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1、霍爾效應(yīng)及其應(yīng)用霍爾效應(yīng)是導(dǎo)電材料中的電流與磁場(chǎng)相互作用而產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)的效應(yīng)。1879年美國霍普金斯大學(xué)研究生霍爾在研究金屬導(dǎo)電機(jī)理時(shí)發(fā)現(xiàn)了這種電磁現(xiàn)象,故稱霍爾效應(yīng)。后來曾有人利用霍爾效應(yīng)制成測(cè)量磁場(chǎng)的磁傳感器,但因金屬的霍爾效應(yīng)太弱而未能得到實(shí)際應(yīng)用。隨著半導(dǎo)體材料和制造工藝的發(fā)展,人們又利用半導(dǎo)體材料制成霍爾元件,由于它的霍爾效應(yīng)顯著、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、形小體輕、無觸點(diǎn)、頻帶寬、動(dòng)態(tài)特性好、壽命長(zhǎng),因而被廣泛應(yīng)用于自動(dòng)化技術(shù)、檢測(cè)技術(shù)、傳感器技術(shù)及信息處理等方面。在電流體中的霍爾效應(yīng)也是目前在研究中的“磁流體發(fā)電”的理論基礎(chǔ)。近年來,霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)不斷有新發(fā)現(xiàn)。1980年原西德物理學(xué)家馮·
2、克利青研究二維電子氣系統(tǒng)的輸運(yùn)特性,在低溫和強(qiáng)磁場(chǎng)下發(fā)現(xiàn)了量子霍爾效應(yīng),這是凝聚態(tài)物理領(lǐng)域最重要的發(fā)現(xiàn)之一。目前對(duì)量子霍爾效應(yīng)正在進(jìn)行深入研究,并取得了重要應(yīng)用,例如用于確定電阻的自然基準(zhǔn),可以極為精確地測(cè)量光譜精細(xì)結(jié)構(gòu)常數(shù)等。 在磁場(chǎng)、磁路等磁現(xiàn)象的研究和應(yīng)用中,霍爾效應(yīng)及其元件是不可缺少的,利用它觀測(cè)磁場(chǎng)直觀、干擾小、靈敏度高、效果明顯?;魻栃?yīng)也是研究半導(dǎo)體性能的基本方法,通過霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)所測(cè)定的霍爾系數(shù),能夠判斷半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型,載流子濃度及載流子遷移率等重要參數(shù)?!緦?shí)驗(yàn)?zāi)康摹?1) 了解霍爾效應(yīng)產(chǎn)生的機(jī)理及霍爾元件有關(guān)參數(shù)的含義和作用。(2) 學(xué)習(xí)利用霍爾效應(yīng)研究半導(dǎo)體材料性能的
3、方法及消除副效應(yīng)影響的方法。(3) 學(xué)習(xí)利用霍爾效應(yīng)測(cè)量磁感應(yīng)強(qiáng)度B及磁場(chǎng)分布。(4) 學(xué)習(xí)用最小二乘法和作圖法處理數(shù)據(jù)?!緦?shí)驗(yàn)原理】 (1) 霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng)從本質(zhì)上講,是運(yùn)動(dòng)的帶電粒子在磁場(chǎng)中受洛侖茲力的作用而引起的偏轉(zhuǎn)。當(dāng)帶電粒子(電子或空穴)被約束在固體材料中,這種偏轉(zhuǎn)就導(dǎo)致在垂直電流和磁場(chǎng)的方向上產(chǎn)生正負(fù)電荷在不同側(cè)的聚積,從而形成附加的橫向電場(chǎng)。這個(gè)現(xiàn)象叫做霍爾效應(yīng)。如圖1.1所示,把一塊半導(dǎo)體薄片放在垂直于它的磁感應(yīng)強(qiáng)度為的磁場(chǎng)中(B的方向沿Z軸方向),若沿X方向通以電流時(shí),薄片內(nèi)定向移動(dòng)的載流子受到的洛倫茲力為: ,其中,分別是載流子的電量和移動(dòng)速度。載流子受力偏轉(zhuǎn)的結(jié)果使電荷
