整理WIRD0325鍍膜機操作及鍍膜工藝指導書

1、鍍膜機操作及鍍膜工藝指導書受控狀態(tài)及編號文件編號GL/WI-RD-03-25頁碼Page 1 of 30部門技術部發(fā)布日期2021年12月9日擬制徐威審核批準變更 履歷12007-05-28文件整合將老版文件改為新版的格式聶旭光22007-08-15內(nèi)容新增1、增加產(chǎn)品鍍膜前烘烤要求Page 15周霞2、增加表單Page 20周霞32007-10-09客戶審核要求1、增加變更履歷Page 1楊莎2、去掉產(chǎn)品鍍膜前烘烤要求Page 15周霞3、5#鍍膜機增加光柵增透Page 15聶旭光42021-04-29內(nèi)容新增新增鍍膜應急情況處理方法Page 7.8馮浩52021-09-09內(nèi)容新增Page

2、 12馮浩62021-04-13內(nèi)容變更更新3#鍍膜機作業(yè)流程Page 9-14何健72021-04-24內(nèi)容新增新增4#鍍膜機作業(yè)流程Page 19-21何健82021-05-18客戶審核要求新增鍍膜產(chǎn)品切換要求Page 21何健92021-08-05文件整合全部更新全文馮浩102021-01-15內(nèi)容變更1.變更4#5#6#機臺清洗周期 2變更4#工藝參 數(shù)馮浩112021-04-7內(nèi)容新增1. 新增 7.95um/10.8um 光柵鍍膜工藝 page9-142. 增加405nm增透工藝page20徐威122021-7-28內(nèi)容變更1. 變更3#鍍膜機保養(yǎng)標準Page 132. 變更4#鍍

3、膜機工藝參數(shù)Page 18-223. 變更5#鍍膜機工藝參數(shù)Page 25-264. 變更6#鍍膜機工藝參數(shù)Page 30徐威袁超132021-9-13內(nèi)容新增新增?鍍膜工藝卡片?Page 18,32葉小兵142021-9-20內(nèi)容新增新增3#,4#鍍膜機烘烤溫度點檢要求馮浩152021-4-18內(nèi)容新增新增鍍膜工藝卡片三洋 BD414藍光偏小AR正常AR偏大AR徐威162021-11-21文件整合全部更新全文靖澤兵172021-12-30內(nèi)容變更局部內(nèi)容調(diào)整Page 3.4.7靖澤兵182021-2-8內(nèi)容變更表單變更Page28靖澤兵192021-3-12內(nèi)容變更表單變更Page28靖澤兵

4、202021-5-21內(nèi)容新增1. 增加測溫時機,時機為停機大于等于24小時后測溫.2. 明確8.2.4中C條處理方法靖澤兵212021-12-26內(nèi)容變更表單變更Page28靖澤兵222021-1-5內(nèi)容新增新增陽極筒更換考前須知Page16徐威232021-1-14內(nèi)容新增1. 新增清掃考前須知及膜料存放要求Page3、42. 新增下傘條件Page 83. 新增離子源存放要求Page 164. 變更設備清洗流程Page 13、15、20、225. 變更配件更換要求Page 14、21徐威242021-12-9應客戶要求增加?產(chǎn)品面別一覽表?Page 29-30楊莎252021-4-23內(nèi)容

5、變更Sio2加料變更Page 4徐威一、目的為了標準鍍膜作業(yè)員鍍膜操作,特制定該文件.二、適用范圍本文件適用于參與鍍膜操作的全體人員.三、設備及輔助材料3.1 1# :昭和真空鍍膜機；3.2 2# :昭和真空鍍膜機；3.3 3# :萊寶真空鍍膜機；3.4 4# :韓一真空鍍膜機；3.5 5# :現(xiàn)代南光ZZS1100真空鍍膜機；3.6 6# :現(xiàn)代南光ZZS1100真空鍍膜機；3.7其它設備及輔助材料：鍍膜材料、吸塵器、銅刷、錘子、鑷子、丙酮、口罩、手套四、鍍膜機制作產(chǎn)品范圍編號名稱適用產(chǎn)品4.11#昭和鍍膜機作業(yè)流程全反、增透膜等4.22#昭和鍍膜機作業(yè)流程全反、增透膜等4.33#萊寶鍍膜機

6、作業(yè)流程光柵、濾光片、分光、全反、增透膜等4.44#韓一鍍膜機作業(yè)流程濾光片、分光、全反、增透膜等4.55#南光鍍膜機作業(yè)流程分光、增透膜等4.66#南光鍍膜機作業(yè)流程增透膜等4.7鍍膜產(chǎn)品切換要求生產(chǎn)中減少產(chǎn)品切換頻率五、鍍膜作業(yè)內(nèi)容5.1鍍膜流程圖5.2鍍膜操作說明昭和萊寶南光開機參考設備部文件參考設備部文件參考設備部文件參考設備部文件1、使用工具：銅刷和吸塵器2、清掃流程：清掃探考前須知：整個清潔過程中操作人員必須戴口罩、手套；遮料板每罩清掃,每3罩反射鏡更換1次,并拆網(wǎng)噴砂處理 (3)用鋁紙包的護板每5罩反射鏡(35罩AR)須更換.昭和萊寶韓一南光1添加SiO2時,先將坩堝周圍衛(wèi)生p、

