光學(xué)薄膜技術(shù)-前言

1、光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)光學(xué)薄膜是附著在光學(xué)零件表面的厚度薄而均勻的介質(zhì)膜層。1光學(xué)薄膜技術(shù)，作者：盧進(jìn)軍、劉衛(wèi)國，西北工業(yè)大學(xué)出版社?，F(xiàn)代光學(xué)薄膜技術(shù)，作者：唐晉發(fā) 、顧培夫，浙江大學(xué)出版社光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)2參考書光學(xué)薄膜技術(shù)，H.A.麥克勞德著，周九林、尹樹百譯，國防工業(yè)出版社1974 應(yīng)用光學(xué)薄膜，唐晉發(fā)、鄭權(quán)著，上?？茖W(xué)技術(shù)出版社，1984玻璃鍍膜， H.K.普爾克爾著，仲永安等譯，科學(xué)出版社，1988光學(xué)薄膜原理，林永昌、盧維強(qiáng)著，國防工業(yè)出版社1990薄膜科學(xué)與技術(shù)手冊，田民波、劉德令，機(jī)械工業(yè)出版社，1991OPTICAL THIN FILMS USER

2、 HANDBOOK,JAMES D.RANCOUNT光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)3光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)你所知道的關(guān)于薄膜鍍膜鏡片濾光片、反射鏡牛頓環(huán)類金剛石膜4薄膜的例子光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)實現(xiàn)多層膜例：金箔、飾品、太陽能電池，GaN，SiC，Diamond5薄膜的例子光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)6光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)薄膜的例子紅外濾光片、超高反射膜、超低吸收及散射CO2激光膜、高損傷閾值激光膜及紫外膜 7光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜的發(fā)展歷史 人類最早發(fā)現(xiàn)的五光十色的肥皂泡，水面上彩色斑爛的油膜，兩玻璃片間的空氣層中常呈現(xiàn)出色彩鮮艷的光環(huán)，所有這些現(xiàn)象早在十七世紀(jì)就引起了許多自然科學(xué)家的注意

3、，他們各自都提出了一些初步解釋，但均不令人滿意 ，直到一百五十年以后，即1801年托馬斯.楊干涉實驗結(jié)果以及菲涅耳對此進(jìn)一步發(fā)揚光大以后，上述現(xiàn)象才徹底為人們弄清，物理光學(xué)的基礎(chǔ)才從此建立起來今天我們可以說，整部薄膜光學(xué)的物理依據(jù)就是光的干涉。 8光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜的發(fā)展歷史 夫瑯和費早在1827年制成了可以說是第一批減反射膜，他將經(jīng)過精細(xì)地拋光的平面玻璃一半放在濃硫酸或濃硝酸中腐蝕。將玻璃上的酸液清洗干凈之后發(fā)現(xiàn)，經(jīng)酸腐蝕的表面所反射的光強(qiáng)遠(yuǎn)低于另一半表面的反射光強(qiáng)，即酸經(jīng)過的那部分玻璃表面失掉了某種成分，形成薄薄一層折射率比玻璃基底折射率低的失澤層，不過玻璃還未遭刻蝕，“因

4、為其適時光仍和另一半表面一樣(實際上更高)，以致在透射光中仔細(xì)檢查也不能找出它們的分界線來，”經(jīng)過硫酸或硝酸的這種處理之后，有些牌號的玻璃表面呈現(xiàn)美麗鮮艷的色彩；使光沿各種不同的角度入射，則色彩婉如肥皂泡一樣變幻無窮。9光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜的發(fā)展歷史 1886年瑞利在英國皇家協(xié)會報告說：“失澤”的冕玻璃平板，其反射比剛拋光更低原因是玻璃形成了薄薄的一層膜。1891年丹尼斯.泰勒（Dennis Taylor）在它的文章中寫到，在使用幾年后的普通物鏡的火石玻璃透鏡上“失澤”現(xiàn)象是十分明顯的。我們很高興的是，能夠使這種火石玻璃的擁有者放心，通常用懷疑眼光看待的這層使玻璃“失澤”的薄膜，

