TFT-LCD的基本原理及其制造工藝

TFT-LCD的基本原理及其制造工藝摘要液晶顯示器是通過(guò)液晶盒使光發(fā)生變化而產(chǎn)生顯示作用的非主動(dòng)發(fā)光型顯示器。它是利用液晶特定的分子排布，在施加電壓時(shí)，局部分子的排列狀態(tài)發(fā)生不同于其它分子排列的變化，由此產(chǎn)生了液晶盒的各項(xiàng)光學(xué)性質(zhì)的變化，再通過(guò)偏振片等變換為視覺(jué)可感知的變化。TFT-LCD是目前使用最為廣泛的液晶顯示器，本文主要介紹了TFT-LCD的基本原理和制造工藝。關(guān)鍵詞：TFT；液晶；背光源；偏振片目錄TOC\o"1-5"\h\z\o"CurrentDocument"摘要I、八V\o"CurrentDocument"刖言1\o"CurrentDocument"第1章TFT-LCD的構(gòu)造與原理3\o"CurrentDocument"1.1液晶材料及其性能特點(diǎn)3\o"CurrentDocument"1.2Panel板的結(jié)構(gòu)及其工作原理4\o"CurrentDocument"1.2.1扭曲向列（TN）液晶顯示器4\o"CurrentDocument"1.2.2薄膜晶體管（TFT）液晶顯示器6\o"CurrentDocument"1.3背光源（Backlight）的結(jié)構(gòu)及其原理7\o"CurrentDocument"1.3.1背光源的分類(lèi)及燈管（Lamp）的構(gòu)造7\o"CurrentDocument"1.3.2背光源的構(gòu)造9\o"CurrentDocument"第2章TFT-LCD的制造工序11\o"CurrentDocument"2.1薄膜晶體管（TFT）制造工序11\o"CurrentDocument"2.1.1堅(jiān)膜工序11\o"CurrentDocument"2.1.2清洗工序12\o"CurrentDocument"Photo工序12\o"CurrentDocument"2.1.4刻蝕工序13\o"CurrentDocument"2.1.5脫膜工序13\o"CurrentDocument"2.1.6檢測(cè)工序14\o"CurrentDocument"2.2成盒/制屏的工序14\o"CurrentDocument"2.3模塊的工藝流程16\o"CurrentDocument"2.3.1偏光板貼合172.3.2TAB貼合192.3.3PCB貼合19B/L組裝202.3.5老化測(cè)試202.3.6包裝20\o"CurrentDocument"第3章結(jié)束語(yǔ)21參考文獻(xiàn)22\o"CurrentDocument"致謝23刖言自人類(lèi)社會(huì)進(jìn)入信息時(shí)代以來(lái)，信息顯示技術(shù)在人們社會(huì)活動(dòng)和日常生活中的作用日益劇增。信息處理、接受及發(fā)送等操作均借助于信息系統(tǒng)終端設(shè)備與人之間的界面一一顯示來(lái)完成，因而顯示技術(shù)的發(fā)展越來(lái)越受到人們的重視。近幾年顯示技術(shù)發(fā)展迅速，顯示產(chǎn)業(yè)已成為光電子產(chǎn)業(yè)的龍頭產(chǎn)業(yè)，在信息產(chǎn)業(yè)中僅次于微電子產(chǎn)業(yè)，成為舉足輕重的產(chǎn)業(yè)。在美國(guó)Dis-playSearch公司世界平板顯示（簡(jiǎn)稱(chēng)FPD）市場(chǎng)評(píng)估中。2001年FPD產(chǎn)值為300億美2001年FPD產(chǎn)值為300億美元，到2005年將達(dá)U700億美元。這表明平板顯示的年增長(zhǎng)率為20%以上，CRT年增長(zhǎng)率為7%，到2004年平板顯示產(chǎn)值將超過(guò)CRT產(chǎn)值。