7、添加SiO2時,先將燒結成塊的1、添加SiO2時,先將坩堝周圍衛(wèi)生清1、添加SiO2時,先將坩堝周圍衛(wèi)生清:清潔再將燒結成塊的SiO2取出,然后SiO2取出,然后參加新的SiO2膜料,潔再將燒結成塊的 SiO2取出,然后加潔再將燒結成塊的SiO2取出,然后參加參加新的SiO2膜料.添加時,用添料添加時,用專用治具一邊添加一邊壓入新的SiO2膜料,添加時,用添料勺新的SiO2膜料,添加時,用專用治具一勺一邊添加一邊壓緊,最終添加到膜緊見圖示,最終添加到膜料與坩一邊添加一邊壓緊見圖示,最終添邊添加一邊壓緊見圖示,最終添加料與坩堝上邊沿齊平即可.堝上邊沿齊平即可.加到膜料與坩堝上邊沿齊平即可.到膜料

8、與坩堝上邊沿齊平即可.2、添加TiO2時,需將前一次熔出的2、添加Ti3O5時,將前一次熔出的2、添加TiO2時,將前一次熔出的坑填2、添加TiO2時,需將前一次熔出的坑坑填平.坑填平即可.平即可.填平即可.探添加膜料注意相對應坩堝序號,及3、添加ZrO2時,只需將前次使用的3、添加Si時,添加的膜料需低于坩堝3、添加Si時,添加的膜料需低于坩堝所需添加的材料名稱；膜料取出,更換成新膜料即可,膜料邊緣 2mmr 3mm邊緣 2mmr 3mm探膜料添加完畢后,需將坩堝周邊的必須放置到坩堝中央位置.探添加膜料注意相對應坩堝序號,及探添加膜料注意相對應坩堝序號,及所多余膜料去除干凈.卜添加膜料注意相

9、對應坩堝序號,所需添加的材料名稱；需添加的材料名稱；及所需添加的材料名稱；探膜料添加完畢后,需將坩堝周邊的探膜料添加完畢后,需將坩堝周邊的多膜料的存放要求：卜膜料添加完畢后,需將坩堝周邊多余膜料去除干凈.余膜料去除干凈.1、不使用的已熔膜料需放入枯燥塔內(nèi) 保存的多余膜料去除干凈.膜料的存放要求：膜料的存放要求：添料2、已開啟的膜料,0.5KG以內(nèi)的放1膜料的存放要求：1、不使用的已熔膜料需放入枯燥塔內(nèi)1、不使用的已熔膜料需放入枯燥塔內(nèi)保包枯燥劑,0.5KG以上的放2包枯燥1、不使用的已熔膜料需放入枯燥塔保存存劑.內(nèi)保存2、已開啟的膜料,0.5KG以內(nèi)的放12、已開啟的膜料,0.5KG以內(nèi)的放1

10、包2、已開啟的膜料,0.5KG以內(nèi)的放1 包枯燥劑,0.5KG以上的放2包枯燥 齊嘰包枯燥劑,0.5KG以上的放2包枯燥劑.枯燥劑,0.5KG以上的放2包枯燥劑.昭和萊寶南光SiO2添加圖SiO2添加圖SiO2添加圖SiO2添加圖SiO2添加后圖:SiO2添加后圖:SiO2添加后圖:SiO2添加后圖:TiO2 添加后圖:TiO2 添加后圖:TiO2 添加后圖:TiO2添加后圖:昭和萊寶韓一南光每罩均需更換光控片吏用光控時：每罩均需更換光控片,使用光控時：每罩鍍膜前需檢查光控片1、檢查晶振片壽命值,壽命值v 96%寸,:1鍍FM時更換20個光控片；冋時檢查晶振壽命值,壽命值10使用狀況,并根據(jù)下

11、罩鍍膜產(chǎn)品決定是必須更換晶振片.2、鍍AR時更換4個光控片.時必須更換晶振片；否需要更換光控片例：光控共40個2、晶振片更換好后,需檢查晶振頻率是探更換過程中注意保持光控片外表單獨使用晶控時,每罩檢查晶振壽命點,假設已用28個點,而下一罩需要用否止常顯示,壽命值是否?98%假設不是,潔凈.值：16個點,貝U 28+16=44 > 40,故在鍍下那么需重新更換.探更換后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄1、鍍GT產(chǎn)品時,晶振壽命值3時一罩之前需更換光控片,同時檢查晶探更換過程中注意保持光控/晶控片表表?中做好更換記錄.必須更換晶振片；每更換陽極筒時也振壽命值,壽命值16時必須更換晶面潔凈；必須更換晶振

12、片振片；探更換后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?光控、晶控2、鍍除GT以外其它產(chǎn)品時,晶振壽單獨使用晶控時：檢查晶振壽命值,壽中做好更換記錄.確認命值8時必須更換晶振片；命值10時必須更換晶振片；3、晶振片更換好后,需檢查晶振頻晶振片更換好后,需檢查晶振頻率是否率是否正常顯示,壽命值是否為 0,正常顯示,壽命值是否為 0,假設不是,假設不是,那么需重新更換.那么需重新更換.更換過程中注意保持光控/晶控探更換過程中注意保持光控/晶控片片外表潔凈；外表潔凈；探探更換后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)探更換后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?記錄表?中做好更換記錄.中做好更換記錄.將裝好鏡片的傘架放置到鍍膜機工件將裝好鏡片的傘

13、架放置到鍍膜機工將裝好鏡片的傘架放置到鍍膜機工件架上,并確認是否放置到位.件架上,并確認是否放置到位.架上,并確認是否放置到位.參考?鍍膜裝取片作業(yè)指導書?上傘探 上傘時應防止手或袖口等碰觸鏡 上傘時應防止手或袖口等碰觸鏡探上傘時應防止手或袖口等碰觸鏡GL/WI-RD-13-02片,造成鏡片臟污.片,造成鏡片臟污.片,造成鏡片臟污.1用無塵布擦拭密封圈和門邊沿,以p、用無塵布擦拭密封圈和門邊沿,1、用無塵布擦拭密封圈和門邊沿,以 1、用無塵布擦拭密封圈和門邊沿,以防 防臟污影響抽真空速度；以防臟污影響抽真空速度；防臟污影響抽真空速度；臟污影響抽真空速度；2、關閉真空室門,點擊面版上的“排2、關

