新光培訓(xùn)粘接砂漿

新光培訓(xùn)粘接砂漿第1頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月單晶硅切片操作與技巧切片工藝流程截斷線開方滾磨平面磨粘接多線切割去膠清洗檢驗(yàn)入庫第2頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——流程粘接工藝流程單晶領(lǐng)用核對單晶號和隨工單準(zhǔn)備料板和玻璃板清潔料板和玻璃板準(zhǔn)備和調(diào)整工裝配膠粘接玻璃板加壓固化檢查玻璃板粘接結(jié)果清潔晶棒與玻璃板準(zhǔn)備和調(diào)整工裝配膠粘接晶棒加壓固化檢查晶棒粘接結(jié)果第3頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——主要原輔材料美國膠：灣泰AD1339AAD3905B日本膠：Q膠主劑固化劑玻璃板、料板、無水乙醇、衛(wèi)生紙、膠杯等。第4頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——環(huán)境要求穩(wěn)定的室溫——25℃±2℃

保證粘接劑和固化劑的粘度沒有大的變化，保證固化時間穩(wěn)定。較低的濕度——≤65%

保證粘接劑和固化劑中的含水率，保證粘接面的干燥。第5頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——準(zhǔn)備料板和玻璃板平板要求：圓弧直徑165mm的晶棒使用的玻璃板要求寬度111mm；圓弧直徑150mm的晶棒使用的玻璃板要求寬度86±0.5mm，圓弧直徑156的晶棒使用的玻璃板要求寬度96mm。玻璃要求雙面噴砂，粗糙度240，倒角1.5mm。使用前將彎曲變形的玻璃板挑出不用；玻璃平整度小于0.2mm。第6頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——清潔料板和玻璃板將料板與基座用酒精擦拭干凈后用螺栓緊固在一起（12Nm的力）；再用酒精將料板的粘接面與將要粘接的玻璃板擦拭干凈然后徹底干燥。擦拭后不能再用手或其它抹布等物品接觸粘接面。擦拭干凈的標(biāo)準(zhǔn)為不在擦出黑色雜質(zhì)為準(zhǔn)第7頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——清潔料板、玻璃板和單晶單晶的清潔同料板和玻璃板無水乙醇擦拭——主要去處水分及灰塵、鐵屑等雜質(zhì)，去油污、膠液等有機(jī)物的能力弱。丙酮或石油醚擦拭——主要去除油污、膠液等有機(jī)物。由于丙酮或石油醚的揮發(fā)速率極高，揮發(fā)時吸熱，使擦拭表面迅速降溫，有可能在擦拭表面形成冷凝水。所以在清潔被大量油污或有機(jī)物污染的表面時應(yīng)先用丙酮擦拭去除有機(jī)物再用無水乙醇擦拭去除水分。第8頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——配膠將主劑及固化劑按照1：1的比例進(jìn)行混膠。將膠碗放在電子秤上，清零，稱重主劑（黑色）15-20g，之后將電子秤清零，然后稱重固化劑（白色）15-20g。注意配膠最大誤差為0.2g（即稱重15g主劑后固化劑的重量為14.8g~15.2g）。美國膠的配膠與日本膠相同。第9頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——粘接玻璃板將攪拌好的膠涂在玻璃板粘接面上，之后用雙手捏住玻璃板兩個側(cè)面迅速反轉(zhuǎn)，將涂膠面朝下放在料板上，并且玻璃板外側(cè)邊緣靠在粘接工裝的定位螺栓上，左右滑動排除空氣。用衛(wèi)生紙蘸酒精將蹭在玻璃板上表面的膠擦除干凈，查看玻璃粘膠面是否有氣泡。將膠皮墊或衛(wèi)生紙鋪在玻璃板上方。上方放上2塊配重塊。察看膠是否從玻璃板底下擠出，如果沒有擠出膠，需要人工在相應(yīng)位置施壓，將膠擠出。再次將玻璃板外側(cè)邊緣與粘接工裝的定位螺栓靠齊。