安評報告編制說明

1、編制說明1.1評價依據(jù)1、中華人民共和國主席令第70號中華人民共和國安全生產(chǎn)法2、勞動部令第3號建設(shè)項目（工程）勞動安全衛(wèi)生監(jiān)察規(guī)定3、勞動部勞安字19921號建設(shè)項目（工程）職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)施與技術(shù)措施驗收辦法4、國家安管局安監(jiān)管技裝字200337號安全評價通則5、國家安管局安監(jiān)管技裝字200379號安全驗收評價導(dǎo)則6、天津市安管局津安監(jiān)管字200284號天津市安全評價管理辦法7、SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定8、國家、地方、行業(yè)有關(guān)勞動安全的法規(guī)、規(guī)定、規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)（詳見附件1）9、建設(shè)單位提供的中芯國際集成電路制造（天津）有限公司項目安全驗收的相關(guān)資料。10、中芯國際集成電

2、路制造（天津）有限公司委托天津泰山安全科技有限公司進(jìn)行中芯國際集成電路制造（天津）有限公司項目安全驗收評價合同書。1.2評價目的及評價范圍1、評價目的及評價內(nèi)容1）安全驗收評價的目的是貫徹安全第一，預(yù)防為主”的方針，為建設(shè)項目安全驗收提供科學(xué)依據(jù)，對建設(shè)項目未達(dá)到安全目標(biāo)的系統(tǒng)或單元提出安全補(bǔ)償及補(bǔ)救措施，以利于提高建設(shè)項目本質(zhì)安全程度，滿足安全生產(chǎn)要求。2）安全驗收評價內(nèi)容1檢查建設(shè)項目中安全設(shè)施是否已與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時交付生產(chǎn)和使用；評價建設(shè)項目及與之配套的安全設(shè)施是否符合國家有關(guān)安全生產(chǎn)的法規(guī)、規(guī)定和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。2從整體上評價建設(shè)項目的運行狀態(tài)和安全管理是否正常、安全、可靠

3、。2、評價范圍根據(jù)本項目安全驗收評價技術(shù)服務(wù)合同書的規(guī)定內(nèi)容，經(jīng)與建設(shè)單位商定：對中芯天津芯片生產(chǎn)廠房、化學(xué)品庫、污水處理站以及變配電站、鍋爐房、油庫、空壓站、冷凍站、水泵房的設(shè)備、設(shè)施進(jìn)行勞動安全驗收評價。由于公司對工藝及產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)保密且芯片生產(chǎn)線工藝設(shè)備自動化程度高，人、機(jī)分離，安全性能高，據(jù)同行業(yè)生產(chǎn)實踐，發(fā)生事故的可能性極小，對建設(shè)項目的總體勞動安全驗收評價結(jié)果影響較小，應(yīng)公司的要求，在芯片生產(chǎn)廠房勞動安全驗收評價中，在危險危害因素辨識分析的基礎(chǔ)上，僅對其危險性大的芯片生產(chǎn)的輔助設(shè)施進(jìn)行勞動安全驗收評價。3主要危險危害因素分析1、物質(zhì)的危險危害芯片生產(chǎn)過程中，使用多種化學(xué)物品，廠區(qū)內(nèi)

4、設(shè)有儲存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫，化學(xué)品種類達(dá)80種。按照GB13690-92常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志規(guī)定中對常用危險化學(xué)品，按其主要危險特性進(jìn)行分類，該項目中使用的危險化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險危害為：1）有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。2）易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災(zāi)爆炸。3）氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機(jī)物還原劑、易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。4）腐蝕品（如酸類、堿類

5、等）如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。這些危險有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學(xué)危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學(xué)品庫單元.2、設(shè)備設(shè)施的固有危險危害生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。電氣設(shè)備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內(nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng)；特種設(shè)備有燃?xì)忮仩t、空壓設(shè)備、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機(jī)動車輛；儲存設(shè)備有儲氣罐、液氮罐、液鼠罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有：1）火災(zāi)爆炸油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā)火災(zāi)、爆炸危險。鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災(zāi)。

6、當(dāng)天然氣與空氣混合的濃度達(dá)到爆炸極限時遇點火源可引發(fā)爆炸危險。2）物理爆炸鍋爐、壓力容器（蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐）設(shè)備、氣瓶等，如設(shè)備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當(dāng)，可引發(fā)物理爆炸3）觸電危險變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運行不當(dāng)、機(jī)械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險。如出現(xiàn)短路、過載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險。4）靜電危害如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜

7、電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。5）高空墜落危險凡2m以上各類高空作業(yè)點位，其梯、臺、道、護(hù)欄等常規(guī)性防護(hù)措施不符合規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險。6）車輛傷害廠內(nèi)各類運輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。7）機(jī)械傷害空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動設(shè)備如無防護(hù)罩或損壞，可引發(fā)機(jī)械傷害。8）灼傷高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。9）噪聲危險空壓設(shè)備、泵類、風(fēng)機(jī)等設(shè)

