GB 50724-2011 大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范

人人文庫專用

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程

技術(shù)規(guī)范

TechnicalCodeforbulkgas

purificationanddeliverysystemengineering

GB50724-2011

主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

施行日期：2012年8月1日

人人文庫專用

中國計劃出版社

2012北京

書

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程

技術(shù)規(guī)范

GB50724-2011

☆

中國計劃出版社出版

（地址：北京市西城區(qū)木樨地北里甲11號國宏大廈C座4層）

（郵政編碼：100038電話：6390643363906381）

新華書店北京發(fā)行所發(fā)行

人人文庫專用北京世知印務(wù)有限公司印刷

850×1168毫米1/322.75印張67千字

2012年2月第1版2012年2月第1次印刷

印數(shù)1—4000冊

☆

統(tǒng)一書號：1580177·761

定價：17.00元

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

第1111號

關(guān)于發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)

《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》為國家標(biāo)

準(zhǔn)，編號為GB50724—2011，自2012年8月1日起實(shí)施。其中，第

3.0.3、3.0.4、5.0.5、6.2.2、6.2.3、6.2.5（1、2）、6.4.1、6.4.2、

6.4.3、7.0.1、7.0.3、7.0.4、7.0.6、8.0.1、8.0.4、10.0.3、10.0.5

（1、3）、10.0.8、10.0.10、11.3.7（9、10）條（款）為強(qiáng)制性條文，必

須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計劃出版社出版

發(fā)行。

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

人人文庫專用二○一一年七月二十九日

前言

本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)〈2006年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)

范制定、修訂計劃（第二批）〉的通知》（建標(biāo)〔2006〕136號）的要

求，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司、中

國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司會同有關(guān)單位共同編制而成。

本規(guī)范在編制過程中，編寫組結(jié)合我國電子信息產(chǎn)品制造業(yè)

等工廠大宗氣體純化站及輸送系統(tǒng)設(shè)計、施工、安裝、運(yùn)行的實(shí)際

情況，進(jìn)行了大量的調(diào)研，對國內(nèi)外相關(guān)規(guī)范、產(chǎn)品進(jìn)行了深入研

討，先后完成了初稿、征求意見稿、送審稿、報批稿的編寫，并以多

種方式廣泛征求了國內(nèi)各設(shè)計院、工程公司、生產(chǎn)廠商和使用單位

的意見，并反復(fù)討論、修改，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分11章和3個附錄，主要內(nèi)容包括：總則、術(shù)語、站

房布置、工藝系統(tǒng)、設(shè)備選擇、高純氣體輸送系統(tǒng)、建筑結(jié)構(gòu)、采暖

通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)、給水排水及消防、電氣及儀表控制、施工及驗(yàn)

收等。

本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強(qiáng)制性條文的解

釋，由工業(yè)和信息化部人人文庫專用負(fù)責(zé)日常管理，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計

研究院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在本規(guī)

范執(zhí)行過程中，請各有關(guān)單位結(jié)合工程實(shí)踐，認(rèn)真總結(jié)和積累經(jīng)

驗(yàn)，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補(bǔ)充之處，請將意見和建議寄至信息產(chǎn)業(yè)電

