第4期一文打盡xps圖譜分析教程及在各領(lǐng)域的應(yīng)用avantage操作指南

1、Avantage作指南The world leader in serving scienceAvantage 操作頁面介紹Avantage 操作頁面3儀器軟件基本介紹新建窗口（數(shù)據(jù)處理或?qū)嶒瀻欤┐蜷_數(shù)據(jù)文件導(dǎo)入數(shù)據(jù)保存數(shù)據(jù)處理窗口打印實時數(shù)據(jù)顯示光學(xué)圖像窗口 FEG掃描窗口樣品臺示意圖新建數(shù)據(jù)處理窗口打開/關(guān)閉實驗樹和屬性窗口用戶優(yōu)化選項4儀器軟件基本介紹-數(shù)據(jù)處理工具其他功能數(shù)學(xué)方法選項基本分析譜圖修改角分辨功能數(shù)據(jù)比較圖像處理剖面圖選項注：需要選中正確的數(shù)據(jù)之后，相應(yīng)功能才能起作用（否則相應(yīng)功能按鈕呈灰色）5儀器軟件基本介紹導(dǎo)出數(shù)據(jù)選項顯示選項顯示模式6作指南AvantageSurvey

2、元素自動識別1、打開對應(yīng)的VGP文件2、選中Survey譜圖，單擊對Survey進(jìn)行元素識別注：一般采用高分辨元素窄掃譜圖進(jìn)行化學(xué)態(tài)的確認(rèn)及定量分析，此時應(yīng)注意將Survey里各元素的“” 去掉，使其不參與定量8荷電校準(zhǔn)3、荷電校準(zhǔn)單擊，通過拖拽C1s峰位，計算其與284.8eV的差值，即為需要將所有元素峰位矯正的數(shù)值（本次各元素峰位需要+0.1eV）注：進(jìn)行荷電校準(zhǔn)時，一般采用污染碳的C1s（ 284.8eV）進(jìn)行校準(zhǔn)若樣品不是石墨烯類材料，則將C1s譜圖最低結(jié)合能端的峰校準(zhǔn)到284.8eV;若樣品是石墨烯類材料，則建議將C1s譜圖最低結(jié)合能端的峰校準(zhǔn)到284eV;9荷電校準(zhǔn)選中譜圖左上角方

3、框（作用是將所有譜圖選中）選中對譜圖進(jìn)行荷電校準(zhǔn)（此次數(shù)據(jù)需要將譜圖向高結(jié)合能端移動0.1eV）10荷電校準(zhǔn)在Shift by amount菜單中設(shè)置峰位移動的方向和數(shù)值點擊Accept &Close可以觀察到所有譜向高結(jié)合能端移動了0.1eV（C1s峰位已經(jīng)校準(zhǔn)到284.8eV）11元素定量4.1、元素定量-背底扣除點擊對應(yīng)譜圖上會顯示兩條虛線（用于標(biāo)識背底扣除的起始位置）將虛線移動到對應(yīng)元素兩側(cè)背底處（較平緩區(qū)域）較平緩點擊Add背底扣除方法：一般建議使用Smart12元素各化學(xué)態(tài)定量、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合（加單峰）選中對應(yīng)譜圖，點擊選擇“Add Fitted Peak”選擇“Add

4、 Single Peak”，根據(jù)對樣品的了解及譜圖實際情況確定加3個譜峰）個數(shù)（此譜圖共需添分峰擬合適用條件：若元素存在不同的化學(xué)態(tài)，且需要對化學(xué)態(tài)進(jìn)行分析時，需要對該元素進(jìn)行分峰擬合13元素各化學(xué)態(tài)定量、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合（加單峰）選中Peak Fit（可以對譜峰的擬合參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化和修改）如：各化學(xué)態(tài)譜峰命名、半高寬的限定等譜峰命擊對應(yīng)元素化學(xué)態(tài)名稱（即C1s、C1s Scan A、 C1s Scan B）處對其修改半高寬限定：一般建議半高寬在0.5:2.5范圍內(nèi)，且同一元素各化學(xué)態(tài)半高寬相同或差距較小14元素各化學(xué)態(tài)定量4.2、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合（加單峰單擊 Fit Thi

