附 著 粉 末 或 冷 凝 蒸 汽 的 場 合 不要 使用該 泵， 因為 這 些 附 著 物或 高粘 性 物 能 留存 在泵內 。為 選擇 合 適 的 分 離器 ，請 與 萊 寶 銷售 聯(lián)系。必 須 避 免 可 冷 凝 蒸 汽 被 壓 縮 后 在 泵 內 形 成 液7 體 ，因為 當蒸 汽壓 力 大 于 泵 允許 蒸汽 分 壓 時 就會發(fā) 生這 種情 況。 抽蒸汽 之 前，ruvac 必 須 先預熱 到它 的 工作溫度 。泵啟 動后 約 30 分 鐘，泵就能 達到 它工作溫度 。預熱 期間 泵應 與 工 藝 系 統(tǒng)斷 開， 比 如 在 抽氣口 安個

11、 閥門 。 對 于 濕 氣 比較 重 的 工 藝 過 程 來 說 ， 我 們 建 議 在泵 上游和 下游 安裝 液 體 分 離 器， 防止大 量 液 體流 入泵 內 。 泵 必 須只 能在 環(huán)境 溫度 12-40 之間 運行 ， 必須 保證泵 產生的 熱輻 射 能 足 夠散 失掉 ， 尤 其 當泵 裝在封 閉系 統(tǒng)內 （ 柜 內 ） 時， 無論 如 何 環(huán) 境溫度 不得 超過 40 。 安 裝 排 氣 線時 要 使 其 向 下 傾 斜 ， 以 防 冷 凝 液 體返 流入泵 。 為防止 ruvac 的振 動 傳 到系 統(tǒng)， 我們 建議 在吸入和 排出 側使 用波紋 管 或補 償件。規(guī)定的應 用范

12、圍超越 規(guī)定 應用 范圍的 其 它應 用 被認 為是 違例，由 此導致 的損 壞， 用戶將 負 全 責。安全 規(guī)定服有 麻醉 劑、酒精 或使 人 反 應 能力下 降藥 物的人 員不得 對變頻器 做任何 工 作 。必 須 確 保 泵 只 能 由 資 質 或 經 培 訓 專 職 人 員 進 行 操作和維 護 。有 關 電 氣 設 備 工 作 只 能 由 專 職 電 工 按 電 氣 工 程 規(guī)范進 行操 作。電設 備必 須定 期檢查 。像 接線 松動 、電纜 損 壞 等故障必 須立即 修 復。有關 泵工作 人 員都必 須 熟 讀過 本說明 書 的內 容。只要 正確 執(zhí)行 有關安全 工作 事 項，就

13、能避免 人 員和變頻 器的傷 害 和損壞 。8 只有 在良 好工作環(huán) 境 和規(guī) 定應 用范 圍內 ，全 面 了解安全 事項 和熟 讀本說明 書 后，才能 使用 該 泵，特別是， 必須 立即 解決影響 安 全的 某些 缺陷 。該說 明書應 放 在手頭 或放 在安 裝有 泵的 地方 ，以 便隨時 翻閱 。如果 事先 沒 得到leybold認可 不得 對泵 進行 任 何修改 、添 加和 改型。除了 說明 書提供 的工 作安全 規(guī) 程外 ，一般 通 用安全及事 故防 護規(guī) 程也必 須遵 守。在任 何條 件下 ，都必 須遵守 泵 體上 貼 的告 示 及 圖標以及 有關 運行 標牌。不 得 將 它 們撕

14、掉，并 要 保 持干凈隨 時都 可閱讀到 。操作 和故 障排除必 須 明確分工 責任 ，以便 在 安全 方面沒有 責 任不 清事件 發(fā)生。9 圖 1 羅茨 泵剖 視圖（垂直 流）圖 2 羅 茨泵工 作原理圖（垂直流 ）1. 簡介1.1 設 計和 功能裝 有集 成變頻器 ruvac drive的 ruvac ws 2001 fc 是 由罐 裝電 機驅動 的羅茨 泵。ruvac ws 2001 fc 由合 成油潤 滑 或在 特殊 情況下 用 pfpe 油潤滑 。除了 潤滑油 ，即 合成 油或 pfpe 的不 同外 ，泵 結構 是相 同的。只 能使 用 ruvac ws 2001 fc pfpe 泵

15、抽 高于大 氣 氧含 量 氣體或危 險腐蝕 性氣 體。1.1.1 工作原理羅茨 泵 也稱羅茨 增 壓機 在 它泵殼 體內（1/3 ）有兩 個對 稱葉輪 （ 1/4 ）以相 反方 向旋轉 。葉 輪 橫截 面 近似 為 8 字，由 齒輪 驅動 同 步 相互 滑過 殼 體， 彼 此之間 與 殼體之間 不 接觸 但間 隙很 小。工作原 理見圖 2。葉輪 處 于位置 i 和 ii時 ，進 口法蘭 內 體積增加 。當 葉輪 進 一步 旋 轉 到位置 iii時， 一部 分容 積從 進口側 被封離 出 來。在 位置 iv時 ，這個 容積 開放 到出 口 側 ，前置 壓 力氣 體（高 于進 口 壓 力）10 流

