真空氦檢相關(guān)說明

1、檢漏工藝過程真空箱檢漏過程0Pt(S)工件檢測(cè)過程0MPat(S)大氣壓充氦停止工件抽空下限關(guān)門工件抽空充氦HE檢漏充 氣開門平衡抽 空等待真空氦檢抽空下限回收充氮停止充氮保壓檢大漏 放氣真空箱壓力變化曲線0漏率t(S)9.0E-9 Pa.M3/S真空箱-壓力變化曲線0Pt(S)2.5E-9 Pa.M3/SSP 2SP 1NGOKEvac failure充氣故障檢漏壓力檢漏壓力關(guān)門關(guān)門時(shí)間時(shí)間抽空時(shí)間抽空時(shí)間檢漏時(shí)間檢漏時(shí)間充氣時(shí)間充氣時(shí)間開門時(shí)間開門時(shí)間清氦點(diǎn)報(bào)警點(diǎn)真空氦檢手動(dòng)操作介紹檢漏儀狀態(tài)以及檢漏儀及時(shí)漏率顯示1.MU01(前級(jí)泵1)：打開或關(guān)閉箱體抽空前級(jí)泵1(粗抽空泵1) 2.MU

2、02(前級(jí)泵2)：打開或關(guān)閉箱體抽空前級(jí)泵2(粗抽空泵2) 3.MU03(羅茨泵)：打開或關(guān)閉箱體抽空羅茨泵(羅茨泵)4.MV01(清掃閥) ：打開或關(guān)閉檢漏儀入口的清掃閥(注：檢漏閥關(guān)閉時(shí)才能打開) 5.MV02(檢漏閥)：打開檢漏閥與真空箱連通對(duì)箱體進(jìn)行漏率檢測(cè)(注：真空箱真空度低于抽空下限是才能打開；高于時(shí)自動(dòng)關(guān)閉)。6 充氣：打開或關(guān)閉真空箱充氣閥，破壞箱內(nèi)真空度方便箱門打開。7 開門：打開真空箱門8 關(guān)門：關(guān)閉真空箱門方便抽空9 抽空：把真空箱抽成高真空 為檢漏創(chuàng)造一個(gè)好的真空環(huán)境 10 清氦：打開真空箱上的清氦閥往箱內(nèi)充入氮?dú)馇鍜咝孤┑暮?真空氦自動(dòng)畫面介紹緩沖條碼內(nèi)容，點(diǎn)擊可以

3、查看已經(jīng)緩沖的條碼內(nèi)容操作流程：掃描條碼 放入對(duì)應(yīng)條碼數(shù)量的工件到真空箱內(nèi) 關(guān)閉真空箱門自動(dòng)檢測(cè) 檢測(cè)OK打印機(jī)打印條碼 把條碼貼在工件真空箱動(dòng)作流程：關(guān)門到位 真空箱抽空 抽空下限壓力到 把氦質(zhì)譜儀(檢漏儀)與箱體連通檢測(cè)泄漏率 時(shí)間到或泄漏 箱體回填大氣 真空箱自動(dòng)開門真空氦參數(shù)介紹1 充氣：真空箱打開充氣閥回填大氣時(shí)間；時(shí)間到并且箱內(nèi)壓力高于A抽空上限 ，此時(shí)進(jìn)入開門狀態(tài)。2.開門：開門的最長(zhǎng)時(shí)間在此時(shí)間內(nèi)箱門還沒有開門到位則報(bào)警。3.關(guān)門：關(guān)門的最長(zhǎng)時(shí)間在此時(shí)間內(nèi)箱門還沒有關(guān)門到位則報(bào)警。4.清掃 ：上次有泄漏后本次抽空打開清氦閥清掃的時(shí)間。5.A抽空保持：箱內(nèi)真空度達(dá)到“A抽空下限”