5、卻正是觀測者的“摯友”，因為它增加了物鏡的透射率。10光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言 事實上，泰勒發(fā)展了一種用化學(xué)侵蝕產(chǎn)生“失澤”而制作化學(xué)減反膜的方法。 目前制備光學(xué)應(yīng)用的薄膜的主要方法是真空蒸發(fā)法和濺射法，后者在十九世紀(jì)中葉就發(fā)現(xiàn)了，而前者可追朔到二十世紀(jì)初。但在1930年以前，它們不能作為實用的鍍膜方法，因為沒有獲得高真空的真正適用的抽氣機(jī)，直到1930年出現(xiàn)了油擴(kuò)散泵機(jī)械泵抽氣系統(tǒng)以后，制造實用的真空鍍膜機(jī)才成為可能。 光學(xué)薄膜的發(fā)展歷史11光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言 三十年代中期德國的鮑爾和美國的斯特朗先后用真空蒸發(fā)方法制備了單層減反射膜，這種簡單的減反射膜至今在一般的光學(xué)裝置上還被大量

6、地應(yīng)用。 折射率為152的玻璃敷有折射率為1.38的氟化鎂薄膜后，單面的反射損失可從4.2%減少到1.5%左右，例如7塊平板系統(tǒng)鍍膜后，在參考波長上總的透射率可近似地估計為： T(0.97)780.7% 未鍍膜： T=(0.92)7=55.7%這比沒有經(jīng)過鍍膜處理的系統(tǒng)提高了約25的透射能量光學(xué)薄膜的發(fā)展歷史12光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言 前言 人類生活在周圍充滿著光的世界里，光是一種人們無時無刻不遇到的自然現(xiàn)象。更為重要的是：光是信息的重要載體，研究光的本性及其傳播規(guī)律的學(xué)科就是光學(xué)。 和光打交道，離不開光學(xué)薄膜， 薄膜光學(xué)是現(xiàn)代光學(xué)必不可少的基礎(chǔ)技術(shù)，它是物理光學(xué)的一個重要分支。專項技術(shù)

7、另一方面，由于光學(xué)薄膜的制備過程與真空技術(shù)、表面物理、材料科學(xué)、等離子體技術(shù)等等密切相關(guān)，所以光學(xué)薄膜又可以稱得上是一門綜合學(xué)科 近年來，光學(xué)薄膜技術(shù)隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展而迅速發(fā)展，特別是計算機(jī)技術(shù)給薄膜理論分析帶來巨大方便。13 薄膜光學(xué)通過近幾十年的發(fā)展，在以下方面都有了長足的進(jìn)步：膜系設(shè)計薄膜材料測量技術(shù)薄膜制備，包括制備方法以及控制手段相關(guān)產(chǎn)業(yè)等等 但是，仍存在許多困難。 “我們這些在薄膜領(lǐng)域工作的人，在鍍膜工藝曾經(jīng)有過較多的一時難以解釋的失敗和教訓(xùn)，這些失敗往往涉及已經(jīng)充分研究過的、在一段時間內(nèi)行之有效的技術(shù)對于諸如此類的困難，除了抱怨天氣之外，往往以運氣不佳為理由，人們甚至能在鍍

8、膜車間看到祈求好運的符標(biāo)?！?-麥克勞德光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言14光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言 前言 光學(xué)薄膜這門學(xué)科已成為現(xiàn)代光學(xué)不可缺少的一個重要組成部分，沒有光學(xué)薄膜，許多現(xiàn)代光學(xué)裝置便無法發(fā)揮效能，失去作用，無論在提高或降低反射率、吸收率與透射率方面，在使光束分開或合并方面，或者在分色方面，在使光束偏振或檢偏方面，以及在使某光譜帶通過或阻滯方面，在調(diào)整位相方面等等，光學(xué)薄膜均起著至關(guān)重要的作用。 總之，薄膜在許多場合都扮演關(guān)鍵角色。薄膜器件的輕巧靈便、穩(wěn)定給它帶來更廣闊的應(yīng)用 ：窄帶濾光片光柵單色儀15什么是光學(xué)薄膜Optical coatings 一般來講薄膜敷于光學(xué)玻璃、塑料、晶