液晶顯示占FPD的80%-90%市場(chǎng)，尤其TFT-LCD成為主導(dǎo)技術(shù)。700600II其它1—1PDP二產(chǎn)值/億美元700600II其它1—1PDP二產(chǎn)值/億美元500400300200100OELSTN二TFT2001年FPD300億$LCD占80%?90%2005年FPD700億LCD占70%?90%OEL30億$4.2%20012002200320042005TFT-LCD技術(shù)是微電子技術(shù)和LCD技術(shù)巧妙結(jié)合的高新技術(shù)。人們利用微電子精細(xì)加工技術(shù)和Si材料處理技術(shù)，來(lái)開(kāi)發(fā)大面積玻璃板上生長(zhǎng)Si材料和TFT平面陣列的工藝技術(shù)。再與日益成熟的LCD制作技術(shù)相結(jié)合，以求不斷提高產(chǎn)品品質(zhì)，增強(qiáng)自動(dòng)化大規(guī)模生產(chǎn)能力，提高合格率，降低成本，使其性能/價(jià)格比向CRT逼近。日本西村和北原兩位液晶專(zhuān)家歸納了TFT-LCD十幾年來(lái)在玻璃基板尺寸、屏尺寸、分辨率及灰度級(jí)等方面的發(fā)展速度，得出結(jié)果是TFT-LCD增長(zhǎng)速度為3年增長(zhǎng)4倍，稱(chēng)為西村-北原規(guī)則。西村-北原規(guī)則和微電子領(lǐng)域摩爾規(guī)則一樣，都是預(yù)測(cè)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度的。這些預(yù)測(cè)表明TFT-LCD發(fā)展速度與集成電路發(fā)展速度相同。近幾年TFT-LCD、PDP以及LED都將有很大的發(fā)展。第1章TFT-LCD的構(gòu)造與原理成品TFT-LCD主要部件是LCM,LCM是由panel板和背光源（backlight）組成。Panel板是整個(gè)液晶顯示器的核心部分，它的制造工藝也是最復(fù)雜的。人們通常所說(shuō)的亮點(diǎn)也就是在panel板的制造過(guò)程中發(fā)生的。背光源的好壞能直接影響顯示效果，它通常也是影響液晶顯示器的壽命的關(guān)鍵所在。1.1液晶材料及其性能特點(diǎn)液晶是物質(zhì)存在的一種特殊形態(tài)，它既不同于具有固定形狀而在光學(xué)性質(zhì)上具有各向異性的固態(tài)晶體（具有雙折射等光學(xué)性能）又不同于沒(méi)有固定形狀在光學(xué)性質(zhì)上具有各向同性的液體，而是一種在光學(xué)性質(zhì)上具有各向異性（具有雙折射等光學(xué)特性）的粘稠液體。固體液晶液體圖1-1固體、液體、液晶的分子排布固體液晶液體人們認(rèn)識(shí)到存在液晶這類(lèi)特殊性能的物質(zhì)已經(jīng)有一百多年了，人們?cè)谘芯恐邪l(fā)現(xiàn)一些固態(tài)晶體在加熱到一定溫度后能轉(zhuǎn)變成液晶，并把這類(lèi)液晶稱(chēng)為致熱性液晶，在顯示技術(shù)和光電技術(shù)中應(yīng)用的就是這類(lèi)液晶。人們?cè)谘芯恐羞€發(fā)現(xiàn)在動(dòng)植物體中某些固態(tài)物質(zhì)溶解后具有液晶的特性，這些物質(zhì)往往在生物體的新陳代謝或生命過(guò)程中起到重要作用，并把這類(lèi)液晶稱(chēng)為溶質(zhì)性液晶。從分子結(jié)構(gòu)上可把液晶分為向列型、層列型和膽甾型三大類(lèi)。在層列液晶中，棒狀分子排列成層狀結(jié)構(gòu)，構(gòu)成分子相互平行排列，與層面近似垂直。這種分子層間的結(jié)合較弱，層與層間易于相互滑動(dòng)，因此，層列液晶顯示出二維液體的性質(zhì)。但與通常的液體相比，其粘度要高得多。