8、備在運轉(zhuǎn)時可產(chǎn)生噪聲危害。4評價方法的選取和評價單元的劃分4.1評價方法的選取結(jié)合本項目建設(shè)內(nèi)容及已做勞動安全預(yù)評價的實際，安全驗收評價采用以下兩種方法：1、安全檢查表（SCL）依據(jù)國家、行業(yè)、地方相關(guān)法規(guī)、規(guī)定及技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，針對本工程存在的危險、危害因素，編制安全檢查表，以查驗項目在設(shè)計、施工、交付生產(chǎn)使用時，所采取的安全防護(hù)設(shè)施及技術(shù)措施的全面性和可靠性，并據(jù)此提出改進(jìn)措施及建議。2、專家現(xiàn)場詢問，觀察法（邀請公司專業(yè)技術(shù)人員參加、配合）。4.2評價單元的劃分依據(jù)已確定的評價范圍及建設(shè)內(nèi)容的實際，本項目的安全驗收評價劃分如下評價單元。1、總平面布置及常規(guī)安全防護(hù)設(shè)施安全評價單元2、生產(chǎn)工藝及

9、危險化學(xué)品使用安全評價單元3、化學(xué)品庫安全評價單元4、超純水制備設(shè)施系統(tǒng)安全驗收評價單元5、鍋爐房安全驗收評價單元6、油罐區(qū)、冷凍機(jī)房、空壓站、水泵房安全評價單元7、污水處理站安全評價單元8、供配電安全評價單元9、安全生產(chǎn)管理安全評價單元5.1.2安全檢查表依據(jù)GB50187-93工廠企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范、SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定、GB4387-94工業(yè)企業(yè)廠內(nèi)鐵路道路運輸安全規(guī)程、GBJ16-87建筑設(shè)計防火規(guī)范（2001版）、GB50074-2002石油庫設(shè)計規(guī)范、GB2894-1996安全標(biāo)志、GB16179-1996安全標(biāo)志使用導(dǎo)則等相關(guān)法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)及現(xiàn)場狀況編制總

10、平面布置及常規(guī)安全防護(hù)設(shè)施安全檢查表，檢查項目及內(nèi)容見表5.1.2-1?？偲矫娌贾冒踩珯z查表表5.1.2-1序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注1廠址選擇1.1廠址選擇在全面考察，其自然和社會環(huán)境應(yīng)優(yōu)先選在工程地質(zhì)、水文、氣象條件符合安全衛(wèi)生要求，交通便利，協(xié)作方便，環(huán)境較為清潔的地區(qū)。SJ30002-922.2.2V符合要求。1.2廠址應(yīng)位于生活區(qū)最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，避免建在已建工廠煙囪主2.2.4V導(dǎo)風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。GB50187-932.0.51.3廠址應(yīng)具有滿足生產(chǎn)、生:*:展規(guī)劃所需要電源和給排水條件。V滿足要求1.4廠址應(yīng)與交通線路、車站、港口順捷合理聯(lián)接，廠所區(qū)盡量靠近公路干道

11、。GB50187-932.0.4V交通便利。1.5地震斷層和設(shè)防烈度彳氐于九度地震區(qū)。GB50187-932.0.11V七度設(shè)防。2總平面布置2.1廠區(qū)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置。一般可分為廠前區(qū)、主要生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、倉庫區(qū)和動力區(qū)。SJ30002-922.3.2V按功能分為辦公區(qū)、生產(chǎn)區(qū)、公用工程區(qū)、預(yù)留區(qū)。2.2由廠部辦公樓、多層廠房、廠區(qū)主入口等組成的廠前區(qū)，宜置于廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。SJ30002-922.3.5V2.3布局應(yīng)滿足生產(chǎn)加工過程流程。GB50187-932.0.11V流程順暢。2.4要求潔凈的生產(chǎn)設(shè)施應(yīng)布置在大氣含塵濃度低、環(huán)境清潔地段。潔凈廠房的布置應(yīng)

12、符合潔凈廠房設(shè)計GB50187-934.2.2V7符合要求。規(guī)范”的規(guī)定。變配電站宜位于負(fù)荷中心，或靠近主要用戶。不受粉塵、水霧、腐蝕2.5性氣體影響。對于大容量的總降壓站，尚應(yīng)在其周圍加設(shè)圍墻。空壓站應(yīng)位于空氣潔凈地段，避免2.6靠近散發(fā)爆炸性、腐蝕性和有害氣體的粉塵等場所。鍋爐房宜布置在廠區(qū)全年最小頻率2.7風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)。污水處理站應(yīng)布置在廠區(qū)邊緣地帶，位于廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的2.8上風(fēng)側(cè)。應(yīng)靠近污染源，遠(yuǎn)離水源構(gòu)筑物及空調(diào)空氣入口，四周留有必要的衛(wèi)生防護(hù)距離?；馂?zāi)危險性屬于甲、乙、丙類液體燃料罐區(qū)的布置，應(yīng)遠(yuǎn)離明火或散2.9發(fā)火花地點。與耐火等級為2、3級廠房距離分別為20m、25m,