4、后繼續(xù)抽空的時(shí)間。6 動(dòng)作延時(shí)：各個(gè)工序切換的時(shí)間（1-3秒）7 抽空時(shí)限：真空箱抽空的最長(zhǎng)時(shí)間；在此時(shí)間內(nèi)箱內(nèi)真空度沒有達(dá)到“A抽空下限”則報(bào)警。8 閥門報(bào)警：檢漏閥的報(bào)警時(shí)間（3-5秒）9 A檢漏時(shí)間：真空箱檢漏的時(shí)間。10 A抽空上限：真空箱回填大氣時(shí)的最低真空度。11 A抽空下限：真空箱檢漏的最高檢漏壓力。12 A應(yīng)急抽空：當(dāng)真空計(jì)損壞后；應(yīng)急使用抽空的抽空時(shí)間。設(shè)置每次最多掃描的條碼個(gè)數(shù)真空氦檢報(bào)警原因以及解除報(bào)警類型原 因處 理充 氣在規(guī)定時(shí)間，真空箱內(nèi)未恢復(fù)至常壓；抽空上限設(shè)置不當(dāng)。檢查充氣閥；檢查充氣氣壓；檢查氣動(dòng)元件氣源壓力；檢查“充氣”時(shí)間、“充氣間隔”時(shí)間的設(shè)定值；開 門

5、氣壓不足引起開門時(shí)間過長(zhǎng)；氣路部份漏氣；氣缸上的磁感應(yīng)開關(guān)位置變動(dòng)；真空箱內(nèi)真空度過高，使門不能推開。檢查氣源壓力；檢查磁感應(yīng)開關(guān)位置，恢復(fù)正常；調(diào)整“充氣”時(shí)間、關(guān) 門氣壓不足引起關(guān)門時(shí)間過長(zhǎng)；氣路部份漏氣；氣缸上的磁感應(yīng)開關(guān)位置變動(dòng)。檢查磁感應(yīng)開關(guān)；檢查氣源壓力。抽 空抽空閥已壞；氣動(dòng)壓力不足；抽空閥的驅(qū)動(dòng)閥無動(dòng)作或卡死；設(shè)定值高，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)真空度不能達(dá)到設(shè)定值；真空箱的密封圈脫落、破損或卡死。檢修真空閥；檢查氣源壓力；檢查抽空閥驅(qū)動(dòng)閥；將真空計(jì)設(shè)定值降低；更換密封圈。水 壓冷卻水缺水；流量不足；水壓開關(guān)調(diào)節(jié)不當(dāng)。檢查是否供水；調(diào)高水流量；調(diào)節(jié)水壓開關(guān)。氣 壓氣源壓力低于設(shè)定值；壓力開關(guān)

6、調(diào)節(jié)不當(dāng)。提高氣壓壓力；調(diào)節(jié)壓力開關(guān)。急 停有急停開關(guān)按下旋出急停開關(guān)閥門報(bào)警閥門在“閥門報(bào)警”時(shí)間內(nèi)沒有開或關(guān)到位信號(hào)給出。檢查“閥門報(bào)警”時(shí)間設(shè)置是否合理；檢查磁性傳感器位置調(diào)節(jié)是否恰當(dāng)；檢查氣源壓力。檢漏儀報(bào)警檢漏儀有錯(cuò)誤信號(hào)給出參見檢漏儀說明書真空氦檢的校對(duì)1.每天開機(jī)后把標(biāo)準(zhǔn)漏孔調(diào)節(jié)到2g/y對(duì)應(yīng)的泄漏率下放入真空箱關(guān)門檢測(cè)，檢測(cè)完后亮紅燈(NG)2.漏孔檢測(cè)完后空箱檢測(cè)一次此時(shí)檢測(cè)完后綠燈亮。真空氦檢提高檢漏的方法(僅供參考)1.在相同的泄漏標(biāo)準(zhǔn)下加長(zhǎng)檢漏時(shí)間；2.在相同的檢漏時(shí)間提高NG判定點(diǎn)（報(bào)警點(diǎn)）；3.在相同的泄漏標(biāo)準(zhǔn)下提高充氦壓力； 真空?qǐng)?bào)警點(diǎn)設(shè)置方法將漏孔值調(diào)到0.2M

