PECVD設備簡介實用教案

1、PECVDPECVD全稱全稱(qun chn(qun chn) ) PECVD：Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition 等離子體(dnglzt)增強型化學氣相沉積第1頁/共18頁第一頁，共19頁。機臺組成機臺組成(z (z chn chn) )機臺由三部分(b fen)組成:Automated cassette load station (ACLS) (optional) （Port1、Port2、Port3、Port4） MainframeRemote support system equipment located in a service ar

2、ea outside the clean room第2頁/共18頁第二頁，共19頁。ACLSACLSThe ACLS是 cleanroom 和 mainframe 的交界把白玻璃從 cassettes 傳送到 mainframe loadlocks， 把完成(wn chng)制程的玻璃從 mainframe 傳送回 cassettes包含 ATM robot controller 和 operator control module第3頁/共18頁第三頁，共19頁。Mainframe Mainframe 組成組成(z (z chn chn) ) 主體 Double Dual Slot Loadl

3、ock（DDSL） Transfer Chamber（TC） Process Chambers (PC) Gas Panel 控制(kngzh)制程氣體流入 process chambers Mainframe control tower Houses the mainframe power distribution（配電箱） DC power supplies（直流電供應） VME（VersaModule Eurocard bus） controller（集成電路板）第4頁/共18頁第四頁，共19頁。MainframeMainframeGas PanelMainframe ControlTo

4、werTransfer ChamberDDSLProcess Chambers第5頁/共18頁第五頁，共19頁。Double Dual Slot LoadlockDouble Dual Slot Loadlock第6頁/共18頁第六頁，共19頁。Transfer ChamberTransfer ChamberView windows第7頁/共18頁第七頁，共19頁。Process ChamberProcess Chamber(RPSC)第8頁/共18頁第八頁，共19頁。機臺保養(yǎng)機臺保養(yǎng)(b(boyoyng)ng)（PMPM） PM： Preventative Maintenance 預防性保養(yǎng)

5、(boyng) Daily（日點檢） Weekly（周保） Monthly （月保） Quarterly （季保） Half-yearly （半年保） Annually （年保）第9頁/共18頁第九頁，共19頁。Daily Preventive MaintenanceDaily Preventive Maintenance 點檢(din jin)各Chamber冷卻水流量，CDA、purge N2壓力，DI water（Deionization Water 去離子水）水位、電阻值等，是否在規(guī)格之內 繞機臺檢查有無泄漏處，查看Pump Warning message第10頁/共18頁第十頁，共1

6、9頁。Weekly Preventive MaintenanceWeekly Preventive Maintenance 測各Chamber的Leak rate, Base pressure,是否(sh fu)在規(guī)格之內 MQC (machine quality control ): Thickness, U%, particle數(shù)量,以及量膜邊，是否(sh fu)在規(guī)格之內第11頁/共18頁第十一頁，共19頁。Monthly Preventive MaintenanceMonthly Preventive Maintenance 數(shù)據(jù)備份 馬達(md)上油 更換Pad Flowcal第12

7、頁/共18頁第十二頁，共19頁。Quarterly Preventive MaintenanceQuarterly Preventive Maintenance 清Scrubber RF calibration 更換(gnhun)DI water及Filter第13頁/共18頁第十三頁，共19頁。Half-yearly Preventive MaintenanceHalf-yearly Preventive Maintenance PC開腔(ki qing)，wet clean 更換Grounding 更換PC Lid O-ring, Gas line O-ring , TC Lid O-ri

8、ng Spacing calibration第14頁/共18頁第十四頁，共19頁。Annual Preventive MaintenanceAnnual Preventive Maintenance 機臺斷電，解決( jiju)各種問題第15頁/共18頁第十五頁，共19頁。裝機裝機 Tier 0：機臺定位，開孔，hook up Tier 1：subfab & fab水電氣的連接；送特氣； leak rate； interlock check；hand off；throttle valve, MFC&RF calibration。 Tier2：thinkness；depo rate； etch rate； U%的確認以及(yj)機臺小中大量試驗第16頁/共18頁第十六頁，共19頁。第17頁/共18頁第十七頁，共19頁。感謝您的觀看(gunkn)！第18頁/共18頁第十八頁，共19頁。NoImage內容(nirng)總結PECVD全稱。Automated cassette load station (ACLS) (optional) （Port1、Port2、Port3、Port4）。VME（Ve