在向列液晶中，棒狀分子都以相同的方式平行排列，每個(gè)分子在長(zhǎng)軸方向可以比較自由的移動(dòng)，不存在層狀結(jié)構(gòu)，因此，富于流動(dòng)性，粘度較小。膽甾相液晶與層列液晶同樣形成層狀結(jié)構(gòu)，分子長(zhǎng)軸在層面內(nèi)與向列液晶相似呈平行排列。但是相鄰層面間分子長(zhǎng)軸的取向方位多少有些差別，整個(gè)液晶形成螺旋結(jié)構(gòu)。膽甾相液晶的各種光學(xué)性質(zhì)，例如旋光性、選擇性光散射、圓偏光二色性等都是基于這種螺旋結(jié)構(gòu)。雖然人們?cè)缫寻l(fā)現(xiàn)液晶這種物體的存在，但在發(fā)現(xiàn)它之后的很長(zhǎng)一段時(shí)間里對(duì)它的研究仍停留在實(shí)驗(yàn)室階段。，而且未找到實(shí)際應(yīng)用。但從二十世紀(jì)三十年代開(kāi)始經(jīng)過(guò)科學(xué)家們堅(jiān)持不斷的探索，對(duì)液晶材料的研制、有關(guān)理論的研究以及應(yīng)用都取得了許多重要的成果。平面顯示上的應(yīng)用就是其中重要的成果之一。平面顯示上應(yīng)用的液晶材料需要具有較高的雙折射率、有較高的介電各向異性、較低的液態(tài)黏度等性能。從目前投入實(shí)用的液晶材料的化學(xué)結(jié)構(gòu)看，主要有膽甾醇酯類(lèi)、聯(lián)苯芳烴類(lèi)、二苯乙炔類(lèi)、多炔類(lèi)等。1.2Panel板的結(jié)構(gòu)及其工作原理1.2.1扭曲向列（TN）液晶顯示器扭曲向列（TN是英文TwistedNematic的字頭縮寫(xiě)）液晶是帶有90°扭曲的向列液晶。扭曲向列液晶顯示器是在上世紀(jì)七十年代出現(xiàn)的，它除了具備液晶顯示所需的基本特點(diǎn)外，還具有對(duì)比度高、制作技術(shù)簡(jiǎn)單、成本低等特點(diǎn)。目前在便攜式計(jì)算器、鐘表、儀器儀表中大量使用的多是這種類(lèi)型的液晶顯示器。目前國(guó)內(nèi)液晶顯示器廠家生產(chǎn)的也多是這類(lèi)產(chǎn)品。

圖1-2扭曲向列（TN）液晶顯示器的結(jié)扭曲向列（TN）液晶顯示器是由兩塊ITO玻璃板之間夾著扭曲向列（TN）液晶材料形成的，液晶的厚度一般為5pm，其具體厚度與液晶材料的雙折射率有關(guān)，在上下ITO玻璃基板上面涂一層取向?qū)?，利用液晶分子與取向?qū)颖砻娴南嗷プ饔昧?，利用液晶分子與表面摩擦定向方向平行排列并帶有2—3°的傾斜角如圖1-3所示。上下基片摩擦定向方向成90°，使液晶分子扭曲成90°，同時(shí)液晶中摻入少量手性劑材料，起到?jīng)Q定液晶分子扭曲方向的作用。在上下玻璃基片的外側(cè)貼有偏振片，偏振片的光軸與玻璃基片的摩擦方向一致，從而在液晶顯示屏上得到常白的顯示。當(dāng)入射光偏振面隨液晶分子轉(zhuǎn)動(dòng)90°，使偏振光通過(guò)偏振片，即得到亮態(tài)。當(dāng)施加電壓時(shí)正性液晶分子隨電場(chǎng)方向排列，線偏振光偏振面不變，偏振光不能通過(guò)出射光一側(cè)的偏振片得到暗態(tài)，所以液晶顯示器就是一個(gè)電控制的光閥。但由于扭曲向列（TN）液晶顯示器目前在參數(shù)最佳化的條件下，它實(shí)際上最大的掃描行數(shù)只能達(dá)到32,信息容量很小，而且由于它只能做成黑白、單色、低對(duì)比度（20：1）的液晶顯示器，視角只有30°，比較狹窄，面板尺寸最大只有三寸，所以在很大程度上限制了他的應(yīng)用范圍。目前只能用在電子表、計(jì)算器、簡(jiǎn)單的掌上游戲機(jī)上。沒(méi)有傾斜角的話，液晶對(duì)電壓隨機(jī)移動(dòng)的可能性高，因此向一個(gè)方向以任意的角度立起來(lái).

