PVD應(yīng)用技術(shù)介紹課件

PVD應(yīng)用技術(shù)介紹

1ppt課件.PVD應(yīng)用技術(shù)介紹1ppt課件.薄膜沉積技術(shù)在機(jī)械、電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、航空、交通等領(lǐng)域，為了對(duì)所使用的材料賦予某種特性(如耐熱、耐磨、耐蝕、裝飾性等)而在材料表面制備或沉積一層薄膜。薄膜沉積技術(shù)(ThinFilmDeposition)最常見(jiàn)的兩個(gè)制程是物理氣相沉積(PhysicalVaporDepositiont簡(jiǎn)稱“PVD”)和化學(xué)氣相沉積(ChemicalVaporDepositiont簡(jiǎn)稱“CVD”)。2ppt課件.薄膜沉積技術(shù)在機(jī)械、電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、航空、交通等領(lǐng)域，為物理氣相沉積--PVDPVD是以某種物理機(jī)制，如物質(zhì)的熱蒸發(fā)或在受到粒子轟擊時(shí)物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象，實(shí)現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)到薄膜的可控轉(zhuǎn)移的過(guò)程。相對(duì)于化學(xué)氣相沉積—CVD而言在PVD過(guò)程中固態(tài)或熔融態(tài)的源物質(zhì)經(jīng)過(guò)物理過(guò)程進(jìn)入氣相，在氣相及襯底表面不發(fā)生化學(xué)變化。PVD包括蒸鍍(Evaporation)、濺射鍍(Sputtering)和離子鍍(IonPlating)3ppt課件.物理氣相沉積--PVDPVD是以某種物理機(jī)制，如物質(zhì)的熱蒸發(fā)蒸鍍(Evaporation)MaterialSubstrateHeaterVacuumchamberCloud4ppt課件.蒸鍍(Evaporation)MaterialSubstra蒸鍍(Evaporation)5ppt課件.蒸鍍(Evaporation)5ppt課件.蒸鍍(Evaporation)6ppt課件.蒸鍍(Evaporation)6ppt課件.蒸鍍(Evaporation)7ppt課件.蒸鍍(Evaporation)7ppt課件.蒸鍍(Evaporation)8ppt課件.蒸鍍(Evaporation)8ppt課件.蒸鍍(Evaporation)9ppt課件.蒸鍍(Evaporation)9ppt課件.濺射鍍(Sputtering)MaterialSubstratePlasma10ppt課件.濺射鍍(Sputtering)MaterialSubstra濺射鍍(Sputtering)

11ppt課件.濺射鍍(Sputtering)

11ppt課件.等離子體(Plasma)12ppt課件.等離子體(Plasma)12ppt課件.磁控濺射(Magnetronsputtering)13ppt課件.磁控濺射(Magnetronsputtering)13pp磁控濺射(Magnetronsputtering)14ppt課件.磁控濺射(Magnetronsputtering)14ppIn-lineSputteringSystemSputteringchamberBufferchamberUnloadingchamberPlasmatreatmentLoadingchamberrobotInrobotOut15ppt課件.In-lineSputteringSystemSputt離子鍍(IonPlating)

16ppt課件.離子鍍(IonPlating)

16ppt課件.主要物理氣相沉積方法的特點(diǎn)蒸鍍法濺鍍法離子鍍法粒子能量/eV0.1-11-100.1-1沉積速率/μm·min-10.1-700.01-500.1-50附著力較差較好良好密度低較高高17ppt課件.主要物理氣相沉積方法的特點(diǎn)蒸鍍法濺鍍法離子鍍法粒子能量/e裝飾性薄膜鐘表工業(yè)鍍TiN呈金黃色，Cr2N呈銀色。手機(jī)部件（外殼、按鍵、鏡片等）化狀品瓶蓋、兒童玩具、節(jié)日禮物、家電汽車(chē)的按鈕、穿戴飾件18ppt課件.裝飾性薄膜鐘表工業(yè)鍍TiN呈金黃色，Cr2N呈銀色。18pp光學(xué)薄膜（1）減反射膜：相機(jī)、攝像機(jī)、投影儀、望遠(yuǎn)鏡等MgF2，SiO2，ZrO2，Al2O3

