GE涂層坩堝外觀檢查標(biāo)準(zhǔn)(電路級(jí))

GE涂層坩堝外觀檢查標(biāo)準(zhǔn)(電路級(jí))GE涂層坩堝外觀檢查標(biāo)準(zhǔn)(電路級(jí))GE涂層坩堝外觀檢查標(biāo)準(zhǔn)(電路級(jí))資料僅供參考文件編號(hào)：2022年4月GE涂層坩堝外觀檢查標(biāo)準(zhǔn)(電路級(jí))版本號(hào)：A修改號(hào)：1頁次：1.0審核：批準(zhǔn):發(fā)布日期：外觀標(biāo)準(zhǔn) #102–污物(表面)(DRT) 定義: 在坩堝的內(nèi)表面或外表面上的外來物質(zhì)。如表面簿膜、灰塵、水斑或周邊污染。（見表面外業(yè)物質(zhì)“暴露的夾雜物”） 規(guī)定: 不可見 #104–細(xì)裂紋或裂紋 (CRKX) 定義: 石英坩堝表面上的任何表面裂紋。細(xì)裂紋是細(xì)的開裂線，其以“V”形稍稍進(jìn)入坩堝壁，當(dāng)在檢驗(yàn)燈下檢驗(yàn)時(shí)，可以看到是一亮線。裂縫稍大，可看到是一線性裂口或由撞擊而成的一圓形表面圖形（有時(shí)呈彩虹色） 規(guī)定: 不可見 #105–崩邊 (CHPX) 定義: 坩堝表面有部分堝壁缺損而形成的完整的碎裂。 1)內(nèi)圈 定義: 內(nèi)表面上距開口10mm（英寸）內(nèi)的崩邊 規(guī)定: 沒有未修補(bǔ)過的崩邊、修過的崩邊；其最大尺寸為 水平方面10mm，垂直方面5mm""). 2)頂部圓周平面定義: 坩堝頂部園周平面內(nèi)一完整的缺損（透明區(qū)域）規(guī)定: 沒有未修補(bǔ)過的崩邊，修過的崩邊；其最大深度為mm(.028") 3)外圈定義: 坩堝外表面上自頂部開口端起（）內(nèi)的崩邊。規(guī)定: 無未修補(bǔ)的崩邊、修過的崩邊最大尺寸為12mmx12mm(.47""). 修補(bǔ)必須符合最小壁厚規(guī)則，即開口端起mm(1/4”)以下。 4)坩堝體內(nèi)定義: 在坩堝內(nèi)壁上，低于開口端環(huán)形區(qū)的崩邊，環(huán)形區(qū)指自開口端起10mm（）以下。規(guī)定: 不可見（修過的或未修過的） #109–劃道/擦傷 (SCR) 定義: 坩堝壁上，裸眼可見的，任何破壞內(nèi)壁光澤的線條。（注：“破壞光澤”可用非金屬探針?biāo)茏枇μ街?規(guī)定: 1)擦傷：沒有使內(nèi)表面光澤破壞或明顯變暗的擦傷。 2)劃道：沒有大于寬度的劃道。#112–氣泡(BUB),(DBUB)or(DMBB) 定義：在環(huán)形區(qū)"以下，存在于石英中的球形空洞（穴）。 規(guī)定： 1)側(cè)壁(W1)或角處壁(W2) a)沒有超過"的。 2)底部壁(W3) a)沒有超過"的。 b)超過"的不多于2個(gè)。 3)總的限定(W1,W2,orW3) a)在任何1"圓周內(nèi)，超過"的，不多于3個(gè)。 b)在任何6"×6"面積內(nèi)（復(fù)合氣泡除外），超過0.020"的不多于20個(gè)。 (DMBB)c)在任何1"的圓周內(nèi)，由于氣泡而形成的凹坑不多于5個(gè)。 (DBUB)d)沒有含有夾雜物或變色的氣泡。#112A–氣泡團(tuán)(采用單個(gè)氣泡規(guī)則#112規(guī)則) 定義: 一個(gè)以上的氣泡緊密集合成團(tuán)或連在一起成為類似一個(gè)大的氣泡，不在氣泡團(tuán)內(nèi)，至少帶有一個(gè)超過"的泡，可參見氣化物#124C和氣泡層#112C。 規(guī)定: a)將整個(gè)團(tuán)視作一個(gè)大的氣泡處理(缺陷#112). b)氣泡團(tuán)必須沒有應(yīng)力(見缺陷#134).#112B–開口氣泡(OBB) 1)外表面 定義: 坩堝面內(nèi)破壞正常表面狀態(tài)的一個(gè)孔洞。 規(guī)定: a) 不論深度，沒有直徑超過""（2mm）的 b) 沒有深度超過壁厚1/3的。 2)無光澤的內(nèi)壁孔洞 定義: 在內(nèi)壁上像孔洞一樣的凹陷，孔的周邊尖銳狀（如刀刃） 規(guī)定: 不可見 3)有光澤的內(nèi)壁孔洞 (定義參見#124C氣化物)定義: 在內(nèi)壁上像孔洞一樣的凹陷，孔的周邊為圓形，底部有光澤。 規(guī)定: a) 不論深度，沒有直徑超過"（2mm）的 b) 沒有使坩堝壁減薄超過"的凹陷。#115–波紋(波狀的/凸起/凹起)(RIP)定義: 通常在坩堝內(nèi)表面上的一種平滑而像波浪一樣起伏的外觀?！安y”準(zhǔn)則的限定范圍也適用于內(nèi)，外表面上的凹陷或凸起。 限定范圍: 1) 在整個(gè)坩堝上不允許有使堝壁厚超出公差的波紋，凹陷或凸起。 2) 在任何1長度范圍內(nèi)不允許有使壁厚變化大于的波紋（在多自的W1，W2和W3壁上）