16、 入。流 入氣 體壓 縮從進 口 側抽 過來 的 氣體體 積 。當 葉輪 進一 步 轉 動時，壓 縮氣 體通過排氣法蘭 排出 。圖 3 ruvac ws 2001 fc縱 剖 面圖 （ 水平流）兩 葉輪每轉 一 圈這 個過 程完 成兩 次。由 于在 泵 室 內 為 非接 觸 旋 轉 ， 所以 羅茨 泵 可 以 高 速運 行 （ 在 電 源頻 率 為50hz時 ，標準 n=3.000 rpm） ，因 此小泵 可獲 得相 對較 高的 抽速 。羅 茨泵 進 口 和 出 口之 間 的 壓 差 和壓 縮 比 是 受 到 限 制的 。 如 果 超 過允 許 壓差 ，泵 會過 熱。實際 上， 只有 在 粗

17、真空 范圍 內（ p 10 mbar ） 最大 可獲 得壓 差才 有意 義 ，而 在高真空 范圍（ p1 mbar ） ， 獲 得 的壓 縮比 是 一 定的。ws 2001 fc ruvac 泵 明確 設計 的 使 用范 圍為 粗 和 精真空 。因 此 它 們既可 以與 前級泵 聯(lián)用 ，也 可以進 行 密閉 氣體 循環(huán) 使用。泵功 率 消耗 取 決于 ：11 泵 室體 積 泵 旋轉 速度 現 有壓 力范 圍 進 口和 出口 法蘭 之間 壓 差（ 見圖 7 ） 所 抽氣 體類 型1.1.2 設計羅茨 泵 可以以 水平 或垂直 方 向抽 送氣 體。羅茨 泵泵 室 內雖然 沒有 密封 劑 和 潤滑

18、油 ， 然 而 同步 嚙 合 （3/1 ） 的兩 個 齒輪 和軸承 是用 合成 油或 pfpe 潤 滑 的。 ruvac 的 齒輪 和軸承 位 于含 有 油的 兩 側室 內。這 兩個 側室 與泵 室 由葉輪密 封（ 3/3 ） 隔開 。泵運 行期間 ， 側室 通過 葉輪密 封抽 空。側室 通過 兩個 通道（3/12 ）相互 連接 。安排 這兩 個通 道目 的是在 垂直 流或水平 流 時，兩 油室 之間 的壓 力相 平衡 。在 兩側 室內有 集成 油泵 從而 保證 所有 推薦 轉速 下 ，軸承 和齒輪 都 能有 足 夠潤滑油 。ruvac ws 2001 fc由 罐裝電 機借 助 于 集成 變頻

19、器 -ruvac drive驅動 。這 種電 機， 轉子 與定 子繞 組（3/6 ）被 非磁 性材料 制 作的 密封 包套 （3/7 ） 分隔 開。 轉子與泵 驅 動軸 上（ 3/10 ）在 真 空 下轉 動， 避免 軸與 大氣接 觸。變頻器直接裝到密 封電 機上 ，因 此能獨 立控 制泵 速與 負載 大 小無 關，其 頻率 最高 可調 至 100 hz 。如果 超 載，泵 會自 動根 據 其 特定 負載調 整轉 速。這可 防止泵 過熱 或 機械 超載 。只 有消除 超載 原因 后， 才會將 泵 控制在 預 先選 定的 額 定轉 速。對 于這些 頻率 的電 氣接線 數 據見 第 1.3 節(jié) 。

20、電 機定 子繞組 內裝 有熱 保開 關， 當電 機溫度 太高時 熱 保開關 將 泵停 機。ruvac ws 2001 fc 是 空氣 冷卻泵 。 冷卻電 機 和泵 的氣流 是由 電 機 風扇罩（ 3/8 ）內 自帶 驅動電 機的 風扇 （3/9 ）產 生的。當心： 當 泵 通過 變 頻器 控 制 運轉 時，你 必須 確保風 扇 驅動電 機已 連接 到電源 上。1.1.3 潤滑 油12 標準 ruvac ws 2001 fc運行 使 用合 成油 或 特殊 氟 化物 油（ pfpe） 。當心： 由于 合 成油 與 pfpe 相 互接 觸 時 會乳 化， 因而 對實用 情況 下的 泵 只能 使用規(guī)

21、定的 潤滑油 。如果 你 要更換潤 滑油 類型 ，應該由leybold進 行更換 。泵 若用 合 成 油， 我們 建議使 用我們 的 真 空 泵油anderol 555 ， 泵若 使 用pfpe，我們 建議 使用 我們的 nc 1/14（在 美國 為 he1600 ） 。pfpe 泵在 注油 塞處 標 有 輔助 紅 色標 記。當心 ：使 用說 明 ga07.009-pfpe油 真空 泵 ，附 在 ruvac ws pfpe中，應遵守本 說明 書總 結的 使用 pfpe 注意 事項 。1.1.4 法蘭連 接泵 體的 鑄造法蘭 符合 din 2501， 額定 壓 力 6 。泵 有 iso-k環(huán) 法