14、真空室門,按 VENT鍵關放氣2、關閉真空室門,按一下“ RUN鍵,2、關閉真空室門,同時開烘烤,進入排氣開始鍵,進入自動排氣、加熱狀態(tài).閥,設備即進入抽真空狀態(tài).設備進入自動排氣、加熱狀態(tài).氣狀態(tài).排氣探 記錄開始排氣的時間點探 記錄開始排氣的時間點探 記錄開始排氣的時間點探 記錄開始排氣的時間點抽真空3、檢查鍍膜機自動運行狀態(tài)：“ Power3、檢查自動運行的幾個AUTO開關狀探在抽真空冋時要如實記錄抽真空時Supply 是否保持“ Ob狀態(tài).態(tài):ROTATION POCKET SHUTTER間.HEATER APC RVC30Q 充氧需要,3、預熔膜料電子槍、加熱是否均為 EXT模式.探

15、SiO2膜料不需要預熔.熔Si時需手動熔料昭和萊寶韓一南光鍍膜制程文件選擇：鍍膜機電腦操作：1、按STEP鍵、再按8鍵,檢查程序檢查鍍膜程序調(diào)用是否正確,假設確認無:1、當真空度到達 3.0E-3Pa且抽真空時:軟件界面中依次選擇：“成膜實行 T編輯是否止確.誤,單擊HOPE程序界面中綠色 START間到達2小時時可進行鍍膜；“鍍膜條件名選擇根據(jù)產(chǎn)品制造2、按STEP鍵,再按7鍵,檢查所鍍鍵,那么設備進入自動運行狀態(tài).2、鍍膜前確認所鍍產(chǎn)品型號,尋找該產(chǎn)單產(chǎn)品名稱選擇鍍膜制程文件,如：膜系是否正確.探 在整個自動過程中,注意調(diào)整電子品的鍍膜程序,并根據(jù)程序規(guī)定進行鍍FM-23I81選擇制程文件

16、“ M-23I81 )3、按 AUTO鍵、START鍵,那么設備束光斑的位置和大小.膜.成膜開始,那么設備進入自動運進入自動運行狀態(tài).探鍍膜過程中需觀察監(jiān)控速率是否穩(wěn)3、鍍膜完成后關閉烘烤保持咼真空5分行狀態(tài).探 在整個自動過程中,注意調(diào)整電定,束流是否正常,進氧是否正常,真鐘后關閉高閥.探 在整個自動過程中,注意調(diào)整電子子束光斑的位置和大小.空度是否穩(wěn)定,假設不穩(wěn)定那么需在?鍍膜探 鍍膜時冋種膜料的光斑放置位置要束光斑的位置和大小.探 鍍膜過程中需觀察光控曲線極值探鍍膜過程中需觀察監(jiān)控速率是否 穩(wěn)定,束流是否正常,進氧是否正常,原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄異常狀況.一致,光斑掃描大小要一致.探電子

17、槍電流調(diào)節(jié)不可忽大忽小,時常鍍膜點走勢是否止常,進氧是否止常,真空 度是否穩(wěn)定,假設不正常那么需在?鍍膜原 始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄異常狀況.真空度是否穩(wěn)定,假設不穩(wěn)定那么需在 ?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄異常 狀況.使用的電流調(diào)節(jié)位置做好標記,以便下 次使用時參考.探Si膜料鍍完后要將坩堝中的膜料突 起熔平才能旋轉(zhuǎn)坩堝,以免坩堝卡住.探當鍍膜過程中發(fā)現(xiàn)膜料噴濺時,需及時關閉蒸發(fā)擋板,并記錄此時晶振所顯 示的厚度值,待膜料預溶至無噴濺現(xiàn)象 時方可繼續(xù)鍍膜.探鍍膜過程中需觀察監(jiān)控速率是否穩(wěn) 定,束流是否止常,進氧是否止常 ,真空 度是否穩(wěn)定,假設不穩(wěn)定那么需在?鍍膜原始 數(shù)據(jù)記錄表?中記錄異常狀況1

18、、鍍膜完成后,鍍膜機觸膜屏限制面1、鍍膜完成后等待腔體門自動翻開；1、鍍膜完成后,鍍膜機將按以下順序溫度降至220 C后翻開放氣閥待真空室板上“排氣系界面自動進入 “大氣2、假設需手動放氣,那么按下VACUUM1動作：MVOFF設定時間,HEATEPFF門自動翻開.狀態(tài).SELECT菜單中放氣閥 VENT鍵.設定時間,ROTAT10N OFF冷探 開門時間點需記錄到 ?鍍膜原始數(shù)據(jù)進氣2、假設需手動放氣,在鍍膜機觸膜屏控 制面板上“排氣系界面選擇“手動 t關閉“ MV1MV2Polycold 開始除霜,35 C時除霜完成t點擊“ WSW開始進氣.探 開門時間點需記錄到 ?鍍膜原始數(shù) 據(jù)記錄表?

