前后基板制造技術(shù)的研究進(jìn)展

1、PDP前后基板制造技術(shù)的研究進(jìn)展摘要：綜述了等離子體顯示器（PDP）前后基板的研究進(jìn)展對(duì)基板玻璃性能要求及其熱性能的分析及改進(jìn)方法，幾種使用的基板玻璃，以及基板玻璃的生產(chǎn)工藝關(guān)鍵字：PDP 前后基板 性能 基板玻璃 生產(chǎn)工藝1PDP結(jié)構(gòu)示意圖及工藝制造流程圖2.PDP的工作原理PDP的工作氣體為惰性氣體 N e + Xe ,利用N e的亞穩(wěn)態(tài)與 Xe 的碰撞 ,產(chǎn)生電離雪崩 ,使Xe 電離成,再經(jīng)內(nèi)部能量馳豫 ,到Xe的1s激發(fā)態(tài).當(dāng)它躍遷到基態(tài)時(shí)發(fā)出147nm 真空紫外光 , 該紫外光激發(fā)紅 、藍(lán) 、綠色熒光粉 ,發(fā)出可見(jiàn)光顯示圖像. 離子亞穩(wěn)態(tài)原子及高能光子可以從陰極表面轟擊出次級(jí)電子 ,

2、當(dāng)這些次級(jí)電子滿(mǎn)足時(shí) ,氣體的電離可保持 自維持狀態(tài). 式中 a為次級(jí)電子的發(fā)射系數(shù) , U為外加電壓,是電離系數(shù). 由于PDP的伏安曲線(xiàn)具有很強(qiáng)的非線(xiàn)性 ,選址時(shí)間較短 ,在矩陣選址 中它 的行數(shù)可 以達(dá)到2k ,像素間距0.33mm ,障壁寬度 30m ,物理分辨率可以達(dá)1280×1024,亮度50 500 cd/ m2,對(duì)比度 200 400 ,視角可達(dá) 160°.由此可見(jiàn) , PD P 達(dá)到了我國(guó)數(shù)字電視的圖像顯示標(biāo)準(zhǔn).3基板玻璃的性能要求31 熱性能的要求 由圖1的彩色PDP制造工藝流程圖可以看出，組成彩色PDP的前后玻璃基板都需要經(jīng)過(guò)一系列的厚膜印刷和高溫烘 烤

3、、燒結(jié)。通常這些燒結(jié)過(guò)程溫度在450600°C之間，封接溫度 為380400°C，排氣最高溫度為 350°C。因此，彩色PDP基板 玻璃的熱穩(wěn)定性對(duì)PDP的質(zhì)量起著非常重要的作用。 對(duì)目前 PDP的基板玻璃來(lái)說(shuō)，很多燒結(jié)過(guò)程的溫度高于玻璃的應(yīng)變點(diǎn)，我們知道，在玻璃的應(yīng)變點(diǎn)附近 ，玻璃的黏度一彈性特性變化很快 ，從而導(dǎo)致玻璃基板產(chǎn)生彎曲、不規(guī)則形變和熱 收縮。對(duì)玻璃基板而言，熱收縮可能會(huì)造成最大的形變 。例如，在對(duì)角線(xiàn)為 lm 的彩色ACPDPHDTV 中，基板玻璃百萬(wàn)分之二十的不恰當(dāng)收縮就會(huì)產(chǎn)生至少一個(gè)象素的完全錯(cuò)位 。因而，基板玻璃具有高的應(yīng)變點(diǎn)對(duì)PDP的質(zhì)量也