4、在兩側(cè)積聚而形成電場(chǎng),電場(chǎng)的取向取決于試樣的導(dǎo)電類型。設(shè)載流子為電子,則沿著負(fù)軸負(fù)方向,這個(gè)電場(chǎng)又給載流子一個(gè)與反方向的電場(chǎng)力。設(shè)為電場(chǎng)強(qiáng)度,為、間的電位差,為薄片寬度,則 (1.1)圖1.1 霍爾效應(yīng)原理圖 a)載流子為電子(N型) b)載流子為空穴(P型)ab達(dá)到穩(wěn)恒狀態(tài)時(shí),電場(chǎng)力和洛倫茲力平衡,有 , 即 (1.2)設(shè)載流子的濃度用表示,薄片的厚度用表示,因電流強(qiáng)度與的關(guān)系為 ,或,故得 (1.3)令 (1.4) 則(1.3)式可寫成 (1.5)稱為霍爾電壓,稱為控制電流。比例系數(shù)稱為霍爾系數(shù),是反映材料霍爾效應(yīng)強(qiáng)弱的重要參數(shù)。由(1.5)式可知,霍爾電壓與、的乘積成正比,與樣品的厚度成
5、反比。(2)霍爾效應(yīng)在研究半導(dǎo)體性能中的應(yīng)用1.霍爾系數(shù)的測(cè)量由(1.5)式可知,只要測(cè)得、和相應(yīng)的以及霍爾片的厚度,霍爾系數(shù)可以按下式計(jì)算求得 (1.6)根據(jù)霍爾系數(shù),可進(jìn)一步確定以下參數(shù)。2.根據(jù)的符號(hào)判斷樣品的導(dǎo)電類型 半導(dǎo)體材料有N型(電子型)和P型(空穴型)兩種,前者的載流子為電子,帶負(fù)電;后者載流子為空穴,相當(dāng)于帶正電的粒子。判別的方法是按圖1.1所示的和的方向,若,即,則 >0,樣品屬型(電子型)半導(dǎo)體材料;反之,樣品屬型(空穴型)半導(dǎo)體材料。3.由確定樣品的載流子濃度(1.4)式是假定所有的載流子都具有相同的漂移速度得到的。如果考慮載流子速度的統(tǒng)計(jì)分布規(guī)律,這個(gè)關(guān)系式需引
6、入一個(gè)的修正因子。可得, (1.7)根據(jù)測(cè)得的霍爾系數(shù),由(1.7)式可確定樣品的載流子濃度。 4.結(jié)合電導(dǎo)率的測(cè)量,計(jì)算載流子的遷移率厚度為,寬度為的樣品,通過電流為時(shí),測(cè)得長(zhǎng)度為(5.0mm)的一段樣品材料上的電壓為,對(duì)應(yīng)的電阻。由于電導(dǎo)率與電阻率(單位長(zhǎng)度上的電阻)互為倒數(shù),所以由此可求出樣品的為: (1.8)電導(dǎo)率與載流子濃度及遷移率之間有如下關(guān)系: (1.9)式中為電子電量 5.利用霍爾效應(yīng)測(cè)磁場(chǎng)令(1.5)式可寫成如下形式 (1.10)比例系數(shù)稱為霍爾元件的靈敏度,表示該元件在單位磁場(chǎng)強(qiáng)度和單位控制電流時(shí)的霍爾電壓。的大小與材料性質(zhì)(種類、載流子濃度)及霍爾片的尺寸(厚度)有關(guān)。對(duì)
7、一定的霍爾元件在溫度和磁場(chǎng)變化不大時(shí),可認(rèn)為基本上是常數(shù)??捎脤?shí)驗(yàn)方法測(cè)得,一般要求愈大愈好。的單位為。由(1.10)式可以看出,如果知道了霍爾片的靈敏度,用儀器分別測(cè)出控制電流IS及霍爾電壓 ,就可以算出磁場(chǎng)的大小,這就是用霍爾效應(yīng)測(cè)磁場(chǎng)的原理。 從以上分析可知,要得到大的霍爾電壓,關(guān)鍵是選擇霍爾系數(shù)大(即遷移率高、電阻率高)的材料。就金屬導(dǎo)體而言,和均很小,而不良導(dǎo)體雖高,但極小,因此上述兩種材料均不適宜用來制造霍爾器件。由于半導(dǎo)體的高,適中,是制造霍爾元件比較理想的材料,加之,電子的遷移率比空穴的遷移率大,所以霍爾元件多采用n型半導(dǎo)體材料。此外元件厚度d愈薄,KH愈高,所以制作
