太陽能電池片工藝流程

1、太陽能電池片結(jié)構(gòu)太陽能電池片結(jié)構(gòu)太陽能電池分為單晶電池和多晶電池，但是它們的結(jié)構(gòu)基本一樣，都有以下部分組成表面細(xì)柵線表面主柵線絨面藍(lán)色氮化硅擴(kuò)散層鋁硅形成背面硅基體太陽能電池片工藝流程太陽能電池片工藝流程 分分選測試選測試PECVD清洗與制清洗與制絨絨去磷硅玻璃去磷硅玻璃燒結(jié)燒結(jié)印刷印刷電電極極邊緣蝕邊緣蝕刻刻檢驗檢驗入入庫庫擴(kuò)擴(kuò)散散清洗與制絨清洗與制絨l目的：去除硅片表面的機(jī)械損傷層及表面油污，形成起伏不平的絨面，增加硅片對太陽光的吸收。l原理 單晶：利用堿溶液對單晶硅各個晶面腐蝕速率的不同，在硅片表面形成類似金字塔狀的絨面 Si+2NaOH=NaSiO3+2H2 多晶：利用硝酸的強(qiáng)氧化性和

2、氫氟酸的絡(luò)合性，對硅片進(jìn)行氧化和絡(luò)合剝離，導(dǎo)致硅表面發(fā)生各向同性非均勻性腐蝕，從而形成類似凹陷坑狀的絨面 Si+4HNO3+6HF=H2SiF6+4NO3+4H2Ol流程： 清洗與制絨清洗與制絨1、單晶制絨 預(yù)清洗-堿蝕刻DI water清洗-HCL中和硅片表面殘余的堿液 （去除金屬雜質(zhì)）-DI water清洗-去除二氧化硅層 形成Si-H鈍化鍵-DI water清洗-烘干 2、多晶制絨： 預(yù)清洗-初步蝕刻（硝酸、氫氟酸）-DI water清洗-NaOH去除殘留物（中和酸液）-DI water清洗-HF/HCL去除金屬離子和硅片表面氧化層形成Si-H鈍化鍵-DI water清洗-烘干 絨面的擴(kuò)

3、散絨面的擴(kuò)散l目的：在P型硅的表面上滲透一層很薄的一層磷，是表面變成N型，使之成為PN結(jié)。l原理：通過氣體攜帶POCL3溶液進(jìn)入擴(kuò)散爐管，使之反應(yīng)生成磷沉淀在表層。磷在高溫下滲透入硅片內(nèi)部形成N區(qū) 4POCl3+5O2=2P2O5+6Cl2 2P2O5+5Si=4P+5SiO2 4PCl5+5O2=2P2O5+10Cl2 4PCl3+5O2=2P2O5+6Cl2絨面的擴(kuò)散絨面的擴(kuò)散l影響擴(kuò)散的因素： 管內(nèi)氣體中雜質(zhì)源的濃度 擴(kuò)散溫度 擴(kuò)散時間 管內(nèi)氣流的分布l擴(kuò)散的測試方法： 測量擴(kuò)散層薄層電阻，廣泛采用四探針法邊緣刻蝕邊緣刻蝕l目的：將晶片的背面及四邊做邊緣絕緣處理，用以去除背面及四邊的PN

4、結(jié)，防止正負(fù)極出現(xiàn)短路。l刻蝕原理：采用高頻輝光放電反應(yīng)，是反應(yīng)氣體激活成活性粒子，并擴(kuò)散到硅片邊緣，在那里與硅片進(jìn)行反應(yīng)，生成揮發(fā)性四氟化硅而被去除。 CF4+SiO2=SiF4+CO2l測試方法：邊緣電阻測試去除磷硅玻璃去除磷硅玻璃l目的：擴(kuò)散過程中，POCl3分解產(chǎn)生的P2O5沉積在硅片表面，P2O5與Si生成二氧化硅與磷原子，這層含有磷原子的二氧化硅層稱為磷硅玻璃，玻璃層的存在會在電極印刷過程中，影響到金屬電極和硅片的接觸，降低電池的轉(zhuǎn)換效率，同時玻璃層還有多層金屬離子雜質(zhì)，會降低少子壽命，因此引入HF清洗工藝。 l基本原理：SIO2+6HF=H2SiF6+2H2O(過量氫氟酸)PEC

5、VDl目的：減少了光的反射損失，增強(qiáng)了吸收光的強(qiáng)度，提高電池效率。l基本原理：利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜 絲網(wǎng)印刷絲網(wǎng)印刷l目的：在太陽能電池的兩面制金屬電極，正面收集電子 ，背面電極利于焊接以及組件的制成。l原理：利用網(wǎng)版圖文部分網(wǎng)孔透墨，非圖文部分網(wǎng)孔不透墨的基本原理進(jìn)行印刷 l流程：背電極印刷 烘干 背電場印刷烘干 正面電極印刷燒結(jié)燒結(jié)l目的：干燥硅片上的漿料，燃盡漿料的有機(jī)組分，使?jié){料和硅片形成良好的歐姆接觸。l過程：1.室溫300度，溶劑揮發(fā)。 2.300500度，有機(jī)樹脂分解排出，需要氧氣。 3.400度以上，玻璃軟化。 4.600度以上，玻璃與減反層反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電l流程：烘干排焦、燒結(jié)和冷卻 測試分選測試分選l通過模擬太陽光照射，在標(biāo)準(zhǔn)條件下對電池片進(jìn)行測試，把不同電性能的電池片分檔。l測試目的：1.通過測試數(shù)據(jù)監(jiān)控生產(chǎn)電池片的效率及暗電流等參數(shù)是否正常。 2.對生