電感式傳感器28895課件

1、第四章 電感式傳感器 本章的主要內(nèi)容有：1.自感式電感傳感器的結(jié)構(gòu)原理；2.互感式電感傳感器的結(jié)構(gòu)原理；3. 電感傳感器的典型測(cè)量電路；4. 電感傳感器的主要應(yīng)用； 電感式傳感器是利用被測(cè)量的變化引起線(xiàn)圈自感或互感系數(shù)的變化，導(dǎo)致線(xiàn)圈電感量改變來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量的。分類(lèi):電感式傳感器自感型互感型變面積型電傳感器螺線(xiàn)管型電傳感器變間隙型電傳感器4.1 自感式電感傳感器 自感式電感傳感器常見(jiàn)的形式:變隙式 變截面式 螺線(xiàn)管式4.1 自感式電感傳感器 先看一個(gè)實(shí)驗(yàn)： 將一只380V交流接觸器線(xiàn)圈與交流毫安表串聯(lián)后，接到機(jī)床用控制變壓器的36V交流電壓源上，如圖4-1所示。這時(shí)毫安表的示值約為幾十毫安。用手慢

2、慢將接觸器的活動(dòng)鐵心（稱(chēng)為銜鐵）往下按，我們會(huì)發(fā)現(xiàn)毫安表的讀數(shù)逐漸減小。當(dāng)銜鐵與固定鐵心之間的氣隙等于零時(shí)，毫安表的讀數(shù)只剩下十幾毫安。電感傳感器的基本工作原理演示F220V準(zhǔn)備工作電感傳感器的基本工作原理演示氣隙變小，電感變大，電流變小F4.1 自感式電感傳感器 自感式電感傳感器有變間隙型、變面積型和螺管型三種。 4.1.1 原理分析 4.1.1.1 變間隙型電感傳感器 它的結(jié)構(gòu)示意圖如右圖所示。工作時(shí)銜鐵與被測(cè)物體連接，被測(cè)物體的位移將引起空氣隙的變化，導(dǎo)致了線(xiàn)圈電感量的變化。線(xiàn)圈的電感可用下式表示：線(xiàn)圈的電感值可近似地表示為 因此，其靈敏度隨氣隙的增大而減小。忽略磁路鐵損，則磁路總磁阻為

3、 因此： 鐵心與銜鐵之間相對(duì)覆蓋面積隨被測(cè)量的變化面改變，導(dǎo)致線(xiàn)圈的電感量發(fā)生變化，這種形式稱(chēng)之為變面積型電感傳感器，見(jiàn)圖4.1.2。L與是非線(xiàn)性的，但與A成正比，特性曲線(xiàn)參見(jiàn)圖4.1.3。可變導(dǎo)磁面積型4.1.1.2 變面積型電感傳感器下圖為其結(jié)構(gòu)原理圖，銜鐵隨被測(cè)物移動(dòng)，引起磁阻發(fā)生變化，導(dǎo)致電感量改變。線(xiàn)圈電感量與銜鐵進(jìn)入線(xiàn)圈的長(zhǎng)度可表示為 4.1.1.3 螺管型電感式傳感器通過(guò)以上分析可得結(jié)論: 變間隙型靈敏度較高,但非線(xiàn)性誤差較大； 變面積型靈敏度較小,但線(xiàn)性較好,量程較大； 螺管型靈敏度較低,但量程大且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。 用兩個(gè)相同的傳感線(xiàn)圈共用一個(gè)銜鐵,構(gòu)成差動(dòng)式電感傳感器,這樣可以提高

4、傳感器的靈敏度,減小測(cè)量誤差。下圖是變間隙型、變面積型及螺管型三種類(lèi)型的差動(dòng)結(jié)構(gòu)。 4.1.1.4 差動(dòng)式電感傳感器4.1.2 測(cè)量電路 差動(dòng)式結(jié)構(gòu)可以提高靈敏度，改善線(xiàn)性，所以交流電橋大多采用雙臂工作形式。下圖是交流電橋的幾種常用形式。 當(dāng)LR時(shí)，上式可近似為： 可見(jiàn):交流電橋的輸出電壓與傳感器線(xiàn)圈電感的相對(duì)變化量成正比。 電阻平衡臂電橋如上圖a所示，工作時(shí)，Z1=Z+Z和Z2=Z-Z，當(dāng)ZL時(shí)，電橋的輸出電壓為: 4.1.2.1 電阻平衡臂電橋由于Z1=Z-Z，Z2=Z+Z，故： 同理，當(dāng)銜鐵上移時(shí)，則有：變壓器式電橋如前圖b，當(dāng)負(fù)載阻抗無(wú)窮大時(shí)輸出電壓為：4.1.2.2 變壓器式電橋可見(jiàn)