19、中.探 開門時間點需記錄到?鍍膜原始 數(shù)據(jù)記錄表?中.卻結束設定時間,LV開,充氣, 開門.2、假設需手動放氣,那么待POLYCOL除霜 結束后按下白色VENT鍵等待自動開門.探 開門時間點需記錄到?鍍膜原始數(shù) 據(jù)記錄表?中.記錄表?中.昭和萊寶韓一南光下傘將傘架從鍍膜機工件架上取下,放置 到凈化工作臺中.探 下傘時需帶石棉網(wǎng)手套,防止燙 傷；探 下傘時應防止手或袖口等碰觸鏡 片,造成鏡片臟污.將傘架從鍍膜機工件架上取下,放置 到凈化工作臺中.探 下傘時需帶石棉網(wǎng)手套,防止燙傷；探下傘時應防止手或袖口等碰觸鏡片,造成鏡片臟污.將傘架從鍍膜機工件架上取下,放置到 凈化工作臺中.探下傘時需帶石棉網(wǎng)

20、手套,防止燙傷；探 下傘時應防止手或袖口等碰觸鏡片,造成鏡片臟污.參考?鍍膜裝取片作業(yè)指導書?GL/WI-RD-13-021. 當車間溫度低于22C時,每罩產(chǎn)品鍍完膜后等溫度降至 200C以下開進氣閥,開門后等溫度降至 50C以下取傘.2. 當車間溫度高于22C時,根據(jù)原工藝進行生產(chǎn).機參考設備部文件參考設備部文件參考設備部文件參考設備部文件5.3鍍膜后自檢5.3.1光學性能檢查：A. 鏡片冷卻至常溫后,取1、3、5圈各一片,測試光學性能見測試清單,并按鍍膜批號保存好鍍膜曲線；B. 光柵產(chǎn)品冷卻至常溫后,每圈傘片邊緣各取一片,去膠并測試衍射比值；C. 假設測試光學性能0K那么將測試片歸還到吸塑

21、盒中原位置后,將測試曲線與對應產(chǎn)品一同后流品質(zhì)抽檢；D. 假設測試光學性能NG那么及時通知當班組長,當班組長假設能自行調(diào)整那么調(diào)整后再知會工程負責人,假設不能自行調(diào)整那么第一時間通知產(chǎn)品負責人, 待產(chǎn)品負責人制定調(diào)整方案后再做調(diào)整,調(diào)整狀況均需詳細記錄到?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中.5.3.2外觀檢查：A. 每罩取測試了光學性能的3片產(chǎn)品進行外觀檢查；B. 檢查方式：置于強光燈下,目視檢查；C. 檢查工程：麻點、噴點、霧狀、手指印、水漬等；D. 處理方法：3片中只要發(fā)現(xiàn)有1片不良,及需上報當班組長,由組長確認是否可繼續(xù)生產(chǎn),當組長不能判定時,需上報工程負責人,由工程負 責人確定是否可繼續(xù)生產(chǎn),同時

22、工程負責人需制定改善方案.六、膜料更換及使用6.1膜料更換膜料名稱常規(guī)更換周期更換流程SiO2每次洗設備后更換Si< 15天15天為蒸著使用時間TiO2 Ti3O5 Ta2O5Nb2O5 A12O3 H4< 15天15天為蒸著使用時間< 20天20天為蒸著使用時間探高折射率材料熔料遵循先大光點將膜料顆粒熔化,再中光點進行小范圍熔光點限制成小圓圈路線,最后小光點大面積的掃描整個 坩堝內(nèi)全部掃描到,使藥品得到充分的溶化的原那么；探 熔料次數(shù)?2次,手動熔料電流限制見附件.探低折射率材料不需要進行熔料.探更換膜料后需將更換信息記錄到?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中.探 此藥品屬于使用量比擬

23、小的藥品 ,在平時 使用過程中選擇小瓶盛裝拿起使用 ,原裝的大 瓶膜料放入枯燥箱中保管探 此藥品屬于使用量比擬小的藥品,在備注平時使用過程中選擇小瓶盛裝拿起使用 原裝的大瓶膜料放入枯燥箱中保管6.2熔料6.2.1昭和、萊寶鍍膜機都是設備自動熔料;6.2.2韓一鍍膜機熔料當真空到達8.0E-5Torr時進行Si材料預熔,預熔前先將電子槍2調(diào)到手動狀態(tài)并開啟電子槍及高壓電源,將掃描 X、Y分別調(diào)整到6慢慢 加大束流至100mA等待60s再慢慢加到200mA等待90s這時Si已慢慢熔化,在降束流將至150mA并將掃描X、丫調(diào)整到0等待60s,再慢慢 加到250mA等待90s,再慢慢加到350mA等待

24、90s,再慢慢加到450mA等待30s,將掃描X、丫分別調(diào)整到10并慢慢降束流至200mA等待20s, 再慢慢降束流至100mA等待20s,再慢慢降束流至50mA等待20s,再將束流慢慢降到0掃描X、丫分別調(diào)整為0,關閉電子槍將其調(diào)到自動 狀態(tài).熔料曲線：SiTio2/M16.2.3南光鍍膜機熔料：當真空計顯示為5.0E-3時,方可預熔膜料將工轉(zhuǎn)電壓調(diào)至100V,熔料,開電子槍燈絲,調(diào)節(jié)遙控盒上束流使電流表2顯示為0.5A預熱5分鐘,假設用電子槍I ,那么把電子槍選擇開關 指向槍I,開掃描電源,開高壓,慢慢加大束流,注意觀察真空室內(nèi)光斑的位置,不斷調(diào)節(jié)X,Y掃描移動光斑,在坩堝的位置,使膜料均

25、勻預熔,當束流到達規(guī)定值,膜料預熔放氣,直到真空計顯示放氣量只降不升時,再把光斑放到坩堝中間燒1分鐘左右,關電子槍束流,關預置 探 熔AI2O3時將X掃描加一圈丫掃描加半圈熔料曲線：SiTio2AL2O3七、設備清洗7.1昭和鍍膜機清洗7.1.1清洗周期A. 鍍FM時：3天/周期 15罩FM;B. 鍍AR時：7天/周期 105罩AR;C. FM+AR勺混合生產(chǎn)時,先安排生產(chǎn)FM,后生產(chǎn)AR,更換周期不超過105罩AR1罩FM=7罩AR.7.1.2清洗流程圖清潔加熱管邊緣,工件架邊緣,機 內(nèi)側(cè)壁沉積膜料用銅刷或刮刀清水沖洗干凈清潔電子槍周邊用吸塵器將粉塵 吸除用鋁紙將電 子槍蓋好更換槍燈絲用酒精