22、 蘭 。在 全世界 范圍 內都 能使 用 這 種標 準連接件。1.2 標 準規(guī) 格如果不 特殊要 求水 平流 ，作 為標準 泵 都按 垂直 流 供 貨 。交 貨前 油已放 出，所用的合 成 油 或 pfpe 油另 外包 裝 后 隨泵 發(fā)送。在泵 上，每 個密 封盤、 盲法 蘭和 iso-k環(huán)法蘭 都 裝 有必 須 的螺 栓 數 目。所有 泵入口法 蘭都 裝有 絲網保 護網 ， 泵內 充注氮 氣 以防 腐蝕 。圖 4 ruvac ws 2001 fc尺寸圖13 圖 5 在 50/60hz下抽速 特性 曲 線，極限壓 力 （pult ）取決 于 使用 的前 級泵圖 6 50hz運行 ruvac w

23、s 2001 fc 表觀 功 率消耗 曲 線1.3 技 術數 據 （ si單 位 ）1.3.1 ruvac ws 2001 fc ruvac ws 2001 fc anderol 555 ws 2001 fc pfpe 按 din 28 426，在 100hz下 額 定抽 速m3 h-14100 100hz下 最大 抽速 在前 級泵抽 速 為時m3 h-1m3 h-13400 630 ruvac ws啟動 壓力 在前 級泵抽 速 為時mbar m3 h-11013 630 50hz連續(xù)運行 ，最大 允許 壓差1）mbar 402)352)整 體 漏率mbar l s-1 1 10-414 ru

24、vac ws 2001 fc anderol 555 ws 2001 fc pfpe 允許 環(huán)境溫 度（anderol 555和 pfpe）12-40 電 機 風扇 允許 電 壓1 230 v ( 5%) /50/60 hz 變頻器電源電 壓3 400 v ( 10%) at 50/60 hz 電 機 功率 ，50 hz kw 7,5 額 定 轉速 ，50 hz rpm 3000 最大 允許 轉速rpm 6000 en 60 529的保護 等級ip 20 注 入潤滑油3） pfpe- 垂直 流 抽空- 水平 流 抽空 合成 油- 垂直 流 抽空- 水平 流 抽空l l l l 1.fillin

25、g4)/2.filling ca. 3.3/ca. 3.0 ca. 2.2/ca. 2.0 1.filling4)/2.filling ca. 3.0/ca. 2.7 ca. 1.8/ca. 1.6 重 量 ws 2001 fc kg 465 環(huán) 法蘭dn 160 iso-k 噪聲水平5）按 din 45 635，part 13 db (a) 50 hz運行 低 壓差 見 1.3.2 使 用極 限。15 3 ）由 油位 視窗 油位 決定見圖 9.1 和 9.2 。4 ）在 完成拆 卸 清洗 和組 裝后 首次注 油 。5 ）在 工作壓 力 10-1 mbar下 。1.3.2 裝有 anderol

26、和 pfpe 油 ruvac ws 2001 fc的 使用極 限變 頻器 根 據 電 機 最大 連 續(xù) 工 作 電流 控 制 泵 轉 速 。 于是 當 使 用 具 有抽 速 為630m3 h-1的前 級泵 screwline sp 630時， 壓差 列出 如下 。當 使用 其它真空 泵 時，將 得 到相應 不 同最大 壓差 。ws 2001 fc-anderol 555 ws 2001 fc-pfpe cat. nos. 155 020 155 030 頻率轉 速最大獲得 壓差最大 獲得 壓 差hz min-1 mbar mbar 50 3000 40 35 60 3600 35 33 70

27、4200 30 31 80 4800 30 29 90 5400 25 27 100 6000 25 25 ruvac 油位油位 視窗 中部-6 到-8 mm 油位 視窗中 部0/+4 mm 前 級 泵 sp 630抽速630 m3? h-11.3.3 ruvac drive（集成變 頻器 ）參數參數值額 定電 機功 率7.5 kw 最大 連 續(xù)電 流18.5 a （內 部）測 量線 路（ 按 iec 990/5.1）9.5 ma 16 參數參數值最大 漏 電（ 按 en 50178）電 源連接電 壓3ac 400 v ( 10%) 在 50/60 hz下推薦 電 源熔 斷器20 a 輸 出頻

28、 率10 hz-100 hz 電 源側 電纜 最小橫 截面在 20a電源 熔斷 器下 2.5 mm2電 源側 電纜 最大 橫 截面線箍 4 mm2單股 線 6 mm2最大 橫截 面信號 電 纜/ 繼 電器1.5 mm2頻 率響應0.1 hz 時 鐘節(jié) 拍頻 率15.6 khz 冷卻電機 風扇冷卻風 溫度最高 40 ， 不含 潮濕腐蝕 性 氣 體儲 存溫度-20 至 +70 ，不 含 潮濕 腐蝕 性氣體空 氣濕 度小于 90% ，無 冷凝安裝 海拔 高 度高于 海平 面 1000m以 內保護 類 型/ 變頻 器ip 54 保護 類 型， 頻率控 制電 機ip 20 變 速上升 5 hz/s 下降

29、4 hz/s 對短 周期（ 太慢 ）不 得使 用變頻器。 變頻 器不得 代替旁 通 線。電氣保護短路 保護 ，防 對地 短 路電源缺 相 保護干 擾電 阻按 en 61000-6-2工業(yè)， 見下干 擾發(fā) 射按 en 50081-1通用 發(fā)射 標準 ，見 下輸入 控 制電 壓數 字輸入3 輸入0v 為 log 0 24v 為 log 1 （電 壓范 圍 12-30 v）17 參數參數值模擬 量 輸入模擬 量輸 入 1： 0-10v分 別為 0-20 ma （ ri=2 ohm ） ； 和 4-20 ma(ri=2 ohm) 模擬 量輸入 2： -10-10v （ri=10 ohm ）模擬 量 輸