9、體等基底上；Optical thin films 通常意義的光學(xué)薄膜；Optical layers 光學(xué)薄膜的一個特點是分層結(jié)構(gòu)；可以用三個常用的英文來形象的解釋：光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜是附著在光學(xué)零件表面的厚度薄而均勻的介質(zhì)膜層。16光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言 薄膜可分成兩大部分，第一部分是光學(xué)薄膜，第二部分是光學(xué)波導(dǎo)及其相應(yīng)器件，前者的特點是光橫穿過薄膜而進(jìn)行傳播；后者的特征是光沿著平行薄膜界面的方向在膜內(nèi)傳播，對于光學(xué)薄膜，在一塊基片上淀積五、六十層膜并非罕見，涂鍍工藝是比較成熟的；而對光學(xué)波導(dǎo)，則膜層層數(shù)一般不多，通常僅用一層膜，其鍍制工藝仍處在發(fā)展初期。本課程講的是第一種

10、情況光學(xué)薄膜。什么是光學(xué)薄膜17光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言薄膜光學(xué)課程目的了解光學(xué)薄膜的基礎(chǔ)理論，了解膜系及應(yīng)用，掌握簡單光學(xué)薄膜的設(shè)計方法；了解薄膜制作技術(shù)、方法及相關(guān)工藝，掌握常用薄膜的性能指標(biāo)及相關(guān)的控制及檢測方法；是從事光學(xué)冷加工、光電制造技術(shù)行業(yè)人員的必要儲備知識。18光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言薄膜光學(xué)課程意義光學(xué)薄膜技術(shù)課程是精密機(jī)械技術(shù)專業(yè)的專業(yè)核心課程之一，是系統(tǒng)學(xué)習(xí)本專業(yè)理論和實踐知識的有效緩解和重要支撐；是有志于從事光學(xué)薄膜工作的同學(xué)進(jìn)入這一領(lǐng)域研究的起點和基礎(chǔ)，起到一個拋磚引玉的作用；對于從事其他學(xué)科研究、應(yīng)用的同學(xué)起到一個了解光學(xué)薄膜、了解如何用光學(xué)薄膜、如何用好薄膜的

11、作用。19光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜的應(yīng)用 薄膜光學(xué)是物理光學(xué)的一個重要分支，它研究的對象是膜層對光的反射、透射、吸收以及位相特性、偏振效應(yīng)等，簡而言之，它主要研究光在分層媒質(zhì)中的傳播規(guī)律性。20光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言與鍍膜技術(shù)密切相關(guān)的產(chǎn)業(yè)鍍膜眼鏡幕墻玻璃濾光片ITO膜車燈、冷光鏡、舞臺燈光濾光片光通信領(lǐng)域：DWDM、光纖薄膜器件紅外膜投影顯示光學(xué)薄膜的應(yīng)用21光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言 光在通過分層媒質(zhì)時，來自不同界面的反射光、透射光在光的入射及反射方向產(chǎn)生光的干涉現(xiàn)象，人們正是利用這種干涉現(xiàn)象，通過改變材料及其厚度等特性來人為的控制光的干涉，根據(jù)需要來實現(xiàn)光能的重新分配。光學(xué)

