真空泵的工作原理

1、真空泵的工作原理一、2X型旋片式真空泵簡(jiǎn)稱(chēng)旋片泵工作壓強(qiáng)范圍為1013251.33 X 10-2 Pa屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門(mén)。旋片泵可以抽除密封容器中的枯燥氣體， 假設(shè)附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。 但它不適于抽除含氧過(guò)高的， 對(duì)金屬有腐蝕性的、 對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反響以及含有顆粒塵埃的 氣體。旋片泵是真空技術(shù)中最根本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái)。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高 的

2、真空度。旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33X 10-1 Pa下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。、2X型旋片真空泵工作原理如下:旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子， 轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)外表相切二者有很小的間隙，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、 B、 C三局部，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)， 與吸氣口相通的空間 A的容積是逐漸增大的，

3、正處于吸氣過(guò)程。 而與排氣口相通的空間 C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大即膨脹，氣體壓強(qiáng)降低， 泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間 B的位置，氣體開(kāi)始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當(dāng)被壓 縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí)， 排氣閥被壓縮氣體推開(kāi)， 氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，到達(dá)連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)低真空級(jí)，由低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來(lái)負(fù)擔(dān)，因而提高了極

4、限真空度。三、根據(jù)工作原理對(duì)真空泵進(jìn)行分類(lèi)按真空泵的工作原理，真空泵根本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著大多需要由幾種 因此選用不同類(lèi)真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬, 真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求,型真空泵組成的真空抽氣機(jī)組進(jìn)行抽氣的情況較多。為了方便起見(jiàn)，將這些泵按其工作原理或其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)進(jìn)行一些具體的詳細(xì)的分類(lèi)是必要的?，F(xiàn)分述如下： 一、氣體傳輸泵真空泵的工作原理氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以到達(dá)抽氣目的的真空泵，這種泵根本上有兩種類(lèi)型：1變?nèi)菡婵毡米內(nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來(lái)完

5、成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種：往復(fù)真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱(chēng)為活 塞式真空泵。旋轉(zhuǎn)真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入，壓縮并排出。旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種型式： 油封式真空泵：它是利用油類(lèi)密封各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙， 減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)?真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱(chēng)氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為如下五種型式。a旋片式真空泵：轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)外表的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子 槽內(nèi)裝有兩個(gè)或兩個(gè)以上旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁 始終接觸，此

6、旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個(gè)可變?nèi)莘e。排吒口観氣口b滑閥式真空泵：在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個(gè)滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和滾 動(dòng)，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng)，而把泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。c定片式真空泵：在泵殼內(nèi)裝有一個(gè)與泵內(nèi)外表靠近的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一個(gè)始終與 轉(zhuǎn)子外表接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，滑片能上、下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。d余擺線(xiàn)式真空泵：在泵腔內(nèi)偏心裝有一個(gè)型線(xiàn)為余擺線(xiàn)的轉(zhuǎn)子，它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)并將 泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。e多室旋片式真空泵：在一個(gè)泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個(gè)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的多個(gè)獨(dú)立工作室的旋 片真空泵。 干式真空泵：它是一種不用油類(lèi)或液體密

7、封的變?nèi)菡婵毡谩?液環(huán)式真空泵： 帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)， 當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)， 把液體通常為水或油 拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán)， 液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小容積， 故亦稱(chēng) 旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?羅茨真空泵： 泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、 轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。 它屬于旋轉(zhuǎn)變真空泵。 機(jī)械增壓泵即為這種型式的真空泵。2、動(dòng)量傳輸泵 真空泵的工作原理 這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流， 把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子， 使氣體連續(xù)不斷 地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。具體可分為下述幾種類(lèi)型。分子真空泵： 它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子，

8、 使之壓縮、 排氣的一種真 空泵。它有如下幾種型式： 牽引分子泵： 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被送到出口，因此，是一種 動(dòng)量傳輸泵。 渦輪分子泵：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤(pán)或帶葉片的轉(zhuǎn)子，它在定子圓盤(pán)或定片間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn) 子圓周的線(xiàn)速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。 復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合式分子真空泵。噴射真空泵：它是利用文丘里 Ven turi效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出 口的一種動(dòng)量傳輸泵， 適于在粘滯流和過(guò)渡流狀態(tài)下工作。 這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種： 液體噴射真空泵：以液體通常為水為工作介質(zhì)的噴射真空泵。 氣體噴射真空泵

9、：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。 蒸氣噴射真空泵：以蒸氣水、油或汞等蒸氣作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。3擴(kuò)散泵：以低壓高速蒸氣流油或汞等蒸氣作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò) 散到蒸氣射流中， 被送到出口。 在射流中氣體分子密度始終是很低的， 這種泵適于在分子流 狀態(tài)下工作?？煞譃椋?自?xún)艋瘮U(kuò)散泵： 泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò) 散泵。 分餾式擴(kuò)散泵： 這種泵具有分餾裝置， 使蒸氣壓強(qiáng)較低的工作液蒸氣進(jìn)入高真空工作的噴 嘴，而蒸氣壓強(qiáng)較高的工作液蒸氣進(jìn)入低真空工作的噴嘴，它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。4擴(kuò)散噴射泵：它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴

