表面處理零部件全景調(diào)研與發(fā)展戰(zhàn)略研究

表面處理零部件全景調(diào)研與發(fā)展戰(zhàn)略研究表面處理行業(yè)概況（一）表面處理概述表面處理既可應(yīng)用于泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件新品制造中，是陶瓷、硅、石英和金屬等多種材質(zhì)零部件新品生產(chǎn)的工序之一；也可用于清潔零部件使用中形成的污染，是保障工藝制程穩(wěn)定和制造良率的重要配套服務(wù)；還可用于對(duì)消耗性部件再生改造，改善或克服基材弱點(diǎn)，如陶瓷材料質(zhì)脆、裂紋敏感、抗熱震性能差、高溫機(jī)械性能下滑。其中，針對(duì)新品制造的表面處理服務(wù)需求規(guī)模相對(duì)較?。▋H考慮由設(shè)備制造原廠委托專(zhuān)業(yè)第三方表面處理服務(wù)廠商的部分，不包括設(shè)備制造原廠自行實(shí)施的部分），僅約占整體市場(chǎng)規(guī)模的5%；對(duì)使用后零部件的表面處理約占整體市場(chǎng)規(guī)模的95%，是行業(yè)主要需求來(lái)源。表面處理行業(yè)經(jīng)歷了產(chǎn)業(yè)鏈分工演化過(guò)程。半導(dǎo)體、顯示面板行業(yè)發(fā)展初期，表面處理作為設(shè)備銷(xiāo)售的重要配套服務(wù)之一，僅由設(shè)備制造原廠實(shí)施。二十世紀(jì)九十年代以來(lái)，隨著全球半導(dǎo)體、顯示面板行業(yè)快速發(fā)展，行業(yè)制造分工逐漸細(xì)化，開(kāi)始出現(xiàn)專(zhuān)業(yè)第三方表面處理供應(yīng)商，將表面處理（尤其是精密清洗）外包逐漸成為行業(yè)趨勢(shì)。在設(shè)備的質(zhì)保期內(nèi)，晶圓廠和顯示面板制造商基本仍由設(shè)備制造原廠提供表面處理服務(wù)，或由其分包予第三方企業(yè)，而質(zhì)保期外的表面處理服務(wù)則由設(shè)備制造原廠、第三方表面處理廠商開(kāi)展市場(chǎng)化競(jìng)爭(zhēng)。在質(zhì)保期外市場(chǎng)，第三方表面處理廠商相比設(shè)備制造原廠具備屬地配套服務(wù)、交付及時(shí)和快速響應(yīng)等諸多優(yōu)勢(shì)，在產(chǎn)業(yè)鏈專(zhuān)業(yè)化分工的趨勢(shì)下，專(zhuān)業(yè)表面處理廠商的市場(chǎng)地位得到進(jìn)一步鞏固。第三方廠商業(yè)務(wù)包括精密清洗、陽(yáng)極氧化和熔射等。在泛半導(dǎo)體設(shè)備制造和使用過(guò)程中，污染物會(huì)附著在設(shè)備零部件表面，尤其是腔室內(nèi)零部件由于直接暴露在工藝反應(yīng)中，表面會(huì)吸附多種副產(chǎn)物。為保證泛半導(dǎo)體制造良率以及工藝穩(wěn)定性，需要階段性洗凈零部件以有效控制污染物，因此精密清洗是泛半導(dǎo)體制造過(guò)程中必不可少的配套服務(wù)。污染物主要包括顆粒、自然氧化層、金屬污染、有機(jī)物、犧牲層、拋光殘留物等。目前，精密清洗主要采用物理清洗、化學(xué)清洗等方式去除設(shè)備零部件的表面污染物。通過(guò)設(shè)計(jì)藥液配方，并合理安排處理工序、處理時(shí)間和處理溫度等，滿足高效、批量和低成本的洗凈需求。陽(yáng)極氧化是鋁和鋁合金材質(zhì)零部件常用的表面處理方法，將金屬置于特定環(huán)境下電解液中作為陽(yáng)極，使其表面形成幾十至幾百微米的氧化膜，通過(guò)精確管控涂層粗糙度、膜厚等，可有效提高腔室部件對(duì)工藝反應(yīng)環(huán)境的耐電壓性能和耐腐蝕性能。熔射是設(shè)備零部件表面改性（性能改良）的重要技術(shù)手段，使用少量材料制備特殊功能的涂層，可起到大量、昂貴的整體塊材難以起到的作用，同時(shí)極大地降低成本。具體包括等離子熔射、電弧熔射、火焰熔射和爆炸熔射等。產(chǎn)業(yè)化較為成熟的熔射工藝之一。等離子噴槍將電能轉(zhuǎn)化為熱能，氧化釔、氧化鋁、氟化釔或氟氧化釔等粉料經(jīng)高溫熔化后，形成中心溫度達(dá)到10，000~50，000℃高溫的高速等離子焰流，熔化并沉積到各類(lèi)材質(zhì)的零部件基體表面，以提高其耐腐蝕性。