spc系統(tǒng)訓(xùn)練教材new

SPC執(zhí)行辦法訓(xùn)練教材1第一頁，共二十九頁。

經(jīng)由制程管制系統(tǒng)的執(zhí)行，可隨時監(jiān)控制程是否穩(wěn)定，并經(jīng)由統(tǒng)計手法的活用，降低制程中的變異，提升制程能力目的2CCQ90第二頁，共二十九頁。

相關(guān)定義1.SPC﹕為StatisticProcessControl之縮寫，統(tǒng)計制程管制2.Ca﹕CapabilityofAccuracy，準(zhǔn)確度或正確度，用以衡量制程平均值與規(guī)格中心值偏差的程度，評價等級Ca越小越好。3.Cp﹕CapabilityofPrecision，精密度，用以衡量制程標(biāo)準(zhǔn)差與規(guī)格公差比之程度，即制程符合規(guī)格之能力，評價等級，Cp越大越好。4.Cpk﹕綜合能力指標(biāo)，用以衡量制程之實際積效，評價等級，Cpk越大越好。3CCQ90第三頁，共二十九頁。

相關(guān)定義5.RFC:ResponseFlowChecklist，回應(yīng)流程查檢表用以使不穩(wěn)定的制程回復(fù)成穩(wěn)定狀態(tài)的工具當(dāng)制程管制處于不穩(wěn)定狀態(tài)時，透過一系列的診斷確認(rèn)程序，以判定制程不穩(wěn)定的原因并對每個可能原因，列出解決對策，最後驗證原因已確實解決，制程已回復(fù)至穩(wěn)定狀態(tài)。4CCQ90第四頁，共二十九頁。

相關(guān)定義6.StationMonitor﹕用以監(jiān)控制程狀態(tài)的工具。Stationmonitor之管制特性不受產(chǎn)品種類、規(guī)格的影響完全反映制程的品質(zhì)，制程中Stationmonitor範(fàn)圍主要為制程之Output；如S/M濕種，氧化線weightgain。7.In-linemonitor﹕則為一個製程的Input參數(shù)。如：SPS之濃度、溫度、Cu2+含量…等屬於In-lineMonitor，是目前PCS監(jiān)控範(fàn)圍。5CCQ90第五頁，共二十九頁。

作業(yè)流程圖作業(yè)流程圖見附件流程圖6CCQ90第六頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明1.制程StationMonitor項目的變更1-1新增工程單位依下列原則考慮建立管制項目，經(jīng)核準(zhǔn)後實施(1)工程理論上探討認(rèn)為需要建立管制項目者(2)重要參數(shù)未被列入控制者(3)經(jīng)常發(fā)生品質(zhì)問題之項目(4)客戶特別要求之項目(5)新制程之重要控制參數(shù)新增項目由工程單位提出“StationMonitor新增申請說明表”同時修改“制程StationMonitor項目匯整表“，并提出新管制項目的”管制圖履歷表“。7CCQ90第七頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明1-2刪除各制程管制項目欲刪除，應(yīng)考慮下列幾項(1)是否是因無此產(chǎn)品而刪除相關(guān)之管制項目若確定已無生產(chǎn)此種產(chǎn)品則可刪除相關(guān)之管制項目。(2)此項管制項目是否屬于可靠度Monitor，原則上可靠度Monitor不應(yīng)刪除。(3)此項管制項目若過去三個月有超過管制界限或規(guī)格界限之情形，則不應(yīng)刪除此項管制項目。(4)過去3個月計算Cpk值均應(yīng)大于1.33，此項管制項目可考慮刪除。(5)若該制程或下制程有其它管制項目可達(dá)相同監(jiān)控目的者，可考慮刪除8CCQ90第八頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明1-2刪除(6)原則上，制程Output之管制項目不應(yīng)刪除。決定刪除之管制項目，應(yīng)由現(xiàn)場單位填具”製程管制項目變更申請單”說明刪除項目及理由，並檢附相關(guān)資料，經(jīng)部門主管審核，並由J00PE以工程理論說明並判斷是否可刪除，再經(jīng)工程、品保單位會簽，Q00核準(zhǔn)後刪除該管制項目。J00PE應(yīng)同時更新相關(guān)POR、SOP及"製程StationMonitor項目彙整表或"產(chǎn)品StationMonitor項目彙整表"。

