簡明指導(dǎo)用光切顯微鏡測量表面粗糙度（頁）

1、實(shí)驗(yàn) 用光切顯微鏡測量表面粗糙度口的與要求1、學(xué)習(xí)光切顯微鏡測量表面粗糙度的原理和方法;2、了解微觀不平度十點(diǎn)高度rz的實(shí)際含義。二、 測量原理光切顯微鏡是利川光切法來測量表面粗糙度的，具原理如圖31所示。由光源發(fā)出的光經(jīng)過 聚光鏡2,穿過狹縫3形成帶狀光束。光束再經(jīng)物鏡4以45度角射向工件5,在凹凸不平的 表面上呈現(xiàn)出曲折光帶，再以45度角反射，經(jīng)物鏡6到達(dá)分劃板7上。從h鏡看到的曲折 亮帶，有兩個(gè)邊界，光帶影像邊界的1111折程度表示影像的峰谷高度v與表血凸起的實(shí)際 高度h之間的關(guān)系為cos453-1雙管顯微鏡工作脈理式中，m為物鏡6的放大倍數(shù)。在日鏡視場里，高度h'是沿45度方向

2、測量的，若在目鏡測微器7的讀數(shù)值為h,則h'與h的關(guān)系為h'=hcos45°,將前后兩式代入可得,cos 45°y2m2m令護(hù)e，h = e h。系數(shù)e作為日鏡測微器裝在光切顯微鏡上使用時(shí)的分度值。e值與物鏡 的放大倍數(shù)m有關(guān)，一般它已由儀器說明書給定。圖一圖一1、基座，2、立柱，3、橫臂，4、手輪，5、橫臂緊固螺絲，6、微調(diào)手輪，7、手柄, 8、照明燈，9、插座，1 0、攝影裝置，1 1、測微口鏡，1 2、物鏡組，1 3、快門線, 1 4、百分尺，1 5、工作臺緊固螺絲，1 6、殼體，1 7、v型塊，1 8、座標(biāo)工作臺。1 9、測微目鏡緊固螺絲，2 0、攝

3、彫選擇旋鈕，2 1、對焦輔助旋鈕四、測量步驟1、按工作粗糙度的估計(jì)值，選擇適當(dāng)放人倍數(shù)的物鏡并裝在儀器上;2、將被測工作置于工作臺上；3、通過變壓器接通電源；4、調(diào)整儀器，其步驟如下：(1)松開橫臂緊固螺絲5 ,轉(zhuǎn)動橫臂3及手輪4 ,使鏡頭對準(zhǔn)被測量表而上方, 然后鎖緊橫臂緊固螺絲5 :(2 )(3 )調(diào)節(jié)微調(diào)手輪6,上下移動殼體1 6,使冃鏡視場中出現(xiàn)切削痕紋； 轉(zhuǎn)動工作臺，使加工痕紋與投射在工作表面上的光帶垂直，然后交錯(cuò)調(diào)整 微調(diào)手輪6、對焦輔助旋鈕2 1 ,直到獲得最清晰光帶為止；(4 )松開測微hl鏡緊固螺絲1 9,轉(zhuǎn)動目鏡，使11鏡中的1字線的水平線與光 帶大致平行。5、轉(zhuǎn)動冃鏡測微

4、計(jì)，使十字線的水平線分別與光帶上邊緣的五個(gè)峰頂和五個(gè)谷底相切。(a)(b)3-3目鏡視場的圖像（a）瞄峰頂;（為一瞄谷底從目鏡測微計(jì)上分別讀取各峰、谷的讀數(shù)hl,h2,.hlo,按下式算出微對不平度十點(diǎn)高度 ltn o 廠（加 + h3 + 力7 + 力9） - （/?2 + /?4 + /?6 + a8 + h0）rz,即rz = e-5式屮，hi的單位為格數(shù)。6、于零件各部分的粗糙度不一定均勻一致，為了充分反映表面粗糙度的特性，必 須在一定長度范圍內(nèi)的不同部位進(jìn)行測量并取其平均值。7、按表血粗糙度國家標(biāo)準(zhǔn)，確定工件表血粗糙度是否符合要求。數(shù)據(jù)表格:光切顯微鏡測量表面粗糙度儀器型號及規(guī)格：儀器測量范圍：被測零件要求表面粗糙度rz=所選用的物鏡放大倍數(shù)：m=； e=c測量結(jié)果讀數(shù)（格）實(shí)測rz （“