掃描電子顯微鏡PPT學習教案

1、會計學1掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡2第1頁/共45頁3及其應用及其應用第五節(jié)第五節(jié) 原子序數襯度原理原子序數襯度原理及其應用及其應用第2頁/共45頁4圖圖13-1 電子束與固體樣品作用產生的信號電子束與固體樣品作用產生的信號第3頁/共45頁5第4頁/共45頁6第5頁/共45頁7第6頁/共45頁8第7頁/共45頁9圖圖13-2 銅樣品銅樣品 、 、 及及 與與 t 的關系的關系(入射電子能量入射電子能量E0 = 10keV)第8頁/共45頁10第9頁/共45頁11第10頁/共45頁12圖圖13-3 掃描電子顯微鏡的結構原理圖掃描電子顯微鏡的結構原理圖第11頁/共45頁13第12頁/共45頁14

2、圖圖13-4 電子束的掃描方式電子束的掃描方式a) 光柵掃描光柵掃描 b) 角光柵掃描角光柵掃描第13頁/共45頁15第14頁/共45頁16第15頁/共45頁17圖圖13-5 S-3000N型掃描電鏡外觀圖掃描電鏡外觀圖第16頁/共45頁18信信 號號二次電子二次電子背散射電子背散射電子吸收電子吸收電子特征特征X射線射線俄歇電子俄歇電子深度范圍深度范圍51050200100100010010000.52表表13-1 各種信號來自樣品表面的深度范圍各種信號來自樣品表面的深度范圍 (nm)第17頁/共45頁1925 kV15 kV5 kV加速電壓對電子束的擴展區(qū)域的影響加速電壓對電子束的擴展區(qū)域的

3、影響第18頁/共45頁20Ag47C6Fe26樣品原子序數對電子束的擴展區(qū)域的影響樣品原子序數對電子束的擴展區(qū)域的影響第19頁/共45頁21圖圖13-6 電子束的擴展區(qū)域電子束的擴展區(qū)域第20頁/共45頁22圖圖13-6 電子束的擴展區(qū)域電子束的擴展區(qū)域第21頁/共45頁23圖圖13-7 二次電子像分辨率的測定二次電子像分辨率的測定第22頁/共45頁24的前提下，的前提下， 應盡可能選用較低的放大倍數，應盡可能選用較低的放大倍數， 以便觀察較大以便觀察較大的的樣品區(qū)域樣品區(qū)域scAAM 第23頁/共45頁25圖圖13-8 二次電子成像原理二次電子成像原理第24頁/共45頁26圖圖13-8 二次

4、電子成像原理二次電子成像原理第25頁/共45頁27圖圖13-9 二次電子二次電子成像襯度示意圖成像襯度示意圖圖圖13-10 實際樣品中二次電子的激發(fā)示意圖實際樣品中二次電子的激發(fā)示意圖a) 凸出尖角凸出尖角 b) 小顆粒小顆粒 c) 棱角棱角 d) 凹槽凹槽第26頁/共45頁28第27頁/共45頁29圖圖13-11 沿晶斷口的形貌特征沿晶斷口的形貌特征第28頁/共45頁30圖圖13-12 韌窩斷口的形貌特征韌窩斷口的形貌特征第29頁/共45頁31圖圖13-13 a)解理斷口及解理斷口及b)準解理斷口的形貌特準解理斷口的形貌特征征第30頁/共45頁32圖圖13-14 碳纖維增強陶瓷復合材料斷口碳

5、纖維增強陶瓷復合材料斷口第31頁/共45頁33圖圖13-15 ZrO2-Y2O3陶瓷燒結自然表面陶瓷燒結自然表面a) t-ZrO2 b) c-ZrO2 c) (c+t)ZrO2第32頁/共45頁34圖圖13-18 鐵素體鐵素體(F)+馬氏體馬氏體(M)雙相鋼拉伸斷裂過程的動態(tài)原位觀雙相鋼拉伸斷裂過程的動態(tài)原位觀察察a) 裂紋萌生裂紋萌生 b) 裂紋擴展裂紋擴展第33頁/共45頁35a)b)圖圖13-17 鋼的金相組織二次電子像鋼的金相組織二次電子像a) 鐵素體加珠光體鐵素體加珠光體 b) 回火馬氏體回火馬氏體第34頁/共45頁36粉末樣品的二次電子像粉末樣品的二次電子像a) 不規(guī)則形狀不規(guī)則形

6、狀 b) 球狀球狀a)b)第35頁/共45頁37低碳鋼板表面磷化膜形貌低碳鋼板表面磷化膜形貌第36頁/共45頁38合金鋼表面磨損形貌二次電子像合金鋼表面磨損形貌二次電子像第37頁/共45頁39圖圖13-20 檢測二次電子和檢測二次電子和背散射電子的比較背散射電子的比較第38頁/共45頁40圖圖13-21 表面有凹坑樣品的二次電子像表面有凹坑樣品的二次電子像第39頁/共45頁41像時，不同物相顯示不同的亮度像時，不同物相顯示不同的亮度圖圖13-22 背散射電子產額背散射電子產額與樣品原子序數的關系與樣品原子序數的關系第40頁/共45頁42圖圖13-23 檢測器對的工作原理檢測器對的工作原理a) 表面光滑表面光滑 b) 成分均勻成分均勻 c) 形貌、成分有差別形貌、成分有差別第41頁/共45頁43鑄造鑄造AlLi合金共晶組織形貌背散射電子像合金共晶組織形貌背散射電子像 a) 橫截面橫截面 b) 縱截面縱截面 第42頁/共45頁44 Si3N4陶瓷與鋼釬焊接頭顯微組織的背散射電子像陶瓷與鋼釬焊接頭顯微組織的背散射電子像Si3N4Ag、Cu共晶共晶45鋼鋼反應層反應層第43頁/