標準解讀

《GB/T 16596-1996 確定晶片坐標系規(guī)范》是中國一項關(guān)于半導體晶片坐標系統(tǒng)確立的國家標準。該標準詳細規(guī)定了如何在半導體晶片上建立統(tǒng)一、準確的坐標體系，這對于集成電路設計、制造、測試及封裝等環(huán)節(jié)至關(guān)重要，確保了產(chǎn)業(yè)鏈上下游之間的有效溝通和工藝一致性。

標準內(nèi)容要點包括：

  1. 晶片坐標系定義：明確了晶片坐標系的原點選擇、坐標軸方向及其符合的國際通用標準，通常晶片坐標系的原點設定與晶片制造過程中的對準標記或特定幾何特征相關(guān)聯(lián)。

  2. 坐標系確定方法：闡述了通過光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高精度設備，結(jié)合特定的測量與定位技術(shù)，如何精確測定晶片上的關(guān)鍵點位置，進而建立坐標系。這包括了圖像處理、幾何變換等步驟，確保坐標系的準確性和重復性。

  3. 坐標表示與標注：規(guī)定了晶片上各個功能區(qū)域、測試點等關(guān)鍵要素在坐標系下的表示方法和標注規(guī)則，便于設計文件與實際晶片間的信息交換。

  4. 誤差與精度要求：針對坐標系建立過程中的測量誤差，設置了允許的最大偏差范圍，確保坐標系的建立能滿足集成電路生產(chǎn)加工的精度需求。

  5. 驗證與校正：提出了坐標系驗證的方法和校正流程，確保坐標系統(tǒng)的穩(wěn)定性和長期使用的準確性，包括定期的系統(tǒng)校驗和根據(jù)實際生產(chǎn)數(shù)據(jù)進行的適時調(diào)整。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 16596-2019
  • 1996-11-04 頒布
  • 1997-04-01 實施
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ICS29.045H21中華人民共和國國家標準GB/T16596—1996確定晶片坐標系規(guī)范Speciticationforestablishingawafercoordinatesystem1996-11-04發(fā)布1997-04-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16596-1996本標準等效采用半導體設備和材料國際組織SEMIM20—92《確定品片坐標系規(guī)范》結(jié)合我國的實際情況制定的，用于唯一確定晶片上任意一點位置的極坐標或直角坐標的品片坐標系。本標準可以用確切的術(shù)語描述GB/T12964中晶片上某一點的位置，配備有關(guān)設備，可以識別晶片特征和定位晶片。與本標準配套的標準有GB/T16595—1996《品片通用網(wǎng)格規(guī)范》。本標準由中國有色金屬工業(yè)總公司提出。本標準由中國有色金屬工業(yè)總公司標準計量研究所歸口。本標準由中國有色金屬工業(yè)總公司標準計量研究所負責起草.本標準主要起草人：吳福立。本標準1996年11月首次發(fā)布。

中華人民共和國國家標準確定晶片坐標系規(guī)范GB/r16596-1996Specificationforestablishingawafercoordinatesystem花圍1.1本規(guī)范規(guī)定了利用晶片中心作為極坐標（-8-<)或直角坐標（-y-)的原點，可用于確定晶片上任意一點位置的晶片坐標系。1.2對于非構(gòu)圖晶片，可直接使用本晶片坐標系或與矩形陣列或極坐標重疊陣列一起使用本晶片坐標1.3本晶片坐標系也可用于確定另一坐標系的原點或其他基準點的位置，而這另一坐標系則常表示或記錄在構(gòu)圖或非構(gòu)圖晶片上的局部區(qū)域、芯片或圖形陣列的位置特征。這樣，該陣列坐標系可定位晶片的實際幾何圖形。2引用標準下列標準所包含的條文，通過在本規(guī)范中引用而構(gòu)成為本規(guī)范的條文。本規(guī)范出版時，所示版本均為有效，所有標準都會被修訂，使用本規(guī)范的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。2.1我國標準GB/T12964-1996硅單晶拋光片GB/T16595-1996晶片通用網(wǎng)格規(guī)范2.2SEMI標準SEMIE5-92設備通信規(guī)范2,報文內(nèi)容（SECSII)SEMIM1一94硅單晶拋光片規(guī)范SEMIM12-92品片正面系列字母數(shù)字標志規(guī)范SEMIM13-88硅片字母數(shù)字標志規(guī)范3確定晶片坐標系程序3.1確定晶片中心3.1.1晶片正面向上。3.1.2對本規(guī)范來說，假定晶片的圓周是最小圓包圍著，而忽略參考面和所有其他邊緣的不規(guī)則區(qū)域.該圓的圓心為晶片中心。3.2確定右旋的直角坐標系3.2.1坐標系的原點位于品片的幾何中心。3.2.2坐標系的y軸在正面的直徑上。該直徑平分主基準面(參考面或缺口)3.2.3坐標系的軸在正面的直徑上

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