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瑟米萊伯貿(mào)易(上海)有限公司上瑟米萊伯貿(mào)易(上海)有限公司上海市浦東新區(qū)商城路889號(hào)波特營(yíng)B2幢3層phone+86-21-58362889;58362890fax+86-21-58362887e-mailsemilab@web瑟米萊伯貿(mào)易(上海)有限公司上海浦東新區(qū)商城路瑟米萊伯貿(mào)易(上海)有限公司上海浦東新區(qū)商城路889號(hào)波特營(yíng)B2幢3層Tel:+86-21-58362890Fax:+86-21-58362887Website://WT1WT1000系列中文手冊(cè)WT-1000系列是Semilab公司的單點(diǎn)少子壽命測(cè)試系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能材料、電池生產(chǎn)的各道工序。提供快速、無(wú)接觸、無(wú)損傷的少數(shù)載流子壽命測(cè)試,適應(yīng)低電阻率樣片的測(cè)試需要,全自動(dòng)操作及數(shù)據(jù)處理。本文檔主要對(duì)其基本軟件設(shè)置,操作步驟及設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)等方面加以介紹。如有問(wèn)題請(qǐng)與我們聯(lián)系,竭誠(chéng)為您服務(wù)。瑟米萊伯貿(mào)易(上海)有限公司地址:上海浦東新區(qū)商城路889號(hào)波特營(yíng)B2幢3層電話:+86-21-58362890傳真:+86-21-58362887網(wǎng)址:警告:WT1200系列探頭內(nèi)置激光反射裝置,激光防護(hù)等級(jí)為1M級(jí),操作時(shí)必須佩戴防護(hù)眼鏡,切勿將激光探頭對(duì)準(zhǔn)他人,動(dòng)物及鏡子等光學(xué)設(shè)備!系統(tǒng)基本構(gòu)成1.1、WT-1200654312654312顯示器工控機(jī)測(cè)試臺(tái)鼠標(biāo)鍵盤(pán)真空泵1.2、WT-1000B2543125431顯示器工控機(jī)探頭鼠標(biāo)鍵盤(pán)2、WT-1200系列新版軟件操作說(shuō)明2.1、Runtime界面1098765432110987654321Runtime:運(yùn)行界面(已選)Recorder:設(shè)置界面Options:選項(xiàng)界面Access:登陸管理界面Exit:退出New:新測(cè)試NewBatch:分隔線Clearstatistics:建立新存檔文件CurrentValues:當(dāng)前少子壽命值Lifetime[us]:少子壽命分檔2.2、Recorder界面1615141213119107865342117181920212216151412131191078653421171819202122LT:少子壽命Evaluation:算法,固定使用SI/1024.意義是在衰減曲線中選取1024個(gè)點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算。TimeCurs:取點(diǎn)處橫坐標(biāo),衰減曲線中的綠色垂直虛線。Offset:曲線中的綠色水平虛線Averaging:每個(gè)測(cè)試點(diǎn)的測(cè)試次數(shù)Amplitude:振幅,曲線中曲線與Timecurs的交點(diǎn)到曲線藍(lán)色部分最低點(diǎn)的電壓差值ThicknessCorrection:厚度修正FastTransient(1024Points):快速測(cè)試,只記錄1024個(gè)點(diǎn)UseSlopeCorrection:微波頻率鎖定,通常用于在線設(shè)備Exclude50us(Blocks):Autosetting過(guò)程中忽略最小時(shí)間范圍WMfrequency:微波的頻率LaserPower:激光的功率Range:激光功率的范圍,High高,Low低,默認(rèn)HighPolarityselector:極性選擇,默認(rèn)NoneUPDATE:數(shù)據(jù)持續(xù)更新,用于硅片、錠整體掃描Savesetting:保存設(shè)定Voltage:曲線的縱坐標(biāo)Time:曲線的橫坐標(biāo)Autosetting:參數(shù)自動(dòng)設(shè)置StopAutosetting:停止AutosettingFunctions:函數(shù)曲線衰減曲線2.3、Options界面34213421此頁(yè)面中多數(shù)是在線設(shè)備的設(shè)置項(xiàng)目,其中單機(jī)的設(shè)置有:Lifetimesetup:少子壽命界限設(shè)置Opticalsensor:傳感器感應(yīng)自動(dòng)測(cè)試Comparisonlevel:光學(xué)傳感器量級(jí)Sensedelay:傳感器延遲2.4、Access界面可設(shè)置登陸用戶(hù)。3、操作步驟3.1操作流程圖測(cè)試結(jié)束清潔樣品測(cè)試結(jié)束清潔樣品開(kāi)機(jī)在Recorder界面下點(diǎn)Autosetting將探頭固定于樣品表面數(shù)據(jù)會(huì)自動(dòng)保存在指定文件中在Runtime界面下進(jìn)行測(cè)試點(diǎn)擊軟件左側(cè)的Recorder按鈕進(jìn)入設(shè)置界面。點(diǎn)擊Recorder界面中的,設(shè)備會(huì)自動(dòng)進(jìn)行測(cè)試參數(shù)設(shè)置。Autosetting過(guò)程中不要移動(dòng)樣品及探頭,Autosetting結(jié)束后會(huì)在LT中顯示少子壽命值。進(jìn)行過(guò)Autosetting后就可以進(jìn)行測(cè)試了,點(diǎn)擊進(jìn)入測(cè)試界面,首先點(diǎn)擊進(jìn)行存儲(chǔ)設(shè)置,之后的測(cè)試結(jié)果都將保存到建立的txt中,然后可以點(diǎn)擊進(jìn)行單點(diǎn)測(cè)試,點(diǎn)擊建立區(qū)分線。4.結(jié)果自動(dòng)保存在.txt文件中4,設(shè)備維護(hù)及故障排除4.1、保證工控機(jī)接地良好,建議裝備UPS不間斷電源。4.2、探頭切勿碰撞,以免損壞內(nèi)部敏感元件,保持探頭清潔。4.3、如懷疑測(cè)試結(jié)果首先測(cè)試隨機(jī)附贈(zèng)的參考片如偏差較大選擇Recorder\Functions下前兩項(xiàng)進(jìn)行硬件故障判斷 21 211,microwaveDC:微波測(cè)試2,Las
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