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文檔簡介

快速找引晶溫度簡介目的:縮短拉晶時間,降低生產(chǎn)成本,提高公司效益.目前現(xiàn)狀:提蓋子后爐內(nèi)溫度比較低,引晶溫度不好找或找引晶溫度時間較長期望:提蓋子后能夠快速(30分鐘內(nèi))找到引晶溫度,引出高質(zhì)量的單晶,達到三段式引晶效果。提蓋子是在較低溫度下進行,蓋子提出后爐內(nèi)溫度一般比較低,為了能夠快速找到引晶溫度 節(jié)省時間和成本,同時能引出高質(zhì)量的單晶(三段式引晶)。測完電阻后,進行如下操作后,能夠快速找到合適的引晶溫度,而且適合三段式引晶規(guī)格。具體操作:1、 提蓋子后,將功率升高至引晶功率以上3—5kw,將堝轉(zhuǎn)降至2轉(zhuǎn),堝位升到引晶堝位,將籽晶按照工藝要求降至離液面3—5mm對籽晶進行預(yù)熱。2、 等待幾分鐘后,看熱場測量值與本爐引晶時設(shè)定值的差值,當(dāng)差值較小時(4--6sp左右),此時可以降籽晶至熔硅中,進行熔接。當(dāng)籽晶周圍逐漸出現(xiàn)光圈,然后光圈變圓,這時,就說明此時溫度已經(jīng)達到引晶的要求。3、 待熔接好后,逐漸升高堝轉(zhuǎn)(升至引晶時的堝轉(zhuǎn),五分鐘內(nèi)完成),然后將功率降到比本次引晶功率低1-2kw,待籽晶光圈周圍出現(xiàn)4個點時,直接點“手動引晶”工藝流程,進行手動引晶即可。此方法的好處:1、 節(jié)約調(diào)溫時間2、 高溫熔接3、 高溫時升堝轉(zhuǎn)降溫,可以達到開始低拉速,中途高拉速,引晶后期為低拉速,符合三段式引晶。附:相關(guān)爐臺試驗數(shù)據(jù)介紹

以上為定性說明此操作,下面是晶體編號為SG0909098-4采用此操作后的一些相關(guān)數(shù)據(jù)和圖片介紹。相關(guān)數(shù)據(jù):日日體編號放蓋子測電阻時間隔離時間副室凈化時間切換手動時間0909098-415:0015:1115:1815:26手動引晶時間調(diào)溫時間引晶時間放肩成功率15:50394616:36一次成功以上數(shù)據(jù)為爐臺生長記錄中數(shù)據(jù),具體見下列圖片所示。本爐晶體的調(diào)溫時間從放蓋子后隔離時進行計時,從上述數(shù)據(jù)看,本次調(diào)溫時間為39分鐘。下圖為相關(guān)圖片:1、下圖為提蓋子后副室隔離及引晶時的生長記錄

I*'&8485Q00■^(m/sinj:(flifli/iiin)^(nwn/miri)E(r?/min??{nwi/m>in)'BnwSnin〉2I*'&8485Q00■^(m/sinj:(flifli/iiin)^(nwn/miri)E(r?/min??{nwi/m>in)'BnwSnin〉IFM1A蠟?zāi)虸伽)酒面溫ff(degG)副i生牧謹席(nm/min)越IFM1A蠟?zāi)虸伽)酒面溫ff(degG)副i生牧謹席(nm/min)越it長度(w)晶啟行厲伽)15監(jiān)轂時I4'?:t T "** 〔,a> 4 i.? f 1l b i4 ■ 1■ P141 i 1? ■ i; l?;■■?■?V i i" i13:3614有比較明顯的降低,說明此時的熱場溫度比較高,進而在進行放肩時

不容易放飛。3、下圖為按照此方法引出的細頸外觀質(zhì)量4、 本爐晶

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