30、出0-10v （最大 10ma 外 負 載 ）電 源電 壓數 字+24v （最大 50 ma外負載 ）模擬 量+10v（最 大 10ma 外 負 載）信號輸 出sbm 收集 的運 行信息 繼電 器輸 出（常 開 1a/250 v）ssm 收集 的故 障信息 繼電 器輸 出（常 閉 1a/250 v）串 行接口rs 485 （雙 聯(lián)- 半）重 量約 6.5 kg 外 尺寸a=175 mm ；b=224 mm；c=312 mm 1.4 附 件訂貨號ws 2001 fc成套 密封墊194 74 油壓開關194 82 放油裝 置 （m16 1.5 ） 帶 90 o 排 油接 頭200 14 271 壓

31、力 開關 ps 115 （不銹 鋼） 可調 整的160 04 ps 115 的附 加附件轉換接 頭彎管 dn 16 kf 中央 定位 環(huán) dn 16 kf，2x 夾環(huán) dn 16 kf， 2x 168 40 184 36 183 26 183 41 18 轉換 放大 器 sv 110 230 v160 78 pfpe nc 1/14，1l pfpe he-1600, 2 lb anderol 555, 1l 177 38 898 564-1 200 10 272 2. 運輸 和貯存羅茨 泵 是由鑄 鐵 制 成的 重型 機械 ，為 此只 能 用適 當起 重設備 系在 專 用 吊耳（7/3 ） 進

32、行 搬運 。泵運輸 前，先 把油 放出 來（ 見第 5.2節(jié)） ， 然后 把放 油螺塞 擰回 去 ，將 殼體上的 油滴擦 干凈 。泵 應以 水平位 置運 輸和 貯存（ 縱軸 最 大只 能傾斜 5o） 。否 則 側室 油 就 有可能 進入抽 空室 ，即 使泵 首次 注油 前也 要保 持水 平位 置 。當 泵長 期擱置 不用 時，應 該 用隨 泵提供 的薄圓 盤 將泵 法蘭 封 住 。如果 需要的 話在 泵室內 放一個 盛 干燥 劑的 包。再 次使 用泵 時，不 要 忘記先 把這個 包 拿出來 。注有 pfpe 油 的泵應該 密 封后 ，充 氮 封 存。必 須保 護電 機 區(qū)（風扇 和電 機法蘭

33、接 縫） 防止 灰塵 和 水落 入。3. 安 裝與 連接只 有在 泵安裝 完后 再向 內部 注油 。對 于 ruvac ws pfpe還 要遵守 說 明書 ga07.009提供 的 附 加規(guī) 定。3.1 安 裝將 ruvac ws/wsu泵安 裝 在平滑 的 水平 面 上（ 最大 傾角 5 o） 。泵 如果不 水平 ，潤滑 油 可能 從 齒 輪傳 動 室進 入抽 空室 。為冷卻 電機，進氣和 排氣 通道應 保持 暢通 （相 對風扇罩 最小 間隙 ，見圖 4） 。泵 環(huán)境溫度應保持 在 12-40 之間 。低 溫影 響啟動 ，高溫 會 縮短 換油 周期 并導 致較大磨 損 。當心： 泵只能 安裝

34、 在室 內地 板上。 電 機和 風扇罩 保護 等級 為 ip 20 ， 因此19 要 防滴 水和 冷凝水 。泵要 固 定。為 此在 機座上 有 4 個 地腳孔 。當心： 將泵用 螺栓 固緊 到地 基上 時， 其泵 殼體 不得存 在任 何 應 力和 扭曲 。泵 上應 力會改 變葉輪 與 泵殼 體之間 的 緊公 差從而 導致 泵損 壞（為 了調 整可 使 用墊圈 ） 。警告由于 補償件 必須 加 在 吸入口 和 排 出 口法 蘭，因 此 必 須固緊 地 腳 螺釘。使 用下 述螺釘 。ruvac ws 2001 fc： 4 m 16 3.2 充 入 潤 滑油泵運 轉 必須的 潤滑 油， 以單 獨容

35、器提 供。當心： 泵靜止 ，泵 溫為 1525 時， 向泵 內充油 。將 加油 螺塞（ 13/3 ） 擰下 來 ，加 入潤滑 油 。泵 必須 使用無 添加劑 ， 粘度 等級 為 iso vg 100（ 以前 為 sae 30 ）的 油。推薦 使 用我們 專用 油 anderol 555。作 為 pfpe，推 薦 使 用我 們的 nc 1/14 。如果 你 的泵要 使用 其它 油 或 特殊潤滑油 ，請向 我們 咨詢 。當心： 按圖 8.1 和 圖 8.2 ，將 油 注 入到要 求油位 。如果 油位 太低 ，軸 承和 齒輪 潤滑 不充 分，如果 太 高 ， 油會 進入抽 空 室。清理 干凈 注油

