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文檔簡介

周報—W7Wuhu

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Department張卷—化學站一.重大事項概述提綱三.本周自我總結二.異常處理心得Wuhu

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Department一、重大事項概述Wuhu

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Department日期:2014/12/27機臺名稱:A1QXC041異常原因:片源出貨后載籃上有水珠處理時間:12:00-13:00處理內容:

1.片源經ipa烘干后,由手臂取出后發(fā)現(xiàn)載籃上有水珠;2.觀察發(fā)現(xiàn)只有兩批片源同時run貨時會出現(xiàn)這一狀況,因為取烘干后的片源前手臂停止水槽上方,手臂上帶有較多水漬;

3.對比其他HCL清洗機發(fā)現(xiàn)其他機臺無此現(xiàn)象,對比配方時發(fā)現(xiàn)41號機水槽配方細項和其他機臺不一樣,聯(lián)系工藝過來處理,將此機臺水槽配方改為與其他機臺一致,再進行空run測試;

4.測試后查看載籃和卡塞上無水漬,多次空run都正常后交付生產。一、重大事項概述日期:2014/12/29機臺名稱:A3DLZ006異常原因:射頻功率不穩(wěn)定處理時間:9:00-10:00處理內容:機臺作業(yè)時,電流和射頻功率不穩(wěn)定,通過視窗觀察射頻時閃爍; 檢查射頻功率源和自動匹配器后部接線無異常,保險絲均正常,重新插拔接線后無果,將射頻功率源更換之后仍出現(xiàn)相同問題,更換自動匹配器后,機臺射頻正常,空run測試正常,測量卡塞溫度在正常范圍內;進行多次run測試正常后,將機臺交予生產。二、異常處理心得Wuhu

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Department處理異常前,戴好防護用具,保證人身安全;通過對比相同機臺往往能更快查找出問題所在;處理完成后,切記要進行測試工作,確保機臺能正常運行方可交付工藝或生產。三、本周自我總結Wuhu

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Department自動清洗櫥片源烘干后仍有水漬,可能原因是HN2壓力不足,夾取載籃時手臂上殘留的水珠太多等,在確認不是硬件問題后,要從軟體上查找原因,有時往往是軟體問題所導致的;十三所等離子去膠機目前每日都有對卡塞進行測溫,若卡塞溫度過高,可能是勻氣盤勻氣不均,導致射頻時卡塞各個點反應不均勻,部分點溫度升高;射頻不穩(wěn)定有可

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