4、起著至關(guān)重要的作用。 另外為了沿用現(xiàn)已開(kāi)發(fā)出來(lái)的PDP材料要求基板玻璃具板玻璃具有較高的熱膨脹系數(shù)。但是，通常若玻璃具有較高的應(yīng)變點(diǎn)，則膨脹系數(shù)較低，這是開(kāi)發(fā)這種新型基板玻璃的難點(diǎn)之一。32 化學(xué)穩(wěn)定性的要求在等離子體顯示器的生產(chǎn)過(guò)程中，要使用許多化學(xué)溶劑，進(jìn)行涂膜和光刻，這就要求基板玻璃具有 良好的化學(xué)穩(wěn)定性。在各種不同的光刻溶劑的侵蝕下，基板玻璃不能產(chǎn)生可見(jiàn)的缺陷。3.3 電阻的要求 等離子體顯示器 (PDP)的基本結(jié)構(gòu) 是 由前后兩塊玻璃基板組成的。在前基板上面制作有匯流電極、透明電極、支撐電極等；后基板上則制有與前基板上電極互相垂直的電極與肋條，并涂有熒光粉。前基板作為PDP的陽(yáng)極，后

5、基板則作為PDP的陰極。肋條用于隔離前后基板，以形成放 電空間，并分隔與構(gòu)成象素單元，以防止因象素間串?dāng)_而惡化象質(zhì)。在放電空間內(nèi)充有用 作氣體電離放電的惰性氣體 (通常是氖氣)。從PDP的結(jié)構(gòu)可以看出，玻璃基板主要是用來(lái)密封內(nèi)部的放電物質(zhì)的，它必須保證 內(nèi)部與外部的電絕緣性，因此要求基板玻璃有較高的體電阻。4. PDP基板玻璃的熱性能分析 在PDP開(kāi)發(fā)初期，普遍使用鈉鈣浮法玻璃，隨著大屏幕、高分辨率PDP的研究開(kāi)發(fā)， 發(fā)現(xiàn)基板玻璃在反復(fù)燒結(jié)時(shí)容易引起玻璃熱收縮量的較大變化，甚至發(fā)生扇形彎曲，這一現(xiàn)象是什么原因造成呢? 我們來(lái)分析以下玻璃的熱膨脹曲線(xiàn)，對(duì)于經(jīng)過(guò)退火的玻璃，其膨脹曲線(xiàn)符合圖2所示的

6、特征。玻璃經(jīng)過(guò)加熱，b點(diǎn)為轉(zhuǎn)變點(diǎn)，在膨脹曲線(xiàn)的ab段近乎成直線(xiàn)關(guān)系，bc段變化比較 劇烈，玻璃呈粘彈性。我們知道，玻璃在低于凝固點(diǎn)時(shí)，可認(rèn)為其結(jié)構(gòu)單元已大體上互相結(jié)合。不過(guò)這些結(jié)構(gòu)單元總還存在一些有限的活動(dòng)性使它們能相對(duì)更換位置。網(wǎng)絡(luò)中結(jié)構(gòu)單元朝著能量分配更恰當(dāng)?shù)奈恢玫霓D(zhuǎn)換過(guò)程在高溫時(shí)進(jìn)行的很快。圖3很清楚地顯示出在Tg以下溫度時(shí)玻璃流動(dòng)的現(xiàn)象。直徑2cm的玻璃棒a由于在冷卻時(shí)形成內(nèi)部的拉應(yīng)力和 表面的壓應(yīng)力，只要將玻璃棒加熱到90，即距離Tg還很遠(yuǎn)的溫度，原來(lái)磨的十分平整 的玻璃棒會(huì)變成b的形狀。這種變形冷卻到室溫后也不能完全復(fù)原，而只是呈c的形狀。玻璃熔體在軟化區(qū)間的黏度為，在轉(zhuǎn)變范圍的黏