1.傾斜度是比0°高一些的施加電壓LC分子的站立方向是隨機(jī)2.傾斜度是0°的情況施加電壓LC分子向同一方向站立的圖1.傾斜度是比0°高一些的施加電壓LC分子的站立方向是隨機(jī)2.傾斜度是0°的情況施加電壓LC分子向同一方向站立的1.2.2薄膜晶體管（TFT）液晶顯示器薄膜晶體管（TFT）液晶顯示器是在扭曲向列（TN）液晶顯示器中引入薄膜晶體管開(kāi)關(guān)而形成的有源矩陣顯示，從而克服無(wú)源矩陣顯示中交叉干擾、信息量少、寫(xiě)入速度慢等缺點(diǎn)，大大改善了顯示品質(zhì)，使它可應(yīng)用到計(jì)算機(jī)高分辨率全色顯示等領(lǐng)域。目前采用的薄膜晶體管（TFT）是建立在非晶硅薄膜晶體管（a-SiTFTAM-LCD）結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上的。Polarizer保護(hù)膜ColorFilterBondingPADTFT-ArrayTFTlorFilter(bluepixel)Polarizer圖1-4TFT-LCDPanel板的結(jié)構(gòu)保護(hù)膜ColorFilterBondingPADTFT-ArrayTFTlorFilter(bluepixel)Polarizer在下層玻璃基板上建有TFT陣列，每個(gè)像素的ITO電極與TFT漏電極聯(lián)結(jié)，柵極與掃描總線連結(jié)，原源電源與信號(hào)總線連結(jié)。施加掃描信號(hào)電壓時(shí)，原源電極導(dǎo)通使信號(hào)電壓施加到存儲(chǔ)電容器上并充電，在幀頻內(nèi)存儲(chǔ)電容器的信號(hào)電壓施加到液晶像素上，使之處于選通態(tài)。再一次尋址時(shí)，由信號(hào)電壓大小來(lái)充電或放電。這樣各像素之間被薄膜晶體管開(kāi)關(guān)元件隔離，既防止了交叉干擾又保證了液晶響應(yīng)速度滿(mǎn)足于幀頻速度，同時(shí)以存儲(chǔ)信息大小來(lái)得到灰度級(jí)，目前灰度已可達(dá)到256級(jí)，可得到1670萬(wàn)種顏色，幾乎可獲得全色顯示。從上世紀(jì)）0年代形成產(chǎn)業(yè)以來(lái)，薄膜晶體管（TFT）液晶顯示器的生產(chǎn)線已由第一代發(fā)展到了第六代，沒(méi)換代一次基板玻璃的面積都大幅增加，而且產(chǎn)量不斷提高、成本不斷降低。如第七代薄膜晶體管（TFT）液晶顯示器生產(chǎn)線的玻璃基板尺寸將達(dá)到1870*2200mm，目前可制成的液晶電視屏94cm（37inch）,筆記本電腦屏幕的最大尺寸為38.1cm（15inch）,監(jiān)視器屏幕最大尺寸達(dá)63.5cm（25inch）。薄膜晶體管（TFT）液晶顯示器的另一種發(fā)展趨勢(shì)是薄型化、輕量化、低功耗化。基于新型材料的開(kāi)發(fā)、制造工藝技術(shù)的革新、設(shè)備精度和自動(dòng)化程度的提高及軟件技術(shù)的進(jìn)步，使得薄膜晶體管（TFT）液晶顯示器產(chǎn)品的更新?lián)Q代的速度非常快。GATE（閘門(mén)）Pixel（像素）SOURCE（信息）（玻璃）絕緣膜（Insulator）圖1-5TFT斷面圖1.3背光源（Backlight）的結(jié)構(gòu)及其原理1.3.1背光源的分類(lèi)及燈管（Lamp）的構(gòu)造GATE（閘門(mén)）Pixel（像素）SOURCE（信息）（玻璃）絕緣膜（Insulator）圖1-5TFT斷面圖Backlight（以下稱(chēng)為B/L）按Lamp（燈管）的排列方式分DirectLightType和Side