36、孔， 將螺 塞連 同完好 密 封墊 重新裝 回。注 油孔 必須有 良好 氣緊 性。外 部空 氣 進 入會使 含 油氣 體通 過 葉輪 密 封 進入抽 空室 。20 圖 7 接 頭 和 控制圖 8.1 裝有 anderol 555油的 ws 2001 fc油 位 視窗 油位圖 8.2 裝有 pfpe 油的 ws 2001 fc油 位視 窗油 位21 圖 9 打 開 接線 盒3.3 電 氣 接 線警告電 氣 安 裝 和 使用 時 ， 企 業(yè) 主和電 工有 責任 嚴 格 遵守 國家 和 地方 安全規(guī) 程 。例如， vde 0100規(guī) 程“ 額定電 壓低 于 1000v的動 力 設 備安 裝” 。在

37、全 部 接 線 過程 中 ，必 須 確保設 備供 電線 與電 網可 靠斷 開 。電 氣接線 工 作只能 由經培訓 的電 工按 照 標準 en 60204國 際系 列 指 南 進 行操 作 、 操 作 者負責 實施 與能 源 相 關的 所有 保護措 施 。在 系 統(tǒng)上必 須完 備所 有這 樣的 防 護 措施 。當心不 需 要 單獨 地電機 保護 開關 。變頻 器裝 有過 流 限制 器 。接線必 須 確 保 電網 額 定 值 符 合 銘牌和 技術 數據 章 節(jié) 給出 的電 壓 和電 流值 ，必 須使用 1 級 60/754線 銅電纜 ，在 技術數據章節(jié) 中 給出 了電網 連接電 纜 所需允 許 電

38、線 橫截 面。注意必 須 使 用接 線盒內 現有 的接線 配 件。警告當 把 變 頻 器 連接 到 電網 電 源時 ，即攜 帶有 危 險 電壓 。對 變頻器 進 行 所 有 工作 之 前 和 期間 ，必 須切 斷電 網電 源防 止意 外 合閘 。 否 則會 導致人 員死 亡或 設備 嚴重 損 壞 。22 圖 10 變頻 器和 電機風 扇 電源 接線 圖23 當心： 內 裝風 扇是 由單 獨 單 相電 機驅動 的，因 此 不能用 它作 為泵 旋轉 方向指 示器 。風扇 轉 向與泵 轉向 無關 ，將 電源 線換 相時 不會 改 變風 扇轉 向。不 允許 將風扇 連接 到接 線盒 內電 機端 子。風

39、 扇必 須單 獨接線 ，把 它 的 電纜連接 到 230v ，50/60 hz電源 。如 果不 是這個 電壓 ，必 須使 用變 壓器 。使 用壓 力開關 和接 觸放 大器 sv 110 通過 接觸 器 就 能自 動啟 、 停 ruvac（ 見第 1.4 節(jié)） 。壓 力開 關 ps 115 的 閾值 可 自 由調整 。對所有 壓力開關 來 說接 觸放 大器 是相 同的。根 據需 要，壓 力開關 和接 觸 放大 器可 加防 爆保護 。拆掉 螺 塞后 ， 壓 力開 關（7/8 ）連 同接 頭。 （ 7/11 ） 和 直角 彎頭 （ 7/10 ）都 能安裝 在鏜孔 （ 7/6 ） 中。安 裝時 ，要保

40、 證良 好密 封和 安裝氣 密 性。開關最 好垂直 安裝 ，可 減少 通道 污染。警告由 于 對 地的 漏電流 可超 過 35 ma ，所 以 變頻 器 必須 按照國 家和 地 方 規(guī)范 接地。導 線 橫截 面 必須至 少為 10mm2或者必 須 由兩根 單獨 接 地的 導線 組 成 。必 須 提 供一 個連接保護 地線 不中 斷接 頭24 3.4 法 蘭連 接當心： 即 使少 量液 體（ 來自 真空 室或管 道）也 會在 泵 內產 生傷害 。它 會引起 葉輪 變形 甚至使 泵完 全損 壞。按 要 求在引 入管 線內采 取 適當防 范 措施 （ 分離器三 通） 。警告如 果不 加其 它保護 ，

41、ruvac ws 2001 fc泵不 能抽 易燃易爆混 合物 。如果 仍 然 用 在這 樣 環(huán)境 中 ，客 戶自己 必須 按照 應用 法規(guī) 要 求采 取 防 爆措 施（壓 力監(jiān) 視器 、阻 火器 等 ） 。沒有 防 爆密封 電 機 （溫 度等 級 t3 或 t4 ） ?？?向我們 咨詢 一些建 議 。當心 ： ruvac ws用 氮 氣保 護 。只 有 在 連泵 前， 才可拆 除 包裝法 蘭。如 果一 開始 沒拆 卸， 則從 法蘭 （ 7/5 ）和 （7/1 ） 上拆 掉保 護運輸 罩 ， 紙盤 ，薄 板或包 裝法蘭 。如果 近 期要將 泵貯存 起來 ， 我們 建議 你把 ws pfpe的運輸

42、法 蘭保 留 下 來備 用。將 法蘭 弄干凈 ，檢 查密 封面 是否 完好 。將 泵通過 法蘭連 接 到真空 系 統(tǒng)。當心： 當 安裝 進氣 線和 排氣 線 時 ，在 泵 殼 體上 不 要產 生 任 何應 力。為 了避免 這種 應力， 可裝 配補償 件 。當 把泵（ 無栓 接腳）直接裝 在前級泵上時，羅茨 泵出 口必須裝 滿法蘭標準規(guī)定的 螺栓（iso-k，din或 asme ） ，而且使 用的螺 栓必須符合 要求 的等級規(guī)格 。你 還必 須檢查 前級 泵是否 堅 固，在 各 種情 況下它 都 能 足以 支撐 ruvac 泵的 重量 。當來自真空室 或管 道內 污物 可能 進入泵 造 成污染