7、度為。這就是說(shuō)，轉(zhuǎn)變點(diǎn)在一定條件下可在一定范圍內(nèi)變動(dòng)。H沙爾孟通過(guò)試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)相同組成的玻璃冷卻速度不同，長(zhǎng)度變化與溫度的關(guān)系曲線(xiàn)全然不同。這是由于玻璃的冷卻速度不同時(shí)導(dǎo)致玻璃結(jié)構(gòu)疏密程度不同，因而使得玻璃在室 溫時(shí)有不同的長(zhǎng)度尺寸。所以當(dāng)尺寸相同的玻璃重新經(jīng)過(guò)相同的升溫、降溫過(guò)程也極有可能導(dǎo)致最終玻璃尺寸不同。因此說(shuō)，玻璃重新加熱后，其冷卻曲線(xiàn)和加熱曲線(xiàn)是不重合的。這樣偏離的程度與玻璃的組成及熱歷史有關(guān)。 通過(guò)上述分析，當(dāng)玻璃加熱溫度在Tg溫度以下時(shí)，冷卻后玻璃一定存在一定的收縮形變，但這種變化具有一定的規(guī)律性，在制作PDP時(shí)可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)，將變形量考慮在模板上予以校正。當(dāng)玻璃加熱溫度在Tg溫度以

8、上時(shí)，冷卻后的收縮形變將十分劇烈，并且難以把握其規(guī)律。普通鈉鈣浮法玻璃Tg溫度為520540，對(duì)于PDP在580600的 最高制作溫度，早已越過(guò)了轉(zhuǎn)變溫度，因此不可以作為PDP玻璃基板使用。對(duì)PDP基板玻璃而言，要求其具有較好的熱學(xué)性能，有較高的轉(zhuǎn)變點(diǎn)、軟化點(diǎn)，同時(shí)在膨脹系數(shù)上應(yīng)能與所用漿料相匹配，即膨脹系數(shù)必須在。屬于一種近于無(wú)色高透過(guò)率的優(yōu)質(zhì)平板玻璃。 為了解決普通鈉鈣玻璃在PDP應(yīng)用中出現(xiàn)的問(wèn)題，日本旭硝子開(kāi)發(fā)出了一種PD200玻璃，該玻璃最大的特點(diǎn)是熱膨脹系數(shù)與鈉鈣玻璃幾乎一樣，而應(yīng)變點(diǎn)和退火點(diǎn)比鈉鈣玻璃都提高了 60左右，從而使基板上的漿料的 燒成溫度都比PD200的應(yīng)變點(diǎn)低，大大改

9、善了基板玻璃的熱穩(wěn)定性。西安交通大學(xué)卜忍安教授對(duì)PDP專(zhuān)用基板玻璃與普通玻璃在PD制作中的熱收縮進(jìn)行了比較實(shí)驗(yàn)。圖4示出了PD200和普通鈉鈣玻璃熱收縮量與熱處理溫度的變化關(guān)系。從圖4可以看出預(yù)處理后的 PD200在低于580時(shí)不同燒結(jié)溫度的熱收縮比普通鈉鈣玻璃小得多。這主要是由于普通鈉鈣的TgP溫度為540，PD200的Tg溫度 為620，在低于580的溫度下PD200的收縮呈現(xiàn)線(xiàn)性規(guī)律變化，而普通鈉鈣玻璃在經(jīng)歷580的處理后其收縮不再符合線(xiàn)性規(guī)律。5. PDP用基板玻璃 51 鈉鈣硅玻璃 目前，大部分PDP研究開(kāi)發(fā)單位所用玻璃基板仍為鈉鈣硅玻璃，也有使用在此基礎(chǔ)上改進(jìn)了性能的鈉鈣硅玻璃，如

10、旭硝子的Asahi玻璃，這種玻璃的顯著優(yōu)點(diǎn)是價(jià)格便宜，且與已開(kāi)發(fā)出的彩色PDP其它材料相匹配，能進(jìn)行大批量生產(chǎn)。但是這些玻璃的共同缺點(diǎn)是應(yīng)變點(diǎn)低，熱穩(wěn)定性差。玻璃的熱穩(wěn)定性在很大程度上取決于它的熱歷史。玻璃的熱歷史是指玻璃從高溫液態(tài)冷卻通過(guò)轉(zhuǎn)變溫度區(qū)域和退火溫度區(qū)域的經(jīng)歷，包括在該區(qū)域內(nèi)停留的時(shí)間和冷卻速度等。在轉(zhuǎn)變溫度區(qū)域內(nèi)，玻璃由于粘度逐漸增加而從典型的液體狀態(tài)逐變成具有固態(tài)物體各種性能(即彈性、脆性等性質(zhì))的物體。對(duì)應(yīng)地，Tf為轉(zhuǎn)變溫度區(qū)上限，相當(dāng)于粘度為Pa·s時(shí)的溫度，Tg為轉(zhuǎn)變溫度區(qū)的下限，相當(dāng)于粘度為 1×Pa·s時(shí)的溫度。為了消除玻璃中的內(nèi)應(yīng)力，必