13、與廠內(nèi)主干道SJ30002-922.3.15GB50187-933.4.4GB50187-934.3.4GB50187-934.3.7SJ30002-922.3.13SJ30002-922.3.16GB50187-933.4.2GB50187-934.6.5總降變設(shè)在廠區(qū)西南角。各10kW變電站靠近負(fù)荷中心。油罐區(qū)距鍋爐房西側(cè)外墻GB50074-200215.2m,距廠內(nèi)道4.0.8路6m。距離15m,與次干道距離10m。2.10厄應(yīng)品庫，RW置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)及邊緣地區(qū)，應(yīng)遠(yuǎn)離火源，并符合國家現(xiàn)行有關(guān)防火規(guī)范的規(guī)定，防火間距不應(yīng)少于30m。SJ30002-922.3.12V基本符合

14、有關(guān)規(guī)定。2.11工廠主要建筑物宜呈南北向布置，建筑物的方位應(yīng)保證室內(nèi)有良好的朝向、采光和自然通風(fēng)條件。SJ30002-922.3.3GB50187-932.0.1V條件良好。2.12廠區(qū)出入口數(shù)量不宜少于2個。人流出入口與貨流出入口分開設(shè)置。GB50187-934.7.4V三個出入口，人、物分流。2.13廠區(qū)應(yīng)進(jìn)行綠化，應(yīng)在道路及圍墻沿線植樹，空地上種植灌木，喬木和草皮，廠前區(qū)布置花壇，水池以及廠標(biāo)、雕型等建筑小品。SJ30002-922.3.20V3廠區(qū)道路3.1運輸線路，滿足生產(chǎn)要求，物流順暢，線路短捷，人流、貨流組織合理。GB50187-934.1.8V人流、貨流組織合理。3.2道路與

15、主要建筑物軸線平行或垂SJ30002-92V呈環(huán)形布置。有直，主要生產(chǎn)廠、倉庫區(qū)、動力區(qū)的道路應(yīng)呈環(huán)形布置。廠區(qū)盡頭端式道路應(yīng)有足夠的消防車回轉(zhuǎn)場地。2.3.17GB50187-935.3.1回轉(zhuǎn)場地。3.3廠區(qū)主干線雙向行駛路寬n5m單向行駛路范n3.5m開啟單向行駛標(biāo)記，且能形成環(huán)形通道；人行道0.75m;沿主干線人行道1.5m。GB50187-935.3.55.3.6V廠區(qū)道路21m、15m、12m、7m。有人行道。3.4職工上卜班時間內(nèi)，人流密集的出入口和路段，應(yīng)停止行駛貨運和機(jī)動車輛。GB4387-945.1.8V3.5易燃易爆區(qū)、儲各道路劃分為限制車輛通行或禁止車輛通行的路段，并設(shè)

16、標(biāo)志。GB4387-945.1.4X油罐區(qū)、化學(xué)品庫道路未劃分限行路段。無標(biāo)志。3.6廠區(qū)道路在彎道交叉路口的橫凈距范圍內(nèi)，不得有妨礙駕駛員視線的障礙物。GB4387-945.1.10V3.7廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置交通標(biāo)志。GB4387-945.1.3X無交通標(biāo)志。3.8路面平整、路基穩(wěn)固、邊坡整齊、排水良好。GB4387-945.1.1V良好。3.9有完好的照明設(shè)施。GB4387-945.1.1V完好。4常規(guī)安全防護(hù)設(shè)施4.1架空平臺、走道、鋼梯應(yīng)符合國家現(xiàn)行固定式工業(yè)平臺、工業(yè)防護(hù)欄桿、鋼直梯、鋼斜梯等標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。凡采用直梯的場所，應(yīng)采取防護(hù)措施，相鄰兩層的直梯宜錯開設(shè)置。SJ30002-922.

17、6.72.6.8V廠區(qū)平臺、鋼梯基本符合要求。4.2廠區(qū)各種井、溝應(yīng)有蓋板。SJ30002-922.6.10V有蓋板。4.3道路上部管架和棧橋等障礙物，在干道上的凈身不得小于5m。SJ30002-922.3.18V4.4凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志。必要處尚應(yīng)設(shè)置聲光、色或聲光結(jié)合的緊急警告信口,勺。SJ30002-922.9.1S安全標(biāo)志小齊全，不醒目。4.5各種輸送氣體、液體及其它物料的管道，均應(yīng)按國家及電子工業(yè)有關(guān)規(guī)定涂色。SJ30002-922.9.2X未按規(guī)定涂色。4.6廠房、動力站房的安全出口及疏散SJ30002-92S小齊全。通道、應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。2.9.34.