43、時 ，在進口法蘭 上必 須裝入 隨泵 提供 的 保護網 。即使 在潔 凈 真 空工 藝 過程 中，在 初 次啟動 時系 統(tǒng) 內 污物也 可進 入泵 。 根據 工作 條件 ，保護網 會在 一定 程度 上 降低 泵抽 速。按 第 5.1 節(jié) 提供 的 規(guī)程 維 護 泵。25 圖 11 操作面 板4. 運行4.1 啟 動 和 用 戶 指南 （ 變 頻 器 ）4.1.1 操 作 信息為 了輸 入變頻 器 設 定值 備有 一個 菜單 。關于這 種用戶 指南 ，變 頻 器 顯示 器指示 各種 設定參 數 。用顯 示器 側 的 工作鈕 （旋轉 編碼 器） 選擇 ，調 整和 翻閱 各級 菜單 。4.1.2 工

44、作 鈕（ 旋轉 編碼 器）可 以以 四種不 同方 法操 作工 作鈕 ： 旋轉 旋 轉和 同時 按 短 暫按 3 秒旋轉旋轉 工 作鈕能 調整 最低 分辨 率選 定值 。通過 旋轉 工作 鈕還能 選擇 要 修 改的參 數（ 見第 4.1.4 節(jié)） 。旋轉 和 同時按通過 旋 轉和同 步按 工作 鈕能 調整 高分 辨率 選擇 值 。26 圖 12 所有 使用 的縮寫 和符號顯 示短暫按 （3 秒 ）通過 長 時間按 工作 鈕，將 退 出當 前菜單 ，再 次顯 示先 前 菜 單，不 會 移 出鍵入 的任 何值 。4.1.3 顯示顯 示器 用作顯 示參 數工作 模 式、 運行 模式 和可能 發(fā)生的 故

45、障 狀態(tài) 。 現 有能 選擇 的 項 目總 在閃 。如 果在 顯示器 左面 ，字 符 顯 示閃 爍， 就 能通過 旋轉 工作 鈕進 行項 目選擇 。 如果在 顯示 器右 面，數 碼顯 示閃 爍，就 能通 過旋轉 工作 鈕 修改 顯示 值。在 下表 詳細介 紹了 所有 顯示 項目 。27 顯示器 上各 符號 名 稱28 顯示模 式29 4.1.4 選項 的選 擇交 貨時 ，變頻 器設 定在 顯示 模式 d。 旋轉 工 作鈕 ，能 選擇 不同 選項 。如果已 達到選擇 菜 單的 最后 一個 選項 ， 隨 后再 出現 菜 單清單 的第 1個選項 。短暫按 （3 秒 ）長 時間 按工作 鈕，將 退 出

46、當 前 菜 單，如果 不 移出 已鍵 入 值 ，將 再 次 顯 示先前 菜單 。轉入顯示模式短 暫按 工 作 鈕就 能轉 入顯示 模式 。 當 轉 入 顯示 模式 時， 當 前 設定 點被 “ 凍結” 。在 顯示 模式不 能修 改設 定點 。轉入選擇模式只 有在 設備靜 止期間 （泵 內 轉 子 不轉動） 才 能轉 入選擇 模 式。在 常規(guī) 運行模 式下較 長時 間按 工作 鈕， 然后 就能 進入 選擇 模式。4.1.5 運 行模 式變頻器 可工作 在三 種運 行模 式中的 某 一模 式： 通過 工作 鈕 轉速 控制 1 基 于傳 感器 控制 / 模擬 信 號控 制的 轉速控 制 2 遠 程控

47、 制運行 （ 當前不 可用 ）4.1.5.1 通過 工作 鈕 的轉 速 控 制 1 （ ec）在 這轉速 控制 運行 模式 下，通過 工作 鈕 直接設 定 轉速 。變頻 器工 廠 設 定的最 小和 最大 轉速 分 別為 600 rpm和 6000 rpm（10100 hz） 不得 更改。4.1.5.2 基于 傳感 器 控制 （ 外 部傳感 器） / 模擬 信號控制的轉速 控制 2 與 傳感 器有關 的控 制模 式用 來控 制壓 力或 不同應 用 規(guī) 定的 控制 量。這得 通過 外部 傳感器 或通過 連 接模擬 信號 源 的外 部控 制信號 源來 實現 ， （ 見圖 10 給 出的 端子 功能

48、分 配圖或 第 4.1.5.2節(jié) 中給 出的例 子） 。為 此，在 打開 變頻 器外 罩之 前必 須將 泵（變頻 器） 完 全斷 電。注意 第 3.3 節(jié) 給出 的安 全規(guī) 程。詳盡 的 方法如 下：30 切 斷變頻器 所有電 源！ 拆 掉變 頻器 外罩 拆掉 跨 接片（ 見 圖 10 ） 重 新將 變頻器 外 罩裝好 。 通 電。 開始 時 主動 輪保 持靜止 ，即 泵內 旋 轉 葉輪 不轉 動 。如果不 長時 間暫停 ，必 須 迅 速操 作 如 下所 示工作 鈕 （編 碼 器 ） 。 否則 變頻器 將自 動回復 到它 的最高 級 菜單 ，必 須重 復項 目過程 。 在 變頻 器顯 示器 上