利用大電流產(chǎn)生的電弧熔化兩股線狀鋁材，使用高速氣流將熔化的鋁霧化，并加速噴向陶瓷基材，從而在氧化鋁陶瓷零部件表面涂覆鋁層，達(dá)到增加部件表面粗糙度的效果，提高陶瓷零部件在泛半導(dǎo)體工藝中的吸附能力。（二）表面處理市場(chǎng)情況表面處理市場(chǎng)規(guī)模隨著中國(guó)大陸下游晶圓廠和顯示面板制造商加大投資而持續(xù)增長(zhǎng)，同時(shí)LED等領(lǐng)域新出現(xiàn)的表面處理需求也進(jìn)一步帶動(dòng)了行業(yè)增長(zhǎng)。根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù)，2021年中國(guó)泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件表面處理服務(wù)市場(chǎng)規(guī)模為37億元，預(yù)計(jì)2022年至2026年市場(chǎng)規(guī)模復(fù)合增速為14%。按下游應(yīng)用分，2021年半導(dǎo)體和顯示面板設(shè)備零部件的表面處理市場(chǎng)規(guī)模分別占泛半導(dǎo)體表面處理總需求的57%和43%。在顯示面板設(shè)備的表面處理中，按零部件所屬設(shè)備類(lèi)型分，刻蝕、CVD表面處理需求量較大，其2021年市場(chǎng)規(guī)模分別占顯示面板表面處理市場(chǎng)規(guī)模的45%、43%；按顯示面板技術(shù)路線，可分為a-Si/金屬氧化物TFTLCD、OLED、LTPSTFT-LCD，其2021年市場(chǎng)規(guī)模分別占顯示面板表面處理市場(chǎng)規(guī)模的63%、25%和12%，其中LTPSTFT-LCD、OLED等顯示面板新技術(shù)路線對(duì)服務(wù)商的技術(shù)要求較高。先進(jìn)陶瓷和表面處理的新業(yè)態(tài)新模式發(fā)展趨勢(shì)先進(jìn)陶瓷領(lǐng)域，隨著先進(jìn)陶瓷下游應(yīng)用領(lǐng)域技術(shù)水平發(fā)展，對(duì)先進(jìn)陶瓷供應(yīng)商綜合能力要求大幅提高。一方面，要求先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)企業(yè)具備跨材料體系開(kāi)發(fā)能力，依托多種材料體系能力，滿足客戶對(duì)各類(lèi)先進(jìn)陶瓷材料零部件的高性能要求；另一方面，高精尖陶瓷產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化對(duì)先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)企業(yè)的表面特種形貌噴砂、新品熔射等表面處理能力也提出了新的要求。表面處理領(lǐng)域，出于降本增效目的，半導(dǎo)體和顯示面板領(lǐng)域客戶對(duì)一站式精密清洗、陽(yáng)極氧化和熔射等綜合服務(wù)能力要求日趨提高。表面處理企業(yè)需要全面掌握多種業(yè)務(wù)技術(shù)能力，以增強(qiáng)客戶粘性，應(yīng)對(duì)日趨激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)。伴隨技術(shù)的不斷發(fā)展和國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈的日益完善，近年來(lái)國(guó)內(nèi)一些小規(guī)模企業(yè)先后涌現(xiàn)。先進(jìn)陶瓷行業(yè)相對(duì)低端產(chǎn)品的供應(yīng)商數(shù)量有所增加，表面處理在顯示面板部分領(lǐng)域出現(xiàn)較激烈價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)。在當(dāng)前的行業(yè)環(huán)境下，本土企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)策略出現(xiàn)了明顯的分化。