單晶制絨設(shè)備培訓(xùn)課件

2011-9-10單晶清洗設(shè)備培訓(xùn)

概述第一部分：單晶清洗設(shè)備的組成第二部分：單晶清洗設(shè)備的開機(jī)第三部分：單晶清洗設(shè)備操作第四部分：單晶清洗設(shè)備的關(guān)機(jī)單晶清洗設(shè)備的組成一、單晶制絨機(jī)1、單晶制絨槽式主體/一臺(tái)2、上下料臺(tái)/各一個(gè)3、NaOH、IPA補(bǔ)液系統(tǒng)/一套4、純水預(yù)熱槽/一個(gè)5、電控柜/一個(gè)二、酸洗機(jī)1、酸洗槽式主體/一臺(tái)2、上下料臺(tái)/各一個(gè)3、電控柜/一個(gè)三、去PSG機(jī)1、去PSG槽式主體/一臺(tái)2、上下料臺(tái)/各一個(gè)3、電控柜/一個(gè)四、甩干機(jī)

單晶制絨設(shè)備主體上下料臺(tái)上料臺(tái)下料臺(tái)NAOH、IPA自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)

電控柜內(nèi)部圖

壓縮空氣、氮?dú)夂图兯?yīng)管工作流程

NAHO預(yù)處理60S上料臺(tái)

DI水

噴淋25S

DI水漂洗10S

HF

酸洗10S

DI水

漂洗10SNAOH、IPA、輔助劑制絨1100S

DI水

漂洗10S

DI水

漂洗30S

NAOH、H2O2去損傷180S下料臺(tái)單晶制絨工作流程

HF

酸洗120S上料臺(tái)甩干下料臺(tái)

DI水

噴淋120S

DI水

噴淋60S

DI水

漂洗60S

DI水

漂洗60S去PSG

DI水低速噴淋30S上料高速吹N2180S卸料甩干機(jī)制絨設(shè)備開機(jī)前檢查壓縮空氣、氮?dú)?、純水：閥門處于打開狀態(tài)，壓縮空氣、氮?dú)鈮毫?-6barDI水CDAN2CDA調(diào)壓閥N2調(diào)壓閥制絨設(shè)備開機(jī)前檢查化學(xué)品補(bǔ)液槽按要求配液純水預(yù)熱槽溫度達(dá)到設(shè)定值刻度標(biāo)尺

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第二步：等待觸摸屏顯示后，進(jìn)入主界面進(jìn)行工藝參數(shù)設(shè)置參數(shù)設(shè)置按鈕

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作點(diǎn)擊“參數(shù)設(shè)置進(jìn)入”按鈕后，彈出密碼框，輸入密碼后，按“確認(rèn)”按鈕即可進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置項(xiàng)。進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置畫面，由工藝員對工藝參數(shù)（清洗時(shí)間、各槽溫度、自動(dòng)配液參數(shù)、排液時(shí)間）進(jìn)行設(shè)置。

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作點(diǎn)擊“自動(dòng)補(bǔ)液參數(shù)設(shè)置”按鈕后，進(jìn)入畫面，對各槽DI水、NAOH、IPA自動(dòng)補(bǔ)液量進(jìn)行設(shè)置自動(dòng)補(bǔ)液畫面

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第三步：設(shè)置好工藝參數(shù)后，點(diǎn)擊“返回”按鈕，即可返回主菜單，然后點(diǎn)擊“報(bào)警畫面”，確認(rèn)是否有報(bào)警。報(bào)警按鈕彈出報(bào)警框，報(bào)警項(xiàng)顯示為綠色，則是報(bào)警已解除，若顯示為紅色，則需要對報(bào)警進(jìn)行手動(dòng)處理。

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作進(jìn)行手動(dòng)處理時(shí)，在主菜單中點(diǎn)擊手動(dòng)按鈕即可進(jìn)入各手動(dòng)畫面：點(diǎn)擊“上升”“下降”“左移”“右移”按鈕即可對機(jī)械臂進(jìn)行移動(dòng)操作。點(diǎn)擊“循環(huán)泵ON”按鈕即可打開或關(guān)閉各循環(huán)泵，當(dāng)標(biāo)識(shí)顯示為綠色時(shí)，即標(biāo)識(shí)泵已打開。機(jī)械臂手動(dòng)畫面循環(huán)泵手動(dòng)畫面