8、時(shí),往往采用減少d的辦法來增加靈敏度,但不能認(rèn)為d愈薄愈好,因?yàn)榇藭r(shí)元件的輸入和輸出電阻將會(huì)增加,這對(duì)霍爾元件是不希望的。本實(shí)驗(yàn)采用的霍爾片的厚度d為0.2mm,為1.5mm,長(zhǎng)度L為1.5mm。由于霍爾效應(yīng)建立需要的時(shí)間很短(約在10121014 s 內(nèi)),因此使用霍爾元件時(shí)可以用直流電或交流電。若控制電流用交流電, 則 所得的霍爾電壓也是交變的,在使用交流電情況下,(1.1.5)式仍可使用,只是式中的和應(yīng)理解為有效值。(3)伴隨霍爾電壓產(chǎn)生的附加電壓及其消除方法 在霍爾效應(yīng)產(chǎn)生的過程中伴隨有多種副效應(yīng),(參看附錄)這些副效應(yīng)產(chǎn)生的電壓主要有:a. 厄廷好森效應(yīng)產(chǎn)生的;b. 能脫斯效應(yīng)產(chǎn)生的
9、;c. 里紀(jì)勒杜克效應(yīng)產(chǎn)生的;d. 不等位電位差。這些副效應(yīng)產(chǎn)生的附加電壓迭加在霍爾電壓上,使測(cè)得的電壓值并不完全是霍爾電壓。因此必須采取措施消除或減小各種副效應(yīng)的影響。若依次改變電流方向、磁場(chǎng)方向,取各測(cè)量值的平均值,就可以把大部分副效應(yīng)消除掉,即測(cè)量值的平均值就是霍爾電壓。設(shè)電流、磁場(chǎng)取某方向(定為正方向)時(shí),所有副效應(yīng)與霍爾效應(yīng)的電位差均為正(如果有負(fù)結(jié)果也是一樣),用數(shù)學(xué)形式表示各種副效應(yīng)的消除方法如下: ; ; 則 其中只有厄廷好森效應(yīng)產(chǎn)生的電位差無法消除,但一般較小,可以忽略。所以得: (1.11); 或: (1.12) 在精密測(cè)量中,可采用交變磁場(chǎng)和交流電流及相應(yīng)的測(cè)量?jī)x器,使霍
10、爾片上、下兩側(cè)來不及產(chǎn)生溫差;從而可使霍爾電壓的測(cè)量減小誤差?!緦?shí)驗(yàn)儀器】 DH4512系列霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)儀用于研究霍爾效應(yīng)產(chǎn)生的原理及其測(cè)量方法,通過施加磁場(chǎng),可以測(cè)出霍爾電壓并計(jì)算它的靈敏度,以及可以通過測(cè)得的靈敏度來計(jì)算線圈附近各點(diǎn)的磁場(chǎng)。DH4512型霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)儀由實(shí)驗(yàn)架和測(cè)試儀兩大部分組成。圖1.2 DH4512 霍爾效應(yīng)螺線管-雙線圈實(shí)驗(yàn)架平面圖圖1.2為DH4512型霍爾效應(yīng)螺線管-雙線圈實(shí)驗(yàn)架平面圖;圖1.3為DH4512型霍爾效應(yīng)測(cè)試儀面板圖。1.移動(dòng)尺;2.雙線圈;3.螺線管;4.連接到霍爾片的工作電流端(紅色插頭與紅色插座相聯(lián), 黑色插頭與黑色插座相聯(lián));5.連接到霍爾片