行業(yè)中部分企業(yè)通過(guò)價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)等手段快速進(jìn)入技術(shù)已經(jīng)較成熟的領(lǐng)域，謀求快速提升市場(chǎng)份額；其他部分企業(yè)在中高端領(lǐng)域、高附加值細(xì)分領(lǐng)域加大研發(fā)和投入，增強(qiáng)技術(shù)實(shí)力，擴(kuò)展業(yè)務(wù)領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)差異化競(jìng)爭(zhēng)。先進(jìn)陶瓷材料發(fā)展歷程在市場(chǎng)規(guī)模方面，根據(jù)數(shù)據(jù)顯示，2021年我國(guó)先進(jìn)陶瓷行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到890億元，約占全球23%的市場(chǎng)份額，但國(guó)產(chǎn)化仍然較低，約20%，細(xì)分市場(chǎng)中先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模為189億元，占先進(jìn)陶瓷市場(chǎng)的21%；預(yù)計(jì)2022年國(guó)內(nèi)先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模922億元，其中先進(jìn)功能陶瓷和先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷分別將達(dá)713億元和209億元。中國(guó)泛半導(dǎo)體先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷市場(chǎng)情況國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體、顯示面板產(chǎn)線建設(shè)極大拉動(dòng)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備需求。根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù)，2021年中國(guó)泛半導(dǎo)體先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模為66億元，占全球市場(chǎng)規(guī)模的18%，預(yù)計(jì)2022年至2026年中國(guó)泛半導(dǎo)體先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模復(fù)合增速為14%，到2026年中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到125億元，占全球市場(chǎng)規(guī)模的比例將提高至24%。先進(jìn)陶瓷行業(yè)的需求有望穩(wěn)定增長(zhǎng)陶瓷是一種被很多人忽視的重要材料，它和金屬材料、高分子材料并稱為三大固體材料。陶瓷可以分為傳統(tǒng)陶瓷和先進(jìn)陶瓷，傳統(tǒng)陶瓷不用多說(shuō)，比如咱們?nèi)粘Ｉ钪杏玫膹N房衛(wèi)浴這些日用瓷器，他們的核心特征是以天然礦物為原料。而先進(jìn)陶瓷就是采用高純度的人工合成或精選的無(wú)機(jī)化合物為原料，是新材料領(lǐng)域的一個(gè)重要賽道。雖然叫陶瓷，但先進(jìn)陶瓷的性能已經(jīng)和傳統(tǒng)陶瓷完全不在一個(gè)量級(jí)上。先進(jìn)陶瓷的技術(shù)含量很高，是絕對(duì)的高科技新材料。傳統(tǒng)陶瓷缺點(diǎn)很多，太脆，不便于機(jī)械加工以及焊接，幾乎不能用于工業(yè)生產(chǎn)。而先進(jìn)陶瓷通過(guò)精確的化學(xué)組成、精密的制造加工技術(shù)和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)完美的解決了這些問(wèn)題，具有很多其他材料無(wú)法比擬的優(yōu)勢(shì)：一是強(qiáng)度很高，耐磨損、重量輕、耐高溫，這是很多高端制造業(yè)夢(mèng)寐以求的新材料特性。二是具有聲、電、光、熱和磁等許多方面的特殊性能，比如用在發(fā)光器、激光器件中的光學(xué)陶瓷有很好的透明性，用在超導(dǎo)電纜中的超導(dǎo)陶瓷具有超導(dǎo)性能，用在陶瓷牙齒、骨骼中的生物陶瓷具有很好的適應(yīng)人類(lèi)身體的生物相容性。