11、須將玻璃加熱到低于轉(zhuǎn)變溫度Tg附近某一溫度進(jìn)行保溫均熱，使應(yīng)力松弛，這一溫度稱(chēng)為退火溫度。退火溫度可分為最高退火溫度和最低退火溫度。最高退火溫度相當(dāng)于粘度為 1×Pa·s時(shí)的溫度，在該溫度下經(jīng)過(guò)3min，玻璃的應(yīng)力能消除95%，在最低退火溫度下經(jīng)3min，玻璃的應(yīng)力能消除5%。稱(chēng)為玻璃的應(yīng)變點(diǎn)或稱(chēng)為變形溫度，在該溫度下，玻璃中應(yīng)力正好不能消除，相當(dāng)于粘度為 1×Pa·s左右時(shí)的溫度。由溫度與粘度的關(guān)系可得：平板玻璃的退火溫度區(qū)一般為550570，而PDP制造工藝的熱處理溫度為450600，高于鈉鈣硅玻璃的轉(zhuǎn)變溫度下限，更明顯高于玻璃的應(yīng)變點(diǎn)溫度，且存在溫

12、度的不均勻性。這時(shí)玻璃易產(chǎn)生平面方向的變形和彎曲。特別是在玻璃的批量生產(chǎn)過(guò)程中，用隧道爐燒結(jié)玻璃基板時(shí)，由于前進(jìn)過(guò)程中溫度不均勻，導(dǎo)致玻璃基板的扇形變形 (如圖2) 這給大面積、高精度PDP的制造帶來(lái)很大困難。再則 ，在相當(dāng)于，玻璃轉(zhuǎn)變溫度以上的區(qū)域 內(nèi)反復(fù)加熱，冷卻，如果冷卻不均勻，會(huì)在玻璃基板內(nèi)產(chǎn)生應(yīng)力，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致基板一定程度的彎曲(如 圖3)因此，從PDP對(duì)基板玻璃的要求和普通鈉鈣硅玻璃的特性來(lái)看，大面積高清晰度PDP顯示器基板玻璃采用鈉鈣硅玻璃不合適的。5.2鉛玻璃另外，目前鉛玻璃也常被用做PDP的基板玻璃，這是因?yàn)殂U玻璃具有 良好的電氣特性，并能在600的溫度下燒結(jié)。但由于鉛有較大

13、的氧化還原性，在燒結(jié)中會(huì)與氧化還原性小于它的金屬電極材料，例如鎳發(fā)生反應(yīng) ，使鉛玻璃中的離子形式存在的鉛變成金屬鉛。又因鉛的熔點(diǎn)低，蒸汽壓強(qiáng)高，這就會(huì)在基板玻璃與電極材料間生成氣泡，降低兩種材料粘接的強(qiáng)度。此外，鉛玻璃還存在一個(gè)最嚴(yán)重的問(wèn)題，就是它的毒性 ，含鉛的材料會(huì)對(duì)人體健康和社會(huì)環(huán)境造成嚴(yán)重的危害。因此，鉛玻璃也不是用做PDP基板玻璃的理想材料。5.3新型PDP用玻璃由于傳統(tǒng)玻璃具有不適合用做PDP基板玻璃的一系列缺點(diǎn)，科研工作者便試圖通過(guò)調(diào)整玻璃成分找到一種符合PDP基板玻璃性能要求的新型玻璃。目前 ，日本旭硝子公司和美國(guó)康寧公司已開(kāi)發(fā)出彩色PDP專(zhuān)用基板玻璃 PD200和Cs25玻璃

