GB/T 32643-2016平板顯示器基板玻璃表面波紋度的測量方法

ICS31030

L90-

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32643—2016

平板顯示器基板玻璃表面波紋度的

測量方法

Flatpaneldisplaysglasssubstratessurfacewavinessmeasurementmethod

2016-04-25發(fā)布2016-11-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T32643—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會與全國工業(yè)玻璃和特種玻璃標(biāo)

(SAC/TC203)

準(zhǔn)化技術(shù)委員會共同歸口

(SAC/TC447)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位彩虹集團公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人黃寧歌裴會川王香李霜楊萬來

:、、、、。

Ⅰ

GB/T32643—2016

平板顯示器基板玻璃表面波紋度的

測量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用觸針式表面粗糙度測量儀測量平板顯示器基板玻璃表面波紋度的測量方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量平板顯示器用基板玻璃的表面波紋度

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測量方法

GB/T32642—2016

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T32642—2016。

31

.

2CR濾波器2CRfilter

時間常數(shù)相等的組回路串聯(lián)連接的濾波器在截止波長下的標(biāo)準(zhǔn)傳輸率是

2R-C。75%。

32

.

高斯濾波器Gaussianphasecorrectfilter

將高斯分布作為權(quán)函數(shù)將截面曲線中演算積分后的曲線規(guī)定為相位補償濾波紋度曲線在截止波

,,

長下的傳輸率是

50%。

33

.

預(yù)行程和后行程pre-travelandpost-travel

()()

L

p

為避免由于截止濾光器的瞬態(tài)反應(yīng)而引起的剖面圖失真從示蹤長度上減除的部分

,。

注建議在示蹤長度開始階段和沒有后行程的情況下用濾波器的預(yù)行程應(yīng)為截止長波長λ的倍建議在

:,2CRL2;

使用相位校正濾波器時預(yù)行程和后行程都應(yīng)該與截止長波長λ相同

,L。

34

.

測定長度evaluationlength

L

e

一種扣除預(yù)行程和后行程后的跡線長度測量樣品的長度應(yīng)包含波紋度的剖面曲線長度

。。

35

.

截止長波長longwavelengthcut-off

λ

L

排除自然因素當(dāng)示蹤輪廓曲線通過消除波紋因素影響的高通波長濾波器后振幅衰減率成為