3) 在任何1長的范圍內(nèi)（每一壁區(qū)W1，W2或W3內(nèi)的兩處）不允許有兩處以上的使壁厚變化大于的波紋存在。注1：這一規(guī)則不適用于附著物或環(huán)形區(qū)崩邊的研磨修補(bǔ)，它們包括在各自的缺陷標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)。#116–外表精度 定義：外徑表面狀態(tài) 限定：不允許有松散的物質(zhì)（有細(xì)粒的）#119–環(huán)形區(qū)頂部平邊（PCTX）“切口粗糙”定義： 環(huán)形平面太窄或太寬限定范圍： 1)滾壓過的邊緣（RE圓形環(huán)邊）2-4mm平邊（除非另有規(guī)定）2)切割邊緣（CE）最小平面為(除非另有規(guī)定)#122–光澤差 定義： 指內(nèi)表面的狀態(tài)，用肉眼在標(biāo)準(zhǔn)的檢驗(yàn)狀態(tài)下（40瓦熒光燈），玻璃狀的表面呈暗淡狀。這些例子可能包括由于直接在內(nèi)表面上噴砂造成的無光澤表面，或由過度酸洗或溶融時(shí)的污染造成的。

對(duì)與光澤差還分的是實(shí)起的顆粒和氣泡，參見#124缺陷，附著物及處理。 限定范圍：無肉眼可見的情況。#123–外徑白斑（WSP）寶義： 粘附于坩堝外周的部分熔融的砂粉塊。限定范圍： 1)在坩堝上大于"的斑點(diǎn)不大多5處。. 2)沒有大于"直徑的斑點(diǎn)。 3)沒有高出表面"(1mm)以上的白斑點(diǎn)。#124–附著物(頂部距邊處除外)定義: 熔在坩堝內(nèi)壁，但未完全熔入石英壁的石英料。 特殊類型的附著物如以下規(guī)定：修補(bǔ)限定: 修補(bǔ)必須是平滑的，最大直徑不超過2mm（例外情況：10直徑及以下的坩堝，在第一代設(shè)備上制造的，采用最大修補(bǔ)8mm的規(guī)定）。#124A–砂峰（米砂）(ADMX，若不能修理)定義： 小而尖的部分熔融的石英砂，一般為直徑)及以下，另一端已熔入坩堝內(nèi)壁。限定范圍： 沒有尖的的或突起的。#124B–突起的顆粒(ADMX)定義: 已熔入坩堝內(nèi)壁而又高出內(nèi)壁表面的直徑大于)的石英顆粒。 限定范圍: 1) 沒有無光澤的（尖的）或粗糙的突起物（這包括任何附于表面的物質(zhì)或花紋，用非金屬探針能感知其阻力。這些顆粒比#124日定義的單個(gè)砂峰要大）。 2) 光澤的顆粒必須整個(gè)外周都是平滑而有光澤的，且直徑不大于（）而高度大于（）時(shí)。 3) 每只坩堝不能有多于5個(gè)“光澤的顆?！?，即使它們單獨(dú)都能通過。#124C–氣化物(VAP) 定義: 起聚在坩堝內(nèi)表面上的石英，通常有光澤，而成為壁的一部分。氣化物的特征是一個(gè)明顯的由均勻分布小細(xì)氣泡組成的區(qū)域，單個(gè)氣泡都在（）以下。氣化物可能有乳白色外觀，這是由透明的細(xì)泡以及在壁內(nèi)光滑的細(xì)泡形成的表面凹坑（有光澤的凹陷）形成的。限定范圍: 1)沒有無光澤的或表面粗糙的 2)沒有超過40mm2面積的單個(gè)氣化物。 (注:40mm2是×,4×10mm,5×8mm;或直徑) 3)長度大于"氣化物最多不能超過5個(gè)。#141–夾雜物A.暴露在內(nèi)表面的夾雜物(OINC) 定義: 任何在內(nèi)表面中并暴露于內(nèi)表面上的非石英物質(zhì)的外來物，可視為在光澤的內(nèi)表面中的一個(gè)斷口。 外來物: 沒有眼睛可見的。B.不暴露的夾雜物(INC) 定義: 完全處于坩堝壁內(nèi)中的非石英的任何外來物。 限定范圍: 1) 在任何坩堝中，最大密度為25個(gè)至的夾雜物。. 2) 任何坩堝中，最多有10個(gè)直徑為（）至的夾雜物。 3) 在整個(gè)坩堝表面，最多有3個(gè)至（）的夾雜物，且這些夾雜物間最小間距