子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司（地址：四川省成都

市新華大道雙林路251號，郵政編碼：610021;傳真：028-

84333172），以供今后修訂時參考。

·1·

本規(guī)范主編單位、參編單位、參加單位、主要起草人和主要審

查人：

主編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份

有限公司

中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司

參編單位：中國電子工程設(shè)計院

上海正帆科技技術(shù)有限公司

成都愛德工程有限公司

上海電子工程設(shè)計研究院有限公司

參加單位：上海兄弟微電子技術(shù)有限公司

液化空氣（中國）投資有限公司

主要起草人：張家紅劉序忠萬銅良馮衛(wèi)中申云江

薛長立李東升杜寶強(qiáng)李驥艾生珍

崔永祥范雙懷王鵬亮王世成陳平

王金樹劉采峰

主要審查人：陳霖新王宗存侯文川周禮譽(yù)王開源

劉俊超陳奕弢張國興楊湧源王天龍

陳艷程

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·2·

目次

1總則…………………（1）

2術(shù)語…………………（2）

3站房布置…………………（5）

4工藝系統(tǒng)…………………（7）

5設(shè)備選擇…………………（9）

6高純氣體輸送系統(tǒng)………（11）

6.1一般規(guī)定………………（11）

6.2管道設(shè)計………………（11）

6.3管材及附件……………（12）

6.4安全及標(biāo)志……………（13）

7建筑結(jié)構(gòu)…………………（14）

8采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)……（15）

9給水排水及消防…………（16）

10電氣及儀表控制…………（17）

11施工及驗(yàn)收………………（19）

11.1一般人人文庫專用規(guī)定………………（19）

11.2氣體純化站的施工……（20）

11.3高純氣體輸送系統(tǒng)的施工………………（21）

11.4改、擴(kuò)建工程的施工……（25）

11.5工程驗(yàn)收………………（25）

附錄A高純氣體用BA、EP不銹鋼管道技術(shù)要求………（30）

附錄B高純氣體管道氦檢漏方法…………（33）

·1·

附錄C施工驗(yàn)收測試記錄表………………（34）

本規(guī)范用詞說明………………（40）

引用標(biāo)準(zhǔn)名錄…………………（41）

附：條文說明…………………（43）

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·2·

Contents

1Generalprovisions…………（1）

2Terms………（2）

3Purificationstationlayout…………………（5）

4Processsystem……………（7）

5Equipmentselection………（9）

6Deliverysystemofhighpuritygas…………（11）

6.1Generalrequirement………（11）

6.2Pipingdesign……………（11）

6.3Pipingmaterialsandaccessories……………（12）

6.4Safetyandidentification…………………（13）

7Architectureandstructure…………………（14）

8Heating，rentilationandairconditioning…（15）

9Watersupplyanddrainageandfirefighting………………（16）

10Electricalandinstrumentcontrols………（17）

11Constructionandacceptance……………（19）

11.1General人人文庫專用requirement……（19）

11.2Constructionofpurificationstation………（20）

11.3Constructionofdeliverysystemofhighpuritygases…………（21）

11.4Constructionofreconstructionandextensionworks…………（25）

11.5Acceptanceofworks……（25）

AppendixATechnicalspecificationforBA、EPpipe………（30）

AppendixBDetectionmethodofheliumleakagein

·3·

highpuritygaspipes……………（33）

AppendixCRecordsheetsofsystemtestand

acceptance………（34）

Explanationofwordinginthiscode…………（40）

Listofquotedstandards………（41）

Addition：Explanationofprovisions……………（43）

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·4·

1總則

1.0.1為了適應(yīng)電子工業(yè)大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)的設(shè)計、施工

及驗(yàn)收，正確貫徹國家工程建設(shè)的方針政策，確保安全、節(jié)約能源、

保護(hù)環(huán)境、滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求，制定本規(guī)范。

1.0.2本規(guī)范適用于電子工業(yè)新建、改建和擴(kuò)建工程的電子工業(yè)

大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)的設(shè)計、施工及驗(yàn)收。

1.0.3大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)的設(shè)計、施工及驗(yàn)收應(yīng)做到技術(shù)

先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全可靠、操作、維修方便。

1.0.4大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)的設(shè)計、施工及驗(yàn)收除應(yīng)符合本

規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

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·1·

2術(shù)語

2.0.1大宗氣體bulkgas

電子工業(yè)中使用的氮?dú)?、氫氣、氧氣、氬氣、氦氣的統(tǒng)稱。

2.0.2氣體純化站gaspurificationstation

設(shè)有大宗氣體純化裝置、氣體過濾器及其輸送管道和輔助設(shè)

施的建筑物、構(gòu)筑物或房間的總稱。

2.0.3高純氣體（超高純氣體）輸送系統(tǒng)（ultra）highpurity

gasdeliverysystems

從大宗氣體純化裝置至高純氣體（超高純氣體）使用點(diǎn)的輸

送系統(tǒng)。

2.0.4制氣站bulkgasgenerationplant

采用相關(guān)的制氣工藝制取氣體所需的制氣設(shè)施、壓縮儲存設(shè)