紅外設(shè)備鏡頭上的ZnS，CeO2，SiO（2）增反射膜：太陽(yáng)能接收器、鍍膜反射鏡、激光器用的高反射率膜（3）分光鏡和濾波片：如彩色擴(kuò)印設(shè)備上19ppt課件.光學(xué)薄膜（1）減反射膜：相機(jī)、攝像機(jī)、投影儀、19ppt課件光學(xué)薄膜（4）鍍膜玻璃：建筑、汽車(chē)的隔熱(減少紅外線的反射)（5）光存儲(chǔ)薄膜：光盤(pán)、唱片(TbFeCo)20ppt課件.光學(xué)薄膜（4）鍍膜玻璃：建筑、汽車(chē)的隔熱(減少紅外線的反射)保護(hù)膜（1）硬質(zhì)膜，刀具、磨具表面的TiN，TiC，金剛石、C3N4，c-BN（2）耐腐蝕膜：不銹鋼及各種鎳鉻合金膜，抗熱腐蝕的NiCrAlY，陽(yáng)極防護(hù)膜，（3）潤(rùn)滑膜：MoS2，MoS2-Au，MoS2-Ni，

Au，Ag，Pb（4）熱防護(hù)膜：如ZrO221ppt課件.保護(hù)膜（1）硬質(zhì)膜，刀具、磨具表面的TiN，TiC，金21p電學(xué)薄膜（1）半導(dǎo)體器件與集成電路中的導(dǎo)電材料與介質(zhì)薄膜材料Al,Cr,Pt,Au,Cu,硅化物，SiO2,Si3N4，Al2O3（2）超導(dǎo)薄膜YBaCuO，BiSrCaCuO，

TlBaCuO等高溫超導(dǎo)材料（3）光電子器件中使用的功能薄膜

GaAs/GaAlAs、HgTe/CdTe、a-Si:Ha-SiGe:H,a-SiC:H等晶態(tài)和非晶態(tài)薄膜（4）透明導(dǎo)電薄膜(太陽(yáng)能電池、液晶顯示器的透明電極和低壓電加熱器的電加熱薄膜）22ppt課件.電學(xué)薄膜（1）半導(dǎo)體器件與集成電路中的導(dǎo)電材料與22ppt課磁記錄薄膜復(fù)合磁頭：對(duì)于磁頭材料，要求具有典型的軟磁性能，即飽和磁化強(qiáng)度高、矯頑力低、磁導(dǎo)率高，磁致伸縮系數(shù)低。傳統(tǒng)的燒結(jié)鐵氧體磁體具有很好的軟磁性能和耐磨能，但其磁化強(qiáng)度遠(yuǎn)低于合金軟磁材料，因而采用PVD工藝在鐵氧體磁頭表面沉積一層厚度幾個(gè)微米的軟磁性能較好的合金薄膜。薄膜磁頭：將磁性材料和磁場(chǎng)線圈都沉積在特定的襯底上，構(gòu)成薄膜磁頭，與鐵氧體磁頭相比，薄膜磁頭具有更高的靈敏度，可以有效縮小磁頭尺寸，提高磁記錄密度。23ppt課件.磁記錄薄膜復(fù)合磁頭：對(duì)于磁頭材料，要求具有典型的軟磁性能，PVD技術(shù)在BYD的應(yīng)用裝飾性鍍膜：手機(jī)外殼、按鍵、顯示視窗防護(hù)面板的Al，Sn，Cr鍍層功能性鍍膜：防電磁干擾（ElectromagneticInterference，簡(jiǎn)稱“EMI”）

24ppt課件.PVD技術(shù)在BYD的應(yīng)用裝飾性鍍膜：手機(jī)外殼、按鍵、顯示視窗裝飾性鍍膜25ppt課件.裝飾性鍍膜25ppt課件.裝飾性鍍膜26ppt課件.裝飾性鍍膜26ppt課件.EMI27ppt課件.EMI27ppt課件.PVD車(chē)間28ppt課件.PVD車(chē)間28ppt課件.PVD車(chē)間29ppt課件.PVD車(chē)間29ppt課件.PVD車(chē)