18、7勺涂色，國家現(xiàn)行安全標(biāo)志及安全色標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。SJ30002-922.9.4S不規(guī)范。5.1.3綜合評價分析1、危險危害辨識1）廠區(qū)建（構(gòu)）筑物如間距小，道路狹窄，路面不平整、不暢通，若人流、物流不能有效分流，車輛無回車場地或車輛剎車、音響、燈光等出現(xiàn)問題，易引發(fā)車輛傷害事故。2）廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學(xué)品庫（室），油罐區(qū)、110KV變電站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位無安全標(biāo)志，無限行、禁行等交通標(biāo)志。易造成誤入及違章等,引發(fā)中毒、燃爆、觸電等傷害。3）廠區(qū)內(nèi)若坑、孔、井及走臺、平臺無防護(hù)圍欄或蓋板，直梯、斜梯不符合有關(guān)規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。4）廠區(qū)內(nèi)若道路無路標(biāo)無交通標(biāo)志，過路工

19、業(yè)管路無限高標(biāo)志，可造成各種車輛隨意超速，任其闖越工業(yè)管路架設(shè)較低區(qū)域，易造成車輛交通事故或設(shè)備損害事故。2、問題與建議廠區(qū)總平面布置根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置，能夠滿足生產(chǎn)加工過程流程要求，建（構(gòu)）筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要求，廠區(qū)道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)區(qū)、庫區(qū)、動力區(qū)的道路呈環(huán)形布置，能滿足消防車暢通和回轉(zhuǎn)的要求，廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺、走臺、鋼梯基本符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。但仍有一些問題應(yīng)引起注意。需采取相應(yīng)措施以消除可能導(dǎo)致事故發(fā)生的隱患。1）油罐區(qū)與鍋爐房和廠區(qū)道路的間距未達(dá)到GB50074石油庫設(shè)計規(guī)范的要求。應(yīng)按油罐區(qū)評價單元的建議完善其防火防爆措施并控

20、制儲油量。2）凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，安全出入口，應(yīng)設(shè)置齊全醒目的安全警示標(biāo)志。安全標(biāo)志的涂色應(yīng)符合國家現(xiàn)行的安全標(biāo)志及安全色標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。3）廠區(qū)工業(yè)管路應(yīng)按GB7231-87工業(yè)管路的基本識別色和識別符號規(guī)定，基本識別色應(yīng)涂刷在管路全長上或在管路上涂刷寬150mm的色環(huán)或在管路上用基本識別色膠帶纏繞寬150mm的色環(huán)。基本識別色色環(huán)應(yīng)涂刷在所有管路交叉、閥門和穿孔西側(cè)等的管路上以及其他需要識別的部位。在管路上用識別符號標(biāo)識管內(nèi)流體性質(zhì)、名稱和流向。4）廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標(biāo)志。在易燃易爆的生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)根據(jù)需要可將部分道路劃分出限制或禁止車輛通行的路段，并設(shè)置標(biāo)

21、o5.1.4評價結(jié)論廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建（構(gòu)）筑物按功能分區(qū)，生產(chǎn)工藝流程短捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好，人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合GB50187工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補(bǔ)充完善，可為實現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。5.2生產(chǎn)工藝及危險化學(xué)品使用安全評價單元支援車間危險化學(xué)品使用、儲存、安全措施情況如表5.2.1-3所示:危險化學(xué)品使用、儲存及安全措施表表5.2.1-3序號儲存場儲存危險化學(xué)品名稱所名稱氣柜數(shù)量 （個）安全設(shè)施1毒性氣體室碑化氫混合氣（ASH3/H2）1

22、10%氨氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、 消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shutdown按鈕、方動防護(hù)用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時，報警。1.5%錯烷/氫氣(GeHH)11%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2）15%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2）2氨氣（NH3）810%氨氣/氮氣工藝吹掃、TGM報一氧化碳（CO）3二氯硅烷（SiH2c12）12易燃?xì)怏w室二氟甲烷（CH2F2）1警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報警、消防水噴淋、排風(fēng)（酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開）、火災(zāi)聲光報警、shutdown按鈕、勞動防護(hù)用品專柜。50ppm乙硼烷/氫氣(B2HJH2)1氟甲烷（C%F）2100ppmB

23、2H6/N215%B2H6/N22100ppm乙硼烷/氫氣(B2HJH2)210%氨氣/氮氣1C4F613腐蝕性氣體室C12210%氨氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋（ClF3無）、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shutdown按鈕、勞動防護(hù)用品專柜。C1F32HBr2HC111SiF414氧化氣體室NF3910%氨氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shutdown按鈕、勞動防護(hù)用品專柜。N2O730%O2/He65惰性氣體室1.2%He+N2110%氨氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shutdown按鈕、力動防護(hù)用品專柜。C4F82

24、CHF31C2F61CO21CF42CHF32SF52He14%H2/N21HClCDM1BOECDM1設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、HFCDM26酸室NOECDM1雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝HNO3CDM1H3PO4CDM1置，自動水噴淋裝置。H2SO4CDM2HF100:1CDM17BaseRoom（堿室）NH4OH1設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測H2O22SD-11器，PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。ACT940CDM1設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收EG-011棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警8溶劑室EBR10A1偵