11、霍爾電壓輸出端(紅色插頭與紅色插座相聯(lián), 黑色插頭與黑色插座相聯(lián));6.用一邊是分開的接線插、一邊是雙芯插頭的控制連接線與測(cè)試儀背部的插孔相連接(紅色插頭與紅色插座相聯(lián), 黑色插頭與黑色插座相聯(lián));7.連接到測(cè)試儀上霍爾工作電流Is端(紅色插頭與紅色插座相聯(lián), 黑色插頭與黑色插座相聯(lián));8.Is工作電流換向開關(guān);9.連接到測(cè)試儀上VH、V測(cè)量端(紅色插頭與紅色插座相聯(lián), 黑色插頭與黑色插座相聯(lián));10.VH測(cè)量換向開關(guān);11.連接到測(cè)試儀磁場(chǎng)勵(lì)磁電流IM端(紅色插頭與紅色插座相聯(lián), 黑色插頭與黑色插座相聯(lián));12.勵(lì)磁電流IM換向開關(guān);13.單、雙線圈切換開關(guān);14.螺線管、雙線圈切換開關(guān)圖1
12、.3 DH4512系列霍爾效應(yīng)測(cè)試儀面板圖一. DH4512型霍爾效應(yīng)螺線管-雙線圈磁場(chǎng)測(cè)定儀實(shí)驗(yàn)架主要部件及技術(shù)性能二個(gè)勵(lì)磁線圈:線圈匝數(shù)240匝(單個(gè));有效直徑75mm;二線圈中心間距 37.5mm;移動(dòng)尺指示在115mm時(shí),為兩線圈的中心?;魻栃?yīng)片類型:N型砷化鎵半導(dǎo)體。螺線管:線圈匝數(shù)1800匝,有效長(zhǎng)度181mm,等效半徑21mm;移動(dòng)尺裝置:橫向移動(dòng)距離235mm; DH4512型霍爾效應(yīng)測(cè)試儀主要由00.5A恒流源、03.5mA恒流源及20mV/2000mV量程三位半電壓表組成。二使用說明1.測(cè)試儀的供電電源為交流220V,50Hz,電源進(jìn)線為單相三線。2.電源插座安裝在機(jī)箱
13、背面,保險(xiǎn)絲為1A,置于電源插座內(nèi)。3.實(shí)驗(yàn)測(cè)試架各接線柱連線說明如圖1.2。4.測(cè)試儀面板上的“Is輸出”、“IM輸出”和“VH測(cè)量”三對(duì)接線柱應(yīng)分別與實(shí)驗(yàn)架上的三對(duì)相應(yīng)的接線柱正確連接。5.將控制連接線一端插入測(cè)試儀背部的二芯插孔,另一端連接到實(shí)驗(yàn)架的控制接線端子上。6.儀器開機(jī)前應(yīng)將Is、IM調(diào)節(jié)旋鈕逆時(shí)針方向旋到底,使其輸出電流趨于最小狀態(tài),然后再開機(jī)。7.儀器接通電源后,預(yù)熱數(shù)分鐘即可進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。8.繼電器換向開關(guān)的使用說明單刀雙向繼電器的電原理如圖1.4所示。當(dāng)繼電器線包不加控制電壓時(shí),動(dòng)觸點(diǎn)與常閉端相連接;當(dāng)繼電器線包加上控制電壓時(shí),繼電器吸合,動(dòng)觸點(diǎn)與常開端相連接。圖1.4 繼電
14、器工作示意圖實(shí)驗(yàn)架中,使用了三個(gè)雙刀雙向繼電器組成三個(gè)換向電子閘刀,換向由接鈕開關(guān)控制,電原理圖如圖1.4所示。當(dāng)未按下轉(zhuǎn)換開關(guān)時(shí),繼電器線包不加電,常閉端與動(dòng)觸點(diǎn)相連接;當(dāng)按下按鈕開關(guān)時(shí),繼電器吸合,常開端與動(dòng)觸點(diǎn)相連接,實(shí)現(xiàn)連接線的轉(zhuǎn)換。由此可知,通過按下、按上轉(zhuǎn)換開關(guān),可以實(shí)現(xiàn)與繼電器相連的連接線的換向功能。三儀器使用注意事項(xiàng)1.當(dāng)霍爾片未連接到實(shí)驗(yàn)架,并且實(shí)驗(yàn)架與測(cè)試儀未連接好時(shí),嚴(yán)禁開機(jī)加電,否則,極易使霍爾片遭受沖擊電流而使霍爾片損壞。2.霍爾片性脆易碎、電極易斷,嚴(yán)禁用手去觸摸,以免損壞!在需要調(diào)節(jié)霍爾片位置時(shí),必須謹(jǐn)慎。3.加電前必須保證測(cè)試儀的“Is調(diào)節(jié)”和“IM調(diào)節(jié)”旋鈕均