記錄現(xiàn)在時間為粘接時間。在膠初步固化之前將流到料板側(cè)面的膠清理干凈。在膠初步固化之后取下壓在玻璃板上的重物，將料板搬走待徹底固化。第10頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——粘接晶棒將已經(jīng)固化完畢的單晶托搬到粘接工裝上，檢查確認(rèn)粘好的玻璃板與料板之間沒有縫隙和脫膠的現(xiàn)象，用刀片劃固化的膠，感覺堅硬，不柔軟，玻璃板上無氣泡，定為合格品。用直尺量出晶體最短的一面定為粘接面。用紙膠帶在貼在玻璃和晶體倒角下方，用酒精將玻璃和晶體粘接面清潔干凈，并充分干燥。配膠混膠用鏟子將膠均勻的平抹在單晶粘接面上。將清潔過的單晶粘接面朝下，輕放在玻璃板上，外側(cè)面與定位螺栓靠齊，單晶靠近把手的斷面與晶托邊緣對齊，在用清潔布蘸酒精或丙酮將蹭在單晶除粘接面以外部位的膠擦除干凈。第11頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接工藝要點(diǎn)——粘接晶棒將膠皮墊鋪在單晶上方。取1塊配重塊壓在膠皮墊上。察看膠是否從單晶下方擠出，如果沒有擠出膠，需要人工在相應(yīng)位置施壓，將膠擠出。觀察膠水在玻璃表面是否平整。再次將單晶外側(cè)面與粘接工裝的定位螺栓靠齊。記錄現(xiàn)在時間為粘接時間，記錄平板編號。在膠初步固化前揭掉玻璃板側(cè)面和單晶周邊的紙膠帶。在膠初步固化后可以取下壓在單晶上的重物，擦除多余的膠，將粘好的整個部分搬走待徹底固化第12頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月粘接單晶——注意事項(xiàng)使用日本膠時配膠時攪拌30秒，之后涂膠必須在1分鐘內(nèi)操作完畢，否則取下玻璃板、單晶，擦拭干凈料板和單晶重新配膠粘接。使用美國膠配膠時攪拌1分鐘，之后必須在10分鐘內(nèi)操作完畢，否則取下玻璃板、單晶，擦拭干凈料板和單晶重新配膠粘接。注意配膠攪拌要完全攪拌充分、均勻，目測攪拌后的膠液及膠杯邊緣、攪拌刀上的膠液呈現(xiàn)深灰色（日本Q膠）或淡紫色（美國膠），粘接20分鐘至1小時內(nèi)不要移動玻璃板或者單晶、單晶托，以免脫膠。配粘接劑AD1339A：AD3905B=1：1（重量比）或主劑：固化劑=1：1（重量比），誤差小于0.2g。粘接單晶時，單晶要與靠近單晶托手柄的一側(cè)在玻璃板上留出5毫米的距離方便線切割工序?qū)Φ?。粘接后的膠不能接觸水，不能加熱，少搬動，避免碰擊，滯留時間不要超過3天膠的初步固化時間為20分鐘，撕膠帶時間為粘接后10-15分鐘。第13頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——流程準(zhǔn)備原輔材料準(zhǔn)備懸浮液向砂漿缸內(nèi)抽入懸浮液按照比例和入SiC砂持續(xù)攪拌測量密度繼續(xù)攪拌抽入線切割機(jī)的砂漿缸。第14頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——原輔材料懸浮液（切割液、冷卻液）——聚乙二醇PEGSiC砂（研磨劑）——綠碳化硅第15頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——原輔材料聚乙二醇作為懸浮液使SiC砂在切削過程中分散均勻。聚乙二醇作為冷卻劑可及時帶走切削過程中產(chǎn)生的巨大的摩擦熱和破碎顆粒。第16頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——原輔材料聚乙二醇的性質(zhì)：相對密度：液體1.127—1.128g/cm3粘度：4.3—10.5×10-6m2/s聚乙二醇（PEG）具有很強(qiáng)的吸水性，在常溫條件下可從空氣中吸收水分液體可與水任意比例混溶第17頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——原輔材料用于切割液的聚乙二醇（PEG）分子量通常為