25、測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。1PA-01CDM15.2.2危險危害辨識與分析1、火災(zāi)、爆炸各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機(jī)械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作，造成物料泄漏，如作業(yè)現(xiàn)場通風(fēng)不良，與空氣混和達(dá)到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸；2、腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷清洗、擴(kuò)散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Baseroom堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲存、使用場所內(nèi)，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運、使用過程機(jī)械損壞、傾翻，造成物料泄漏

26、，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷；同時各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會造成人員中毒。3、物理爆炸各類壓力容器（包括氣瓶）、管道，如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設(shè)備損壞。4、高溫灼傷高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。5、激光、紅外線輻射灼傷在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀

27、察者眼睛，將會造成眼灼傷。6、高頻、噪聲傷害在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機(jī)等高頻設(shè)備；清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機(jī)、蝕刻機(jī)、微影機(jī)等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護(hù)措施不當(dāng)或損壞都會對人員造成物理因素傷害。7、高處墜落當(dāng)去廢溶劑儲罐等相對基準(zhǔn)面標(biāo)高超過2m設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時,若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺或設(shè)置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時，稍不慎會發(fā)生高處墜落事故。8、觸電各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護(hù)接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。9、電氣火災(zāi)電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過電壓保護(hù)等裝置或失效，線路絕緣損壞、短

28、路，以及防爆場所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會發(fā)生電氣火災(zāi)。10、雷電危害建筑物防雷設(shè)計不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時，會產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸，造成嚴(yán)重的生命、財產(chǎn)損失。11、靜電危害如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)（如：光刻、清洗區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、可燃?xì)怏w儲藏間等）設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷，不能及時消除，隨著時間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當(dāng)達(dá)到一定程度時，發(fā)生放電火花；或使用有

29、火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。5.2.3安全檢查表依據(jù)GBJ16-87建筑設(shè)計防火規(guī)范（2001版）、GB50187工廠企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范、SJ30002-92電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定、GBJ19-87采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范（2001年版）、GB50073-2001潔凈廠房設(shè)計規(guī)范、GB5083-99生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計總則、GB12801-91生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則、GB2893-2001安全色、GB2894-96安全標(biāo)志、GB15603-95常用化學(xué)危險品貯存通則、國務(wù)院令第344號危險化學(xué)品安全管理條例等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)

30、范編制安全檢查表，查驗結(jié)果詳見表5.2.3-1。生產(chǎn)工藝及危險化學(xué)品使用單元安全檢查表表5.2.3-1序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注1建筑結(jié)構(gòu)及平面布置1.1生產(chǎn)廠房耐火等級不應(yīng)低于二級。GBJ16-873.2.1V均為二級。1.2省多層生產(chǎn)廠房耐火等級為二級，其防火分區(qū)最大允許占地面積為4000m2。（因有自動水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍）GBJ16-873.2.1V占地面積4000m2。1.3有爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等）宜獨立設(shè)置。GBJ16-873.4.1V單獨設(shè)置。1.4有爆炸危險的間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等）應(yīng)設(shè)置必要的泄壓設(shè)施，泄壓設(shè)

31、施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。GBJ16-873.4.2S硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室無泄壓。1.5硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值（m2/m3）宜采用0.050.22,體積超過1000m3的建筑，不宜小于0.03。GBJ16-873.4.37約0.3。1.6間、易燃?xì)饨砉柰槭业瓤赡苌l(fā)可燃?xì)怏w、可燃蒸氣的廠房應(yīng)采用不發(fā)火地面。GBJ16-873.4.6V環(huán)氧地面。1.7有爆炸危險的該甲乙類廠房不應(yīng)設(shè)置辦公室、休息室如必須貼鄰布置，應(yīng)采用一、二級耐火等級建筑物并應(yīng)米用耐火極限不低于3h的非燃燒體防護(hù)墻隔開并設(shè)置直通室外或疏散樓梯的安全出口。GBJ16-873.4.8V1.8廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足

32、地震烈度7度設(shè)防要求，框架抗震等級二級要求。GB50187-932.0.4V7度設(shè)防。1.9芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，并在四周留有綠化場地。SJ30002-922.3.6V1.10易燃易爆工作間宜設(shè)置在單層廠房內(nèi)，或設(shè)在多層廠房的頂層端部。SJ30002-923.6.12X除硅烷室單獨設(shè)置外， 均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。2潔凈廠房2.1潔凈室應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化室和設(shè)施。GB50073-20014.3.1V分別設(shè)置人員、物料凈化室。2.2潔凈室內(nèi)噪聲值不應(yīng)大于70db(A)。GB50073-20014.4.1Vw65dB2.3潔凈實驗室耐火

33、等級不應(yīng)彳氐于二級。GB50073-20015.2.1V二級。2.4潔凈室的頂棚和壁板應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。GB50073-20015.2.4V2.5潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。GB50073-20015.2.5V用防火墻和防火門分隔。2.6潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。GB50073-20015.2.9V2.7潔凈廠區(qū)應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)，潔凈室事故排風(fēng)換氣次數(shù)應(yīng)采用1020次/h,事故排風(fēng)宜由常用排風(fēng)系統(tǒng)與事故排風(fēng)系統(tǒng)共同保證，事故排風(fēng)裝置的開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點，事故排風(fēng)應(yīng)與報警裝置聯(lián)鎖。S