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作點(diǎn)擊“左蓋開”“右蓋開”按鈕即可打開蓋板，標(biāo)識(shí)顯示為綠色即為打開狀態(tài)，點(diǎn)擊“左蓋關(guān)”“右蓋關(guān)”按鈕即可關(guān)閉蓋板。點(diǎn)擊各對應(yīng)槽體的“閥ON”，打開閥門排液，在排液前需對排液時(shí)間進(jìn)行設(shè)置。槽蓋手動(dòng)畫面排水手動(dòng)畫面

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作鼓泡加水手動(dòng)畫面手動(dòng)補(bǔ)液設(shè)置點(diǎn)擊“鼓泡閥ON”或“加水閥ON可對所需槽進(jìn)行鼓泡或加水。設(shè)置好補(bǔ)液量，手動(dòng)按“ON”按鈕對所需工藝槽DI水、NAHO、IPA進(jìn)行補(bǔ)液

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第四步：確認(rèn)無報(bào)警后，再點(diǎn)擊“監(jiān)控畫面”檢查設(shè)備槽體的溫度、液位是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，監(jiān)控顯示的花籃要與槽體里的一致。監(jiān)控1監(jiān)控2

單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作第六步：將裝好硅片的料籃放于上料臺(tái)后，按開始按鈕，即進(jìn)行生產(chǎn)。開始按鈕單晶制絨設(shè)備的關(guān)機(jī)1.確保槽內(nèi)無花籃；2.將設(shè)備切換到手動(dòng)狀態(tài)，通過觸摸屏排掉槽內(nèi)液體，并加DI水清洗干凈；3.關(guān)閉電控柜內(nèi)主電源開關(guān)、純水預(yù)熱槽電源開關(guān)；4.關(guān)閉純水、氮?dú)?、壓縮空氣閥門。主電源主電源制絨機(jī)電控柜預(yù)熱槽電控柜酸洗、去PSG設(shè)備開機(jī)運(yùn)行操作及關(guān)機(jī)酸洗、去PSG開機(jī)前檢查、運(yùn)行操作及關(guān)機(jī)請參照制絨機(jī)。酸洗設(shè)備去PSG設(shè)備

甩干機(jī)甩干設(shè)備開機(jī)前檢查壓縮空氣、氮?dú)?、純水：閥門處于打開狀態(tài)，壓縮空氣、氮?dú)鈮毫?-6bar。DI水閥CDA閥N2閥

甩干機(jī)運(yùn)行及操作第一步：打開電源開關(guān)，在觸摸屏“參數(shù)設(shè)置”畫面中設(shè)置工藝參數(shù)，并點(diǎn)擊“低溫開”、“高溫開”按鈕。

甩干機(jī)運(yùn)行及操作第二步：等待溫度控制器上的溫度顯示達(dá)到設(shè)定值；第三步：點(diǎn)擊“開門”按鈕，打開蓋板，放入裝載硅片的片盒后，雙手按住“關(guān)門”按鈕，直至蓋板關(guān)到位；第四步：按“運(yùn)行”按鈕進(jìn)行工作；第五步：甩干結(jié)束，蜂鳴器響后按“開門”按鈕，打開蓋板取出片盒。甩干機(jī)的關(guān)機(jī)1、打開蓋板確認(rèn)旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)無片盒；2、關(guān)閉蓋板，將電源開關(guān)切換到關(guān)的狀態(tài)；3、打開電控柜門，關(guān)閉電源4、關(guān)閉DI水\N2\CDA閥門電源開關(guān)電控柜內(nèi)總電源中聯(lián)酸洗機(jī)中聯(lián)酸洗機(jī)比較與JJC酸洗機(jī)除多了自動(dòng)烘干功能外，其它工藝均一致。開機(jī)檢查及關(guān)機(jī)參照制絨設(shè)備。正面圖背面圖中聯(lián)酸洗機(jī)熱風(fēng)烘干系統(tǒng)加熱鼓風(fēng)設(shè)備中聯(lián)酸洗機(jī)的運(yùn)行操作打開電源后，按觸摸屏下方的“電源啟動(dòng)”按鈕，啟動(dòng)后按“運(yùn)轉(zhuǎn)準(zhǔn)備”按鈕，等待觸摸屏進(jìn)入操作主畫面。電源啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)準(zhǔn)備中聯(lián)酸洗機(jī)的運(yùn)行操作主畫面進(jìn)入“主畫面”后，按屏幕右下角的“菜單欄”，即進(jìn)入菜單，對設(shè)備各項(xiàng)功能、工藝參數(shù)進(jìn)行設(shè)置。菜單欄點(diǎn)擊菜單欄的各項(xiàng)功能，可進(jìn)行開關(guān)蓋板、機(jī)械臂手動(dòng)移動(dòng)、加液、排液