9CCQ90第九頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明1-3加嚴(yán)當(dāng)在管制圖上連續(xù)5點(批)中有2點(批)超出管制界線者，應(yīng)於QIS發(fā)出通知後，加嚴(yán)(頻率增加或抽樣量增加)檢驗；由J00提出"管制項目變更申請單"並以工程理論上判斷是否有加嚴(yán)之需求，若認(rèn)定有加嚴(yán)之需求，則需修改該項之"管制圖履歷表"。10CCQ90第十頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明1-4減量每月月初QIS檢討前30點資料，並發(fā)出彙整之月報表，若沒有超出管制界線的情形，且Cpk>1.33，可由PD發(fā)起進(jìn)行進(jìn)一步之減量分析，並由現(xiàn)場提出"管制項目變更申請單"。各製程管制項目欲減少抽樣量或抽樣頻率時，應(yīng)考慮下列事項過去3個月是否有超出管制界線之情形，若有此情形則不適宜減量。

11CCQ90第十一頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明2.制程加嚴(yán)減量程序?qū)嵤┰瓌t

對制程加嚴(yán)減量之原則如下，在變更同時應(yīng)由相關(guān)單位提出管制項目變更申請單及修改管制圖履歷表。

加嚴(yán)1次/4hr1次/1班1次/1天1次/1週1次/2週

減量當(dāng)管制頻率為每批低于4小時即執(zhí)行一次取樣，則不執(zhí)行加嚴(yán)程序，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有超出規(guī)格界限之情形，應(yīng)依異常處理相關(guān)規(guī)範(fàn)處理，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有超出管制界限之情形，則有現(xiàn)場填據(jù)管制圖異常回復(fù)單12CCQ90第十二頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明

3.管制圖履歷表中抽樣頻率即數(shù)量之決定(1)依重要藥液分析頻率(2)依重要藥液換槽頻率(3)依客戶要求(4)依品質(zhì)重要程度(5)依管理要求(6)依制程能力優(yōu)劣（變異大者抽樣頻率大于變異小者）(7)依相關(guān)單位決議原則上，若該制程由不同機(jī)型之機(jī)臺，則每一機(jī)型都要有一張管制圖，不能以一張管制圖代表全部機(jī)臺。13CCQ90第十三頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明不定期執(zhí)行時機(jī)主要考量當(dāng)物料更換時當(dāng)藥液換槽時停機(jī)後或其他特殊狀況，應(yīng)考量這些變動對製程之衝擊，並以此管制項目之測試確定製程在管制狀態(tài)下。原則上，若該製程有不同機(jī)型之機(jī)臺，則每一機(jī)型至少都要有一張管制圖，不能以一張管制圖來代表全部機(jī)臺。所有類似的NoisyFactor均需經(jīng)4功能(PE、PD、生產(chǎn)單位90、PEE)考量並決定管制範(fàn)圍，並於管制圖履歷表中提出選定理由14CCQ90第十四頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明4.管制圖之制作4-1管制類型管制圖依取樣數(shù)量多寡及資料類型分為計量值和計數(shù)值兩類：計量值：X-R(每組樣本數(shù)≦10個)

X-S(每組樣本數(shù)＞10個)

X-Rm(每組樣本數(shù)＝1個)

15CCQ90第十五頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明4-2制程能力分析X=(X1+X2+X3+…Xn)/nR=(R1+R2+R3…Rn)/n

Cp=（USL-LSL)/6S(雙邊規(guī)格時)Cp=(USL-製程平均值)/3S或(製程平均值-LSL)/3s(單邊規(guī)格時)

Ca=(平均值–規(guī)格中心)/((USL-LSL)/2)(不要取絕對值)

Cpk=Cp*(1-│Ca│)

16CCQ90第十六頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明4-2制程能力分析R=當(dāng)次抽樣之最大值–最小值(若每次抽樣一個時，則取R=|後一個值-前一個值|)

17CCQ90第十七頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明4-3管制圖之畫法

(1)管制圖上下管制界限及中心線計算公式(2)數(shù)值表

18CCQ90第十八頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明(3)管制圖上下管制界限用紅色虛線表示，管制中心線用藍(lán)色實線表示。(4)有點超出界限時需加以圈註。並由現(xiàn)場單位填寫“管制圖異常(OOC)回覆單”，說明處置方式。(5)管制界限之檢討：當(dāng)每張管制圖點繪滿30點時(即30個抽樣值)，應(yīng)重新以此30點計算管制界限，並以此管制界限作為下一張管制圖之管制界限。(6)當(dāng)製程參數(shù)或原物料或操作方法有變更時，其管制界限皆需重新計算(2)

19CCQ90第十九頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明4-4管制圖之判圖只要符管制圖判圖原則1，2，5，6就判定制程處于不穩(wěn)定狀態(tài)

1.有點超出管制界限

2.連續(xù)9點在管制中心線的同一邊5.連續(xù)三點中兩點超過同一邊2個標(biāo)準(zhǔn)偏差以上6.連續(xù)五點中四點超出同一邊一個標(biāo)準(zhǔn)偏差以上

