集成電路封裝測(cè)試廠氣體與真空

1、集成電路封裝測(cè)試廠氣體與真空一、大宗氣體1、大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜采用在廠區(qū)內(nèi)設(shè)置制氣裝置或外購(gòu)液態(tài)氣儲(chǔ)罐和瓶裝氣 體方式。2、大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜設(shè)置氣體質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)。3、當(dāng)氣體的純度大于99.9999%、露點(diǎn)低于一4(TC時(shí)，大宗氣體應(yīng)設(shè)置終端氣體純化裝置，氣體終端純化裝置應(yīng)設(shè)置在用氣點(diǎn)處。4、生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的大宗氣體管道等應(yīng)采取以下技術(shù)措施：(1)管道及閥門附件內(nèi)壁處理等級(jí)應(yīng)滿足輸送氣體的品質(zhì)要求；(2)混合氣體管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管，放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器；(3)混合氣體管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的設(shè)施；(4)混合氣體引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。5、氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合

2、以下規(guī)定：(1)當(dāng)氣體純度大于99.99%、露點(diǎn)低于一40(時(shí)，宜采用內(nèi)壁處理的不銹鋼管，閥門宜采用波紋管閥或球閥；(2 )氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。6、氣體管道連接，宜符合以下規(guī)定:(1)管道連接宜采用焊接，不銹鋼管宜采用氫弧焊;(2)管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用外表密封接頭，密封材料宜采用金屬墊 或聚四氟乙烯墊。二、干燥壓縮空氣1、干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定， 并應(yīng)符合以下規(guī)定：(1)供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝平均用氣量及系統(tǒng)損耗量確定；(2 )供氣設(shè)備可集中布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房外的綜合動(dòng)力站；(3 )供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)

3、生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑的要求確定。2、空氣壓縮機(jī)及冷凍式干燥裝置的布置應(yīng)保證冷卻空氣排放至室外，防止熱空 氣混入冷卻空氣的入口。3、水冷式空壓機(jī)組宜采用閉式循環(huán)水系統(tǒng)。4、干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點(diǎn)低于一4CTC時(shí)，可采用不銹鋼管或鍍鋅鋼管, 閥門宜采用球閥。5、壓縮空氣系統(tǒng)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合以下規(guī)定：(1)壓縮空氣主管道直徑應(yīng)按全系統(tǒng)平均用氣量確定，主支管道直徑應(yīng)按局部 系統(tǒng)平均用氣量確定，支管道直徑應(yīng)按設(shè)備最大用氣量確定；(2 )干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于一4(TC時(shí)，用于管道連接的密封材料宜選用金 屬墊片或聚四氟乙熔墊片;(3)管道連接宜采用焊接，不銹鋼管應(yīng)采用氮弧焊。三、真空1、生產(chǎn)廠房工藝真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合以下規(guī)定：(1)工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝實(shí)際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定；(2)供氣設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的一個(gè)或多個(gè)供氣站內(nèi)；(3)工藝真空系統(tǒng)宜設(shè)置真空壓力過(guò)低保護(hù)裝置。2、工藝真空系統(tǒng)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合以下規(guī)定：(1)工藝真空管路應(yīng)采用樹(shù)枝狀布置形式。(2)工藝真空主管道直徑應(yīng)按照系統(tǒng)實(shí)際抽氣量確定；主支管道直徑應(yīng)按局部 系統(tǒng)實(shí)際抽氣量確定；支管道直徑應(yīng)按設(shè)備最大抽氣量確定。(3)工藝真空系統(tǒng)管道材料宜根據(jù)工