YS/T 1060-2015硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測(cè)定氣相色譜法

ICS7704030

H17..

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1060—2015

硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的

測(cè)定氣相色譜法

Determinationofotherchlorosilaneintrichlorosilaneforsiliconeqitaxy—

Gaschromatographicmethod

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1060—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中鍺科技有限公司江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司昆明冶研新材料股份有限

:、、

公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉新軍劉英杰鄭華榮柯尊斌趙建為孔令群伍永勝張?jiān)茣煑罴t燕

:、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1060—2015

硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的

測(cè)定氣相色譜法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷包括二氯二氫硅四氯化硅含量的氣相色譜測(cè)定

(、)

方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷包括二氯二氫硅四氯化硅含量的測(cè)定測(cè)定下

(、)。

限為

0.002%。

2方法提要

三氯氫硅樣品在惰性氣體氮?dú)饣驓鍤獗Ｗo(hù)下注入氣相色譜儀各組分經(jīng)色譜柱分離后用熱導(dǎo)池

(),,

檢測(cè)器檢測(cè)用峰面積歸一化法計(jì)算

,。

3試劑

31載氣氫氣體積分?jǐn)?shù)

.,≥99.999%。

32惰性氣體體積分?jǐn)?shù)

.,≥99.999%。

4儀器

41氣相色譜儀配有熱導(dǎo)池檢測(cè)器和相應(yīng)的色譜工作站檢測(cè)限為

.:(TCD),0.001%。

42色譜柱不銹鋼填充柱固定液為規(guī)格為?或其他等效色譜柱

.:,25%DC-550,3mm×2.5m,。

43微量注射器

.:10μL。

5干擾因素

51樣品宜置于冰箱中冷凍保存防止樣品揮發(fā)損失

.,。

52室內(nèi)濕度應(yīng)控制在以下防止環(huán)境濕度對(duì)樣品的影響

.40%,。

53惰性氣體操作箱內(nèi)的空氣應(yīng)用干燥高純惰性氣體如氮?dú)庵脫Q干凈否則樣品水解影響測(cè)試

.();,

結(jié)果

。

6分析步驟

警告移取三氯氫硅樣品時(shí)要防止樣品泄露建議在惰性氣體保護(hù)下轉(zhuǎn)移樣品并佩戴好防護(hù)

:,。,

用品

。

61準(zhǔn)備

.

按照儀器操作規(guī)程開啟氣相色譜儀并設(shè)定儀器工作參數(shù)待基線平穩(wěn)后開始進(jìn)樣分析