12、薄膜的應(yīng)用22光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜的應(yīng)用光學(xué)薄膜在光學(xué)系統(tǒng)中的作用：提高光學(xué)效率、減少雜光。如高效減反射膜、高反射膜。 實現(xiàn)光束的調(diào)整或再分配。如分束膜、分色膜、偏振分光膜就是根據(jù)不同需要進(jìn)行能量再分配的光學(xué)元件。通過波長的選擇性透過提高系統(tǒng)信噪比。如窄帶及帶通濾光片、長波通、短波通濾光片。實現(xiàn)某些特定功能。如ITO透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜等 23光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜的應(yīng)用目前光學(xué)薄膜兩個重要的應(yīng)用領(lǐng)域：光通信：以DWDM(dense wavelengh division multiplexer)filter為代表的光無源器件信息顯示技術(shù)：LCD、LCOS投影顯示技術(shù)24

13、光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜在液晶投影顯示中的應(yīng)用25光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜在液晶投影顯示中的應(yīng)用高效率的減反射膜與高反射膜冷光鏡及紅外、紫外截止濾光片 偏振光轉(zhuǎn)換用膜分色與合色光學(xué)薄膜 液晶投影顯示系統(tǒng)中，幾乎所有的典型的光學(xué)薄膜都得到了應(yīng)用。 -唐晉發(fā)26光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜在光通信領(lǐng)域的應(yīng)用以光通信中DWDM filter位代表的光學(xué)薄膜應(yīng)用是目前光學(xué)薄膜技術(shù)最高水平的代表。光通信曾經(jīng)給光學(xué)薄膜技術(shù)帶來了前所未有的商機(jī)27光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言DWDM filter 當(dāng)前，光通信技術(shù)以超乎人們想象的速度在發(fā)展。在過去的10年中，光傳輸?shù)娜萘刻岣吡?00

14、倍，預(yù)計在未來的10年里還將提高100倍左右。波分復(fù)用技術(shù)，（ wavelength division multiplexer簡稱WDM）的出現(xiàn)使光通信系統(tǒng)的容量幾十倍、成百倍地增長，可以說，沒有波分復(fù)用技術(shù)也就沒有現(xiàn)在蓬勃發(fā)展的光通信事業(yè)。傳統(tǒng)的擴(kuò)容方法采用ETDM(電時分復(fù)用)方式，由于受到種種制約，人們越來越傾向于光復(fù)用，光復(fù)用有兩種技術(shù)，即光時分復(fù)用(OTDM)和光波分復(fù)用(OWDM)。由于電域沒有波分的提法，故OWDM一般簡稱為WDM。 28光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言DWDM filter 雖然，OTDM有許多的優(yōu)點，但由于其關(guān)鍵技術(shù)（高重復(fù)率超短光脈沖源、超短光脈沖傳輸技術(shù)、時鐘提

15、取技術(shù)和時分解復(fù)用技術(shù)）比較復(fù)雜，更為重要的是實現(xiàn)這些技術(shù)的器件特別昂貴，而且制作和實現(xiàn)均很困難，所以這項技術(shù)遲遲沒有得到很大的發(fā)展和應(yīng)用。 WDM就是指從光域上用波長復(fù)用方式來改進(jìn)傳輸效率，提高復(fù)用效率。其突出優(yōu)點為“能在一根光纖中同時傳輸不同波長的幾個甚至成百上千個光載波信號，不僅能充分利用光纖的帶寬資源，增加系統(tǒng)的傳輸容量，而且還能提高系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)效益。29光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言以往WDM僅指1310/1550nm的簡單復(fù)用，DWDM指1550nm波長區(qū)段內(nèi)的密集復(fù)用，目前由于傳輸距離的要求和光放大器（EDFA）的使用，由于EDFA增益譜寬的原因，使得1310/1550nm的簡單復(fù)用逐

16、步被淘汰。當(dāng)前，所謂的WDM已不再是以往意義上的簡單復(fù)用，除非特別說明，WDM僅指1550nm波長區(qū)段內(nèi)的密集復(fù)用。DWDM filter30光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言filter31光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言多信道點對點WDM系統(tǒng)WDM filter 工作原理32光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言JDS Uniphase等公司稱之為Interleaver的示意圖 100GHz的頻率間隔通過兩個分別頻率間隔為目標(biāo)間隔兩倍的普通復(fù)用/解復(fù)用器的組合使用，一個專門配合偶數(shù)的頻道數(shù)，一個專門配合奇數(shù)頻道數(shù)。再配合一個可以將信號按奇偶分開的Interleaver，就可以實現(xiàn)50GHz的頻率間隔。33光 學(xué) 薄