34、J30002-927.0.10V設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，常開； 特殊氣體室室外設(shè)手動開關(guān)， 設(shè)自動聯(lián)鎖報警。33.1作業(yè)環(huán)境及工藝、設(shè)備安全裝置作業(yè)環(huán)境3.1.1車間內(nèi)人工運輸通道寬度必須1.0mSJ30002-923.1.3V2.5m3.1.2設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。SJ30002-923.1.4V3.1.3潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，并應(yīng)設(shè)置指明應(yīng)急安全出口的疏散標(biāo)志。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。SJ30002-927.0.14V設(shè)應(yīng)急照明、疏散標(biāo)志。3.1.4易燃易爆廠房的人員疏散，通道應(yīng)保持暢通，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明，疏散指示標(biāo)志及排煙措施。

35、SJ30002-923.6.13V3.1.5鋼梯、平臺所設(shè)置的護(hù)欄的設(shè)計應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。GB4053.13-93GB4053.4-83第2.5.2條X廢液收集罐處平臺護(hù)欄不符要求。3.2電子、化學(xué)工藝安全3.2.1高能離子注入機(jī)應(yīng)設(shè)在人流最少的區(qū)域內(nèi)，并應(yīng)有符合國家標(biāo)準(zhǔn)要求的接地及相應(yīng)的電磁波、X射線防護(hù)措施。SJ30002-923.2.3V設(shè)置于人流最少的東側(cè)，米取隔離防護(hù)措施。3.2.2聯(lián)動生產(chǎn)線應(yīng)有緊急制動裝置或聯(lián)鎖裝置，危險部位應(yīng)設(shè)置1星目的警告標(biāo)志；散發(fā)毒氣的工序應(yīng)設(shè)置排風(fēng)；帶電作業(yè)的工序需裝設(shè)自動保護(hù)裝置。SJ30002-923.2.5V設(shè)置緊急制動，設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng)，帶電作

36、業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。3.2.3使用酸、 堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局音時非風(fēng)系統(tǒng)，使用后毒溶劑進(jìn)行清洗的設(shè)備應(yīng)采取密閉措施；凡使用電氣的化學(xué)清洗設(shè)備，應(yīng)有良好的接地。SJ30002-923.3.1V均設(shè)置。3.2.4生產(chǎn)車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置緊急沖淋裝置及洗眼器。SJ30002-923.3.6V設(shè)置洗眼、淋浴器。3.2.5對于存在激光輻射設(shè)備，應(yīng)米取屏蔽等防護(hù)措施。SJ30002-929.1V屏蔽光源保護(hù)措施。3.3防火、防爆、防中毒3.3.1輸送易燃的管道、管件閥門、泵的連接處必須嚴(yán)密，管道系統(tǒng)應(yīng)采取接地措施。SJ30002-923.6.8V管道系統(tǒng)通過管架接地。3.3.2易燃

37、工作間的設(shè)氣線1關(guān)、 燈具等，均應(yīng)采用相應(yīng)等級的防爆型產(chǎn)品。SJ30002-923.6.11V3.3.3電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與PE線可靠連接。GB50169-922.1.11V3.3.4氫氣、CO和天然氣管道不能通過煙道、通風(fēng)管、配電室和易燃易爆物倉庫。GB50028-937.2.10V3.3.5管道應(yīng)標(biāo)志介質(zhì)及流向。SJ30002-922.9.2V3.3.6對有害氣體、易燃?xì)怏w的作業(yè)區(qū)，應(yīng)采取切實有效的防護(hù)措施，提高自動化，米取密閉、隔離生產(chǎn)。SJ30002-922.4.5V隔離操作、密閉生產(chǎn)。3.3.7車間空氣中有害物質(zhì)的濃度，必須符合工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的SJ30002-922.1.5S已

38、做監(jiān)測，數(shù)據(jù)暫不能提供。規(guī)定。3.3.8輸送后毒、后害、易燃、易爆及有腐蝕性氣體或液體的管道、管件、閥門，其材質(zhì)、連接方法，必須具有密封、耐壓、防腐蝕、防靜電等相應(yīng)措施。SJ30002-922.4.11V雙套管輸送， 防腐內(nèi)涂層。3.3.9危險相同的生產(chǎn)，宜集中或相鄰布置SJ30002-922.5.3V3.3.10對于產(chǎn)生有害、啟毒物質(zhì)的廠房，廠房內(nèi)部應(yīng)采取便于清掃、刷洗以及防止毒物附著和積蓄的措施。SJ30002-922.6.5V防泄漏收集采用二次容器，1.1倍容積。3.3.11車間內(nèi)各種明溝，應(yīng)加設(shè)蓋板。SJ30002-922.6.10V3.3.12生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚吸

