氦檢漏儀原理

氦檢漏儀原理標準化治理處編碼[BBX968T-XBB8968-NNJ668-MM9N]特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度最高，用得最普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲顯著減小．其靈敏度可達10-14～10-15Pam3／s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀轉(zhuǎn)變了常規(guī)型儀器的構(gòu)造布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點．適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空10-12Pam3／s。工作原理與構(gòu)造局部等組成。①單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀HZJ—l23在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以肯定的速度經(jīng)過加速極S1

的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下，具有肯定速度的離子將按圓形軌跡運動，其偏轉(zhuǎn)半徑可按式〔5〕計算。BUme-1RBR固定的，調(diào)整加速電壓U使氦離子束[圖中(me-1)]恰好通過出口縫隙S，到達收集器D，2 2形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同于氦質(zhì)荷比的離[(me-1(me-1RS1 3 2He+之外，C卅很少，可無視。2②雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀4900縮轉(zhuǎn)串聯(lián)式磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜室。由于兩次分析，削減了非氦離子到達收集器的機率。并且，如在兩個分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2

與鄰近小，提高了儀器靈敏度。③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀102；對空氣中其它lO4～106。檢漏時，通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣，仍有的工作原理。性能試驗方法靈敏度、反響時間、去除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。①靈敏度及其校準氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的最小可檢漏率。記為，即在儀器處于最正確工作條件謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反響時間不大于3s。所謂“最小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的枯燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器2min漏率靈敏度標準系統(tǒng)如圖6所示。圖中虛線框內(nèi)局部為配氣系統(tǒng)．即為標準漏孔5進氣端pHe

的純氦氣。關(guān)心泵6的任務(wù)是預抽。用枯燥瓶4和針閥2調(diào)整儀器工作壓力。假設(shè)儀器本底為I，本底噪聲為I，標準漏孔對空氣的標稱漏率為，當其進氣壓力為0 npI，則儀器靈敏度為式〔6〕。He假設(shè)檢漏時用關(guān)心系統(tǒng)抽氣(即對示漏氦氣有分流)。或用累積法檢漏時，給出儀器最小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γ，能較便利地估量檢漏效果。min62濃度靈敏度成為式〔7〕。②反響時間、去除時間及其測定反響時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到最大值的(1-e-1)倍(即所需要的時間，記為τ。R去除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到最大值后，停頓送氦，其訊號下降到最大值的e-1倍(即所需要的時間，記為τ。C反響時間和去除時間的測定裝置如圖7所示。③工作真空、極限真空及入口處抽速質(zhì)譜室