15、置零位(即逆時(shí)針旋到底),嚴(yán)防Is、IM電流未調(diào)到零就開機(jī)。4.測(cè)試儀的“Is輸出”接實(shí)驗(yàn)架的“Is輸入”,“IM輸出”接“IM輸入”。決不允許將“IM輸出”接到“Is輸入”處,否則一旦通電,會(huì)損壞霍爾片!5.注意:移動(dòng)尺的調(diào)節(jié)范圍有限!在調(diào)節(jié)到兩邊停止移動(dòng)后,不可繼續(xù)調(diào)節(jié),以免因錯(cuò)位而損壞移動(dòng)尺?!緦?shí)驗(yàn)內(nèi)容和步驟】一 開機(jī)前的準(zhǔn)備工作1. 仔細(xì)檢查測(cè)試儀面板上的“輸出”、“ 輸出”、“ 、輸入”三對(duì)接線柱分別與實(shí)驗(yàn)儀的三對(duì)相應(yīng)接線柱是否正確連接。a.將DH4512型霍爾效應(yīng)測(cè)試儀面板右下方的勵(lì)磁電流IM的直流恒流源輸出端(00.5A),接DH4512型霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)架上的IM 磁場(chǎng)勵(lì)磁電流的輸
16、入端(將紅接線柱與紅接線柱對(duì)應(yīng)相連,黑接線柱與黑接線柱對(duì)應(yīng)相連)。b.“測(cè)試儀”左下方供給霍爾元件工作電流IS的直流恒流源(03mA)輸出端,接“實(shí)驗(yàn)架”上IS霍爾片工作電流輸入端(將紅接線柱與紅接線柱對(duì)應(yīng)相連,黑接線柱與黑接線柱對(duì)應(yīng)相連)。c.“測(cè)試儀”、測(cè)量端,接“實(shí)驗(yàn)架”中部的VH輸出端。注意:以上三組線千萬不能接錯(cuò),以免燒壞元件。d.用一邊是分開的接線插、一邊是雙芯插頭的控制連接線與測(cè)試儀背部的插孔相連接(紅色插頭與紅色插座相聯(lián), 黑色插頭與黑色插座相聯(lián))。2.將和的調(diào)節(jié)旋扭逆時(shí)針旋至最小。3.檢查霍爾片是否在雙線圈的中心位置。4.接通電源,預(yù)熱數(shù)分鐘即可開始實(shí)驗(yàn)。二 確定半導(dǎo)體硅單晶
17、樣品的霍爾系數(shù)和載流子濃度a. 在穩(wěn)恒磁場(chǎng)中(保持勵(lì)磁電流500mA不變),改變樣品的控制電流從1.50mA至3.50mA,間隔0.50mA,用對(duì)稱測(cè)量法測(cè)出相應(yīng)的霍爾電壓,把數(shù)據(jù)填入表1.1。b. 保持樣品的控制電流3.50mA不變,改變勵(lì)磁電流從100m至500m間隔100mA,從而測(cè)出在不同磁感應(yīng)強(qiáng)度的磁場(chǎng)中樣品的霍爾電壓,將數(shù)據(jù)記錄在自擬的數(shù)據(jù)表中。三測(cè)出通電樣品一段長(zhǎng)度上的電壓,從而確定樣品的電導(dǎo)率和載流子遷移率 把2個(gè)、測(cè)量選擇撥向,將Is,IM都調(diào)零時(shí),調(diào)節(jié)中間的霍爾電壓表,使其顯示為0mV。取2.00mA,改變的方向,由兩次測(cè)量值求出平均值。代入(1.8)、(1.9)式即可求得
18、和。 四利用霍爾元件測(cè)繪螺線管的軸向磁場(chǎng)分布1.將實(shí)驗(yàn)儀和測(cè)試架的轉(zhuǎn)換開關(guān)切換至VH。2.先將IM、Is調(diào)零,調(diào)節(jié)中間的霍爾電壓表,使其顯示為0mV。3.將霍爾元件置于通電螺線管中心線上,調(diào)節(jié)IM500mA,IS3.00mA,測(cè)量相應(yīng)的VH。4.將霍爾元件以雙線圈中心位置(標(biāo)尺指示115mm處)為中心點(diǎn)左右移動(dòng)標(biāo)尺,每隔5mm選一個(gè)點(diǎn)測(cè)出相應(yīng)的VH,填入表1.2。五測(cè)量通電單線圈中磁感應(yīng)強(qiáng)度B的分布1.切換線圈選擇按鈕,選擇“左線圈”或“右線圈”。2.先將IM、Is調(diào)零,調(diào)節(jié)中間的霍爾電壓表,使其顯示為0mV。3.將霍爾元件置于通電線圈中心線上,調(diào)節(jié)IM500mA,IS3.00mA,測(cè)量相應(yīng)的