26、擦拭用酒精浸泡并擦拭安裝電子槍、電子槍護板、真空室 內(nèi)的底板、左右護板及擋板用酒精擦拭護板清洗要求：拆卸人員與噴砂人員共同填寫?昭和鍍膜機清洗交接表? 排氣要求：溫度設定300C,抽真空1小時,并試槍空鍍5-10分鐘.7.1.3配件更換A、電子槍燈絲更換1#電子槍燈絲更換周期：25天/周期25天為鍍膜機工作時間;2#電子槍燈絲更換周期：每次清洗機臺時更換.在生產(chǎn)周期內(nèi)出現(xiàn)電子槍燈絲打火或槍燈絲燒斷情況時可更換槍燈絲,.更換新的槍燈絲后要預熱10分鐘以上.更換下的槍燈絲須貼上小標簽,并在小標簽上注明更換時間、人及幾號電子槍注：作業(yè)員更換槍燈絲時組長需監(jiān)督確認,并在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換

27、信息 以便在下次清洗設備時由組長判定是否再次更換槍燈絲 .B、光控片更換1鍍FM時安裝全部的光控片20個；鍍AR時安裝4個光控片.注：1、更換光控片時,需保持光控片外表清潔；2、更換光控片后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信息；3、更換后的光控片統(tǒng)一放置保管,積攢到一定數(shù)量后由采購部門統(tǒng)一外發(fā)返工拋光后再次 利用.4、更換套銅時須對應放置,換下的套銅放置于夾具中.C、光控燈泡更換更換周期：7天/周期7天為工作時間更換周期內(nèi)如果發(fā)現(xiàn)光信號發(fā)生波動較大時或出現(xiàn)極值點偏差時,那么當即更換光控燈泡注：更換光控燈泡后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信息;7.2萊寶鍍膜機清洗7.2.1清洗周期A、

28、整個清洗周期,只能鍍 AR產(chǎn)品100罩,鍍其他產(chǎn)品需做折算：1罩光柵增透=1罩AR1罩光柵=0.25罩AR1 罩 G2K=3罩 ARB、 假設需鍍光柵,必須在設備清洗后優(yōu)先鍍,且只能鍍108罩,再鍍只能鍍光柵以外產(chǎn)品7.2.2 清洗流程圖取出鍍膜機內(nèi)坩堝放置到枯燥柜中拆卸真空室內(nèi)的底板、左右 護板、傘架、擋板送噴砂房噴砂清水沖洗清潔烘烤盤邊緣,加熱管邊 緣,工件架邊緣沉積膜料用銅刷或刮刀清潔電子槍周邊+ 用吸塵器將粉塵吸除 用鋁紙將電子槍蓋好吸除掉落的膜料及粉塵用酒精擦拭擦拭擴散泵上方真空室、POLYCOLD管道及護板用酒精擦拭清潔電子槍體十用1000#砂紙用酒精浸泡并擦拭更換槍燈絲安裝4塊通

29、水護板安裝其他護板護板清洗要求：拆卸人員與噴砂人員共同填寫?萊寶鍍膜機清洗交接表?.排氣要求：溫度設定280C,排氣抽真空一小時,并試槍及離子源空鍍5-10分鐘7.2.3 配件更換A、電子槍燈絲更換以GT計算,當槍燈絲使用值為400時,需洗槍,換槍燈絲.在生產(chǎn)周期內(nèi)出現(xiàn)電子槍燈絲打火或槍燈絲燒斷情況時可更換槍燈絲,.更換新的槍燈絲后要預熱10分鐘以上.注：1、當鍍一罩GT時槍1使用值加1,槍2加0；2、當鍍一罩AR時,槍1使用值加1,槍2加4;3、作業(yè)員更換槍燈絲時組長需監(jiān)督確認,并在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信 息,以便在下次清洗設備時由組長判定是否再次更換槍燈絲 B、晶振片更換鍍GT

30、產(chǎn)品時,晶振壽命值 3時必須更換晶振片；鍍除GT以外其它產(chǎn)品時,晶振壽命值 8時必須更換晶振片；光控限制時,晶振壽命值10時必須更換晶振片；每更換陽極筒時也必須更換晶振片；當發(fā)現(xiàn)鍍膜速率不穩(wěn)時及時更換晶振片；裝好后,檢查晶振頻率是否正常顯示,壽命值是否為0.注：1、更換晶振片時,需保持晶振片外表清潔；2、更換晶控片后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信息；C、陽極筒更換以GT計算,鍍7罩GT后需要更換陽極筒；以AR計算,鍍15罩AR后需要更換陽極筒；超過一個12小時未用時也應該更換陽極筒；從其它產(chǎn)品轉(zhuǎn)鍍光柵產(chǎn)品時,需要更換陽極筒.注：1、更陽極筒后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信息；2

31、、鍍光柵時要求離子源功率 DP限制在5.0 ± 0.1.通過調(diào)整BV值限制D離子源清潔及存放更換硼化鑭后,使用時間w 48小時時,每更換陽極筒時都需清潔一次離子源；使用時間48小時時,每更換2次陽極筒時清潔一次離子源.當離子源陶瓷環(huán)假設出現(xiàn)明顯破損,需更換.當離子源不使用時須加蓋蓋好,使用時須將蓋取出.當鍍膜機開門時間2小時那么須將離子源取出放入枯燥柜中存放.E、硼化鑭與加熱器更換使用時間250H時,需更換硼化鑭與加熱器；更換后需計時歸零,同時將時間計時器設定為 250HF、石墨加熱器及硼化鑭的預使用及硼化鑭“消毒石墨加熱器的預熱 當更換新的石墨加熱器時,需對加熱器和硼化鑭進行預熱除