施、灌充設(shè)施、輔助設(shè)施及其建筑物、構(gòu)筑物的總稱。

2.0.5供氣站bulkgassupplystation

不含氣體制取設(shè)施，以瓶裝或管道供應(yīng)大宗氣體的建筑物、構(gòu)

筑物、儲氣罐或場所的統(tǒng)稱。

2.0.6儲氣罐gasstoragetank

用于儲存氣體的定壓變?nèi)莘e或變壓定容積的容器的總稱。

2.0.7明火人人文庫專用地點(diǎn)openflamesite

室內(nèi)外有外露火焰或赤熱表面的固定地點(diǎn)。

2.0.8氣瓶集裝格thebundleofgascylinders

由專用框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合

的氣體鋼瓶組單元。

2.0.9實(shí)瓶fullcylinder

具有一定灌充壓力的氣瓶，水容積為40L、設(shè)計壓力為

·2·

12.0MPa～20.0MPa的氣體鋼瓶。

2.0.10空瓶emptycylinder

無內(nèi)壓或留有殘余壓力的氣體鋼瓶。

2.0.11氣體純度gaspurity

指氣體主成分的量占?xì)怏w總量的比例。

2.0.12普通氣generalgas

氣體純度低于99.99％的氣體。

2.0.13高純氣體highpuritygas

指采用提純技術(shù)達(dá)到規(guī)定等級純度的氣體。通常指純度為

99.99％～99.9999％、有害雜質(zhì)含量小于或等于1×10-5的氣體。

2.0.14超高純氣體ultrahighpuritygas

指采用提純技術(shù)達(dá)到的高等級純度的氣體。通常指純度等于

或高于99.9999％和有害雜質(zhì)總含量小于或等于1×10-6的

氣體。

2.0.15拋光polishing

為了控制儲存和輸送高純氣體的鋼瓶和管線內(nèi)壁的表面粗糙

度，使其不吸附氣體、無雜質(zhì)脫落而進(jìn)行的拋光處理。

2.0.16壓縮氣體compressedgas

指在20℃下，絕對壓力超過101.325kPa的任何一種或多種

氣體混合物。

2.0.17氣體過濾器gasfilter

以碰撞、擴(kuò)散或截獲機(jī)理將氣體中固體粒子去除的裝置。

2.0.18氣體純化人人文庫專用器gaspurifier

為提高大宗氣體純度，脫除氣體中有害雜質(zhì)的裝置。

2.0.19氦質(zhì)譜檢漏儀heliummassspectrometerleakdetector

以氦氣為檢測氣體，對設(shè)備、管道進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。

2.0.20AP管annealedandpickledpipe

真空脫碳制造并經(jīng)酸洗或鈍化的不銹鋼管。

2.0.21BA管brightannealedpipe

·3·

在氫氣保護(hù)氣或真空狀態(tài)下經(jīng)高溫?zé)崽幚淼墓饬镣嘶鸩讳P

鋼管。

2.0.22EP管electro-polishedpipe

經(jīng)電化學(xué)拋光，使表層實(shí)際面積得到最大程度的減少，表面具

有細(xì)密富含氧化鉻氧化膜的不銹鋼管。

2.0.23VCR連接Connectionofvacuumcouplingradiusseal

密封元件采用金屬墊片的金屬面密封接頭進(jìn)行的管道連接。

2.0.24卡套連接Connectionoflet-lok

通過本體、母套頭、金屬箍套圈進(jìn)行的連接形式。

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·4·

3站房布置

3.0.1大宗氣體純化站的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1純化站設(shè)置在制氣站、供氣站內(nèi)時，宜與功能特性相近的

裝置或房間鄰近布置。

2純化站與用氣車間毗連布置時，應(yīng)在建筑物的首層靠外墻

或端部布置。

3氫氣純化站宜與采用氫氣活化的惰性氣體純化站合建。

4氧氣純化站宜與非氫氣活化的惰性氣體純化站合建。

5當(dāng)用氣車間設(shè)有大宗氣體入口室時，氣體純化站宜與氣體

入口室合建。

6站房內(nèi)宜留有適當(dāng)?shù)臄U(kuò)展余地。

3.0.2設(shè)置在制氣站、供氣站內(nèi)的氣體純化站，除應(yīng)符合本規(guī)范

的規(guī)定外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177

和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB50030的有關(guān)規(guī)定。

3.0.3氫氣純化站與用氣車間毗連布置時，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1氫氣純化站不得設(shè)置在人員密集場所和重要部門的鄰近