49、指示 最新 額定 頻 率 按 工作 鈕超 過 3 秒 將 顯示 子菜 單（ 見第 4.1.3 節(jié)） m閃爍 于 是開始 運 行直 到通信 圖標31 按 工作 鈕大 于 3 秒 m閃爍 旋轉 工作 鈕 直 到 顯示器 出現 p 為 止 短 暫按 工作 鈕 f閃爍 旋轉 工作 鈕 直到 顯示器 上 a1 （模擬 信號 1）閃爍 短 暫按 工作 鈕 通 過旋 轉按 鈕選 擇所需控 制 信號a1 0 10 v 閃a1 2 10 v 閃a1 0 20 ma 閃a1 4 20 ma 閃 短 暫按 工作 鈕與 以確認 f閃 爍當心 ： 變頻器 菜單 上的 參數 不得 更改， 否 則可 能引起 泵故 障 。這

50、種情 況 leybold不承 擔保修 。 按 工作 鈕大 于 3 秒 ， 以選 擇更高一 級 菜單 再 次按 工作 鈕大 于 3 秒， 選擇更 高一 級菜 單 于 是重 新建 立初 始顯示 ，即 0 hz閃爍 切斷 變頻器所 有 電源 ！ 拆 變頻 器外 罩 重 新插 入跨 接片 （見圖 10） （ 保證 最低 轉速 為 600 rpm）f=10 hz 重 新裝 好變 頻器 外罩 于 是變頻器 / 泵 隨時 都可 以在 模擬 輸入 1 選定 的量下 控 制運行 。注： 按圖 10 重 新插 入跨接 片時 ，最 低和 最高 轉速 已設定 好，泵受 到保護 。4.1.6 泵 系 統(tǒng)控 制器 內故

51、障和狀 態(tài)信息 匯 總如果 想 要集中 泵系 統(tǒng)控 制器 內來自 變 頻器 的故障和 狀態(tài) 信息 ，必 須詳 見 下述 接線 圖。如 圖所 示給 出 了繼 電器 轉換功能 。32 圖 12.1 泵系統(tǒng) 控 制器 內 集 成變頻器 的端子分 配圖4.1.6.1 ssm （ 收 集 的故 障 信 息）當 發(fā)生 故障 時 ，ssm繼 電器動 作 。否 則只 有當 超過最大 啟動 次 數和 變頻器 最后 關斷時 才動 作。圖 12.2 輸 出故障 信息 時 ssm 繼 電器 的端子 功 能分配 和轉 換功能4.1.6.2 sbm （ 收 集 的運行 信 息）當 電機 正運行 時， sbm 繼 電器 將

52、切 換。33 圖 12.3 輸出 運行信 息 時 sbm 繼電器 端 子功能 分配 和 轉換 功 能4.1.7 串行 接 口 （當 前 不 可用）串 行接口用 來 與變 頻器 通信 。通過 串 行接口能 修 改變頻 器 參數 。按照 eia rs 485標準 ， 接 口 備有雙 線排 列。 缺省 設 置的 傳輸速 度 為 9600波 特。變頻器 只用作 從設 備用 。控 制 器 提供主 功能 。至 多，一個 主 設備 和 三 個從設 備是 可能的。 從 設備 內 uss 地址 參數 識別 。4.2 啟 動ruvac ws 2001 fc可 在大 氣 壓 下與前 級泵 一起 啟動 ?？?制泵 的

53、集成 變頻 器保護泵 ，以 避免 過高壓 差。4.3 運 行警告泵 法 蘭 沒連 到真空 系統(tǒng) 時，不 得 啟動泵 。在 真 空 下 或 泵 仍 運 轉 時 不 得 松 開 吸 入 口 和 排 出 口 法蘭 螺釘 。ruvac 運 行期間 ，隨 時檢查 潤 滑油位 和潤滑油狀 況。按 要 求 修正 （見第 3.2 節(jié)） 。 泵油 anderol 555正常顏 色 為 黃色 ，如果 它變 深 ，這 是 由于溫度 過 高 造 成油過 早老 化的 癥兆 。 如果使 用 pfpe， 它 不會 老 化。當心只 在 設 計規(guī) 定運行 條件 下使 用羅茨 泵 。如果 長 期 修改34 運 行 參 數（ 例

54、如進 口壓 力、進 口 溫度、 羅茨 泵和 前級泵 之 間 壓縮 比）都 會使 泵 承 受不 允許 的 熱 負載。如果不 采 取 措 施 補 償 溫 度 升 高 會 損 壞 羅 茨 泵 和 / 或 前 級泵 。警告在 正 常運行 時，油 室內 和壓 力側 管線內的 溫度 都可 能超 過 80 。 當摸 這些 部位 時，有 被燙 傷危 險。要 注意 泵上的 提示 標牌 。在 真 空 下或 泵正在 抽空時 ，不 得 打開注 油或排 油 螺塞（ 圖 13 ） 。否 則油 會噴 出。4.4 停 車 和 貯存注意我們 建議 裝有 pfpe 的 ruvac 在 吸 入口 關閉下 繼續(xù) 運行（ 例如過夜 ）

