鑄錠爐保養(yǎng)指導書REV.01

1、 普通作業(yè)指導書鑄錠爐保養(yǎng)指導書DOC.文件號： REV.版本號：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補充部 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準PAGE.頁: 1 OF 7簽 名日 期一、目的：規(guī)范鑄錠爐的保養(yǎng)檢修作業(yè)，以確保鑄錠爐得到應有的保養(yǎng)檢修，使該類設備在生產中安全正常運行。二、范圍：本操作指導書適用于所有多晶鑄錠爐。三、定義：無四、保養(yǎng)要求如下表：做任何檢查前應首先確認有無觸電、撞傷、夾傷、燙傷等各種危險，特別是在電源端子，真空泵、風機等處；必要時停止設備運行，甚至關閉水、電、氣開關、閥門等做必要的安全

2、防護措施。以下所有保養(yǎng)項目均由維修技術員執(zhí)行，并記入DSS爐月季年保養(yǎng)記錄。保養(yǎng)類型保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法月保養(yǎng)1.下腔提升系統(tǒng)維護1. 絲杠系統(tǒng)加潤滑油。用黃油槍從加油口加黃油，每個絲杠加黃油約7克.2檢查每個剎車，確保摩擦材料無磨損和松弛。抓住連接軸并試著用手轉動，應該不動。檢查所有的連接螺絲是否緊固。2.冷卻水流量計清潔及放出進水出水銅總管底部沉淀雜物1. 先關閉供水閥,再關閉對應回水閥。在維護爐腔的任一流量計時，要確保其他流入爐腔的水是關閉的（流入爐腔的不同水路之間可能沒有封死）；2. 折彎捏住要清潔流量計的紅色水管；3. 移開流量計的塑料蓋。用一個的內六角套筒反時針旋轉塑料蓋中心六方柱大約

3、30度以移開塑料蓋；4. 拆下葉輪、陶瓷軸和墊片。檢查其是否完好并用干凈的白潔布清除上述零件上的沉積物；5. 拆下蓋子上的O型圈進行檢查是否完好，若完好則進行清潔；若O型圈已損壞，則更換。裝回O型圈前，先給其表面抹少許真空油，再將它裝在蓋子上或流量計腔室中；6. 清除流量計腔室中的沉積物,檢查腐蝕情況及內部結構；7. 將陶瓷軸裝在軸孔上；8. 裝上葉輪,任一面朝里都可以；9. 將蓋子裝在流量計上：將蓋子邊緣突起部分與腔室中的對應狹槽的位置對好； 普通作業(yè)指導書鑄錠爐保養(yǎng)指導書DOC.文件號： REV.版本號：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補充部

4、 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準PAGE.頁: 2 OF 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法月保養(yǎng)10. 用雙手平穩(wěn)地按壓蓋子使其突起部分少許插入流量計腔室的狹槽中并使蓋子的孔與陶瓷軸配合好，然后用內六角套筒順時針旋轉蓋子約30度以鎖定；11. 松開紅色回水管；12. 清潔完所有流量計后，緩慢打開進水出水銅管底部球閥，使沉淀雜物排出，直至排出的水干凈無雜物。13. 要恢復水流至正常工作狀態(tài)時，一定要緩慢開啟各球閥，以免水流壓力沖擊給水路造成損壞；關球閥時也要緩慢。14. 檢查各流量計是否有泄漏。若有泄漏，可能是蓋子不緊，將蓋子緊到位。若還不能解決泄

5、漏，則卸掉蓋子清潔重裝再看結果。15. 檢查冷卻水管、接頭部分是否有滲漏。3.熱區(qū)檢查1.用手擰動檢查加熱器上螺母是否有松動，若有松動則用手擰緊。2. 驗證絕緣性：a)用萬用表檢查加熱器與隔熱籠頂部隔熱板及隔熱籠側壁是否絕緣，測得電阻必須在1000歐以上，否則予以維修處理（清理絕緣陶瓷片和絕緣陶瓷套上的石墨灰塵）；b)用萬用表檢查加熱器與上爐腔是否絕緣測得電阻必須在1000歐以上（清理絕緣陶瓷片和絕緣陶瓷套上的石墨灰塵）。3.用水平尺檢查隔熱籠是否水平以及位置是否正確，否則調整。4檢查DS-BLOCK上氧化鋯管的完好性，如果有斷、裂則予以更換。5檢查DS-BLOCK上熱電偶在“手動屏