LightType.SideLightType需要起將自側(cè)面的Lamp上出射的光向B/L正面出光作用的導(dǎo)光板，但DirectLightType是自Lamp出射的光直接向B/L正面出光，因此不需要導(dǎo)光板。LampLampDirectLightTypeSideLightType圖1-6DirectLightType和SideLightType區(qū)分DirectLightTypeSideLightType重量輕重輝度高輝度比較低消耗電力大（10CCFL以上）小（6CCFL以上）畫(huà)面尺寸中、大畫(huà)面（MNT,TV）中、小畫(huà)面（全模型可使用）厚度厚薄導(dǎo)光板有無(wú)無(wú)（擴(kuò)散板使用）有價(jià)格高檔低檔表1-1DirectLightType和SideLightType的特性比較TFT-LCDB/L光源使用的燈管是陰極熒光燈（CathodeFluorescentLamp）,自外部供應(yīng)一定的電壓，在陰極上放出電子，掃描熒光體而作出可視光線的光源。CFL的構(gòu)造大體由玻璃板、電極、密封氣體（Hg,Ar,Ne）、熒光體構(gòu)成。CFL是將自密封的水銀發(fā)生的紫外線掃描在玻璃管內(nèi)壁涂的熒光體而發(fā)生可視光。為使少量的水銀易啟動(dòng)，并為抑制陰極物質(zhì)的蒸發(fā)，在玻璃管內(nèi)密封氯CFL的種類(lèi)按放出電子的機(jī)構(gòu)有CCFL（ColdCathodeFluorescentLamp）和HCFL（HotCathodeFluorescentLamp）兩種。圖1-7CCFL的構(gòu)造1.3.2背光源的構(gòu)造(t)Lamp是自Inverter(反向交流器)接收高電壓而發(fā)生可視光線的光源。主要使用CCFL(ColdCathodeFluorescentLamp).還有HCFL(HotCathodeFluorescentLamp)。②Lamphousing反射自Lamp出光的光源，入射到導(dǎo)光板上。使用黃銅、鋁以及黃銅上附合人&等材料的薄膜反射。LightguidePanel(導(dǎo)光板)主要使用丙烯(PMMA)以InjectionMolding或Casting的方法而制作的，導(dǎo)光入射的光源，并且具有均勻分布光源的作用。&Reflector主要是聚醚(PET)器材上為減少導(dǎo)光板入射的光源損失，具有反射功能。&DiffuserDown(擴(kuò)散Sheet)主要是聚醚(PET)器材上以丙烯類(lèi)樹(shù)脂形成球形的形狀，均勻擴(kuò)散自導(dǎo)光板出光的光源，同時(shí)起集光的作用。&BottomPrism主要是聚醚(PET)器材上以丙烯類(lèi)樹(shù)脂起規(guī)則地形成棱柱形狀而集光的作用.輝度增加率為user表面的1.55倍。&TopPrism具有與BottomPrism同樣的功能，以BottomPrism表面的1.33倍增加輝度.Prism以相互十字交叉布置，收集X軸和Y軸方向的光源。?DiffuserUp(ProtectorFilm)具有與DiffuserDown同樣的構(gòu)造，以保護(hù)Prism的作用為主要目的，亦稱(chēng)為保護(hù)膜。要使用透過(guò)性的Diffuser，由此，多少帶來(lái)TopPrism集光的光源損失，但為減少Prism特性的不良而使用。圖1-8背光源(Backlight)的構(gòu)造

第2章TFT-LCD的制造工序2.1薄膜晶體管（TFT）制造工序TFT的制造工序分堅(jiān)膜、清洗、Photo、刻蝕、脫膜、檢測(cè)六大工序。如圖所圖2-1TFT制造工序圖2.1.1堅(jiān)膜工序堅(jiān)膜工序是指將Gate電極、Data（Source/Drain）電極、像素電極、絕緣膜、保護(hù)膜以及半導(dǎo)體膜，以物理或化學(xué)方法,使其在Glass（玻璃）上形成膜的工序。Gate電極、Data（Source/Drain）電極、像素電極是金屬物質(zhì)（鋁、鉻、ITO、鉬），利用Sputtering（濺射）物理方法，再Target住要是金屬）和Glass之間的Plasma（離子區(qū)），將Target物質(zhì)貼在Glass上。Plasma（離子區(qū)）是兩個(gè)電極之間注入的不活性Gas上施加高電壓，從而離子化生成。離子化的不活性Gas在Target上沖擊，然后脫掉的Target物質(zhì)移到Glass而形成膜