先進(jìn)陶瓷有很多不同的種類(lèi)，根據(jù)性能和應(yīng)用的不同，可以分為結(jié)構(gòu)陶瓷與功能陶瓷兩大類(lèi)：所謂結(jié)構(gòu)陶瓷，就是以強(qiáng)度、剛性、韌性、耐磨性、硬度、疲勞強(qiáng)度等力學(xué)性能為特征的材料，比如剛才講的用在發(fā)動(dòng)機(jī)里的陶瓷。而所謂功能陶瓷，就是以聲、光、電、磁、熱等物理性能為特征的材料，比如剛才講的陶瓷牙齒。這兩大門(mén)類(lèi)中，功能陶瓷應(yīng)用更多，占比超過(guò)70%。而功能陶瓷按照終端應(yīng)用的不同，又可以分為電子陶瓷、光學(xué)陶瓷、超導(dǎo)陶瓷、生物陶瓷、磁性陶瓷、儲(chǔ)能陶瓷等等。從需求端來(lái)看，先進(jìn)陶瓷的終端應(yīng)用主要是電子產(chǎn)業(yè)，全球需求占比達(dá)到57%。此外，汽車(chē)和醫(yī)藥也是先進(jìn)陶瓷的主流應(yīng)用，占比都在10%以上。根據(jù)美國(guó)權(quán)威調(diào)查機(jī)構(gòu)GrandViewResearch數(shù)據(jù)，2018年全球先進(jìn)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模為727．4億美元，2015-2018年復(fù)合增長(zhǎng)率為8．7%，并預(yù)測(cè)至2025年全球先進(jìn)陶瓷市場(chǎng)將達(dá)1339億美元，2019-2025年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到9%，算是一個(gè)穩(wěn)定增長(zhǎng)的行業(yè)。從供給端來(lái)看，全球先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)的格局依然由海外主導(dǎo)，北美和日本最強(qiáng)，占比達(dá)到85%。目前國(guó)內(nèi)先進(jìn)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模較小，產(chǎn)品以電子陶瓷為主。但即便是擅長(zhǎng)的電子陶瓷，目前國(guó)產(chǎn)化率也非常低。上游的陶瓷粉末產(chǎn)能主要集中在日本和美國(guó)廠商手中，電子陶瓷粉前三大廠商市占率超過(guò)50%。從下游供應(yīng)商格局來(lái)看，全球電子陶瓷供應(yīng)商同樣集中在歐、美、日廠商手中，全球市占率分別為50%、30%、10%，加起來(lái)也壟斷了90%的市場(chǎng)。先進(jìn)陶瓷材料產(chǎn)業(yè)鏈包括高純超細(xì)原料、先進(jìn)陶瓷制品及以先進(jìn)陶瓷為核心材料的元器件或零部件的制備。它是陶瓷產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的重要方向，這些年，醴陵市將其作為陶瓷產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的新引擎，予以悉心培育扶持。如用于制造芯片的陶瓷絕緣材料、陶瓷基板材料、陶瓷封裝材料以及用于制造電子器件的電容器陶瓷、壓電陶瓷、鐵氧體磁性材料等。電子技術(shù)、大規(guī)模集成技術(shù)電路高性能低溫?zé)Y(jié)陶瓷電容器，離不開(kāi)壓電、鐵電和磁性陶瓷;電子計(jì)算機(jī)的記憶系統(tǒng)需要具有方形磁滯回線的鐵磁體陶瓷;高速硬盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)需要陶瓷軸承;我國(guó)非常重視先進(jìn)陶瓷材料的研發(fā)，在重大計(jì)劃中專(zhuān)門(mén)設(shè)立研究項(xiàng)目，973、863計(jì)劃中均有針對(duì)先進(jìn)陶瓷材料的立項(xiàng)。在全球數(shù)百億美元的先進(jìn)陶瓷年銷(xiāo)售額中，中國(guó)銷(xiāo)售額僅占1%～2%。先進(jìn)陶瓷材料是新材料的一個(gè)重要組成部分，廣泛應(yīng)用于通訊、電子、航空、航天等高技術(shù)領(lǐng)域，在信息與通訊技術(shù)方面有著重要的應(yīng)用。