基板裂紋源尋找方法

1、基板裂紋源尋找方法基板裂紋源尋找方法-by Henancyh-by Henancyh20092009年年4 4月月2323日日一、玻璃基板破碎后樣品保存方法改善改善發(fā)生工段、工序狀發(fā)生工段、工序狀態(tài)態(tài)etc信息信息基板基板ID&加工條加工條件件etc信息信息基板開裂狀態(tài)基板開裂狀態(tài)尋找起點位置取樣尋找起點位置取樣原因分析原因分析對策對策樣品取樣樣品取樣破碎基板解析方法破碎基板解析方法樣品分析樣品分析F/B（對工廠生產(chǎn)（對工廠生產(chǎn)提出措施）提出措施）破碎基板信息采集：基板破碎時間、相關設備、發(fā)生工位及工序狀態(tài)信息：基板W/O、ID和加工過程變化信息（包括同正常產(chǎn)品生產(chǎn)相比材料、工藝條件等變化）；

2、基板破碎狀態(tài)圖解（統(tǒng)一基板倒角、行進方向）；裂紋源分析及取樣圖解；破碎基板樣品保存：破碎基板裂紋源現(xiàn)場判斷肉眼；破碎基板裂紋源現(xiàn)場解析X-10, X-20放大鏡；基板裂紋源和基板信息配套；裂紋源送至分析室進一步解析破損原因；破碎基板工序對策及改進措施：破碎基板破損現(xiàn)場原因判斷；破碎基板破損原因工序對策；針對F/B過程中該工序提出改進措施；二、玻璃基板破損裂紋源尋找方法：造成基板破碎的原因（基板）應力定義：基板單位面積上所受到的力；玻璃基板破碎原因：熱應力外界沖擊力當用力彎曲折斷材料時，材料頂當用力彎曲折斷材料時，材料頂部受到左右兩側的拉力，而材料底部受到左右兩側的拉力，而材料底部受到左右兩側的

3、壓力，故材料斷部受到左右兩側的壓力，故材料斷面的截面斷面形貌為：面的截面斷面形貌為：曲線型排骨紋曲線型排骨紋當用力拉斷材料時，材料頂部和當用力拉斷材料時，材料頂部和底部均受到左右兩側的拉力，故材底部均受到左右兩側的拉力，故材料斷面的截面斷面形貌為：料斷面的截面斷面形貌為：直線型排骨紋直線型排骨紋二、玻璃基板破損裂紋源尋找方法：裂紋源的判斷依據(jù)：起點源：首先在起點源附近有一鏡面區(qū)；霧區(qū)：起點源鏡面區(qū)外側表面亮度“較暗”區(qū)域；Rib mark：以起點源為中心向四周擴散的波紋線；羽毛紋同Rib mark垂直且首尾相連的條形開裂線；起點源起點源鏡面區(qū)鏡面區(qū)霧區(qū)霧區(qū)起點源起點源Rib markRib m

4、ark 應力計算公式：Rib mark：越接近起點源，Rib mark間距越??；距離起點源越遠，Rib mark間距越大找尋起點源的方法之一； 起點源常用判定方法：開裂線同基板邊部垂直開裂線同基板邊部垂直基板開裂方向由中心基板開裂方向由中心向四周擴散的點位向四周擴散的點位筆直的一小段筆直的一小段同時，起點源的判定還要考慮特殊點位，eg：排氣孔、物流線stopper和setter不良等舉例：P4.1起點源起點源Rib markRib mark起點源起點源Rib markRib mark羽毛紋羽毛紋P4.2起點源起點源雖然起點在排氣孔附近，但仔細分析得出起點源并非排氣孔。經(jīng)過仔細觀看得出起點源位于基板背部排氣孔附近，起因是由于SL燒結過程中收縮流入排氣孔，排氣孔在打孔過程中由于高溫局部應力較大，當SL收縮通過排氣孔流至基板背部時，由于setter和基板收縮率不一致導致基板背部先出現(xiàn)裂紋源.基板背部先出現(xiàn)