20CCQ90第二十頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明

4-5管制圖異常處理利用管制圖的判圖原則，以判定制程是否處于穩(wěn)定狀態(tài)當(dāng)有任何一個法則符合時，即判定制程處于不穩(wěn)定狀態(tài)，需依下列程序處理﹕(1) 當(dāng)有點超出規(guī)格界限時Test1，生產(chǎn)線必須停線，制程上依RFC之處理程序采取必要措施，使制程回復(fù)正常，產(chǎn)品處置方式依MRB與DRB處理并填寫管制圖異?；貜?fù)單。(2)當(dāng)制程管制特性符合Test2，5，6其中之一時，責(zé)任單位需注意制程狀態(tài)，必要時采取RFC之處理程序處理，時制程管制特性回復(fù)正常。21CCQ90第二十一頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明4-5制程改善未達(dá)到目標(biāo)值時，各權(quán)責(zé)單位需作原因分析并提改善對策，Q90應(yīng)負(fù)責(zé)要求各單位針對制程能力異常部分執(zhí)行檢討即及改善對策之執(zhí)行。當(dāng)管制項目Ca>0.25時，現(xiàn)場單位需作原因分析并提改善對策。當(dāng)管制項目Ca<0.25但Cpk<1.33時，工程單位需作異常原因分析并提出改善對策當(dāng)CPK數(shù)據(jù)Ca<0.25且Cpk>1.33但out掉baseline時，工程單位需作異常原因分析并提出改善對策22CCQ90第二十二頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明（RFC)

7.RFC（ResponeFlowChecklist）各現(xiàn)場單位應(yīng)建立RFC，以供當(dāng)管制項目超出管制界限或規(guī)格界限時作業(yè)人員依循并記錄，RFC處理程序流程要能含蓋超出管制界限及超出規(guī)格界限之異常處理。（有可能此兩者之處理是一樣的）7-1RFC建立步驟步驟1﹕利用手法工具如魚骨圖、WnSn或腦力激蕩方式找出所有可能之原因。23CCQ90第二十三頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明（RFC)

步驟2﹕對所有可能原因建立一個“可能發(fā)生/容易減視”分析表，決定解決的順序。其中在“可能發(fā)生”之得分判定上﹕1分表示原因非?？赡馨l(fā)生，5分表示非常不可能發(fā)生。在“容易檢視”之得分判定上﹕1分表示此原因很容易檢查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3﹕將可能發(fā)生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分?jǐn)?shù)最低排在最前面。步驟4﹕依各順序列出可能原因步驟5﹕針對可能原因提出補(bǔ)救措施(最有效的排在最前面）24CCQ90第二十四頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明（RFC)

步驟2﹕對所有可能原因建立一個“可能發(fā)生/容易減視”分析表，決定解決的順序。其中在“可能發(fā)生”之得分判定上﹕1分表示原因非?？赡馨l(fā)生，5分表示非常不可能發(fā)生。在“容易檢視”之得分判定上﹕1分表示此原因很容易檢查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3﹕將可能發(fā)生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分?jǐn)?shù)最低排在最前面。步驟4﹕依各順序列出可能原因步驟5﹕針對可能原因提出補(bǔ)救措施(最有效的排在最前面）25CCQ90第二十五頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明（RFC)

步驟2﹕對所有可能原因建立一個“可能發(fā)生/容易減視”分析表，決定解決的順序。其中在“可能發(fā)生”之得分判定上﹕1分表示原因非?？赡馨l(fā)生，5分表示非常不可能發(fā)生。在“容易檢視”之得分判定上﹕1分表示此原因很容易檢查出來，5分表示在檢查上很困難。步驟3﹕將可能發(fā)生之得分與容易檢視之得分相加并排列，分?jǐn)?shù)最低排在最前面。步驟4﹕依各順序列出可能原因步驟5﹕針對可能原因提出補(bǔ)救措施(最有效的排在最前面）26CCQ90第二十六頁，共二十九頁。

內(nèi)容說明（RFC)

7-2RFC對策驗證如果在對策執(zhí)行後，接續(xù)先前所繪制出之第一個點在+/-2倍標(biāo)準(zhǔn)差之管制界限內(nèi)，則視為問題已解決，之後在管制圖上判圖仍以+/-3倍標(biāo)準(zhǔn)差為準(zhǔn)。如果在對策執(zhí)行後，接續(xù)先前所匯制管制圖所會出之第一個點超出+/-2倍標(biāo)準(zhǔn)差之外，視為問題未改善，仍需持續(xù)使用RFC來找出問題并改善之。若在制程上有依RFC程序執(zhí)行後仍無法處理之狀況時，啟動蓋該單位之Cal