大部分功能陶瓷在電子工業(yè)中應(yīng)用十分廣泛，通常也稱為電子陶瓷材料。國(guó)內(nèi)先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)主要集中在山東、江西、廣東、江蘇、浙江、河北、福建等幾個(gè)省份。其中，華東地區(qū)較大的先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)基地有山東淄博、江蘇宜興，華中地區(qū)較大的先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)基地有江西萍鄉(xiāng)，華南地區(qū)較大的先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)基地有廣東佛山。先進(jìn)陶瓷材料已逐步成為新材料的重要組成部分，成為許多高技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展的重要關(guān)鍵材料，備受各工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家的關(guān)注，其發(fā)展在很大程度上也影響著其他工業(yè)的發(fā)展和進(jìn)步。隨著各種先進(jìn)陶瓷功能的不斷拓展和需求的不斷增加，通信、電子、航空、航天等高技術(shù)領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)，對(duì)先進(jìn)陶瓷的需求更加迫切。2021年，全球先進(jìn)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模約3819億元，同比增長(zhǎng)17．26%。先進(jìn)陶瓷的創(chuàng)新發(fā)展，給景德鎮(zhèn)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的活力，打造先進(jìn)陶瓷與傳統(tǒng)陶瓷雙雙發(fā)力的發(fā)展格局，是該市陶瓷產(chǎn)業(yè)大發(fā)展的必由之路。景德鎮(zhèn)各類(lèi)陶瓷企業(yè)、作坊、工作室等，75%為藝術(shù)陶瓷企業(yè)，15%左右為日用陶瓷企業(yè)，傳統(tǒng)陶瓷產(chǎn)業(yè)占比90%。景德鎮(zhèn)陶瓷產(chǎn)業(yè)去年產(chǎn)值達(dá)516億元，市場(chǎng)主體數(shù)量占比75%的藝術(shù)陶瓷企業(yè)，產(chǎn)值占比僅有36%，小微企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位。在火箭和導(dǎo)彈的發(fā)射中，鼻錐和透波陶瓷天線罩是關(guān)鍵部件，它要承受高溫氣流的摩擦和沖刷，要求材料具有高的高溫強(qiáng)度和好的抗氧化性能，只有陶瓷材料才能滿足這些要求;作為新能源的磁流體發(fā)電機(jī)，需要采用陶瓷做電極材料;高溫燃料電池、高能量蓄電池，需要采用陶瓷塊離子導(dǎo)體做隔膜材料等等。作為中國(guó)陶瓷之都，醴陵現(xiàn)有規(guī)模以上陶瓷企業(yè)192家，陶瓷產(chǎn)品涵蓋工業(yè)陶瓷、日用陶瓷、藝術(shù)陶瓷三大類(lèi)4000多個(gè)品種，陶瓷產(chǎn)業(yè)集群產(chǎn)值約740億元。通過(guò)多年培育，醴陵目前有先進(jìn)陶瓷材料企業(yè)110余家，其中規(guī)模以上企業(yè)88家，年產(chǎn)值近100億元，初步形成了以超高壓、特高壓電瓷為主，高溫耐磨陶瓷、新型環(huán)保陶瓷、電子陶瓷、生物醫(yī)用陶瓷為輔的產(chǎn)業(yè)集群。功能陶瓷在先進(jìn)陶瓷中約占70%的市場(chǎng)份額，其余為結(jié)構(gòu)陶瓷。由于先進(jìn)陶瓷各種功能的不斷發(fā)現(xiàn)，在微電子工業(yè)、通訊產(chǎn)業(yè)、自動(dòng)化控制和未來(lái)智能化技術(shù)等方面作為支撐材料的地位將日益明顯，其市場(chǎng)容量將不斷提升。先進(jìn)陶瓷在原料、工藝方面有別于傳統(tǒng)陶瓷，通常采用高純、超細(xì)原料，通過(guò)組成和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)并采用精確的化學(xué)計(jì)量和新型制備技術(shù)制成性能優(yōu)異的陶瓷材料。