位置，以及主要通道、疏散口的兩側(cè)。

2氫氣純化站不得與相鄰房間直接相通，且與氫氣純化站毗

連的廠房耐火等級人人文庫專用不應(yīng)低于二級。

3.0.4氫氣純化站的電氣控制室、儀表控制室應(yīng)布置在與純化設(shè)

備相鄰的房間，并應(yīng)采用耐火極限不低于3.00h的不燃燒體隔墻

分隔。

3.0.5氣體純化站內(nèi)的設(shè)備布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1氣體純化設(shè)備之間的凈距不宜小于1.2m;設(shè)備與墻壁之

間的凈距不宜小于1.0m，并不宜小于更換純化材料或抽出零部件

·5·

的長度再加0.5m。

2氣體純化設(shè)備與其附屬設(shè)備之間的凈距可比本條第1款

的規(guī)定縮小0.15m～0.30m。

3氣體純化設(shè)備雙排布置時，兩排之間的凈距不宜小于

1.5m。

3.0.6有爆炸危險房間的安全出入口不得少于2個，其中1個應(yīng)

直通室外;但建筑面積不超過100m2時，可只設(shè)1個直通室外的出

入口。

3.0.7氣體純化站內(nèi)，當(dāng)設(shè)備檢修或更換純化材料需要吊裝時，

宜設(shè)起吊設(shè)施。

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·6·

4工藝系統(tǒng)

4.0.1氣體純化站原料氣的選擇應(yīng)綜合下列因素確定：

1高純氣體耗氣量和氣體品質(zhì)要求。

2氣體純化器對原料氣體純度與其雜質(zhì)含量的要求。

3根據(jù)現(xiàn)場制氣或外購氣源的氣體品質(zhì)參數(shù)經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)分

析確定。

4.0.2氣體純化系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)綜合下列因素確定：

1原料氣的純度、雜質(zhì)含量和壓力。

2產(chǎn)品氣的純度、雜質(zhì)含量和壓力。

3氣體使用的連續(xù)性、負(fù)荷變化狀況。

4純化用材料的品種、活化與再生方法等的技術(shù)經(jīng)濟(jì)性。

5用戶對系統(tǒng)安全性、可靠性的要求。

4.0.3催化吸附型氣體純化系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置：

1原料氣的氣水分離或過濾裝置。

2純化反應(yīng)器及活化、加熱設(shè)施。

3吸附器及控制閥組。

4換熱、冷卻設(shè)施。

4.0.4金屬吸附劑型氣體純化系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置：

1原料人人文庫專用氣過濾裝置。

2純化反應(yīng)器及活化、加熱設(shè)施。

3控制閥組。

4換熱、冷卻設(shè)施。

4.0.5鈀膜氣體純化系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置：

1原料氣預(yù)純化裝置。

2真空、保護(hù)氣設(shè)施。

·7·

3鈀膜純化器和控制閥組。

4換熱、冷卻設(shè)施。

4.0.6低溫吸附型氣體純化系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置：

1原料氣預(yù)純化裝置。

2吸附器組和控制閥組。

3液氮供給和回收裝置。

4.0.7電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對同種氣體有不同純化系統(tǒng)時，應(yīng)根據(jù)

原料氣品質(zhì)、高純氣體用量及其品質(zhì)要求和純化方法進(jìn)行技術(shù)經(jīng)

濟(jì)比較，確定采用一級或二級氣體純化裝置。當(dāng)雜質(zhì)含量要求嚴(yán)