32、氣的操作,具體步驟如下：=根據(jù)操作指南安裝新部件=關上真空室門并在“idle 狀態(tài)下抽真空至3.0E-5mbar=通冷水,在APS限制面板MENU陳單中設置以下參數(shù)：Operati ng modelocalHEATER CURRENT30AHEATER POWER0KW=按下“ HEATER按鈕,等待加熱器的預熱時間完成.=改變HEATER CURRENT加熱器電流到40A并等待預熱時間完成.=根據(jù)每次10A逐漸增加HEATER CURRNET至100A,每一步都需等待預熱時間完成.=根據(jù)每次20A逐漸增加HEATER CURRNET至200A,每一步都需等待預熱時間完成.=將HEATER P

33、OWER 加熱器功率設置為1.8kw并等待預熱時間完成.完成以上步驟后,加熱器的參數(shù)已設置為正常工作時的狀態(tài).硼化鑭的預熱=將離子源設置為LOCAL模式=按下“ HEATER ,等待加熱器加熱完畢.在約500S=在MENU3菜單將32號離子源中設置為以下參數(shù)Coil curre nt0.5AAPS shutter delay time0secDischarge pre-curre nt10ADischarge pre-time0secBias voltage0VDischarge idle curre nt0AGas 1 start flow10sccmGas 1 trigger delay0

34、secGas 1 ramp time0secGas 1 end flow10sccm=按下“ SOURCE點火程序和適應階段將在到達設定的參數(shù)之前自動運行在開始階段,DISCHARGE VOLTAGE 將比BIAS VOLTAGE 要高,在MENU1菜單中查看當前值=每次10A增加DISCHARGE CURRENT至U 30A.在 MENU2菜單中更改注：每一步都需等待幾分鐘直到離子源穩(wěn)定放電電壓緩慢減小.=減小 GAS 1 FLOW 到 8sccm.=增力卩 DISCHARGE CURRENT 到 40A.=增力卩 COIL CURRENT 到 1.00A注：現(xiàn)在 DISCHARGE VOL

35、TAGE 應該比 BIAS VOLTAGE 要低.=將BIAS VOLTAGE 設定為120V以啟動偏壓限制,此時DISCHARGE VOLTAGE 應該近似為90-100V.讓APS以此狀態(tài)運行至少20-30分鐘=依次按下SOURCE和HEATER關閉離子源和加熱器.硼化鑭“消毒當硼化鑭外表被氧化時,稱為“中毒,其外在表現(xiàn)為硼化鑭外表變?yōu)橥咙S色,此時需 對其進行“消毒除氣操作.消毒原理是硼化鑭外表在氬離子環(huán)境中再生.具體操作如下：1清潔用萊寶專用工具將陽極桶取出并更換,將離子源加熱器、硼化鑭及其附件取出進 行清潔,后安裝到位.2關上真空室門抽真空至 2.0E-5mbar.3按HEATE鍵,啟

36、動離子源加熱器并自動等待 300秒.4按MEN鍵、3鍵,進入離子源參數(shù)設置,并設置SET3Q如下;COIL CURRENT0.5 ADISCHARGE PRE CURRENT10 ADISCHARGE PRE TIME10sDISCHARGE CURRENT10ABIAS VOLTAGE0.0 VDISCHARGE IDLE CURRENT10AGAS 1GAS 2GAS START FLOW /sccm200GAS END FLOW /sccm2005按SOURC鍵,啟動離子源=當離子源第一次點火后 DISCHARGE PRE CURRENT放電電流可能小于10A并且離子束可能會閃爍.如果在

37、離子源內(nèi)部產(chǎn)生電弧,那么可能觸發(fā)低壓保護而關閉離子源,同時會出現(xiàn)F: DISCHARGE VOLTAGE的報警提示.=按下“ ACKN 鍵消除報警.=重新啟動離子源直到在此條件下有穩(wěn)定的放電電壓.=根據(jù)一定的增量逐漸增加參數(shù)的數(shù)值.如下表6789COIL CURRENT0.5A1.0A1.5A2.0ADISCHARGE PRE CUNRRENT20A20A20A20ADISCHARGE CUNRRENT20A20A20A20AGAS FLOW GAS 1(sccm)20202020注：當離子束不再閃爍并且看起來穩(wěn)定時,進入下一步例如：離子源參數(shù)不再改變時,可進入下一步=將DISCHARGE P

38、RE TIME設置為60秒,并按以下步驟進行10)11)12)COIL CURRENT2.0A2.0A2.0ADISCHARGE PRE CUNRRENT20A20A20ADISCHARGE PRE TIME60s60s60sDISCHARGE CUNRRENT30A40A40AGAS FLOW GAS 1(sccm)202015=完成以上步驟后,偏壓限制啟動偏壓設置大于 013)14)15)16)17)DISCHARGE CUNRRENT40A40A40A40A50ABIAS VOLTAGE80V100V120V120V120VGAS FLOW GAS 1(sccm)1515151212=根