先進(jìn)陶瓷具有特定的精細(xì)結(jié)構(gòu)和其高強(qiáng)、高硬、耐磨、耐腐蝕、耐高溫、導(dǎo)電、絕緣、磁性、透光、半導(dǎo)體以及壓電、鐵電、聲光、超導(dǎo)、生物相容等一系列優(yōu)良性能，被廣泛應(yīng)用于國(guó)防、化工、冶金、電子、機(jī)械、航空、航天、生物醫(yī)學(xué)等國(guó)民經(jīng)濟(jì)的各個(gè)領(lǐng)域。隨著先進(jìn)陶瓷成為許多高技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展的關(guān)鍵材料，行業(yè)快速增長(zhǎng)。據(jù)數(shù)據(jù)，2020年我國(guó)先進(jìn)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模為837億元，較上年同比增長(zhǎng)22．2%；2021年我國(guó)先進(jìn)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模為890億元，較上年同比增長(zhǎng)6．3%。從細(xì)分市場(chǎng)看，先進(jìn)陶瓷按照材料可分為氧化物陶瓷、氮化物陶瓷和碳化物陶瓷。其中氧化物陶瓷研究和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用較早，目前應(yīng)用領(lǐng)域最為廣泛，占比達(dá)46%。氮化物陶瓷和碳化物陶瓷分別占比20%、28%。先進(jìn)陶瓷按用途劃分為結(jié)構(gòu)陶瓷和功能陶瓷。功能陶瓷是指主要應(yīng)用的是其非力學(xué)性能的先進(jìn)陶瓷材料及產(chǎn)品，這一類(lèi)材料都具有一種或多種功能，如電學(xué)、磁學(xué)、光學(xué)、化學(xué)以及生物等，有的有耦合功能，如壓電、壓磁、熱電、電光、聲光、磁光等。功能陶瓷種類(lèi)繁多，用途各異，在先進(jìn)陶瓷中占據(jù)較大比重（79%）。結(jié)構(gòu)陶瓷是指在應(yīng)用的主要利用其力學(xué)機(jī)械、熱及部分化學(xué)功能的先進(jìn)高科技陶瓷產(chǎn)品，主要在高溫下使用，也稱高溫結(jié)構(gòu)陶瓷。這類(lèi)陶瓷具有在高溫下強(qiáng)度高、硬度大、抗氧化、耐腐蝕、耐磨損、耐燒蝕等優(yōu)點(diǎn)，是空間技術(shù)、原子能、業(yè)及化工設(shè)備等領(lǐng)域中的重要材料，在先進(jìn)陶瓷中占比21%。先進(jìn)陶瓷和表面處理的新技術(shù)發(fā)展情況及發(fā)展趨勢(shì)（一）先進(jìn)陶瓷行業(yè)發(fā)展情況隨著半導(dǎo)體制程工藝向7nm及更高的水平發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)效率和精度不斷提高，對(duì)先進(jìn)陶瓷材料零部件的理化性能指標(biāo)要求也不斷提高，例如，針對(duì)氧化鋁陶瓷零部件的耐腐蝕特性、低介電損耗特性、電阻率可控性等指標(biāo)均提出了更高的要求，針對(duì)氮化鋁陶瓷的高電阻率性能亦有更高的標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)快速迭代升級(jí)的行業(yè)特性要求先進(jìn)陶瓷企業(yè)針對(duì)不同細(xì)分領(lǐng)域的應(yīng)用不斷改進(jìn)材料配方和加工工藝，進(jìn)行材料的持續(xù)開(kāi)發(fā)換代。隨著顯示面板世代線提高，面板尺寸增大，制造設(shè)備需要尺寸更大、精度更高的先進(jìn)陶瓷材料零部件，對(duì)先進(jìn)陶瓷的綜合性能指標(biāo)要求更加嚴(yán)苛，對(duì)其一整套制造和加工工藝也提出了更高的要求。粉體粉碎和分級(jí)的推廣普及和研磨物料種類(lèi)的不斷豐富使得下游對(duì)氧化鋯陶瓷材料零部件在現(xiàn)有常溫環(huán)境下機(jī)械性能的要求不斷提高。同時(shí)，為滿足中低溫使用環(huán)境，行業(yè)內(nèi)客戶對(duì)氧化鋯零部件材料的耐磨性、抗老化性也提出了更高的要求。