格或高純氣體用量較小時，宜在鄰近用氣設(shè)備鄰近處設(shè)置氣體終

端純化裝置。

4.0.8用氣設(shè)備對氣體含塵量有嚴(yán)格要求時，應(yīng)在氣體純化后的

輸氣管道上的鄰近用氣設(shè)備處設(shè)置高精度終端氣體過濾器。

4.0.9氣體純化裝置的氣體進(jìn)、出口未設(shè)置氣體過濾器時，應(yīng)在

氣體純化站內(nèi)設(shè)置氣體過濾器，并宜靠近氣體純化裝置。

4.0.10氣體純化系統(tǒng)的設(shè)備及其管道內(nèi)的冷凝水，應(yīng)設(shè)置各自

的專用疏水裝置或排水水封排至室外。

4.0.11氣體純化站應(yīng)設(shè)置每種氣體的原料氣、產(chǎn)品氣的分析取

樣口。

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·8·

5設(shè)備選擇

5.0.1氣體純化裝置應(yīng)綜合下列因素確定：

1原料氣的純度、雜質(zhì)組分和含量。

2用氣設(shè)備對氣體純度、雜質(zhì)組分與含量和供氣壓力。

3各類高純氣體的用途、使用特點(diǎn)、品質(zhì)要求、最大小時消耗

量和負(fù)荷變化情況。

4各種純化裝置的特性、活化再生方法等。

5.0.2氣體純化裝置的容量、臺數(shù)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1氣體純化裝置應(yīng)以最大小時消耗量確定設(shè)計容量。

2同一種氣體宜設(shè)置1臺純化等級相同的純化裝置，因中斷

高純氣體供應(yīng)會引發(fā)安全事故或巨大經(jīng)濟(jì)損失時，宜設(shè)備用純化

裝置。

3氣體純化站內(nèi)，同一種氣體設(shè)置2臺及以上的相同等級的

氣體純化裝置時，宜采用相同的氣體純化裝置。

5.0.3氣體過濾器應(yīng)綜合下列因素確定：

1原料氣體中的粒徑與含塵量。

2用氣設(shè)備對氣體中的粒徑與含塵量的要求。

3氣體壓力與允許壓力降。

4氧化人人文庫專用性氣體過濾器的過濾元件應(yīng)采用不燃材料制作。

5.0.4氣體純化裝置內(nèi)壓力容器的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)

《鋼制壓力容器》GB150的有關(guān)規(guī)定。

5.0.5氫氣純化裝置或采用氫氣活化的惰性氣體純化裝置采用

封閉式整體設(shè)備時，氣體純化裝置外殼內(nèi)應(yīng)設(shè)置氫氣探測器、強(qiáng)制

排風(fēng)裝置，并應(yīng)進(jìn)行連鎖控制。

5.0.6氣體純化站的加熱、冷卻方式或介質(zhì)應(yīng)根據(jù)氣體純化裝置

·9·

的特點(diǎn)、技術(shù)參數(shù)和具體供應(yīng)條件等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后

確定。

5.0.7氣體純化裝置中高溫工作的單體設(shè)備及管道、附件，應(yīng)按

現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)設(shè)備及管道絕熱工程施工規(guī)范》GB50126的

有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

5.0.8氣體純化器的純化材料為有害物質(zhì)時，廢棄物處理應(yīng)符合

現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《一般工業(yè)固體廢物貯存、處置場污染控制標(biāo)準(zhǔn)》

GB18599的有關(guān)規(guī)定。

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·01·

6高純氣體輸送系統(tǒng)

6.1一般規(guī)定

6.1.1各種高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)置宜根據(jù)用氣設(shè)備對高純氣

體的特性品質(zhì)、壓力的要求確定。

6.1.2高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計容量應(yīng)根據(jù)用氣設(shè)備的高純氣

體消耗量、使用特點(diǎn)確定，宜以最大小時消耗量計算。

6.1.3高純氣體管道系統(tǒng)設(shè)計除應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定外，還應(yīng)符

合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)

范》GB50030的有關(guān)規(guī)定。

6.2管道設(shè)計

6.2.1高純氣體管道的敷設(shè)應(yīng)滿足操作、安裝及維修的要求。室

內(nèi)高純氫氣、高純氧氣管道應(yīng)架空敷設(shè)，廠區(qū)室外高純氫氣、高純

氧氣和窒息性氣體管道也可采用直接埋地敷設(shè)。高純氣體管道采

用架空敷設(shè)或直接埋地敷設(shè)時，均應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氫氣站

設(shè)計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB50030的有關(guān)規(guī)