39、據(jù)最近的離子源參數(shù)運行至少 15分鐘,直到COIL CURRENT 線圈電流和BIAS VOLTAGE 偏壓穩(wěn)定.檢查=啟動鍍膜時候使用的離子源設置不充氧氣消毒完成后的離子源參數(shù)應該接近 “中 毒之前的狀態(tài).=開門后取出硼化鑭觀察其顏色,如果是丁香藍LaB6的典型顏色,那么消毒完成, 可以正常工作.7.3韓一鍍膜機清洗731清洗周期A. 鍍IR-CUT、FM時：2天/周期；B. 鍍BS時：3天/周期,中間可穿插個別護板更換；注：組長確認可以適當延長清洗周期延長時間不可超過12小時7.3.2清洗流程圖亠每次清洗設備時需對鋁紙進行更換取出鍍膜機內(nèi)坩堝-放置到枯燥柜中*拆卸真空室內(nèi)的底板、左 右護板

40、、傘架、擋板等->送噴砂房噴砂清潔加熱管邊緣,工件架 邊緣,機內(nèi)側(cè)壁沉積膜料4用銅刷或刮刀+清潔電子槍周邊用吸塵器將粉塵吸除用鋁紙將電子槍蓋好+吸除掉落的膜料及粉塵清水沖洗干凈用酒精擦拭擦拭擴散泵上方真空室、POLYCOLD管道及真空室內(nèi)壁用酒精擦拭清潔電子槍體用1000#砂紙用酒精浸泡并擦拭*更換槍燈絲打磨安裝電子槍、真空室內(nèi)的 底板、左右護板及擋板排氣測試護板清洗要求：拆卸人員與噴砂人員共同填寫?韓一鍍膜機清洗交接表?. 排氣要求：溫度設定300r,抽真空一小時,并試槍及離子源空鍍 5-10分鐘733配件更換A、電子槍燈絲更換1#電子槍燈絲更換周期：25天/周期25天為鍍膜機工作時間

41、;2#電子槍燈絲更換周期：每次清洗機臺時更換.在生產(chǎn)周期內(nèi)出現(xiàn)電子槍燈絲打火或槍燈絲燒斷情況時可更換槍燈絲,.更換新的槍燈絲后要預熱10分鐘以上.注：作業(yè)員更換槍燈絲時組長需監(jiān)督確認,并在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信息 以便在下次清洗設備時由組長判定是否再次更換槍燈絲 B、晶振片更換單獨晶振限制時：晶振壽命值 10時必須更換晶振片；光控限制時：晶振壽命值16時必須更換晶振片；當發(fā)現(xiàn)鍍膜速率不穩(wěn)時及時更換晶振片；裝好后,檢查晶振頻率是否正常顯示,壽命值是否為0.注：1、更換晶振片時,需保持晶振片外表清潔；2、更換晶控片后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信息.C、光控燈泡更換更換周期：7

42、天/周期7天為工作時間更換周期內(nèi)如果發(fā)現(xiàn)光信號發(fā)生波動較大時或出現(xiàn)極值點偏差時,那么當即更換光控燈泡注：更換光控燈泡后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信息；7.4南光鍍膜機清洗741清洗周期10天/周期以鍍AR計算w 60罩清水沖洗護板清洗要求：拆卸人員與噴砂人員共同填寫?南光鍍膜機清洗交接表? 排氣要求：溫度設定280C,抽真空2小時,并試槍空鍍5-10分鐘743配件更換A、電子槍燈絲更換2#電子槍燈絲更換周期：每次清洗機臺時更換.在生產(chǎn)周期內(nèi)出現(xiàn)電子槍燈絲打火或槍燈絲燒斷情況時可更換槍燈絲更換新的槍燈絲后要預熱10分鐘以上.注：作業(yè)員更換槍燈絲時組長需監(jiān)督確認,并在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表

43、?中記錄更換信息 以便在下次清洗設備時由組長判定是否再次更換槍燈絲 B、晶振片更換檢查晶振片壽命值,壽命值v 96%寸,必須更換晶振片.晶振片更換好后,需檢查晶振頻率是否正常顯示,壽命值是否?98%假設不是,那么需重新更換.注：1、更換晶振片時,需保持晶振片外表清潔；2、更換晶控片后需在?鍍膜原始數(shù)據(jù)記錄表?中記錄更換信息.7.5鍍膜機設備點檢7.5.1參照?鍍膜機日常點檢表?進行每天的日常點檢并做好記錄.7.5.2點檢人員核對點檢數(shù)據(jù)有無異常,假設有異常須馬上上報到組長處.組長核實點檢數(shù)據(jù)及分析, 假設能自行解決,那么處理后填好相關記錄,假設不能自行解決,馬上上報設備部,請設備部人員進 行修

44、理.八、鍍膜工藝8.1變溫工藝：適應于1#,2#機臺制作全部產(chǎn)品及其他機臺制作的反射鏡8.2設備測溫8.2.1測溫時機：8.2.1.1. 每次洗設備后烘設備時進行測溫,測試數(shù)據(jù)記錄入到?鍍膜機烘烤溫度記錄表?中.8.2.1.2. 機臺停機大于等于24小時后,開機使用時進行測溫,測試數(shù)據(jù)記錄入到?鍍膜機烘烤溫度記錄表?中.8.2.2測溫要求：A. 傘架全部上滿蓋片,1,5圈測試B. 設定溫度規(guī)定：設備名稱設定溫度昭和、韓一300 C萊寶、南光280 C注：設備進行了比擬大的變動時需特別提出注明設備部件維護,更換等8.2.3測溫方法：測溫1測溫28.2.4測定結果分析A. 測定真實溫度與標準規(guī)定值