7、pa（校檢值2.4X10-6pa.M3/S）接入到檢漏儀端口上進(jìn)行測(cè)試1、關(guān)閉測(cè)試終了，顯示測(cè)試待機(jī)狀態(tài)2、點(diǎn)擊設(shè)置變更3、輸入密碼“0”并點(diǎn)擊輸入完成4、密碼確認(rèn)5、再按設(shè)置變更即設(shè)定點(diǎn)顯示：a、清氦點(diǎn)：2.5X10-9pa.M3/Sb、報(bào)警點(diǎn)： 9.0X10-9pa.M3/Sc、設(shè)定點(diǎn)可為報(bào)警點(diǎn)： 9.0X10-9pa.M3/S備注：DEL（刪除單個(gè)） CLR(全部刪除） ENT(輸入確認(rèn)） 測(cè)試模式(中漏模式）附表：附表：空調(diào)、冰箱零部件的泄漏基準(zhǔn)值，以氟里昂氣體考慮空調(diào)、冰箱零部件的泄漏基準(zhǔn)值，以氟里昂氣體考慮 注意：注意：氣體的擴(kuò)大倍率為氣體的擴(kuò)大倍率為ULVAC內(nèi)部的基準(zhǔn)（內(nèi)部的基

8、準(zhǔn)（參考值）。根據(jù)條件，計(jì)算方法有所差參考值）。根據(jù)條件，計(jì)算方法有所差異。異。容許泄露量（泄露品判定值）由貴公司容許泄露量（泄露品判定值）由貴公司討論后決定。因決定的泄漏量（泄露判討論后決定。因決定的泄漏量（泄露判定值）難以保證，請(qǐng)諒解！定值）難以保證，請(qǐng)諒解！ P不同時(shí)的泄露量換算方法He泄漏量=冷媒泄漏量*A/BA:測(cè)試時(shí)的氣體充填壓力相對(duì)應(yīng)的氣體擴(kuò)大倍率B:冷媒壓力相對(duì)應(yīng)的氣體擴(kuò)大倍率附表-1：氣體擴(kuò)大倍率P（MPa）0.7MPa0.8MPa0.9MPa1.5MPa1.6MPa3MPa氣體放大倍率1823287075230根據(jù)上記的換算公式，在以下的幾個(gè)不同的條件下計(jì)算工件的泄漏量附表

9、-2： 單位：Pa.m3/s冷媒種類年間泄漏量 冷媒P=1.5MPa時(shí)的冷媒泄漏量，氣體擴(kuò)大倍率=70充氦壓力0.6MPa時(shí)的泄漏量p=0.7MPa氣體放大率=18充氦壓力0.7MPa時(shí)的泄漏量p=0.8MPa氣體放大率=23充氦壓力0.8MPa時(shí)的泄漏量p=0.9MPa氣體放大率=28充氦壓力1.5MPa時(shí)的泄漏量p=1.6MPa氣體放大率=75充氦壓力3.0MPa時(shí)的泄漏量p=3.1MPa氣體放大率=230R221g/年8.3210-72.1410-72.7310-74.5210-78.9110-72.7310-62g/年1.6610-64.2810-75.4610-79.0410-71.7810-65.4610-65g/年4.1610-61.0710-61.3610-62.2610-64.4510-61.3610-5R134a1g/年7.0310-71.8110-72.3110-73.8210-77.5310-72.3110-62g/年1.4110-63.6210-74.6210-77.6310-71.5110-64.6210-65g/年3.5110-69.0410-61.1610-61.9110-63.7710-61.1510-5R410a1g