19、VH。4.將霍爾元件以左線圈中心(標(biāo)尺指示134mm處)或右線圈中心(標(biāo)尺指示96mm處)為中點(diǎn)左右移動(dòng)標(biāo)尺,每隔3mm選一個(gè)點(diǎn)測(cè)出相應(yīng)的VH,填入表1.3 【數(shù)據(jù)處理與要求】(1) 確定及根據(jù)勵(lì)磁電流的大小和方向,可確定磁感應(yīng)強(qiáng)度的大小和方向,而磁感應(yīng)強(qiáng)度的大小與的關(guān)系為: (1.13)標(biāo)在電磁鐵上,單位為。由(1.5)與(1.13)得 (1.14)a. 由固定= 500mA,所測(cè)出的數(shù)據(jù)填入表1.1,求出和 。 表1.1 mA,=(mA)(mv)(mv)(mv)(mv)(mv)1.502.002.503.003.501.用作圖法處理以上數(shù)據(jù),確定霍爾系數(shù)以及,并確定此半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型。在直
20、角坐標(biāo)中作曲線,該曲線應(yīng)為一條直線。在直線上取任意的非原始數(shù)據(jù)點(diǎn)的兩點(diǎn)坐標(biāo)值,用兩點(diǎn)代入法求出此直線的斜率,由(1.14)式和(1.7)即可得到以及,并確定此半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型。2.用最小二乘法處理以上數(shù)據(jù),確定霍爾系數(shù)以及。b. 自擬數(shù)據(jù)表格,由固定6.00mA,記錄測(cè)得的數(shù)據(jù)。根據(jù)(1.14)式用作圖法求出,再由(1.7)計(jì)算載流子濃度。3對(duì)以上三次處理得到的求平均值,代入公式,求出霍爾元件的靈敏度,并與儀器上給出的做比較。(2) 記錄: = =由(1.8)式和(1.9)式確定電導(dǎo)率遷移率。 (3) 測(cè)繪磁場(chǎng)分布 表1.2 VHX IS =3.50mA IM =500mAX(mm)V1(mV
21、)V2(mV)V3(mV)V4(mV)(mV)+Is +IM+Is -IM -IM-Is -IM -IM-Is +IM +IM11011520根據(jù)上面所測(cè)VH值(KH出廠時(shí)已給出),由公式: VHKHISB得到 B ,計(jì)算出各點(diǎn)的磁感應(yīng)強(qiáng)度,并繪BX圖,得出通電雙線圈內(nèi)B的分布。表 VHX(左線圈測(cè)量) IS =3.00mA IM =500mAX(mm)V1(mV)V2(mV)V3(mV)V4(mV)(mV)+Is +IM+Is -IM -IM-Is -IM -IM-Is +IM +IM939699 表1.3.2 VHX(右線圈測(cè)量) IS =3.00mA IM =500mAX(mm)V1(mV)V2(mV)V3(mV)V4(mV)(mV)+Is +IM+Is -IM -IM-Is -IM -IM-Is +IM +IM131134137 根據(jù)上面所測(cè)VH值(KH出廠時(shí)已給出),由公式: VHKHISB得到 B 計(jì)算出各點(diǎn)的磁感應(yīng)強(qiáng)度,并繪BX圖,得出通電雙線圈內(nèi)B的分布?!靖戒洝?霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)中的副效應(yīng)
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