14、。其玻璃成分如表 1所示。玻璃組分中堿金屬氧化物 已明顯減少，其物理性能也有明顯改善。PD200比早期開(kāi)發(fā)的Asahi鈉鈣玻璃的應(yīng)變點(diǎn)高60，熱變形性能也比普通鈉鈣硅玻璃的好。在PDP熱處理溫度區(qū)(600)普通鈉鈣硅玻璃有較大的變形量，而PD200則幾乎沒(méi)有變形。這種玻璃可與 日本漿料生產(chǎn)廠(chǎng)家Noritake的漿料配套使用，Noritake的漿料 (介質(zhì)、導(dǎo)體等漿料)推薦燒成溫度為 550，保溫10min。Cs25的應(yīng)變點(diǎn)高達(dá)610，并且經(jīng)過(guò)多次燒結(jié)，其熱收縮也只有很小的變化，經(jīng)過(guò)退火后的Cs25在 610對(duì)玻璃進(jìn)行處理，其熱膨脹小于百萬(wàn)分之二十。而且Cs25在550600時(shí)的彎曲速率大約比標(biāo)

15、準(zhǔn)的SodaLime鈉鈣玻璃的低3個(gè)數(shù)量級(jí)。Cs25可與杜邦公司開(kāi)發(fā)的各種漿料配套使用。杜邦公司用于PDP的漿料燒成溫度為590，保溫10min.PD200和Cs25新型基板玻璃在很多性能上優(yōu)于傳統(tǒng)PDP 用基板玻璃，但由于成本太高，至今仍沒(méi)有實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)。 6.PDP基板玻璃的組成和生產(chǎn)工藝 通過(guò)上述分析知道，PDP基板玻璃的組成必然與普通鈉鈣玻璃不同，同時(shí)由于PDP的特殊性能、質(zhì)量要求，決定其生產(chǎn)工藝也應(yīng)有別于普通Na-Ca玻璃，下面對(duì)此特點(diǎn)作一分析。 61 PDP基板玻璃的組成 PDP基板玻璃的基本組成目前比較成熟的有含堿的系統(tǒng)和無(wú)堿的系統(tǒng)。日本旭硝子(株)特開(kāi)平8165138

16、公布的玻璃及日本電器硝子(株)特開(kāi)平8-290938、8-290939公布的玻璃均屬于含堿的系統(tǒng)；康寧公司USP5459109公布的玻璃屬于系統(tǒng)。 (1)系統(tǒng)基板玻璃 系統(tǒng)基板玻璃有代表性的基本組成為()：(2系統(tǒng)基板玻璃 康寧公司USP 5459109首先公開(kāi)了系統(tǒng)的PDP基板玻璃。在這一類(lèi)型的基板玻璃組成中沒(méi)有一價(jià)堿金屬，其組成范圍是： 澄清劑0-1.5 6.2 PDP基板玻璃的生產(chǎn)工藝 PDP基板玻璃屬于電子器件特種玻璃，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求很高，大多數(shù)要達(dá)到光學(xué)級(jí)的要求。其生產(chǎn)工藝必須考慮能充分滿(mǎn)足產(chǎn)品的最終質(zhì)量要求。 1) 玻璃的熔制和澄清 上述兩種系統(tǒng)的玻璃，由于系統(tǒng)中，引入了高溫易揮發(fā)

