標準解讀

《GB/T 33140-2016 集成電路用磷銅陽極》是一項國家標準，它規(guī)定了用于集成電路制造過程中電鍍工藝的磷銅陽極的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和貯存等內(nèi)容。該標準適用于集成電路制造業(yè)中作為電鍍材料使用的磷銅陽極。

根據(jù)標準內(nèi)容，磷銅陽極按照其化學成分被分為不同的牌號，每個牌號對應(yīng)特定范圍內(nèi)的銅含量和其他雜質(zhì)的最大允許量。此外，還對磷銅陽極的外觀質(zhì)量提出了明確的要求，比如表面應(yīng)平整光滑無裂紋等缺陷，并且尺寸公差也有具體規(guī)定。

對于物理性能方面，《GB/T 33140-2016》也給出了詳細指標，包括但不限于導電率、硬度等關(guān)鍵參數(shù)。這些物理特性直接影響到最終產(chǎn)品的性能表現(xiàn)。

在測試方法上，本標準提供了針對各種技術(shù)要求的具體檢測手段，確保所有產(chǎn)品均能滿足既定的質(zhì)量標準。例如，通過化學分析來測定材料中的元素組成；利用金相顯微鏡觀察試樣的微觀結(jié)構(gòu)以評估其組織狀態(tài)等。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2016-10-13 頒布
  • 2017-09-01 實施
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文檔簡介

ICS7715030

H62..

中華人民共和國國家標準

GB/T33140—2016

集成電路用磷銅陽極

Phosphorizedcopperanodeusedforintegratedcircuit

2016-10-13發(fā)布2017-09-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T33140—2016

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出

。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位有研億金新材料有限公司寧波江豐電子材料股份有限公司

:、。

本標準主要起草人高巖何金江姚力軍曾浩劉書芹王學澤李勇軍徐學禮趙玉林劉志杰

:、、、、、、、、、、

熊曉東陳明劉秀袁海軍

、、、。

Ⅰ

GB/T33140—2016

集成電路用磷銅陽極

1范圍

本標準規(guī)定了集成電路用磷銅陽極以下簡稱磷銅陽極的要求試驗方法檢驗規(guī)則及標志包

(:)、、、

裝運輸貯存質(zhì)量證明書和訂貨單或合同內(nèi)容

、、、()。

本標準適用于集成電路用的各類磷銅陽極產(chǎn)品

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范光滑工件尺寸的檢驗

GB/T3177(GPS)

銅及銅合金化學分析方法第部分磷含量的測定

GB/T5121.22:

銅及銅合金化學分析方法第部分碳硫含量的測定

GB/T5121.44:、

銅及銅合金化學分析方法第部分鉻鐵錳鈷鎳鋅砷硒銀鎘錫

GB/T5121.2828:、、、、、、、、、、、

銻碲鉛鉍量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

、、、

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

銅及銅合金平均晶粒度測定方法

YS/T347

高純銅化學分析方法痕量雜質(zhì)元素含量的測定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T922

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

磷銅陽極phosphorizedcopperanode

在集成電路中采用電化學電鍍工藝制備高純銅金屬鍍層的陽極

。

4要求

41產(chǎn)品分類

.

411磷銅陽極按形狀分為圓形矩形和異形如三角形環(huán)形等示意圖見圖

..、(、),1。

a圓形b矩形c環(huán)形

)))

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