200-400這一級別的PEG具有適宜的粘度指標(biāo)有良好的流動性對碳化硅微粉具有良好的分散穩(wěn)定性帶砂能力強(qiáng)第18頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——原輔材料SiC的性質(zhì)：硬度介于剛玉和金剛石之間，機(jī)械強(qiáng)度高于剛玉；因所含雜質(zhì)的種類和含量不同，而呈淺黃、綠、藍(lán)乃至黑色，透明度隨其純度不同而異；碳化硅有黑碳化硅和綠碳化硅兩個常用的基本品種綠碳化硅自銳性好第19頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——原輔材料

SiC在切割中的作用切削介質(zhì)：在切割過程中，通過鋼線帶動使碳化硅微粉顆粒持續(xù)快速沖擊硅棒表面，利用碳化硅顆粒的堅硬特性和鋒利菱角將硅棒逐步截斷。第20頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——原輔材料第21頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——環(huán)境要求穩(wěn)定的室溫——25℃±2℃

保證聚乙二醇懸浮液的粘密度沒有變化。較低的濕度——≤65%

保證聚乙二醇懸浮液的含水率；保證碳化硅砂的干燥。第22頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——原輔材料準(zhǔn)備將SiC砂置入烘干箱架子上，打開袋子封口，設(shè)定溫度70℃，烘干8小時以上，以手抓握后的砂依然松散為準(zhǔn)來檢查烘干質(zhì)量；配制砂漿時，應(yīng)將砂漿缸清洗干凈，保證缸內(nèi)無沉淀SiC及殘余水分；使用計量叉車，按其指示牌指示的刻度向砂漿缸中抽取懸浮液。第23頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——攪拌過程切斷烘干箱電源，取出要使用的SiC砂，使SiC溫度降至室溫。注意在取出后，應(yīng)及時補(bǔ)充未烘干過的SiC砂進(jìn)烘箱以保證下次使用。按懸浮液：碳化硅=1L：1.1Kg或重量比1：1，將SiC以均勻的速度緩慢的倒入缸內(nèi)（約10-15分鐘/袋，每袋之間間隔10分鐘），混合均勻然后再繼續(xù)攪拌，并觀察計量叉車標(biāo)示的位置是否相符。將混合好的砂漿連續(xù)攪拌6小時或以上。其密度必須保持在1.625-1.635kg/l，否則繼續(xù)添加砂或懸浮液達(dá)到目標(biāo)值；在砂漿的混合和攪拌過程中要絕對避免水和其它液體與固體顆粒進(jìn)入砂漿內(nèi)，砂漿混合完畢后，砂漿缸蓋蓋保存；第24頁，課件共27頁，創(chuàng)作于2023年2月砂漿制備——注意事項(xiàng)砂漿一旦開始配制，必須保持持續(xù)不斷的攪拌，以免砂子沉淀。砂漿配制過程中嚴(yán)防異物進(jìn)入。操作人員應(yīng)按規(guī)定穿戴防護(hù)用品。維護(hù)與保持室內(nèi)環(huán)境溫度、濕度和潔凈度。混合好的砂漿至少連續(xù)攪拌6小時以上才可使用。砂漿一旦中途停止攪拌，必須在半小時之內(nèi)恢復(fù)攪拌，否則底部的砂漿開始沉淀、接團(tuán)，將嚴(yán)重影響切割質(zhì)量。如果半小時沒有恢復(fù)攪拌，則此缸砂漿報廢，重新制備。第25頁，