圖2-2絕緣膜、保護(hù)膜、半導(dǎo)體膜是利用化學(xué)方式的PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)工序，即利用兩個(gè)電極之間注入Gas之后施加高頻率電源而生成的Plasma(等離子)，在Glass上生成膜的方式2.1.2清洗工序清洗工序是指將初期投入或工序中Glass或膜表面的污染、Particle事先除去，以免發(fā)生不良的工序。對(duì)確保膜與膜之間的黏著性有所幫助。主要Unit有UV清洗Unit、Brush清洗Unit、MegaSonicUnit、CJ(CavitationJet)Unit。2.1.3Photo工序Photo工序是指用膜上形成要制作形態(tài)的Mask通過(guò)光，其形態(tài)從Mask移到感光劑(PR)的作業(yè)，包括感光劑涂屏(PRCoating)、曝光及顯像等的工序。PRCoating曝光顯像圖2-3Photo工序2.1.4刻蝕工序刻蝕工序是指對(duì)去除感光劑(PR)部分的膜，利用物理、化學(xué)方法有選擇地去除的工序?？涛g方式有如下的兩個(gè)方式：l.WetEtching是利用化學(xué)溶液刻蝕金屬物質(zhì)(鋁，鉻，ITO,鉬)的方式；2.DryEtching利用GasPlasma刻蝕SiNx，a-Si的方式。DryEtchingWetEtching圖2-4刻蝕工序DryEtching2.1.5脫膜工序脫膜工序是指刻蝕工序后，去除為形成Pattern而留下的感光劑(PR)的工序。

脫膜工序的必須條件是完全除去PR,下部膜不應(yīng)有損傷，還要維持為進(jìn)行下一工序的均勻的表面狀態(tài)。2.1.6檢測(cè)工序檢測(cè)工序是指調(diào)查/評(píng)價(jià)工序、半成品，產(chǎn)品的質(zhì)量判定良、不良的工序。2.2成盒/制屏的工序TFT-LCD的面板(屏)的組裝過(guò)程，是首先將洗凈后的彩膜基板與TFT的陣列基板涂布上配向膜涂液，并摩擦定向。然后在TFT的陣列基板四周涂上封框膠，并散布5?10Um大小的間隔物于其上作支撐點(diǎn)，再將陣列基板與彩膜基板組合，以封框膠封合形成空的盒(Cell)。再以?xún)煞N方式注入液晶，一種方式是先將此空的cell基板裁切斷、裂片、取最終顯示器產(chǎn)品所需尺寸大小，經(jīng)檢查后，以真空方式注入液晶材料并加以封合；另一種方法是先注入液晶，再進(jìn)行裁切斷片后再封合。這兩種方式所需的制作時(shí)間不同，會(huì)影響總合格率也會(huì)造成生產(chǎn)能力的不同。filte1.初期清3.滑動(dòng)2.調(diào)準(zhǔn)層印刷TFT-array16.檢測(cè)7.貼合9.激光Marking10.刻蝕外觀檢測(cè)filte1.初期清3.滑動(dòng)2.調(diào)準(zhǔn)層印刷TFT-array16.檢測(cè)7.貼合9.激光Marking10.刻蝕外觀檢測(cè)研磨Color13.清洗4.封口印刷5.Spacer散布12.液晶注入8.GAP形成圖2-5Cell的制造工序陣列玻璃彩色率光片C/F圖2-6Cell的制造工序2.3模塊的工藝流程最后將TFT-LCD的panel面板與驅(qū)動(dòng)電路（DriveIC）、印刷電路板連接，并裝上背光源以及固定框架就完成了液晶顯示模塊（LCM）。其工序一共有偏光板貼合、TAB貼合、PCB貼合、B/L組裝、老化測(cè)試、包裝如圖（）所示。另外每塊LCM在老化的前后都要進(jìn)行一次檢查。SUPPORTMAIN圖2-7SUPPORTMAIN圖2-7模塊工序的部件偏光板貼合「脫泡［fB/L組裝「Aging-圖2-8模塊制造工序詳解2.3.1偏光板貼合偏光板貼合「脫泡［fB/L組裝「Aging-主要分為清洗和偏光板的貼合兩大工序。清洗包括刀洗、刷洗、沖洗、干燥：刀洗是用旋轉(zhuǎn)刀片去除玻璃碎屑；刷洗是用毛刷去除灰塵和指紋；沖洗是用純水去除殘留的雜質(zhì)；干燥以高、低溫的熱風(fēng)去掉微細(xì)水氣。