17、的生產(chǎn)十分難以控制，大多數(shù)生產(chǎn)者傾向于采用系統(tǒng)，本節(jié)在討論玻璃的熔制和澄清時(shí)主要對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了較為詳盡的論述。PDP基板玻璃在熔化時(shí)，熔制溫度較高，比傳統(tǒng)鈉鈣硅玻璃高60以上，高溫粘度大，配合料熔化困難，氣泡難以排除。而用戶(hù)對(duì)產(chǎn)品的要求達(dá)到光學(xué)級(jí)，大于0.2ram的氣泡不允許存在。因此其熔制的難點(diǎn)主要在于澄清過(guò)程。目前，常用的澄清工藝是大澄清部延時(shí)澄清，國(guó)內(nèi)的全部浮法線(xiàn)及國(guó)外的大部分均采用這種方法，其特點(diǎn)是將熔窯的澄清部加長(zhǎng)，使玻璃在該部位停留時(shí)間延長(zhǎng)，讓玻璃中的小氣泡有充足的時(shí)間上升到玻璃液表面排出或者溶解于玻璃中。其優(yōu)點(diǎn)是投資少，工藝簡(jiǎn)單。缺點(diǎn)是，澄清效率低、浪費(fèi)能源，基本屬于自然排泡，殘留

18、氣體量較高，微氣泡難以排除。對(duì)于PDP基板玻璃采用這種方法，根本無(wú)法保證產(chǎn)品對(duì)氣泡的要求，因此必須采用先進(jìn)的澄清工藝。 國(guó)外基本成熟的先進(jìn)澄清方法有兩種： 第一，降低玻璃液厚度的薄層澄清法，這種方法的特點(diǎn)是在澄清區(qū)采用特殊結(jié)構(gòu)使玻璃液層明顯變薄厚度在10cm以下，內(nèi)層玻璃被提到淺層或表面，加速氣泡排出。這種方法又分為窯坎澄清和通道澄清，前者是在熔化和冷卻中間窯爐底部被一個(gè)階梯狀提升的窯坎分開(kāi)，窯坎橫跨整個(gè)池窯。窯坎部分作為澄清部使用，亦稱(chēng)為澄清坎，由于在該部位玻璃液厚度在lOcm以?xún)?nèi)，玻璃液層的大幅度變薄，使熔體內(nèi)的氣泡很快到達(dá)液面，有利于氣泡的排除，顯著提高澄清效果。后者是在熔化部末端加有一

19、段內(nèi)部特殊處理的白金通道，玻璃從中流過(guò)得到澄清。第二，采用負(fù)壓(真空)澄清，比較成功的是日本旭硝子的PDP基板玻璃生產(chǎn)線(xiàn)，其特點(diǎn)是在熔化部末端特殊處理的白金通道內(nèi)處于真空狀態(tài)，當(dāng)玻璃流過(guò)時(shí)，氣體快速排出， 這是目前最好的澄清方法。通過(guò)以上分析，認(rèn)為PDP基板玻璃在熔制工藝上應(yīng)采用全新理念，全面改進(jìn)提高窯爐的技術(shù)水平，以達(dá)到特種玻璃及高品質(zhì)玻璃的質(zhì)量要求。 1)改變窯爐結(jié)構(gòu)，引進(jìn)開(kāi)發(fā)新的澄清工藝 傳統(tǒng)玻璃熔窯玻璃液在池窯內(nèi)熔化時(shí)，存在兩大回流。在兩大回流中間有一滯止三角區(qū)，該三角區(qū)位于熱點(diǎn)下方。當(dāng)生產(chǎn)工藝出現(xiàn)波動(dòng)時(shí)，該三角區(qū)便發(fā)生變化，三角區(qū)內(nèi)未熔化的顆粒及各種雜質(zhì)便帶入后面生產(chǎn)流中，引起質(zhì)量大