55、 。這 可以避 免 停 機期 間生 銹腐 蝕 。關 閉羅茨 泵與 真空 系統(tǒng) 之間 閥門 。先 停羅茨 泵， 再 停 前級 泵。在 抽含 有腐蝕 性氣 體后 ，系 統(tǒng)應 用干燥 保護氣 體（例如 氮 氣） 破 空，以 防止 停機 期間 腐蝕 。當 停泵 并從系 統(tǒng)拆 下時 ，最 好將 連接 法蘭 密封住 。警告將泵 從真空 系 統(tǒng)拆 下之 前， 必須切斷 它 的電 源。ruvac pfpe從 系統(tǒng)拆 下 之 前，必 須用 氮 氣吹 洗并密 封。泵運輸和貯存，必 須遵守 第 2 節(jié) 提 供 的原則 。4.5 由 垂直 流 變 為 水 平流如果 不 提出水 平流 要求 ，垂 直流 為 ruvac

56、ws/wsu標準 供貨 類 型 。然而 羅茨 泵可從 某一 種流 向轉 變?yōu)?另一 種流 向。為 此按如 下方 法進 行：將 潤滑 油（ 13/2 ）放出 ，然 后把 放油 螺塞 再 擰 回原 處并 擰 緊 。拆掉 泵腳 ，如圖 4（ 尺寸 圖 ） 所示 將泵 旋轉 90 o。 按新 流向 固緊 泵腳。35 注意泵縱軸 必 須保 持水 平， 從而 防止 殘 余潤滑油 從側室 流 入泵 室。充入潤 滑油（ 13/3 ） ；見 第 3.2 和 5.2 節(jié)） 。如果 裝 有壓力 開關 ，重裝 使 它垂直 朝 上。5. 維 護5.1 安 全 須 知以 下所 給安全規(guī) 程 適用 于所 有維護保 養(yǎng)工作

57、。警告拆解 泵之 前， 切斷 電源 。確 保泵不會 突 然啟動 。如果 泵抽 過有害 物 質， 要確 定危害 性質，采取必 要安 全措施 。遵守 所有 安全規(guī) 程 ！如果 你把 泵發(fā) 往 leybold維修 ，請 說明 泵內或 泵表 面 有 無有害物 質。 為此 要 填 寫 我 們 印 制的 “ 污 染 聲 明” 表格 。該 表 格 我 們可按 需要 提供 。我們 接收 的任 何泵 ，如 果沒 有污 染聲 明或 填寫 不 完整 ， 我們 都會延遲 維 修。當發(fā) 運當 局批 準的 污染 泵時 ，必 須 按應 用規(guī) 范包 裝和 發(fā)運 。當心本節(jié) 所述 所有 維護和清 洗工作 必須 由專職培 訓工作

58、 人 員進 行。當處 理使 用過 潤滑 油時 ，請 按有關環(huán) 境 規(guī)程進 行 。維修保 養(yǎng) 不善 會影 響使 用壽 命和 泵性能 ， 當 申請 保修 時 也會 遇到麻 煩。這里 不介 紹高 級維 修工 作，這 種工作 留給 leybold維修 部門 。我們 很 高興的 指 出 ，leybold可 提供 ruvac泵保 養(yǎng)維護 、維修和故障排除 培訓 教程 。進一 步 詳細 情況 按需 提供 。36 圖 13 更換 潤 滑 油5.2 更 換 潤 滑油警告當所 抽氣 體氧 濃度 大于大 氣 氧含量 （21%氧） 時（或其 它高 反應性 氣體 ） ，必須 使 用 專用 泵。 這樣 的 泵 必須 加以

59、改 進 并 脫脂 ，必須 使用 隋性 專用潤滑 油（ 如 pfpe） 。遵守 第 5.1 節(jié) 所給 所 有安全 須 知。在 潔凈 運行 條 件下 ，軸承 和 齒輪 磨損 幾 乎不 消耗 潤滑油 。我們 建議 泵 首次運行 500 小 時后 ，為 清除 磨合 產物 ，更換 標準油 或 pfpe 油。然 而，在 常規(guī) 運行 條件 下， 每運行 3000小 時后 換油 。當 抽腐蝕 性蒸 汽或 含大 量灰塵 ，或 頻繁 從大 氣抽 至工作壓 力時應 更頻 繁換油。在 這樣 工作 條 件下 ，建 議定 期取 油樣 檢查 中 和值 （din 51 558） 。如 果中和 值大于 2， 需 要換 油 。警

60、告在拆 掉 放 油或 注油螺 塞之 前， 首先 要停 泵，然 后 將 其破空 至大氣 壓力 。泵運行 期間 變熱 ，殼 體和油 溫 可超 過 80 。讓泵冷 下來 。為 防油 中腐蝕 性 產物 須戴 手套。為了 簡 化 過程 和安全 起見 ，建 議使 用我 們的排 油裝 置37 （見 第 1.4 節(jié)） 。擰 掉排 油螺塞 （13/2 ）和 注 油螺 塞（ 13/3 ） 放油。當心： 收集放出 的 油并 按適 當方式 處 理。清洗 密 封表面 ，重 新裝 好帶 有完 好密 封墊 的放 油螺 塞（13/2 ） 。 擦除 殼 體上 殘余 油。泵 溫度 為 1525時 注入 新油 。有 關注 油量和