5、:輸出電壓反映了傳感器線(xiàn)圈阻抗的變化，還需辯向。 該電橋如前圖c所示。它以差動(dòng)電感傳感器的兩個(gè)線(xiàn)圈作電橋工作臂，而緊耦合的兩個(gè)電感作為固定臂組成電橋電路。采用這種測(cè)量電路可以消除與電感臂并聯(lián)的分布電容對(duì)輸出信號(hào)的影響，使電橋平衡穩(wěn)定，另外簡(jiǎn)化了接地和屏蔽的問(wèn)題。 4.1.2.3 緊耦合電感臂電橋4.2 差動(dòng)變壓器 1.工作原理:互感現(xiàn)象EwEoutWW1W2Esx-x差動(dòng)變壓器式傳感器構(gòu)成 該類(lèi)型的傳感器主要包括有銜鐵、一次繞組和二次繞組等。 一、二次繞組間的耦合能隨銜鐵的移動(dòng)而變化，即繞組間的互感隨被測(cè)位移改變而變化。由于在使用時(shí)采用兩個(gè)二次繞組反向串接，以差動(dòng)方式輸出，所以把這種傳感器稱(chēng)為

6、差動(dòng)變壓器式電感傳感器，通常簡(jiǎn)稱(chēng)差動(dòng)變壓器。4.2 差動(dòng)變壓器 EwEout2. 等效電路 L21E2L22E22E21U1R22R21R1M1M24.2 差動(dòng)變壓器 L1 （3） 當(dāng)銜鐵向二次繞組L22一邊移動(dòng)時(shí)輸出也不為零，但由于移動(dòng)方向改變，所以輸出電動(dòng)勢(shì)反相。因此通過(guò)差動(dòng)變壓器輸出電動(dòng)勢(shì)的大小和相位可以知道銜鐵位移量的大小和方向。 （1）當(dāng)銜鐵處于中間位置時(shí)，兩個(gè)二次繞組互感相同，所以差動(dòng)輸出電動(dòng)勢(shì)為零。（2）當(dāng)銜鐵移向二次繞組L21一邊時(shí)，輸出不為零，在量程內(nèi)移動(dòng)量越大，輸出量就越大。2. 等效電路 4.2 差動(dòng)變壓器 差動(dòng)變壓器的輸出特性曲線(xiàn) 如左圖所示，其中E2的實(shí)線(xiàn)表示理想的輸

7、出特性，而虛線(xiàn)部分表示實(shí)際的輸出特性。E0為零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)。 零點(diǎn)殘余使得傳感器的輸出特性在零點(diǎn)附近不靈敏，給測(cè)量帶來(lái)誤差，它的大小是衡量差動(dòng)變壓器性能好壞的重要指標(biāo)。4.2 差動(dòng)變壓器 減小零點(diǎn)殘余的方法： 盡可能保證傳感器幾何尺寸、線(xiàn)圈電氣參數(shù)及磁路的對(duì)稱(chēng)。磁性材料要經(jīng)過(guò)處理，消除內(nèi)部的殘余應(yīng)力，使其性能均勻穩(wěn)定。 選用合適的測(cè)量電路，如采用相敏整流電路。既可判別銜鐵移動(dòng)方向又可改善輸出特性，減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)。 采用補(bǔ)償線(xiàn)路減小零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)在差動(dòng)變壓器二次側(cè)串、并聯(lián)適當(dāng)數(shù)值的電阻電容元件，當(dāng)調(diào)整這些元件時(shí)，可使零點(diǎn)殘余電動(dòng)勢(shì)減小。 4.2 差動(dòng)變壓器 3 常用測(cè)量電路 測(cè)量轉(zhuǎn)換電路的作