當(dāng)前，面對(duì)日益多元化的客戶需求，一些此前被廣泛使用的材料已經(jīng)接近或達(dá)到理化性能極限，單純依靠既有材料體系的迭代升級(jí)已無(wú)法滿足使用需求，替代材料的開(kāi)發(fā)成為行業(yè)發(fā)展的新趨勢(shì)。例如，在中低溫環(huán)境下，氮化硅有望在部分市場(chǎng)替代氧化鋯作為高耐磨材料；半導(dǎo)體設(shè)備高腐蝕性場(chǎng)景下，腐蝕性氣體噴嘴等部件早期行業(yè)使用氧化鋁基材，并通過(guò)在其表面熔射耐腐蝕性明顯優(yōu)于氧化鋁的氧化釔達(dá)到性能要求，但對(duì)于該等部件細(xì)小的孔洞，熔射的方式已無(wú)法覆蓋孔洞內(nèi)部表面，改用燒結(jié)氧化釔塊材的方式成為噴嘴部件新的替代方案。在替代材料的開(kāi)發(fā)趨勢(shì)下，要求先進(jìn)陶瓷企業(yè)掌握多材料體系及配套技術(shù)開(kāi)發(fā)能力，以不斷適應(yīng)行業(yè)技術(shù)發(fā)展的需要。隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域先進(jìn)陶瓷材料零部件進(jìn)程的推進(jìn)，陶瓷加熱器、靜電卡盤(pán)等功能-結(jié)構(gòu)一體化產(chǎn)品相關(guān)技術(shù)正引起國(guó)內(nèi)企業(yè)重視和投入。該等先進(jìn)陶瓷材料零部件設(shè)計(jì)精密度及特定功能要求，相較一般先進(jìn)陶瓷材料零部件工藝更加復(fù)雜，需攻克熱壓、流延、共燒結(jié)、凸點(diǎn)加工、高溫焊接、陶瓷/金屬精密連接和CVD包覆等多種加工工藝。目前，我國(guó)少數(shù)本土企業(yè)通過(guò)自主研發(fā)、合作研發(fā)等多種方式，正加速突破該等產(chǎn)品相關(guān)技術(shù)。（二）表面處理行業(yè)發(fā)展情況半導(dǎo)體行業(yè)制程工藝持續(xù)提高，對(duì)表面處理服務(wù)的技術(shù)水平要求日益提升。顯示面板領(lǐng)域，高世代線的建設(shè)使得設(shè)備部件尺寸增加，表面處理的操作難度相應(yīng)增加；LTPSTFT-LCD、OLED等新工藝的推廣，對(duì)清洗潔凈度、涂層性能指標(biāo)要求越來(lái)越高，表面處理相應(yīng)的配方和工藝要求也隨之提升。日益激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)也要求企業(yè)持續(xù)改善表面處理服務(wù)品質(zhì)，不斷提高營(yíng)運(yùn)效率，縮短交付時(shí)間。表面處理此前主要服務(wù)于半導(dǎo)體和顯示面板設(shè)備零部件清洗和再生改造，但隨著國(guó)內(nèi)企業(yè)對(duì)高附加值先進(jìn)陶瓷材料零部件研發(fā)探索的深入，表面處理作為先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)流程重要部分，其重要性也日益凸顯。未來(lái)隨著陶瓷加熱器、靜電卡盤(pán)等高精尖產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化，也將繼續(xù)推動(dòng)國(guó)內(nèi)企業(yè)在包括接觸凸點(diǎn)加工精密?chē)娚?、精密研磨拋光等工藝的技術(shù)水平快速升級(jí)。隨著半導(dǎo)體和顯示面板行業(yè)的技術(shù)發(fā)展，設(shè)備部件功能日益豐富，對(duì)表面處理服務(wù)類(lèi)型需求也趨于多元化。在現(xiàn)有精密清洗、陽(yáng)極氧化和熔射等處理方式的基礎(chǔ)上，出現(xiàn)了多種新工藝，包括新舊部件的優(yōu)化改造及工藝升級(jí)、TWAS熔射、特種形貌噴砂等。同時(shí)，對(duì)現(xiàn)有表面處理工藝的要求亦有升級(jí)，例如在部件噴砂服務(wù)基礎(chǔ)上，進(jìn)一步延伸出現(xiàn)了精密?chē)娚靶枨蟆Ｌ峁┍砻嫣幚矸?wù)的企業(yè)在立足半導(dǎo)體及顯示面板行業(yè)的同時(shí)，正在大力投入相關(guān)資源以升級(jí)現(xiàn)有的表面處理技術(shù)，向民用航空、新能源和工業(yè)耐磨件等應(yīng)用場(chǎng)景擴(kuò)