6、幕”上的顯示讀數(shù)：當爐腔完全冷卻時，讀數(shù)應當接近室溫（20-30°C）。4.MFC檢查及校正1回到Manual screen,抽真空到600mbar左右；2從V/G框中選G，從In/Outlet框中選Outlet，并將Inlet%設定到20，壓力設定在600，V2和V3必須是開（按扭顯示綠色）；3從MFC測量出的反饋值應該快速停留在19-21%（20%±1%）；4如果反饋值不正確，確保氬氣壓力在1.5-2.5mbar，然后按照MFC制造商手冊中控制閥機械調零程序進行調整。如果反饋值讀數(shù)還不正確，則須換MFC或發(fā)外校正。 普通作業(yè)指導書DSS鑄錠爐保養(yǎng)指導書DOC.文件號：

7、REV.版本號：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補充部 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準PAGE.頁: 3 OF 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法月保養(yǎng)5.Herion 閥工作狀況檢查1. 按照“MFC檢查及校正”中的第1第2步建立各參數(shù)，在“Overview screen”的“Gas out”框中觀察Outlet 信號，它應該在50%到60%之間，壓力應該控制在600±1mbar范圍內；2. 將Inlet的值變成30%，等壓力穩(wěn)定后（約2分鐘），Outlet的值必須圍繞一個比第一步更高的值

8、變動，同時壓力還須控制在600±1mbar范圍內；3. 將Inlet的值變成10%，過約2分鐘后等壓力穩(wěn)定后，Outlet的值必須圍繞一個比第一步更低的值變動，同時壓力還須控制在600±1mbar范圍內；4. 如果Herion 閥不能按照上述方式執(zhí)行并控制壓力，先檢查Outlet的PID值是否正確。如果PID值正常，則按照季保養(yǎng)中的“Herion閥清潔”所述的方法清潔閥。如果還不能解決問題，則換閥體和/或閥的放大器。6.控制柜及電源柜和相關配件檢查、試驗1. 風扇檢查。所有的若不正常則更換，若正常則斷電進行清潔（在不拆卸零部件的情況下）。還須拆下電氣控制柜上風扇濾網(wǎng)進行清潔

9、。必要時用吸塵器對電氣部件上的灰塵進行清潔。2. 打開空氣控制盒子，慢慢調小調節(jié)器的壓力直到報警被激活PS1000空氣檢測器上的紅色LED將熄滅。報警在壓力50-55psi時將被激活，若不是這樣，則調節(jié)PS1000開關上的紅色螺絲直到正常。確認在臨界點附近升降壓力時工作正常，再將壓力調節(jié)到65-68psi（不要超過70psi）；GENERAL WI 普通作業(yè)指導書鑄錠爐保養(yǎng)指導書DOC.文件號： REV.版本號：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補充部 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準PAGE.頁: 4 OF

10、 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法月保養(yǎng)4. 檢查UPS的LED的顯示。檢查頂部和底部的LED的Line和INV.應亮并穩(wěn)定，Bat和Load各至少有一個亮，若有其它燈亮或者上述的燈不亮，參考制造商手冊；7.真空泵異常音異常震動檢查泵的固定螺絲螺母有沒松動，吸氣管道有沒松動，閥門有沒松動8.機械泵上油霧分離器壓力檢查拆開油霧分離器排氣管，讓機械泵正常運轉，檢查排出的霧是否看得見。正常應該是看不見的。如果看得見，則說明濾芯破損（如果壓力表讀數(shù)是0.5PSI以下，則說明是濾芯破損）或濾芯安裝不正確，則進行對應處理；9.真空泵油標線和系統(tǒng)檢查檢查機械泵的玻璃視窗口的油標線，油標線應位于視窗口的

11、1/3與2/3之間；羅茨泵的油標線應保持在凹陷區(qū)域范圍內。GENERAL WI 普通作業(yè)指導書鑄錠爐保養(yǎng)指導書DOC.文件號： REV.版本號：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補充部 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準PAGE.頁: 5 OF 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法季度保養(yǎng)1.真空計校正-粗真空計校正注意：在做任何真空計的調節(jié)前必須保證給真空計通電至少30分鐘。粗真空計校正：a) 為調節(jié)粗真空計的零點，爐膛壓力必須在0.1毫巴以下。打開大流量真空閥門（V1）并啟動真空泵抽真空使爐腔壓力降至0.