8、用是將電感量的變化轉(zhuǎn)換成電壓或電流的變化，以便用儀表指示出來(lái)。但若僅采用電橋電路和普通的檢波電路，則只能判別位移的大小，卻無(wú)法判別輸出的相位和位移的方向。 如果在輸出電壓送到指示儀前，經(jīng)過(guò)一個(gè)能判別相位的檢波電路，則不但可以反映位移的大?。ǚ担?，還可以反映位移的方向（相位）。這種檢波電路稱(chēng)為相敏檢波電路。4.2 差動(dòng)變壓器 差動(dòng)相敏檢波電路3 常用測(cè)量電路 4.2 差動(dòng)變壓器 圖3-7 相敏檢波輸出特性曲線(xiàn)a）非相敏檢波 b）相敏檢波1理想特性曲線(xiàn) 2實(shí)際特性曲線(xiàn) 差動(dòng)相敏檢波電路 相敏檢波電路要求比較電壓與差動(dòng)變壓器二次側(cè)輸出電壓的頻率相同，相位相同或相反。另外還要求比較電壓的幅值盡可能大

9、，一般情況下，其幅值應(yīng)為信號(hào)電壓的35倍。3 常用測(cè)量電路 4.2 差動(dòng)變壓器 差動(dòng)整流電路 電路是以?xún)蓚€(gè)橋路整流后的直流電壓之差作為輸出的，所以稱(chēng)為差動(dòng)整流電路。它不但可以反映位移的大?。妷旱姆担?，還可以反映位移的方向。 3 常用測(cè)量電路 4.2 差動(dòng)變壓器 差動(dòng)整流電路 圖中的RP是用來(lái)微調(diào)電路平衡的， VD1VD4、VD5VD8組成普通橋式整流電路， 3、4、3、4組成低通濾波電路，1及21、22、f、23組成差動(dòng)減法放大器，用于克服a、b兩點(diǎn)的對(duì)地共模電壓。 3 常用測(cè)量電路 4.2 差動(dòng)變壓器 軸向式電感測(cè)微器的外形 :航空插頭紅寶石測(cè)頭4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用其他電感測(cè)微頭

10、:4.2 差動(dòng)變壓器 模擬式及數(shù)字式電感測(cè)微儀:4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 1引線(xiàn)電纜 2固定磁筒 3銜鐵 4線(xiàn)圈 5測(cè)力彈簧 6防轉(zhuǎn)銷(xiāo) 7鋼球?qū)к墸ㄖ本€(xiàn)軸承） 8測(cè)桿 9密封套 10測(cè)端 11被測(cè)工件 12基準(zhǔn)面 軸向式電感測(cè)微器的內(nèi)部結(jié)構(gòu):4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 (11.11) 電感式滾柱直徑分選裝置 圖3-14 滾柱直徑分選裝置 1氣缸 2活塞 3推桿 4被測(cè)滾柱 5落料管 6電感測(cè)微器 7鎢鋼測(cè)頭 8限位擋板 9電磁翻板 10容器（料斗） 4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電感式滾柱直徑分選裝置 測(cè)微儀圓柱滾子4 差動(dòng)變壓器式傳

11、感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電感式滾柱直徑分選裝置（外形） 滑道分選倉(cāng)位軸承滾子外形（參考中原量?jī)x股份有限公司資料）4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電感式滾柱直徑分選裝置外形落料振動(dòng)臺(tái)滑道11個(gè)分選倉(cāng)位（參考無(wú)錫市通達(dá)滾子有限公司資料）廢料倉(cāng)4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電感式滾柱直徑分選裝置外形汽缸控制鍵盤(pán)直徑測(cè)微裝置長(zhǎng)度測(cè)微裝置滑道電感式滾柱直徑分選裝置（機(jī)械結(jié)構(gòu)放大）4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 機(jī)械及氣動(dòng)元件電感測(cè)微器汽缸 氣水分離器（供氣三聯(lián)件）儲(chǔ)氣罐導(dǎo)氣管 氣壓表（0.4MPa左右）4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器