39、收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。SJ30002-922.7.2V設(shè)洗衣房。3.3.13凡使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行化學(xué)清洗的設(shè)備，必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。SJ30002-926.3.12V3.3.14后卜列情況之一時，排風(fēng)不應(yīng)合為SJ30002-92V均設(shè)置獨立排風(fēng)。一個系統(tǒng)：混合后能引起燃燒或爆炸時；(1)混合后能引起燃燒、爆炸時；(2)易燃易爆工作間排風(fēng)與一般工作間排風(fēng)。3.6.93.3.15氫氣、煤氣管道，在末端、最高點等處應(yīng)設(shè)置放散管，放散管應(yīng)高出屋頂；放散管上應(yīng)設(shè)阻火器。SJ30002-924.1.6V3.3.16潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃?xì)怏w的風(fēng)管宜采用不銹鋼管

40、、排放含酸、堿性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。SJ30002-927.0.18V雙層不銹鋼、酸堿風(fēng)管采用ATC玻璃鋼涂層。4危險化學(xué)品的使用、輸送與管理4.1危險化學(xué)品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學(xué)危險品，嚴(yán)禁混放在SJ30002-923.8.3V分酸、堿后毒氣體室、硅烷室、易燃?xì)怏w室等。支援車間分功能區(qū)。4.2輸送危險化學(xué)品的設(shè)備、附屬表、器材等，應(yīng)根據(jù)危險介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。輸SJ30002-923.8.7V雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測。送腐蝕性較強(qiáng)的液體管道，不應(yīng)敷設(shè)在其它管道的上方， 并不宜連接埋地敷設(shè)。4.3設(shè)置必

41、要的防溢出、防滲漏緊急處理設(shè)施。具基礎(chǔ)及周圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。SJ30002-923.8.8V全封閉輸送機(jī)組，多種報警聯(lián)鎖裝置；周圍設(shè)置圍堰。4.4對于輸送具有較強(qiáng)腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機(jī)械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處，應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)。SJ30002-923.8.9V全封閉PLC程控泵組無泄漏。泵為全封閉型4.5輸送啟毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時，應(yīng)加以收集或處理，不得任意排放。SJ30002-923.8.10V收集并加以洗滌。4.6易燃、易爆的車間，應(yīng)采用易于清洗、撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火化的地面。SJ30002-923.8.11V硅烷室、易燃室符合要求。4.7有爆炸危險的

42、房間（如硅烷室、易燃?xì)怏w室、生產(chǎn)車間等），應(yīng)設(shè)置泄壓措施，安全出口不應(yīng)少于2個。其中一個直接對外，不超過100m2的房間可設(shè)一個出口。GBJ16-873.5.1S硅烷室設(shè)泄壓具余無，安全出口均不少于2個。4.8危險化學(xué)品使用場所應(yīng)設(shè)置通訊、報警裝置，并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。危險化學(xué)品安全管理條例第18條V設(shè)置應(yīng)急通訊、自動、手動報警裝置。4.9應(yīng)在危險化學(xué)品作業(yè)場所設(shè)置急救設(shè)施，并提供應(yīng)急處理的方法。工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定第17條V設(shè)置應(yīng)急用品柜，提供處理方法。4.10使用單位應(yīng)對盛裝、貯存危險化學(xué)品的設(shè)備，采用顏色、標(biāo)牌、標(biāo)簽等形式，標(biāo)明其危險性。工作場所安全使用化學(xué)品規(guī)定

43、第19條V儲存柜上均啟標(biāo)識。4.11丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近混合貯存，氧化劑應(yīng)單獨存放。GB15603-19956.7V單獨存放。4.12廢棄、過期的化學(xué)危險品及使用過的包裝容器必須妥善保管，不得隨意拋棄，依據(jù)危險廢棄物的處置標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行處置。關(guān)于加強(qiáng)化學(xué)危險物品管理的通知V4.13使用危險化學(xué)品，在天津市有關(guān)主管部門辦理了登記手續(xù)， 并取得使用許可證。市安監(jiān)局、市經(jīng)委相關(guān)文件要求S正申4.14有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術(shù)的培訓(xùn)，經(jīng)考核合格，方可上崗作業(yè)。危險化學(xué)品安全管理條例第四條S已組織，尚未培訓(xùn)。5有售氣體控制裝置5.1碑烷、氯氣、氨等后毒、易

44、燃、易爆氣體的鋼瓶柜，離子刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等使用有害氣體的作業(yè)點，應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。SJ30002-926.3.166.3.23V5.2使用碑烷、硅烷、氨等啟毒工作間，宜設(shè)報警裝置及事故排風(fēng)。報警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應(yīng)定時進(jìn)行排風(fēng)。SJ30002-926.2.9V設(shè)置報警聯(lián)鎖裝置及事故排風(fēng)。6電氣6.1電氣裝置采用接地故障保護(hù)時，應(yīng)做總等電位聯(lián)接。SJ30002-9212.2.4V等電位連接。6.2檢測和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣可能使生產(chǎn)、動力設(shè)備造成重大事故時，必須后備用電、氣源。備用時應(yīng)根據(jù)工藝、動力要求確定，一般不小于15-30分鐘。SJ30002-921