表面清洗D.IWater清洗-Brush清洗（去掉灰塵、指紋）圖2-9表面清洗D.IWater清洗-Brush清洗（去掉灰塵、指紋）偏光板貼合是指利用Panel板和偏光板上的信息將上下偏光板分別貼附Panel板的上板和下板。貼合上/下板貼合上/下板圖2-102.3.2TAB貼合TAB貼合是指利用ACF(AnisotropicConductiveFilm)將TAB(TapeAutomatedBonding)和Panel板連接。其工序包括ACF附著、TAB定位和本壓榨：ACF附著是指將ACF貼附在Panel板上；TAB定位是利用Panel板上的定位信息將TAB預(yù)壓在Panel板上；本壓榨是在高溫高壓下將TAB完全壓在Panel板上并且使得連接部位的ACF導(dǎo)通。ColorFilterTABACFTransistor圖taBi貼合簡(jiǎn)化圖2.3.3PCB貼合ColorFilterTABACFTransistorPCB貼合與TAB貼合一樣都是利用ACF來(lái)連接，不同的是這里連接的是TAB與PCB，所以由于材質(zhì)的不同所使用的ACF也不同，同樣工程條件也不同。具體工序分為樹(shù)脂涂屏，ACF貼合和PCB正式壓榨：樹(shù)脂涂屏是為了防止水分和其它異物進(jìn)入Panel板內(nèi)；ACB貼合是將ACF貼附在PCB面板上；PCB正式壓榨是將PCB與TAB在高溫高壓下壓榨，并且使得連接部位的ACF導(dǎo)通。

低溫/加壓樹(shù)脂?樹(shù)脂涂屏高溫/加壓ACFPCB?低溫/加壓樹(shù)脂?樹(shù)脂涂屏高溫/加壓ACFPCB?PCB上貼合ACFPCB正式壓榨圖2-12B/L組裝B/L組裝是把Casetop、連接好TAB和PCB的Panel、BackLight以及SupportMain用手工的方式連接起來(lái)的工序。2.3.5老化測(cè)試?yán)匣瘻y(cè)試是把組裝好的液晶模塊放置在50°C的老化房?jī)?nèi)檢測(cè)模塊的連接狀況，根據(jù)客戶(hù)要求其老化時(shí)間各有長(zhǎng)短。2.3.6包裝同樣是利用手工的方式將測(cè)試合格的液晶模塊包裝出廠。第3章結(jié)束語(yǔ)TFT-LCD是科技含量、經(jīng)濟(jì)效益及社會(huì)效益都很高的技術(shù)，是現(xiàn)代通信和計(jì)算機(jī)等信息產(chǎn)業(yè)最重要的基礎(chǔ)之一。電子計(jì)算機(jī)的普及應(yīng)用，對(duì)21世紀(jì)信息化社會(huì)將產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，而TFT-LCD是電子計(jì)算機(jī)重要的人機(jī)接口。近幾年來(lái)，LCD的性能提高很快，已優(yōu)于CRT，今后的發(fā)展前景及市場(chǎng)潛力很大，已成為近年來(lái)東南亞地區(qū)投資熱點(diǎn)之一。大力發(fā)展彩色TFT-LCD產(chǎn)業(yè)不僅可縮短與經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)國(guó)家在信息產(chǎn)業(yè)上的技術(shù)差距，同時(shí)還可帶動(dòng)一大批相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。目前困擾我國(guó)TFT-LCD產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要因素是人才與資金的不足。故要想方設(shè)法使科研生產(chǎn)趨于合理，必須調(diào)整資產(chǎn)結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)投入力度，進(jìn)行企業(yè)重組，形成集團(tuán)優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，使科研成果能迅速地轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力，無(wú)疑將會(huì)加快我國(guó)TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的發(fā)展參考文獻(xiàn)[1]田民波.電子顯示.清華大學(xué)出版社，2001,56-64.⑵黃錫珉.TFT-LCD技術(shù)的進(jìn)步.液晶與顯示,1999,14