GB/T 37466-2019氮化鎵激光剝離設(shè)備

ICS31-550

L95

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37466—2019

氮化鎵激光剝離設(shè)備

Laserlift-offequipmentusedforGaN

2019-06-04發(fā)布2019-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T37466—2019

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

產(chǎn)品分類和標(biāo)記

4…………………………2

分類

4.1…………………2

型號標(biāo)記

4.2……………3

工作條件

5…………………4

電源

5.1…………………4

環(huán)境溫度

5.2……………4

相對濕度

5.3……………4

大氣壓力

5.4……………4

潔凈室等級

5.5…………………………4

電磁干擾

5.6……………4

地基振動要求

5.7………………………4

要求

6………………………4

外觀

6.1…………………4

激光要求

6.2……………4

掃描臺

6.3………………5

整機(jī)性能

6.4……………5

電氣要求

6.5……………5

控制裝置

6.6……………5

軟件要求

6.7……………6

電磁兼容

6.8……………6

噪聲

6.9…………………6

平均無故障時間

6.10……………………6

安全要求

6.11……………6

檢測方法

7…………………7

外觀檢查

7.1……………7

激光檢查

7.2……………7

掃描臺檢查

7.3…………………………8

整機(jī)性能檢測

7.4………………………9

電氣檢查

7.5……………9

控制裝置檢查

7.6………………………10

軟件檢測

7.7……………10

電磁兼容試驗

7.8………………………10

Ⅰ

GB/T37466—2019

噪聲測試

7.9……………10

平均無故障時間驗證

7.10……………10

安全要求檢查

7.11……………………10

檢驗規(guī)則

8…………………11

檢驗分類

8.1……………11

鑒定檢驗

8.2……………11

出廠檢驗

8.3……………11

判定規(guī)則

8.4……………11

標(biāo)志包裝運(yùn)輸和貯存

9、、…………………12

標(biāo)志

9.1…………………12

包裝

9.2…………………12

運(yùn)輸

9.3…………………13

貯存

9.4…………………13

Ⅱ

GB/T37466—2019

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人孫永健劉鵬丁曉民馮亞彬汪青

:、、、、。

Ⅲ

GB/T37466—2019

氮化鎵激光剝離設(shè)備

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氮化鎵激光剝離設(shè)備以下簡稱激光剝離設(shè)備的產(chǎn)品分類和標(biāo)記工作條件要

(“”)、、

求檢測方法檢驗規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸和貯存

、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于利用激光方法將藍(lán)寶石襯底生長的氮化鎵基外延層進(jìn)行剝離的設(shè)備氮化鋁

(GaN),

激光剝離設(shè)備可參考本標(biāo)準(zhǔn)

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191

安全色

GB2893—2008

安全標(biāo)志及其使用導(dǎo)則

GB2894—2008

聲學(xué)聲壓法測定噪聲源聲功率級和聲能量級采用反射面上方包絡(luò)測量面

GB/T3768—2017

的簡易法

外殼防護(hù)等級代碼

GB/T4208—2017(IP)

工業(yè)科學(xué)和醫(yī)療射頻設(shè)備騷擾特性限值和測量方法

GB4824—2013、(ISM)

旋轉(zhuǎn)電機(jī)整體結(jié)構(gòu)的防護(hù)等級代碼分級

GB/T4942.1—2006(IP)-

設(shè)備可靠性試驗恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無故障時間的驗證試

GB/T5080.7—1986

驗方案

小功率電動機(jī)第部分通用技術(shù)條件

GB/T5171.1—20141:

機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第部分通用技術(shù)條件

GB5226.1—20081:

運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志

GB/T6388

激光產(chǎn)品的安全第部分設(shè)備分類要求

GB7247.1—20121:、

低壓成套開關(guān)設(shè)備和控制設(shè)備第部分總則

GB/T7251.1—2013