12、1毫巴以下。在“Manual screen”點擊 “Maint screen”,輸入密碼則出現(xiàn)“MAINTANCE SCREEN”對話框，粗細真空計的讀數(shù)顯示在該對話框中；b) 若屏幕顯示的粗真空計的讀數(shù)不為零，則調節(jié)位于粗真空計頂部的電位計（調節(jié)前必須確保該真空計已通電30分鐘以上），直至顯示的讀數(shù)為0±0.5毫巴；c) 回到“Manual screen”，關閉V1閥，然后充氬氣使爐腔壓力達到大氣壓力。停留30秒以使壓力穩(wěn)定，然后檢查“Maint screen”上粗真空計的大致讀數(shù)為980±10毫巴；d) 若氣壓讀數(shù)超出偏差范圍，則反時針旋轉粗真空計頂部的紅色環(huán)形蓋子以使

13、分壓計（左手邊）露出來。調節(jié)該分壓計直至達到上述壓力范圍。最后裝好紅色環(huán)形蓋子。2.Herion閥清潔1. 確保爐腔及真空管路在大氣壓下并且兩個泵都是關閉的。Herion閥位于機器的后面V1閥的上邊；2. 用螺絲刀松開螺絲繼而卸掉放大器的插頭；3. 卸掉夾持器，卸下閥。小心不要掉了密封圈；4. 松開但不卸掉閥端面蓋板上的四個內六方螺絲；5. 用一只手壓住蓋板從而壓住彈簧，另一只手卸下四個螺絲；6. 小心的松開蓋板，露出彈簧和O型圈；7. 取出里邊所有的部件：彈簧O型圈和閥芯；然后再松開電磁鐵一端的四個螺絲，取出銅導套和O型圈；8. 用潔凈布或紙蘸酒精去除閥體內積塵；9. 用潔凈布或紙蘸酒精對上

14、述取出的所有零件進行清潔；10.  把閥芯插入閥體（尖部在前）；11.  插上彈簧，并把O型圈放入槽中；12.  小心地壓上蓋板，并對準螺絲孔，插上螺絲，均勻的上緊螺絲；13.  將電磁閥一端的銅套和O型圈正確裝配，并擰緊螺絲；14.  把Herion閥裝回真空管路上，保證連接處的密封圈清潔，擰緊加緊器；15.  把閥的放大器連接上并檢查閥的運作。GENERAL WI 普通作業(yè)指導書鑄錠爐保養(yǎng)指導書OC.文件號： REV.版本號：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補充部 門ORIGINAT

15、OR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準PAGE.頁: 6 OF 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法半年保養(yǎng)1.機械泵換油1放油：運行泵直到油溫達到正常運轉時溫度（63-75°C），確認爐腔內壓力在980mbar左右，且V1閥關閉，停止泵運轉，關閉機械泵斷路器以保安全。將容器放在油箱的放油閥下，打開閥，直到油放完，可以轉一下泵把泵里邊殘留的油放干凈，關閥。2. 加油：對于真空泵：加油確保O型圈是完好后把注油口蓋擰緊；然后給上注油口加油直到油標線到達視窗的2/3處，再擰緊上注油口油塞。3確保真空隔離閥（V1）是關閉的，啟動泵。觀察游標線，一兩分鐘后關泵，并從上注油孔加

16、油到油標線到達視窗中間。 2.羅茨泵換油1關泵并關閉斷路器以保安全。2用低而小的油盆放在泵的兩端放油口下，卸下磁性油塞放油，放完油后，擰緊油塞。3卸下兩個注油塞，給每個注油孔中加半夸脫油，確保游標線接近凹槽上線，需要時再加油。4擰緊油塞，開機械泵，約20分鐘后設定真空模式為V，等待壓力達到50mbar以下時加強泵開啟。5在加強泵運轉幾分鐘后，檢查游標線。如果游標線變化很大，停止泵運轉，加油或放油。3連軸器 橡膠塊氣鎮(zhèn)功能檢查1檢查時發(fā)現(xiàn)破損請立即跟換，兩個帶輪的定位及與軸連接的緊密情況，再檢查帶的磨損情況，若磨損嚴重，則換帶；2.使用氣鎮(zhèn)功能時，會發(fā)生灰塵等阻塞氣鎮(zhèn)孔上裝的針閥，以及泵內氣體通路的情況。GENERAL WI 普通作