5、s Level若擬合結(jié)果符合要求，點擊OK即可（該元素各化學(xué)態(tài)定量結(jié)果完成）1元素各化學(xué)態(tài)定量、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合（加雙峰）選中對應(yīng)譜圖，點擊選擇“Add Fitted Peak”選擇“Add Double Peak”，根據(jù)對樣品的了解及譜圖實際情況確定個數(shù)（此譜圖共需添加2組譜峰，即點擊2次Add Double Peak ）分峰擬合適用條件：若元素存在不同的化學(xué)態(tài)，且需要對化學(xué)態(tài)進(jìn)行分析時，需要對該元素進(jìn)行分峰擬合16元素各化學(xué)態(tài)定量4.3、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合（加雙峰）單擊 Fit This Level，直到擬合效果滿意為止（一般只需單擊1-3次）17元素各化學(xué)態(tài)定量4.3、

6、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合（加雙峰）選中Peak Fit（可以對譜峰的擬合參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化和修改）如：各化學(xué)態(tài)譜峰命名、半高寬的限定等（單擊對應(yīng)方框，直接輸入即可）譜峰命對其修改半高寬限定：一般建議半高寬在0.5:2.5范圍內(nèi)，且同一元素各化學(xué)態(tài)半高寬相同或差距較小擊對應(yīng)元素化學(xué)態(tài)名稱（即S2p3 ScanA、S2p1 Scan A、 S2p3 Scan B）處18元素各化學(xué)態(tài)定量4.3、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合（加雙峰）若擬合結(jié)果符合要求，點擊OK即可（該元素各化學(xué)態(tài)定量結(jié)果完成）19元素定量5.1、深度剖析元素定量-背底扣除點擊對應(yīng)譜圖上會顯示兩條虛線（用于標(biāo)識背底扣除的起始位置）將虛線移動

7、到對應(yīng)元素兩側(cè)背底處（較平緩區(qū)域）較平緩背底扣除方法：一般建議使用Smart點擊Add20深度剖析元素各化學(xué)態(tài)定量、深度剖析元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合選中對應(yīng)譜圖，點擊選擇“Add Fitted Peak”選擇“Add Single Peak”，根據(jù)對樣品的了解及譜圖實際情況確定加3個譜峰）個數(shù)（此譜圖共需添分峰擬合適用條件：若元素存在不同的化學(xué)態(tài)，且需要對化學(xué)態(tài)進(jìn)行分析時，需要對該元素進(jìn)行分峰擬合21深度剖析元素各化學(xué)態(tài)定量5.2、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合選中Peak Fit（可以對譜峰的擬合參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化和修改）如：各化學(xué)態(tài)譜峰命名、半高寬的限定等譜峰命擊對應(yīng)元素化學(xué)態(tài)名稱（即C1s、C1

8、s Scan A、 C1s Scan B）處對其修改半高寬限定：一般建議半高寬在0.5:2.5范圍內(nèi)，且同一元素各化學(xué)態(tài)半高寬相同或差距較小22深度剖析元素各化學(xué)態(tài)定量5.2、元素各化學(xué)態(tài)定量-分峰擬合單擊 Fit All Level若擬合結(jié)果符合要求，點擊OK即可（該元素各化學(xué)態(tài)定量結(jié)果完成）23深度剖析元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫5.3、元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫通過Ctrl+單擊需要關(guān)心的元素可將關(guān)心元素選擇出來 （被選元素左側(cè)會有顯示）單擊，即到關(guān)心元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線24深度剖析元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫5.3、元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線

9、刻畫通過將對應(yīng)元素后面的“”去掉，即可使不關(guān)心元素不參加定量，通過Ctrl+單擊需要關(guān)心的元素可將關(guān)心元素選擇出來 （被選元素左側(cè)會有顯示）單擊，即到所有元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線（此時所關(guān)心元素含量之和為100%）25深度剖析元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫5.3、元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線刻畫通過點擊Peak Table左上角（將所有元素全選 ，所有元素均有顯示）單擊，即到所有元素及各化學(xué)態(tài)隨濺射時間變化曲線26數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能-以Excel形式導(dǎo)出6、數(shù)據(jù)Excel形式導(dǎo)出通過點擊譜圖左上角方框（將所有元素全選）設(shè)置格式：Reporting-Region27數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能-以E

10、xcel形式導(dǎo)出6、數(shù)據(jù)Excel形式導(dǎo)出單擊，對數(shù)據(jù)導(dǎo)出格式進(jìn)行設(shè)置（建議設(shè)置如下表所示，可根據(jù)用戶需求自行設(shè)置）單擊OK28數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能-以Excel形式導(dǎo)出6、數(shù)據(jù)Excel形式導(dǎo)出單擊 Report Style-Graph Sizes/Fonts，可對導(dǎo)出的（建議設(shè)置如下表所示，可根據(jù)用戶需求自行設(shè)置）大小和文字進(jìn)行設(shè)置單擊OK29數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能-以Excel形式導(dǎo)出6、數(shù)據(jù)Excel形式導(dǎo)出選擇數(shù)據(jù)途徑：Reporting-Excel-Report Options-OK將數(shù)據(jù)按照途徑進(jìn)行數(shù)據(jù)導(dǎo)出：Reporting-Excel-Report to,數(shù)據(jù)導(dǎo)出完成30導(dǎo)出功能-用于PPT展

