GB/T 32999-2016表面化學分析深度剖析用機械輪廓儀柵網(wǎng)復型法測量濺射速率

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T32999—2016/ISO/TR223352007

:

表面化學分析深度剖析用機械輪

廓儀柵網(wǎng)復型法測量濺射速率

Surfacechemicalanalsis—Dethrofilin—Measurementofsutterinrate

yppgpg:

mesh-replicamethodusingamechanicalstylusprofilometer

(ISO/TR22335:2007,IDT)

2016-10-13發(fā)布2017-09-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32999—2016/ISO/TR223352007

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

術(shù)語和定義

2………………1

符號和縮略語

3……………1

原理

4………………………2

方法

5………………………2

獲取柵網(wǎng)復型圖形

5.1…………………2

用輪廓儀測量濺射坑深度

5.2…………7

計算濺射速率

5.3………………………9

實驗室間聯(lián)合比對結(jié)果總結(jié)

6……………9

附錄資料性附錄試樣表面和離子槍的幾何結(jié)構(gòu)配置

A()……………10

附錄資料性附錄柵網(wǎng)復型圖形與網(wǎng)孔尺寸的關(guān)系

B()………………13

參考文獻

……………………16

Ⅰ

GB/T32999—2016/ISO/TR223352007

:

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用表面化學分析深度剖析用機械輪廓儀柵網(wǎng)

ISO/TR22335:2007《

復型法測量濺射速率

》。

本標準由全國微束標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準負責起草單位北京師范大學分析測試中心清華大學分析中心

:、。

本標準主要起草人吳正龍姚文清

:、。

Ⅲ

GB/T32999—2016/ISO/TR223352007

:

引言

本標準給出了利用俄歇電子能譜和射線光電子能譜測定深度剖析離子濺射速率的

(AES)X(XPS)

方法試樣的離子濺射面積范圍為22首先在試樣上放置一個合適大小并和試樣表

,0.4mm~3.0mm。

面接觸的柵網(wǎng)通過離子濺射在試樣表面上復制一個柵網(wǎng)圖形然后通過機械輪廓儀測量出濺射深度

,。,

假設(shè)離子濺射速率恒定則濺射速率等于濺射深度除以濺射時間本標準提供了一種將深度剖析中離

,。

子濺射時間轉(zhuǎn)換為濺射深度的方法

。

Ⅳ

GB/T32999—2016/ISO/TR223352007

:

表面化學分析深度剖析用機械輪

廓儀柵網(wǎng)復型法測量濺射速率

1范圍

本標準規(guī)定了利用俄歇電子能譜和射線光電子能譜測定深度剖析離子濺射速率的

(AES)X(XPS)

方法試樣的離子濺射面積范圍為22本標準只適用于橫向均勻的體相材料或單層

,0.4mm~3.0mm。

材料其離子濺射速率由濺射深度與濺射時間確定濺射深度通過機械探針輪廓儀測得

,,。

本標準提供了一種將深度剖析中的離子濺射時間轉(zhuǎn)換為濺射深度的方法并假設(shè)濺射速率恒定

,。

本方法不是為掃描探針顯微系統(tǒng)設(shè)計的因此不能用掃描探針顯微系統(tǒng)評價該方法本方法不適用于

,。

濺射面積小于2的情況也不適用于濺射誘導的表面粗糙度與被測區(qū)域的濺射深度相比較明顯

0.4mm,

的情況

。

2術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

21

.

濺射時間sputteringtime

離子轟擊試樣表面的時間

。

22

.

濺射深度sputtereddepth

被分析試樣原始表面與經(jīng)深度剖析剝離一定量物質(zhì)后的表面之間的垂直距離[1]

。

23

.

濺射速率sputteringrate

濺射深度與濺射時間的比值