半導(dǎo)體廠務(wù)常用縮寫(共3頁)

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上CUP        Central Utility Plant        中央動力廠房GEX        General EXhaust        普通及熱排氣SEX         Scrubber EXhaust        酸排氣VEX        Volatile or

2、gaic compound EXhaust         有機溶劑排氣AEX        Ammonia EXhaust        鹼性排氣PCW        Plant Cooling Water        工藝冷卻水PV        Process Vacuum        工藝真空HV 

3、;       House Vacuum        真空吸塵CW        City Water        自來水FMCS        Faility Monitoring Contro System        廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)        MCC        Motor

4、 Control Center        馬達控制中心                VFD        Variable Frequency Device   變頻器                CCTV        Close Circuit Televsion   

5、;     閉路電視                PA        Public Adress system        廣播系統(tǒng)FA        Fire Alarm  system        火災(zāi)報警系統(tǒng)UPW        Ultra Pure Water

6、60;       超純水FWW        Fluoride Waste Water        低濃度氫氟酸廢水IWW        Industry Waste Water        工業(yè)廢水                OWW        Organic Waste W

7、ater        有機溶劑廢水                DAHW        Drain Amonia  Hydride        Waste         含氨廢水                RCL    

8、0;   Recycle water        製程回收循環(huán)水RCM        Reclaim water        製程回收再利用水HFW        High Fluoride Waste water        高濃度氫氟酸廢水                BGW  

9、0;     Backgriding Waste water        晶背研磨廢水                SAW        Sulfuric Acid Waste water  硫酸廢液                PAW        Phosphoric

10、Acid Waste water        磷酸廢液                SW        Stripper Waste water        剝離液廢液TW        Thinner Waste water         清洗廢液PIX       

11、Pix waste water        PIX廢液SLOW        Oxide slurry waste water        介電質(zhì)研磨廢水                 SLWP        Metal slurry waste water        金屬研磨廢水

12、0;                SLWP        Poly slurry waste water        多晶硅研磨廢水                 PN2        Process N2    製程用氮氣     

13、            GN2        General N2        一般用氮氣CDA        Compressor         Dry Air    壓縮乾燥空氣                VMB   

14、     Valve Manifold Box        閥箱                空調(diào)系統(tǒng)                AHU        Air Handling Unit         空調(diào)箱           

15、     MAU        Make-up  Air Unit     外氣空調(diào)箱VAV        Variable Air Volume  box    可變風(fēng)量風(fēng)箱FFU        Fan Filter Unit         風(fēng)車過濾器        

16、0;       HEPA        High Efficiency Particulate Filter         高效率過濾器        ULPA        Ultra Low Penetration Filter     超高效率過濾器               

17、 A/S        Air  Shower        空氣浴塵室CUP        Central Utility Plant        中央動力廠房電力系統(tǒng)                FMCS        Faility Monitoring Control System

18、60;       廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)                MCC        Motor Control Center        馬達控制中心                VFD        Variable Frequency Device    &#

19、160;   變頻器                CCTV        Close Circuit Televsion        閉路電視                SCADA        Supervisory  Control And Data Acquisition&#

20、160;       監(jiān)視控制和數(shù)據(jù)搜集系MCC        Motor Control  Center        馬達控制中心VFD        Variable Frequency Device        變頻器                水處理系統(tǒng)     

21、           UPW        Ultra Pure Water        超純水                RO        Reverse Osmosis        逆滲透膜TOC        Total Organic Carbon&#

22、160;       總有機碳                MB        Mixed Bed        混床UF        UltraFiltration        超濾SC        Strong Cation       

23、 強陽離子SA        Strong Anion        強陰離子WA        Weak Anion        弱陰離子DO        Dissolved Oxygen        溶解氧MD        Membrane        Degasi

24、fy        脫氣膜GF        Gravity Filter        重力式過濾器.DI        Deionize        去離子水氣體/化學(xué)系統(tǒng)                CQC        Continuous   

25、     Quality Control連續(xù)品質(zhì)控制系統(tǒng)VMB        Valve Manifold Box        閥箱VMP        Valve Manifold Panel        閥盤                GMS        Gas M

26、onitoring System  氣體監(jiān)測系統(tǒng)                CDS        Chemical Dispense System        化學(xué)系統(tǒng)                SDS        Slurry Dispense System  &#

27、160;       化學(xué)研磨系統(tǒng)                環(huán)境安全衛(wèi)生                ESH        Environment Safety Health        環(huán)境安全衛(wèi)生                SCBA

28、        Self Contained Brathing Apparatus                自給式空氣呼吸器                                        

29、                 HVAC        AHU        Air Handling Unit         空調(diào)箱MAU        Make-up Air Unit         外氣空調(diào)箱         

30、      VAV        Variable Air        Volume  box    可變風(fēng)量風(fēng)箱                FD        Fire Damper        防火風(fēng)門FSD        combine

31、d  Fire Smoke        Damper     防火防煙風(fēng)門                SD        Smoke  Damper        防煙風(fēng)門PHX        Plated  type Heat Exanger 

32、;       板式熱交換器FFU        Fan Filter Unit        風(fēng)車過濾器                 HEPA        High Efficiency Particulate Filter        高效率過濾器      

33、0;         ULPA        Ultra Low Penetration Filter        超高效率過濾器                A/S        Air Shower        空氣浴塵室A/L        Air Lock 

34、;       氣閉門室DCC        Dry Cooling Coil        干盤管                FCU        Fan Coil Unit         小型冷風(fēng)機SF        Smoke Fan      

35、  消防排煙風(fēng)車EF        Exhaust Fan        通風(fēng)排氣風(fēng)車CUP        Central Utility Plant        中央動力廠房                GEX        General EXhaust       &#

36、160; 普通及熱排氣SEX        Scrubber EXhaust 酸排氣VEX        Volatile orgaic compound EXhaust         有機溶劑排氣AEX        Ammonia EXhaust         鹼性排氣PCW        Process Cooling Water  &#

37、160;     工藝冷卻水PV        Plant Vacuum          工藝真空HV        House Vacuum        真空吸塵CW        City Water        自來水FMCS        Faility Monit

38、oring Control System        廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)        MCC        Motor Control Center        馬達控制中心                VFD        Variable Frequency Device     

39、  變頻器CCTV        Close Circuit Televsion        閉路電視                PA        Public Adress system        廣播系統(tǒng)FA        Fire Alarm  system 

40、      火災(zāi)報警系統(tǒng)UPW        Ultra Pure Water        超純水RO        reverse Osmosis        逆滲透膜TOC        total  organic carbon        總有機碳     

41、60;         MB        mixed bed        混床UF        ultrafiltration        超濾SC        strong cation        強陽離子SA        strong  A

42、nion        強陰離子WA        weak Anion        弱陰離子DO        dissolved oxygen        溶解氧MD        membrane Degasify        脫氣膜GF        gravity

43、 Filter        重力式過濾器.DI        deionize        去離子水FWW        Fluoride Waste Water        低濃度氫氟酸廢水                IWW        Industry Waste

44、 Water        工業(yè)廢水                OWW        Organic Waste Water        有機溶劑廢水DAHW        Drain Amonia Hydride Wastewater        含氨廢水       

45、         RCL        Recycle water        製程回收循環(huán)水RCM        Reclaim water        製程回收再利用水HFW        High Fluoride Waste         高濃度氫氟酸廢液      

46、0;         BGW        Backgriding Waste water        晶背研磨廢水                SAW        Sulfuric Acid Waste        硫酸廢液                PAW        Phosphoric         Acid Wa