11、示7.1、譜圖以形式導(dǎo)出-Survey導(dǎo)出選擇數(shù)據(jù)途徑：Reporting-Image Large單擊，Report StyleGraph Options/Fonts，可對譜圖和文字大小進(jìn)行設(shè)置（建議將大小設(shè)置參數(shù)如右圖所示）設(shè)置完成后，點擊OK31導(dǎo)出功能-用于PPT展示7.1、譜圖以形式導(dǎo)出-Survey導(dǎo)出Report StyleTablesPeak Table的去掉（否則導(dǎo)出的譜圖將會含有Peak Table表格）32導(dǎo)出功能-用于PPT展示7.1、譜圖以形式導(dǎo)出-Survey導(dǎo)出單擊/選擇要導(dǎo)出的Survey譜圖Reporting-Report To Clipboard（將到剪切板上

12、）單擊PPT的目標(biāo)位置，Ctrl+V進(jìn)行粘貼（Survey導(dǎo)出完成）33導(dǎo)出功能-用于PPT展示7.2、譜圖以形式導(dǎo)出-高分辨窄掃導(dǎo)出選擇數(shù)據(jù)途徑：Reporting-Image Small單擊，Report StyleGraph Options/Fonts，可對譜圖和文字大小進(jìn)行設(shè)置（建議將大小設(shè)置參數(shù)如右圖所示）設(shè)置完成后，點擊OK34導(dǎo)出功能-用于PPT展示7.2、譜圖以形式導(dǎo)出-高分辨窄掃導(dǎo)出Report StyleTablesPeak Table的去掉（否則導(dǎo)出的譜圖將會含有Peak Table表格）35導(dǎo)出功能-用于PPT展示7.2、譜圖以形式導(dǎo)出-高分辨窄掃導(dǎo)出單擊/選擇要導(dǎo)出的

13、高分辨窄掃譜圖Reporting-Report To Clipboard（將到剪切板上）單擊PPT的目標(biāo)位置，Ctrl+V進(jìn)行粘貼（Survey導(dǎo)出完成）36 7、譜圖以形式導(dǎo)出-注意事項 當(dāng)進(jìn)行譜圖導(dǎo)出時，需注意將Report StyleTablesPeak Table的去掉，否則導(dǎo)出的譜圖將會含有Peak Table表格37導(dǎo)出功能-用于PPT展示導(dǎo)出功能-用于PPT展示7、譜圖及標(biāo)注修改小技巧添加/取消標(biāo)注：右擊對應(yīng)VGP譜圖-Legend-Legend On（對應(yīng)標(biāo)注即可顯示出來）/Legend Off（取消標(biāo)注）修改標(biāo)注文字及線條：右擊PPT上對應(yīng)譜圖-Group-Ungroup-單

14、擊需要修改文字的文本框或雙擊標(biāo)注線條即可對其進(jìn)行修改部分圖像、文字位置的修改：將需要移動的文字、后對其拖拽到指定位置）C1s Scan選中，右擊-Group-Group（隨3 Scans,57.3 s, 500m, CAE 30.0, 0.10 eVSpectrum BackgroundFitted Peak C1s grapheneFitted Peak C1s Sat Peak fit background Fitted envelope3.00EC1s graphene2.00E+051.00E+05C1s Sat0.00E+00Binding Energy (eV)38Counts /

15、 s (Residuals 10)表面分析產(chǎn)品K-Alpha高效能XPS測試能力Nexsa斑XPS，多技術(shù)聯(lián)合Theta Probe高效能薄膜分辨能力ESCALAB Xi+世界一流性能和多功能拓展性快速、直觀的工作流程交互式和完全自動化操作分析斑平行角分辨非破壞性深度剖析 ISS、REELS、UPS、多技術(shù)聯(lián)合MAGCIS雙模式離子源（專利）快速、定量平行成像 優(yōu)于5m束斑回溯成譜優(yōu)越的能量分辨率標(biāo)配 REELS和ISS可選配多技術(shù) AES/SEM/EDS/LEED/IPES/E DXR全聚焦:10-400mISS、REELS、UPS、多技術(shù)聯(lián)合快照成像(專利) MAGCIS雙模式離子源（專利）互聯(lián)網(wǎng)內(nèi)標(biāo)自校準(zhǔn)操控MAGCIS雙模式