45、差異在| AlvIO度時可正常生產(chǎn).平均B. 測定真實溫度與標準規(guī)定值差異在 10<| |<20度時,正常生產(chǎn),生產(chǎn)的片子需進行快速的水煮跟蹤測試品質(zhì)協(xié)作,及時反應信息,假設沒問題,繼續(xù)生產(chǎn)；假設有問題,及時反應當 班組長馬上停止生產(chǎn),將設定鍍膜溫度提升或者降低相對應的溫差來調(diào)節(jié)溫度進行測試,測試沒問題后再生產(chǎn).C. 測定真實溫度與標準規(guī)定值差異在| |>20度時,將設定鍍膜溫度提升或者降低相對應的溫差后,再進行測溫可與生產(chǎn)實驗同步進行,測試完成后再參照8.2.4的A、B C條款做出對應處理.探 舉例說明：昭合設備測溫的標準溫度為：1圈：260度 5 圈：270度鍍膜傘圈數(shù)標

46、準溫度T1洗設備后實測溫度T2I 1= |T1- T2|處理方法例11圈260 C255 C5 C由于| |=5<10 C,故按方法 A處理, 即正常生產(chǎn).5圈270 C262 C8 C由于| |=8<10 C,故按方法 A處理, 即正常生產(chǎn).例21圈260 C252 C8 C由于| |=8<10 C,故按方法 A處理, 即正常生產(chǎn)此時1 3圈也按方法A 處理.5圈270 C258 C12C由于| |=12<20 C,故按方法B處理, 此時4 5圈也按方法B處理.九、鍍膜應急情況處理方法9.1. 鍍膜機配件故障：故障部件問題點原因分析處理方法電子槍燈 絲燈絲不亮燈絲老化

47、開路定期提前更換槍燈絲安裝無意間使引腳折斷檢查燈絲并重裝.電子槍打火燈絲不回零時轉(zhuǎn)換電子槍造將燈絲電壓、電流回零后再轉(zhuǎn)換電子槍成電路產(chǎn)生大電流沖擊束流打到材料以外的部位調(diào)整掃描使束流光斑打在坩堝內(nèi)槍燈絲接觸不良用1000#砂紙及酒精將電子槍頭擦拭干 凈,檢查燈絲壓塊溝槽是否適宜,燈絲是 否壓緊.燈絲電壓、電流不穩(wěn)給定電位器接線松動檢查電位器連接電纜及引線燈絲電壓反向給定電位器接線斷開檢查電位器連接電纜及引線空開跳燈絲自身冷熱短路檢杳槍燈絲電子槍高壓無法啟動開高壓條件未滿足關好機柜門、翻開主機槍水流閥門,待咼 真空到達后,先開掃描再開咼壓掃描未翻開槍高壓空開斷開合上槍高壓空開高壓打火電子槍槍頭不

48、干凈或毛刺引起高壓 放電用1000#砂紙及酒精擦拭干凈槍頭,尤其 是高壓燈絲接線拄.經(jīng)常檢杳并擰緊高壓、線圈電流正常, 但坩堝內(nèi)無束斑主磁場偏轉(zhuǎn)極性不對調(diào)整X線圈引線位置線圈匝間短路檢查線圈阻值沒有束流放氣修理電子槍材料飛濺束流功率過大加上掃描電源,減少束流材料預熔不佳對材料手動預處理擋板 及工轉(zhuǎn)鍍膜時擋板無法開啟當板氣閥開的過小調(diào)整氣動閥開關坩堝擋板掉了或遮不住裝擋板時未裝好或氣閥氣流太大、 太小裝擋板時裝好并試運行工件盤不轉(zhuǎn)跳閘重新合上工轉(zhuǎn)空開異物卡住如掉落的鍍膜片停機檢杳92鍍膜機運行過程中故障故障部件問題點原因分析處理方法真空系統(tǒng)咼真空抽不上pocoly沒有工作開機后檢查poldcol

49、y電源及工作是否正常J有異物如掃描線、鋁紙、脫落的 膜料等壓在烝發(fā)室門上關蒸發(fā)室門前檢查門框和密圭寸圈鍍膜機水溫偏高冷水機缺水開機前檢查冷水機水位冷水機外循環(huán)子系統(tǒng)未翻開或缺水開機前檢查并啟動冷水機外循環(huán)系統(tǒng)鍍膜機冷卻水分配閥開度不合理適當調(diào)節(jié)冷水分配閥鍍膜機冷卻水總閥開度偏小翻開冷卻水總閥冷卻水總管上的旁通閥開度過大是否水壓到達3kg,如不是那么調(diào)整偏轉(zhuǎn),掃描系統(tǒng)無輸出偏轉(zhuǎn)線圈接線脫落關蒸發(fā)室門前檢查接線保險管燒壞更換保險管有電流無輸出幅度調(diào)節(jié)電位器損壞檢查幅度調(diào)節(jié)電位器及相關連線有輸出但調(diào)節(jié)范圍小偏轉(zhuǎn)線圈接線接觸不良清洗時碰 松接線關蒸發(fā)室門前檢查接線束流光斑偏出偏轉(zhuǎn)線圈接線錯誤檢查并調(diào)整

50、偏轉(zhuǎn)線圈接線烘烤系統(tǒng)烘烤恒溫不準熱電偶位置不對關蒸發(fā)室門前檢查熱電偶位置9.3.其他故障部件問題點原因分析處理方法其他部件晶振失效晶振臟污,晶振片質(zhì)量不好,晶振 片未上到位清理好晶振探頭并裝好晶振片光控信號不穩(wěn)或無信號光信號被異物遮住如鋁紙等或 接收窗的玻璃片臟污經(jīng)常檢查光信號通路是否被遮住光控未開或上部光源接線不良檢查光源接線后翻開光控上部光源未對準接收窗調(diào)整上部光源程序運行異常程序設定錯誤檢查程序,做正確的更改電腦開啟的程序太多,開啟時間過 長電腦進行重啟,清洗設備時電腦停機休息鍍膜過程中擴散泵顯示加熱傳感器顯示溫度正常檢查傳感器并清洗傳感器探頭加熱絲故障油溫在下降:報設備修理,更換加熱絲1光控信號忽然亂