10、射真空泵特性的單級(jí)或 多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。5離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下，輸送到出口的一種動(dòng)量傳 輸泵。二、氣體捕集泵真空泵的工作原理這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)外表上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而到達(dá)抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。1吸附泵它主要依靠具有大外表的吸附劑如多孔物質(zhì)的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵。2、吸氣劑泵它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。3、吸氣劑離子泵它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附

11、在有吸氣材料的外表上，以到達(dá)抽氣的目的。它有如下幾種型式。1蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而覆在泵內(nèi)壁 的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。2濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來(lái)的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽 氣目的的一種真空泵。4、低溫泵利用低溫外表捕集氣體的真空泵。羅茨真空泵工作原理羅茨真空泵簡(jiǎn)稱(chēng)羅茨泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡谩Ｋ怯闪_茨鼓風(fēng)機(jī)演 變而來(lái)的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵； 中真空羅茨泵又稱(chēng)機(jī)械增壓泵和高真空多級(jí)羅茨泵。一般來(lái)說(shuō)，羅茨泵具有 以下特點(diǎn)：?在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速；?起動(dòng)快，能立即工作；

12、?對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；?轉(zhuǎn)子不必潤(rùn)滑，泵腔內(nèi)無(wú)油；?振動(dòng)小，轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡條件較好，沒(méi)有排氣閥;?驅(qū)動(dòng)功率小，機(jī)械摩擦損失小；?結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小；?運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。因此，羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門(mén)得到廣泛的應(yīng)用羅茨泵的工作原理: 羅茨泵的結(jié)構(gòu)如下圖。在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“ 8字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在 一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。 在轉(zhuǎn) 子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于 羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。 羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造

13、精度外， 還取決于前級(jí)泵的極限真 空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。 由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口 吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間Vo內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后 Vo空間是全 封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，Vo空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，那么有一局部氣體返沖到 空間Vo中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。如圖為羅茨泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過(guò)程。在0°位置時(shí)圖中a，下轉(zhuǎn) 子從泵入口封入vo體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置

14、時(shí)圖中b,該腔與排氣口 相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高，引起一局部氣體返沖過(guò)來(lái)。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí)圖 中c，下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí)，上轉(zhuǎn)子也從 泵入口封入V0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí)圖中d,上轉(zhuǎn)子封入的 氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過(guò)程。180°圖e位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn) 子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)V0體積的氣體。附附 W4HW羅茨真空泵的最大優(yōu)點(diǎn)是在較低的入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率，但它不能單 獨(dú)使用，必須有一臺(tái)前級(jí)真空泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到羅 茨真空泵允許入口壓力時(shí)，羅茨真空泵才能開(kāi)始工作，并且

15、在一般情況下，羅茨 真空泵不允許高壓差工作，否那么將會(huì)過(guò)載和過(guò)熱而損壞，因此使用羅茨真空泵必 須合理地選用前級(jí)真空泵，安裝必要的保護(hù)設(shè)備。前級(jí)真空泵一般可選擇油封機(jī)械泵或液環(huán)真空泵，特別在抽除有大量水蒸汽的氣 體時(shí)，選用水環(huán)真空泵作為前級(jí)泵是很理想的。如圖為旋片泵的工作原理示意圖，旋片泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結(jié)構(gòu)是利 用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)子的外圓與定子的內(nèi)外表相切兩者之間的間隙非常小和轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng) 的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，始終沿定子的內(nèi)壁滑動(dòng)。兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個(gè)局部，當(dāng)轉(zhuǎn)子

16、按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間 A的容積不斷地增大，A空間的壓強(qiáng)不斷的降低，當(dāng) A空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽 容器內(nèi)的壓強(qiáng)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽的氣體不斷地被抽進(jìn)吸氣腔A，此時(shí)正處于吸氣過(guò)程。B腔的空間的容積正逐漸減小，壓力不斷地增大，此時(shí)正處于壓縮過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積進(jìn)一步地減小，C空間的壓強(qiáng)進(jìn)一步的升高，當(dāng)氣體的壓強(qiáng)大于排氣壓強(qiáng)時(shí)，被壓縮的氣體推開(kāi)排氣閥，被 抽的氣體不斷地穿過(guò)油箱內(nèi)的油層而排至大氣中，在泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，不斷地進(jìn)行著吸氣、壓縮、排 氣過(guò)程，從而到達(dá)連續(xù)抽氣的目的。排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中，油通過(guò)泵體上的間隙、油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運(yùn) 動(dòng)的外表被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時(shí)油還