定。

6.2.2當(dāng)高純氫氣、高純氧氣管道必須穿過不使用此類氣體的房

間時，應(yīng)采用人人文庫專用鋼套管或雙層管保護(hù)。

6.2.3高純氫氣、高純氧氣管道穿過墻壁或樓板時，應(yīng)敷設(shè)在套

管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管間應(yīng)采用不燃材料

填塞。

6.2.4高純大宗氣體管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1高純氣體輸送系統(tǒng)管道應(yīng)短。

2應(yīng)按管道設(shè)計容量、氣體壓力或生產(chǎn)設(shè)備要求確定管徑，

·11·

管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm。

3不得有不易吹除的“盲管”等死空間。

4應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

6.2.5高純氧氣、氫氣管道的末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管，放散

管的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1氫氣放散管應(yīng)設(shè)置阻火器。

2氫氣、氧氣放散管應(yīng)引至室外，放散管口應(yīng)高出屋脊1.0m

以上，并應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)措施。

3氫氣、氧氣的放散管應(yīng)分開布置，間距不宜小于4.5m。

4應(yīng)采取防雨雪侵入和雜物堵塞的措施。

6.2.6引入電子工廠的廠房或車間的高純氣體管道上的控制閥

門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、儀表儀器等，宜集中設(shè)置在氣體入

口室。

6.2.7高純氣體管道與閥門、設(shè)備的連接，可采用法蘭、雙卡套、

VCR連接等方式。

6.3管材及附件

6.3.1高純氣體管道的材質(zhì)、潔凈處理以及閥門類型、材質(zhì)的選

擇，應(yīng)根據(jù)管內(nèi)輸送氣體純度和雜質(zhì)含量確定。閥門的材質(zhì)及表

面處理應(yīng)與管道匹配。

6.3.2氣體純度低于99.99％，露點(diǎn)低于-40℃的氣體管道，宜

采用AP管或BA管，閥門宜采用不銹鋼球閥。

6.3.3氣體純?nèi)巳宋膸鞂Ｓ枚却笥诨虻扔?9.99％、小于99.999％，露點(diǎn)小于

-60℃的氣體管道，應(yīng)采用BA管或EP管，閥門應(yīng)采用同等級低

碳不銹鋼波紋管閥或隔膜閥。

6.3.4純度大于或等于99.999％，露點(diǎn)小于-70℃的氣體管道，

應(yīng)采用EP管，閥門應(yīng)采用同等級低碳不銹鋼的隔膜閥或波紋

管閥。

6.3.5高純氣體管道的連接應(yīng)采用焊接，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)

·21·

《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定。

6.3.6高純氣體管道采用的BA、EP不銹鋼管，應(yīng)符合本規(guī)范附

錄A的有關(guān)規(guī)定。

6.3.7液態(tài)大宗氣體管道宜采用不銹鋼管道及低溫閥門。兩端

可能關(guān)閉的液態(tài)氣體管道應(yīng)設(shè)置低溫管道的安全閥。

6.3.8低溫管道保溫應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)設(shè)備及管道絕熱

工程施工規(guī)范》GB50126的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

6.4安全及標(biāo)志

6.4.1設(shè)有高純氫氣管道的下列部位，應(yīng)設(shè)置氣體報警裝置和事

故排風(fēng)裝置，且報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)連鎖控制：

1氣體入口室或氣體純化站。

2閥門箱內(nèi)、管廊或技術(shù)夾層內(nèi)的氫氣易積聚處。

3使用高純氫氣處。

6.4.2高純氧氣管道及附件應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：

1管道、閥門及附件必須嚴(yán)格脫脂。

2應(yīng)設(shè)置靜電導(dǎo)除裝置。

3廠房入口的管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥。

6.4.3高純氫氣管道應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：

1廠房入口的管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥。

2應(yīng)設(shè)置靜電導(dǎo)除裝置。

6.4.4廠房內(nèi)的高純氫氣管道上設(shè)置閥門時，宜設(shè)置閥門箱;閥

門箱應(yīng)設(shè)置閥人人文庫專用門、壓力表、吹掃口、取樣口和氣體報警裝置等。

6.4.5高純氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置含氧量小于0.5％的氮?dú)饣驓?/p>