12、 電感傳感器在仿形機(jī)床中的應(yīng)用 1標(biāo)準(zhǔn)靠模樣板 2測(cè)端（靠模輪） 3電感測(cè)微器 4銑刀龍門(mén)框架 5立柱 6伺服電動(dòng)機(jī) 7銑刀 8毛坯 4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電感傳感器在仿形機(jī)床中的應(yīng)用 仿形銑床外形 仿形機(jī)床采用閉環(huán)工作方式仿形頭主軸4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電感傳感器在仿形機(jī)床中的應(yīng)用 仿形車(chē)床原理4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電感式不圓度計(jì)原理 該圓度計(jì)采用旁向式電感測(cè)微頭4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電感式不圓度計(jì)原理 電感式不圓度測(cè)試系統(tǒng)旁向式電感測(cè)微頭4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 電

13、感式不圓度計(jì)原理 電感式不圓度測(cè)量系統(tǒng)外形（參考洛陽(yáng)匯智測(cè)控技術(shù)有限公司資料）旋轉(zhuǎn)盤(pán)測(cè)量頭4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 不圓度測(cè)量打印 電感式不圓度計(jì)原理 4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 壓力測(cè)量 1壓力輸入接頭 2波紋膜盒 3電纜 4印制線(xiàn)路板 5差動(dòng)線(xiàn)圈 6銜鐵 7電源變壓器 8罩殼 9指示燈 10密封隔板 11安裝底座4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 壓力測(cè)量 壓力測(cè)量用的膜盒 膜盒由兩片波紋膜片焊接而成。所謂波紋膜片是一種壓有同心波紋的圓形薄膜。當(dāng)膜片四周固定，兩側(cè)面存在壓差時(shí)，膜片將彎向壓力低的一側(cè)，因此能夠?qū)毫ψ儞Q為直線(xiàn)位移。4 差

14、動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 某一壓力變送器的測(cè)量電路 壓力測(cè)量 4 差動(dòng)變壓器式傳感器的應(yīng)用4.2 差動(dòng)變壓器 它能實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，如位移、振動(dòng)、厚度、轉(zhuǎn)速、應(yīng)力、硬度等參數(shù)。這種傳感器還可用于無(wú)損探傷。原理如下圖示。 這是一種建立在渦流效應(yīng)原理上的傳感器。4.3 電渦流式傳感器 如下圖，當(dāng)通過(guò)金屬體的磁通變化時(shí)，就會(huì)在導(dǎo)體中產(chǎn)生感生電流，這種電流在導(dǎo)體中是自行閉合的，這就是所謂電渦流。電渦流的產(chǎn)生必然要消耗一部分能量，從而使產(chǎn)生磁場(chǎng)的線(xiàn)圈阻抗發(fā)生變化，這一物理現(xiàn)象稱(chēng)為渦流效應(yīng)。 線(xiàn)圈的阻抗變化與導(dǎo)體的電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率、幾何形狀，線(xiàn)圈的幾何參數(shù)，激勵(lì)電流頻率以及線(xiàn)圈到被測(cè)導(dǎo)體間的距

15、離等因素有關(guān)。4.3.1 結(jié)構(gòu)原理與特性 MR1R2L2L1U1I1I2 當(dāng)電渦流線(xiàn)圈與金屬板的距離x 減小時(shí)，電渦流線(xiàn)圈的等效電感L減小，等效電阻R 增大。感抗XL 的變化比R的變化大得多，流過(guò)電渦流線(xiàn)圈的電流 i1 增大。 4.3.1 結(jié)構(gòu)原理與特性 MR1R2L2L1U1I1I2 線(xiàn)圈與金屬導(dǎo)體系統(tǒng)的阻抗、電感都是該系統(tǒng)互感平方的函數(shù)。而互感是隨線(xiàn)圈與金屬導(dǎo)體間距離的變化而改變的。 當(dāng)電渦流線(xiàn)圈與金屬板的距離x 減小時(shí)，電渦流線(xiàn)圈的等效電感L減小，等效電阻R 增大。感抗XL 的變化比R的變化大得多，流過(guò)電渦流線(xiàn)圈的電流 i1 增大。 4.3.1 結(jié)構(gòu)原理與特性 高頻反射式電渦流傳傳感器