20、幅度降低。新的窯爐結(jié)構(gòu)第一應(yīng)在熔化部和冷卻部有效的分隔玻璃液的流動(dòng)，充分提高玻璃質(zhì)量，穩(wěn)定生產(chǎn)工況；第二，應(yīng)能大幅度減薄玻璃液層，使熔體內(nèi)的氣泡很快到達(dá)液面，大量減少微氣泡數(shù)量，顯著提高澄清效果。 2)新的加熱技術(shù) 該項(xiàng)目擬采用全氧燃燒技術(shù)和電助熔技術(shù)。 全氧燃燒技術(shù) 全氧燃燒技術(shù)已在國(guó)外的一百多座玻璃窯上使用。有資料表明該項(xiàng)技術(shù)的使用有四大優(yōu)點(diǎn)：a)節(jié)能降耗。由于全氧燃燒可以避免大量助燃空氣的加入，而助燃空氣會(huì)帶走很多的熱量，浪費(fèi)能源； b)低污染排放，助燃空氣的加入便增加了NOx的排放，同時(shí)煙氣排放量增加；c)提高玻璃質(zhì)量。全氧燃燒使燃料燃燒更加充分，不易產(chǎn)生燃料雜質(zhì)污染玻璃，對(duì)采用清潔能

21、源尤其明顯d)可以實(shí)現(xiàn)高溫。對(duì)于PDP基板玻璃，由于其熔化溫度高，傳統(tǒng)燃燒方法難以達(dá)到需要的高溫，而采用全氧燃燒技術(shù)可以使熔窯溫度達(dá)到1680。 電勖熔技術(shù) 在窯爐的某些特殊部位設(shè)置助熔電極，如投料池底部電極，可以顯著提高融化效率；在熔化部關(guān)鍵部位橫向設(shè)置電助熔，由電極產(chǎn)生的能量對(duì)池底玻璃產(chǎn)生有效快速的影響。通過(guò)電壓調(diào)節(jié)更容易平衡窯內(nèi)各點(diǎn)溫度，穩(wěn)定玻璃液流，使生產(chǎn)更加穩(wěn)定，有利于保證產(chǎn)品質(zhì)量；在澄清部設(shè)置電助熔，有利于玻璃液中氣泡的排出。 鼓泡技術(shù) 在熔化部熱點(diǎn)鼓泡具有以下優(yōu)點(diǎn)： a）可以增加未熔物在高溫區(qū)的停留時(shí)間； b) 增加玻璃液的攪拌作用，進(jìn)而增加回流的速度梯度，提高熔制效率;c) 穩(wěn)

22、定熱點(diǎn)流動(dòng)結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定熔制工藝;d)熔制工藝進(jìn)一步得到強(qiáng)化，提高產(chǎn)量 在澄清部采用氧鼓泡技術(shù)，具有三大優(yōu)點(diǎn)，第一，可以造成明顯的垂直環(huán)流，將底部低溫玻璃液帶到表面，將表面熱玻璃液帶到底部，使玻璃得到更好的均化。第二，將底部氣泡帶至表面充分排出，同時(shí)引入氧氣還可起到化學(xué)澄清效果，綜合提高玻璃液的澄清質(zhì)量。第三，鼓泡形成的氣幕有效阻擋熔化區(qū)玻璃未熔顆粒進(jìn)入澄清區(qū)。 2) PDP基板玻璃的成型退火 成型PDP基板玻璃的厚度一般小于3毫米，屬于薄板玻璃，目前，薄板玻璃的成型方法有平拉法、下拉法及浮法等工藝方法。由于采用浮法生產(chǎn)工藝與上述其它工藝相比具有： 產(chǎn)量高、質(zhì)量好；規(guī)格大、品種多；生產(chǎn)穩(wěn)定、作業(yè)期長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。所以，大多數(shù)PDP基板玻璃的成型均采用浮法工藝。對(duì)于浮法工藝玻璃成型的溫度粘度范圍選擇在溫度粘度曲線(xiàn)的彎曲部分。這時(shí)的玻璃液最適于成型，其粘度范圍為泊，根據(jù)玻璃的溫度-粘度曲線(xiàn)及 其它各項(xiàng)特征來(lái)制定流槽口到錫槽末端的各項(xiàng)溫度條件，對(duì)錫槽磚材、電加熱進(jìn)行配置。但是由于PDP基板玻璃的溫度粘度曲線(xiàn)在成型范圍比較陡峭(如圖5所示)，從圖5中可以看出