45、2.2.8V設(shè)發(fā)電機(jī)3臺，壓縮空氣備用氣源30min6.3停電或停氣時，調(diào)節(jié)閥的閥位應(yīng)處于安全位置。SJ30002-9212.2.9V6.4消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備，應(yīng)采用單獨的供電回路，并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時，應(yīng)仍保證消防用電。具配電設(shè)備應(yīng)啟明顯標(biāo)志。SJ30002-9212.2.10V單獨設(shè)置供電回路，UPS、EPSSP電源，6.5在有爆炸危險環(huán)境內(nèi)，敷設(shè)電氣線路的溝道、電纜或鋼管，在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞，應(yīng)采用非燃性材料嚴(yán)密堵塞。SJ30002-9212.2.16V防火水泥堵塞。6.6電氣設(shè)備線路必須安全可靠，照明應(yīng)采用有防

46、護(hù)罩的燈具。SJ30002-923.2.7V線路穿管敷設(shè)，燈具有防護(hù)罩。6.7在火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)，可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、管道應(yīng)采取靜電接地措施。SJ30002-9212.5.4V設(shè)備、管道均采取靜電接地措施。6.8在重點防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應(yīng)設(shè)計人體導(dǎo)除靜電裝置；并配備個人防靜電防護(hù)用品。HG20571-953.2.10V設(shè)消除靜電離子發(fā)生器。7消防、報警設(shè)施7.1建筑滅火器的配置應(yīng)按建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。GBJ16-878.7.7V117.2潔凈室及技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置自動火火系統(tǒng)。SJ30002-927.0.11V7.3生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警檢測系統(tǒng)。SJ3000

47、2-927.0.15GB12801-916.3.1V7.4儲存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃?xì)怏w室等應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w監(jiān)測報警裝置、事故排風(fēng)及防爆設(shè)施。GBJ16-8710.3.2SJ30002-923.6.2V設(shè)作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報警系統(tǒng)。7.5潔凈廠房、啟毒、易燃?xì)馄块g等可能散發(fā)可燃、可爆和后毒、有害氣體的場所應(yīng)設(shè)置各種可燃、后毒、有害氣體檢漏報警裝置。SJ30002-9212.6.3V設(shè)置不同類型報警裝置。8氣瓶安全使用8.1使用氣瓶應(yīng)：采購和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn)品，不使用超期未檢的氣氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程第79條V各項措施齊備，剩余壓力小于0.05Mpa自動切瓶。必須到已辦理充裝注

48、冊的單位或經(jīng)銷注冊的單位購氣。氣瓶使用前應(yīng)進(jìn)行安全狀況檢查，對盛裝氣體進(jìn)行確認(rèn)。氣瓶放置地點不得靠近熱源和明火，應(yīng)保證氣瓶干燥。氣瓶立放時，應(yīng)采取防止傾倒的措施；夏季應(yīng)防止爆曬；嚴(yán)禁敲擊、碰撞；嚴(yán)禁在氣瓶上進(jìn)行電焊引?。黄績?nèi)氣體不得用盡，必須留有剩余壓力或重量，氫氣瓶剩余壓力應(yīng)不小于0.05Mpa。換。8.2磷烷、碎烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼瓶，必須放置在設(shè)有排風(fēng)防護(hù)裝置的金屬柜內(nèi)。不工作時，應(yīng)有自動定時排風(fēng)系統(tǒng)。SJ30002-926.2.8V長期通風(fēng)。9安全標(biāo)志|9.1凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志，必要處尚應(yīng)設(shè)置SJ30002-922.9.1V機(jī)臺、氣柜等均設(shè)置安全標(biāo)志。聲

49、、光、色或聲、光結(jié)合的緊急警告信號。SJ30002-922.9.39.2廠房、動力站房的安全出口及疏散通道，應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。V9.3安全標(biāo)志的涂色，應(yīng)符合國家現(xiàn)行安全標(biāo)志及安全色標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。GB2893-82GB2894-1996V9.4工業(yè)管路基本識別色應(yīng)符合：綠色：水鋁色:蒸氣棕色：易燃液體黃褐色：氣態(tài)或液態(tài)氣體（空氣、氧氣除外）紫色：酸或堿淺藍(lán)色：空氣或氧氣黑色：其它液體。GB7231-87S未完全執(zhí)行本國標(biāo)。5.2.4危險源綜合分析與評價1、單元的主要危險因素SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜，同時使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ16-87生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類”為甲類，因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。2、已采取的主要安全技術(shù)、管理措施針對上述危險有害因素，為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運行，企業(yè)已采取的安全技術(shù)措施主要有：1）潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級符合國家相關(guān)規(guī)范要求；2）潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設(shè)置局部排風(fēng)，同時設(shè)置火災(zāi)自動報警裝置、火災(zāi)排煙系統(tǒng)及應(yīng)急照明；