16、1、結(jié)構(gòu)：由一個(gè)固定在框架上的扁平線(xiàn)圈組成。4.3.1 結(jié)構(gòu)原理與特性 (10.15) 集膚效應(yīng)與激勵(lì)源頻率f、工件的電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率等有關(guān)。頻率f越高，電渦流的滲透的深度就越淺，集膚效應(yīng)越嚴(yán)重。 1. 結(jié)構(gòu) 傳感器包括發(fā)射和接收線(xiàn)圈，并分別位于被測(cè)材料上、下方。 低頻透射式電渦流傳感器 這種傳感器采用低頻激勵(lì)，因而有較大的貫穿深度，適合于測(cè)量金屬材料的厚度。2. 原理 由振蕩器產(chǎn)生的e1加到發(fā)射線(xiàn)圈L1兩端。若兩線(xiàn)圈間無(wú)金屬導(dǎo)體，則L2的磁力能較多穿過(guò)L2，在L2上產(chǎn)生的感應(yīng)電壓e2最大。 4.3.1 結(jié)構(gòu)原理與特性 如果在兩個(gè)線(xiàn)圈之間設(shè)置一金屬板，由于在金屬板內(nèi)產(chǎn)生電渦流，該電渦流消耗了部分

17、能量，使到達(dá)線(xiàn)圈L2的磁力線(xiàn)減小，從而引起e2的下降。 線(xiàn)圈L2的感應(yīng)電壓與被測(cè)厚度的增大按負(fù)冪指數(shù)的規(guī)律減小， 為了較好地進(jìn)行厚度測(cè)量，激勵(lì)頻率應(yīng)選得較低。頻率太高，貫穿深度小于被測(cè)厚度，不利進(jìn)行厚度測(cè)量，通常選1kHz左右。 低頻透射式電渦流傳感器4.3.1 結(jié)構(gòu)原理與特性 2. 原理 (續(xù))4.3.2 測(cè)量電路 4.3.2.1 電橋電路 在進(jìn)行測(cè)量時(shí)，由于傳感器線(xiàn)圈的阻抗發(fā)生變化，使電橋失去平衡，將電橋不平衡造成的輸出信號(hào)進(jìn)行放大并檢波，就可得到與被測(cè)量成正比的輸出。4.3.2.2 諧振法。 諧振法主要有調(diào)幅式電路和調(diào)頻式電路兩種基本形式。調(diào)幅式由于采用了石英晶體振蕩器，因此穩(wěn)定性較高，

18、而調(diào)頻式結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于遙測(cè)和數(shù)字顯示。4.3.2 測(cè)量電路 4.3.2.2 諧振法(續(xù)) 調(diào)幅(AM)式電路 石英振蕩器產(chǎn)生穩(wěn)頻、穩(wěn)幅高頻振蕩電壓(100kHz1MHz）用于激勵(lì)電渦流線(xiàn)圈。金屬材料在高頻磁場(chǎng)中產(chǎn)生電渦流，引起電渦流線(xiàn)圈端電壓的衰減，再經(jīng)高放、檢波、低放電路，最終輸出的直流電壓Uo反映了金屬體對(duì)電渦流線(xiàn)圈的影響（例如兩者之間的距離等參數(shù)）。 用電渦流探頭、調(diào)幅法測(cè)量簡(jiǎn)諧振動(dòng)時(shí)，探頭的輸出波形。 人的手、泥土或裝滿(mǎn)水的玻璃杯能對(duì)振蕩器的振幅產(chǎn)生明顯的衰減嗎？為什么？部分常用材料對(duì)振蕩器振幅的衰減系數(shù)4.3.2 測(cè)量電路 4.3.2.2 諧振法(續(xù)) 調(diào)幅(AM)式電路4.3.2

19、測(cè)量電路 4.3.2.2 諧振法(續(xù)) 調(diào)頻（FM）式電路(100kHz1MHz） 當(dāng)電渦流線(xiàn)圈與被測(cè)體的距離x 改變時(shí)，電渦流線(xiàn)圈的電感量L 也隨之改變，引起LC 振蕩器的輸出頻率變化，此頻率可直接用計(jì)算機(jī)測(cè)量。如果要用模擬儀表進(jìn)行顯示或記錄時(shí)，必須使用鑒頻器，將f轉(zhuǎn)換為電壓Uo 。 振幅 可用于測(cè)量壓力、力、壓差、加速度、振動(dòng)、應(yīng)變、流量、厚度、液位等物理量。 4.4.1 位移測(cè)量 4.4 電感式傳感器的典型應(yīng)用 電渦流位移傳感器是一種輸出為模擬電壓的電子器件。接通電源后，在電渦流探頭的有效面（感應(yīng)工作面）將產(chǎn)生一個(gè)交變磁場(chǎng)。 當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時(shí)，金屬表面將吸取電渦流探頭中的高頻振蕩