氣置換吹掃設(shè)施。

6.4.6管道涂色宜符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)管道的基本識別色、

識別符號和安全標(biāo)識》GB7231的有關(guān)規(guī)定。

·31·

7建筑結(jié)構(gòu)

7.0.1氫氣純化站的火災(zāi)危險性類別應(yīng)為甲類，氧氣純化站的火

災(zāi)危險性類別應(yīng)為乙類，非氫活化的惰性氣體純化站的火災(zāi)危險

性類別應(yīng)為戊類。

7.0.2氣體純化站的耐火等級不應(yīng)低于二級。

7.0.3氫氣純化站等有爆炸危險房間的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1應(yīng)采用鋼筋混凝土柱承重的框架或排架結(jié)構(gòu)。當(dāng)采用鋼

柱承重時，鋼柱應(yīng)設(shè)置防火保護(hù)，其耐火極限不得小于2.00h。

2泄壓設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)

范》GB50016的有關(guān)規(guī)定，泄壓面積不得小于屋頂面積或最長一

面墻的面積。

3有爆炸危險房間與無爆炸危險房間之間應(yīng)采用無門窗洞

的耐火極限不低于3.00h的不燃燒體隔墻分隔。當(dāng)設(shè)置防爆門斗

相通時，應(yīng)采用甲級防火門，門的耐火極限不應(yīng)低于1.50h。

4有爆炸危險房間與無爆炸危險房間之間必須穿過管線時，

應(yīng)采用不燃燒體材料填塞空隙。

7.0.4氧氣純化間與毗連房間之間應(yīng)采用耐火極限不低于

2.00h的不燃燒體隔墻分隔，隔墻上的門應(yīng)采用甲級防火門。

7.0.5氣體純化人人文庫專用站的門窗均應(yīng)向外開啟，有爆炸危險房間的門窗

及地面應(yīng)采用撞擊時不產(chǎn)生火花的材料制作，其余房間的地面應(yīng)

平整、耐磨和防滑。

7.0.6氫氣純化站等有爆炸危險房間的上部空間應(yīng)通風(fēng)良好。

頂棚的內(nèi)表面應(yīng)平整，并應(yīng)避免死角。

7.0.7氣體純化站屋架下弦的高度應(yīng)滿足設(shè)備安裝和維修的要

求，純化間屋架下弦的高度不宜低于4.5m。

·41·

8采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)

8.0.1氣體純化間不得采用明火取暖；設(shè)集中采暖時，應(yīng)采用易

于清除灰塵的散熱器。

8.0.2集中采暖時，純化間不宜低于15℃，控制室不宜低于

18℃。

8.0.3氧氣和非氫氣活化的惰性氣體純化間應(yīng)設(shè)自然通風(fēng)和事

故排風(fēng)，自然通風(fēng)換氣次數(shù)不應(yīng)少于3次/h，事故排風(fēng)換氣次數(shù)不

應(yīng)少于12次/h。

8.0.4氫氣純化間和采用氫氣活化的惰性氣體純化間應(yīng)設(shè)自然

通風(fēng)和事故排風(fēng)，自然通風(fēng)換氣次數(shù)不得少于3次/h；事故排風(fēng)換

氣次數(shù)不得少于12次/h，并應(yīng)與氫氣檢漏報警裝置連鎖。排風(fēng)裝

置應(yīng)設(shè)置在房間頂部。

8.0.5有爆炸危險房間事故排風(fēng)機(jī)的選型應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)

《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)

規(guī)定。

8.0.6氣體純度分析間宜根據(jù)分析儀器的要求設(shè)置獨(dú)立的恒溫

恒濕空調(diào)設(shè)備，室內(nèi)溫度宜為18℃～26℃，相對濕度宜為40％～

60％。人人文庫專用

·51·

9給水排水及消防

9.0.1氣體純化站的供水，除因中斷高純氣體供應(yīng)將造成較大損

失者外，宜采用一路供水。

9.0.2純化站內(nèi)設(shè)置的冷卻水系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1冷卻水系統(tǒng)宜采用集中的閉式循環(huán)水。