17、 膜 技 術(shù)前言DWDM filter 主要技術(shù)指標(biāo)中心波長：1550nm;帶寬0.4nm(100GHz)溫漂：1pm/0C=0.1nm/ 1000C插入損耗：0.2dB 透過率約為95%隔離度高34光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言DWDM filter 制作部分參數(shù)層數(shù)大于100（Corning 3腔108層，100GHz)鍍膜機(jī)口徑1.1m,有用面積小于100mmAPS1104/DWDM;光控：OM3000工件旋轉(zhuǎn)速度3000轉(zhuǎn)/分35光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言DWDM filter 制作關(guān)鍵技術(shù)的解決例如：解決無溫漂、基板測溫、低損耗基底材料、鍍膜材料（k-4,T67%或1.87dB;k-5,

18、T95%或0.2dB)溫度監(jiān)控：熱像儀、激光測溫工藝手段德國Leybold ：APS源、電子槍日本Optorun：電子槍+離子輔助美國Ion-tech：離子束濺射36光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言本學(xué)期課程安排光學(xué)薄膜的基礎(chǔ)理論分析光學(xué)薄膜的幾種有效方法幾種典型膜系介紹成膜機(jī)理及工藝簡介常用的薄膜材料特性37主要內(nèi)容 介紹薄膜光學(xué)的基本理論和器件設(shè)計的基本方法，又介紹了新設(shè)計方法、新器件設(shè)計、新工藝技術(shù)。全書共五章，第一章是薄膜光學(xué)特性計算基礎(chǔ)，第二章介紹介質(zhì)膜系及其應(yīng)用，第三章介紹薄膜制造枝術(shù)，第四章重點介紹光學(xué)薄膜制造工藝，第五章介紹薄膜材料及其性質(zhì)。 第一章 薄膜光學(xué)特性計算基礎(chǔ)1.1 單一

19、界面的反射率和透射率1.2 單層介質(zhì)膜的反射率1.3 多層介質(zhì)膜的反射率和透射率1.4 金屬薄膜的光學(xué)特性1.5 光學(xué)零件的反射率和透射率光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言38第二章 介質(zhì)膜系及其應(yīng)用2.1 減反射膜2.2 高反射膜2.3 中性分束膜2.4 截止濾光片2.5 帶通濾光片2.6 偏振分束膜2.7 消偏振膜系第三章 薄膜制造技術(shù)3.1 光學(xué)真空鍍膜機(jī)3.2 真空與物理汽相沉積3.3 真空獲得與檢測3.4 熱蒸發(fā)3.5 濺射3.6 離子鍍3.7 離子輔助鍍第四章 光學(xué)薄膜制造工藝4.1 光學(xué)薄膜器件的質(zhì)量要素4.2 影響膜層質(zhì)量的工藝要素4.3 獲得精確厚度的方法4.4 獲得均勻膜層的方法第五章 薄膜材料及其性質(zhì)5.1 薄膜的微觀結(jié)構(gòu)與性質(zhì)5.2 常用光學(xué)薄膜材料主要內(nèi)容光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言39光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言光學(xué)薄膜基礎(chǔ)理論幾個條件：工作波段：光學(xué)薄膜厚度與考慮的波長在一個數(shù)量級薄膜的面積與波長相比可認(rèn)為無限大薄膜材料各向均勻、同性薄膜材料為非鐵磁性材料光穿過膜層而非沿著膜層在膜層內(nèi)傳播40光 學(xué) 薄 膜 技 術(shù)前言 Dr. Angus Macleod has over 200 publications in