20、能量，使振蕩器的輸出幅度線(xiàn)性地衰減，根據(jù)衰減量的變化，可地計(jì)算出與被檢物體的距離、振動(dòng)等參數(shù)。這種位移傳感器屬于非接觸測(cè)量，工作時(shí)不受灰塵等非金屬因素的影響，壽命較長(zhǎng)，可在各種惡劣條件下使用。 可用于測(cè)量壓力、力、壓差、加速度、振動(dòng)、應(yīng)變、流量、厚度、液位等物理量。 4.4.1 位移測(cè)量 4.4 電感式傳感器的典型應(yīng)用 位移測(cè)量?jī)x位移測(cè)量包含： 偏心、間隙、位置、傾斜、彎曲、變形、移動(dòng)、圓度、沖擊、偏心率、沖程、寬度等等。來(lái)自不同應(yīng)用領(lǐng)域的許多量都可歸結(jié)為位移或間隙變化。420mA電渦流位移傳感器外形（參考德國(guó)圖爾克公司資料）齊平式電渦流位移傳感器外形（參考德國(guó)圖爾克公司資料）齊平式傳感器安裝

21、時(shí)可以不高出安裝面，不易被損害。V系列電渦流位移傳感器外形（參考浙江洞頭開(kāi)關(guān)廠(chǎng)資料）齊平式V系列電渦流位移傳感器性能一覽表（摘自洞頭開(kāi)關(guān)廠(chǎng)資料） 某V系列電渦流位移傳感器的機(jī)械圖四線(xiàn)制電渦流位移傳感器的接線(xiàn)說(shuō)明 該位移傳感器同時(shí)具備兩種動(dòng)作輸出狀態(tài)，用戶(hù)可選擇從高電壓向低電壓轉(zhuǎn)變、和從低電壓向高電壓轉(zhuǎn)變兩種方式，分別稱(chēng)為NPN和PNP輸出模式。電渦流位移傳感器的應(yīng)用 電渦流探頭線(xiàn)圈的阻抗受諸多因素影響，例如金屬材料的厚度、尺寸、形狀、電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率、表面因素、距離等。只要固定其他因素就可以用電渦流傳感器來(lái)測(cè)量剩下的一個(gè)因素。因此電渦流傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛。但也同時(shí)帶來(lái)許多不確定因素，一個(gè)或

22、幾個(gè)因素的微小變化就足以影響測(cè)量結(jié)果。所以電渦流傳感器多用于定性測(cè)量。 即使要用作 定 量 測(cè)量，也必須采用逐點(diǎn)標(biāo)定、計(jì)算機(jī)線(xiàn)性糾正、溫度補(bǔ)補(bǔ)償?shù)却胧?位移傳感器的分類(lèi)偏心和振動(dòng)檢測(cè)通過(guò)測(cè)量間隙來(lái)測(cè)量徑向跳動(dòng)測(cè)量彎曲、波動(dòng)、變形 對(duì)橋梁、絲桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的振動(dòng)測(cè)量，須使用多個(gè)傳感器。測(cè)量金屬薄膜、板材厚度電渦流測(cè)厚儀 測(cè)量冷軋板厚度測(cè)量尺寸、公差及零件識(shí)別 通過(guò)測(cè)量間隙來(lái)測(cè)定熱膨脹引起的上下平移位移的標(biāo)定方法 使用千分尺，逐一對(duì)照測(cè)量電路的輸出電壓及數(shù)顯表讀數(shù)，列出對(duì)照表，存入計(jì)算機(jī)，從而達(dá)到線(xiàn)性化的目的。電渦流位移傳感器的距離與輸出電壓特性曲線(xiàn)1量程為10mm 2量程為16mm 3量程為20mm振動(dòng)測(cè)量 汽輪機(jī)葉片測(cè)試 測(cè)量懸臂梁的振幅及頻率三、轉(zhuǎn)速測(cè)量 若轉(zhuǎn)軸上開(kāi)z 個(gè)槽(或齒)，頻率計(jì)的讀