2閉式冷卻水系統(tǒng)補(bǔ)水應(yīng)采用軟化水。設(shè)備冷卻水入口應(yīng)

設(shè)置過濾器，冷卻水排水應(yīng)設(shè)置水流觀察裝置或排水漏斗。

9.0.3氫氣純化站、氧氣純化站及其控制室應(yīng)設(shè)置干粉滅火器

等，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB50140

的有關(guān)規(guī)定。

9.0.4純化站的室內(nèi)外消防設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)

計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

人人文庫專用

·61·

10電氣及儀表控制

10.0.1氣體純化站的供電應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計

規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行負(fù)荷分級，除因中斷供電將造成

較大損失者外，宜為三級負(fù)荷。

10.0.2氣體純化站控制系統(tǒng)宜設(shè)置應(yīng)急電源。

10.0.3氫氣純化站等有爆炸危險房間內(nèi)的電氣設(shè)施應(yīng)按2區(qū)爆

炸危險等級設(shè)防，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境

電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。

10.0.4氣體純化站的防雷、防靜電和接地裝置的設(shè)計應(yīng)與制氣

站、供氣站或用氣車間協(xié)同設(shè)計。氫氣純化站等有爆炸危險的房

間和氫氣管道的防雷、防靜電設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氫氣站

設(shè)計規(guī)范》GB50177和《電子工程防靜電設(shè)計規(guī)范》GB50611的

有關(guān)規(guī)定。

10.0.5氫氣純化站等有爆炸危險房間的照明設(shè)計應(yīng)符合下列

規(guī)定：

1應(yīng)采用防爆燈具。

2光源宜采用熒光燈等高效光源。

3燈具應(yīng)裝在較低處，并不得裝在氫氣釋放源的正上方。

10.0.6氣體純化人人文庫專用站內(nèi)宜設(shè)置應(yīng)急照明，氣體純化裝置等儀表集

中處宜設(shè)局部照明。

10.0.7氣體純化站內(nèi)的電纜及導(dǎo)線敷設(shè)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)

《電力工程電纜設(shè)計規(guī)范》GB50217的有關(guān)規(guī)定。敷設(shè)的導(dǎo)線或

電纜應(yīng)采用鋼管保護(hù)，并應(yīng)在下列位置做隔離密封：

1導(dǎo)線或電纜引向電氣設(shè)備接頭部件前。

2相鄰的環(huán)境之間。

·71·

10.0.8氫氣純化站等有爆炸危險房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置氫氣檢漏報警裝

置，并應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)連鎖。當(dāng)空氣中氫氣濃度體積比達(dá)

到0.4％時，事故排風(fēng)機(jī)應(yīng)連鎖自動開啟。

10.0.9氧氣和非氫活化的惰性氣體純化間內(nèi)宜設(shè)置氧氣檢漏報

警裝置，并應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)連鎖。當(dāng)空氣中氧氣濃度體積

比低于18％或體積比高于25％時，事故排風(fēng)機(jī)應(yīng)自動開啟。

10.0.10與氧氣接觸的儀器儀表必須經(jīng)過脫脂處理。

10.0.11高純氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)按下列規(guī)定設(shè)置分析儀器：

1應(yīng)按高純氣體系統(tǒng)分別設(shè)置在線露點(diǎn)分析儀、微量氧分

析儀。

2應(yīng)采用氣相色譜儀或色質(zhì)聯(lián)用儀定期分析高純、超高純氣

體中的雜質(zhì)含量。

3原料氣純度或組分應(yīng)連續(xù)分析。

4應(yīng)定期分析高純氣體中的粒子數(shù)。

10.0.12高純氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列計量儀表：

1原料氣體流量計。

2高純氣或外供高純氣流量計。

3成本核算所必需的用電、用水計量儀表。

4車間入口處宜設(shè)置高純氣體流量記錄累計儀表。

10.0.13高純氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)在下列部位設(shè)置壓力檢測儀表：

1純化站氣體進(jìn)、出口。

2氣體純化裝置氣體進(jìn)、出口。

3高純氣體輸送系統(tǒng)人人文庫專用過濾器氣體進(jìn)、出口。

4冷卻水進(jìn)、出口。

·81·

11施工及驗(yàn)收