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建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表(污染影響類)項(xiàng)目名稱:杭錢塘工出【2022】13號(hào)杭州美迪凱微電子有限公司年產(chǎn)20億顆(件、套)半導(dǎo)體器件建設(shè)項(xiàng)目建設(shè)單位(蓋章):杭州美迪凱微電子有限公司中華人民共和國(guó)生態(tài)環(huán)境部制 1 17 40 57 106 附圖一項(xiàng)目地理位置圖附圖二項(xiàng)目總平面布置圖附圖三項(xiàng)目周邊環(huán)境示意及周邊敏感點(diǎn)分布圖附圖四環(huán)境管控單元分類圖附圖五項(xiàng)目地水環(huán)境功能區(qū)劃圖附圖六項(xiàng)目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃圖附圖七項(xiàng)目所在地聲環(huán)境功能區(qū)劃圖附圖八項(xiàng)目地理位置地下水、土壤和噪聲監(jiān)測(cè)點(diǎn)位圖附件1項(xiàng)目立項(xiàng)文件附件2企業(yè)營(yíng)業(yè)執(zhí)照附件3土地證附件4檢測(cè)報(bào)告附件5主要物料的MSDS附件6危廢承諾書附件7納管承諾書附件8審批申請(qǐng)附件9授權(quán)委托書附件10環(huán)評(píng)文件承諾書附件11公開說明材料附件12不宜公開說明文件附件13專家意見及修改清單1人80、電子器件制造397(使用有機(jī)溶劑的;有新建(遷建)首次申報(bào)項(xiàng)目超五年重新審核項(xiàng)目重大變動(dòng)重新報(bào)批項(xiàng)目準(zhǔn)/備案)部否是:排放氯氣,但項(xiàng)目廠界外500米范圍內(nèi)無環(huán)2送杭州七格污水處理廠進(jìn)一步處理,不屬于新生產(chǎn)場(chǎng)所危險(xiǎn)化學(xué)品名稱最大儲(chǔ)存量qi臨界量qi/Qi倉庫、車間異丙醇0.940.094鹽酸(≥37%)32氫氟酸0.2410.24丙酮0.090.009丁酮0.010.001硫酸0.370.037硝酸0.287.50.037333磷酸0.340.034氨水0.180.018硅烷0.0162.50.00640.0080.0008氨氣0.0450.008三氟化硼0.062.50.024二氯硅烷0.03750.0074磷化氫(磷烷)0.01610.016砷化氫(砷烷)0.0020.250.008氯氣0.04510.045溴化氫0.052.50.02氯化氫0.0252.50.01三氯化硼0.042.50.016危險(xiǎn)廢物74.0550小計(jì)//2.1449本項(xiàng)目用水全部通過自來水管網(wǎng)供給,不設(shè)取水口,不屬于取3水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場(chǎng)、索餌場(chǎng)、越冬場(chǎng)和洄游通道的新增河道取水的污染類建設(shè)項(xiàng)目,因此本項(xiàng)目無本項(xiàng)目廢水(生產(chǎn)廢水及生活污水)經(jīng)處理達(dá)標(biāo)后納管排放,送杭州七格污水處理廠進(jìn)一步處理;危廢委托有資質(zhì)單位處置,一般廢物外運(yùn)綜合利用;因此,項(xiàng)目不屬于直接向海排放污染物的海根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制技術(shù)指南(污染影響類)本項(xiàng)目周邊不涉及集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫泉等專項(xiàng)評(píng)價(jià)類別設(shè)置原則本項(xiàng)目設(shè)置情況大氣排放廢氣含有毒有害污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯氣及廠界外500米范圍內(nèi)有環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)的建設(shè)項(xiàng)目不設(shè)置地表水新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項(xiàng)目(槽罐車送污水處理廠的除外);新增廢水直排的污水集中處理廠不設(shè)置環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量超過臨界量的建設(shè)項(xiàng)目項(xiàng)目Q值為2.1449,大于1,需設(shè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)專項(xiàng)評(píng)價(jià)生態(tài)取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場(chǎng)、索餌場(chǎng)、越冬場(chǎng)和洄游通道的新增河道取水的污染類建設(shè)項(xiàng)目不設(shè)置海洋直接向海排放污染物的海洋工程建設(shè)項(xiàng)目不設(shè)置土壤、聲環(huán)境不開展評(píng)價(jià)不設(shè)置地下水地下水涉及集中式飲用水水源和熱水礦泉涉及集中式飲用水水源和熱水礦泉不設(shè)置不設(shè)置4水、溫泉等特殊地下水資源保護(hù)區(qū)的開展地下水專項(xiàng)評(píng)價(jià)工作析開發(fā)區(qū)的管轄面積為104.7平方公里,的8萬t/d的供水能力外,緊挨錢塘江大堤5杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)的管轄面積為104.7轄面積95.3平方公里和白楊街道所轄面積9.4成區(qū)為34平方公里,現(xiàn)狀用地主要以工業(yè)用校科研用地,配套的公共設(shè)施建設(shè)相對(duì)薄弱符合性分析:本項(xiàng)目位于杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)可證,項(xiàng)目用地性質(zhì)為二類工業(yè)用地;因此塘江邊;規(guī)劃總用地面積27平方公里,包),6國(guó)民經(jīng)濟(jì)分類類別名稱禁止清單行業(yè)清單工藝清單產(chǎn)品清單C制造業(yè)27醫(yī)藥制造業(yè)271化學(xué)藥品原料藥制造271化學(xué)藥品原料藥制造《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》、《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄》、《浙江省制造業(yè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)錄》、《杭州市產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄與空間布局指《杭州市招商引資產(chǎn)業(yè)空間布局導(dǎo)引手冊(cè)(2015年本)》272化學(xué)藥品制劑制造涉及高毒、高風(fēng)險(xiǎn)物質(zhì)273中藥飲片加工萃取工業(yè)274中成藥生產(chǎn)275獸用藥品制造275獸用藥品制造276生物藥品制品制造發(fā)酵工業(yè)277衛(wèi)生材料及醫(yī)藥用品制造居民區(qū)200米范圍內(nèi)新進(jìn)、技改含產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)物工段和排放惡臭氣體項(xiàng)目;禁止新進(jìn)或技改排放揮發(fā)性有機(jī)物5噸以上項(xiàng)藍(lán)、酸處理、有鈍化工藝的熱鍍鋅、熱處理、鑄造工藝。34通用設(shè)備制造業(yè)342金屬加工機(jī)械制造343物料搬運(yùn)設(shè)備制造348通用零部件制造349其他通用設(shè)備制造業(yè)3491工業(yè)機(jī)器人制造3492特殊作業(yè)機(jī)器人制造35專用設(shè)備制造業(yè)3512石油鉆采專用設(shè)備制造居民區(qū)200米范圍內(nèi)新進(jìn)、技改含產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)物工段和排放惡臭氣體項(xiàng)目;禁止新進(jìn)或技改排放揮發(fā)性有機(jī)物5噸以上項(xiàng)3513深海石油鉆探設(shè)備制造356電子和電工機(jī)械專用設(shè)備制造358醫(yī)療儀器設(shè)備及器械制造737鐵路、船舶、航空航天和其他運(yùn)輸設(shè)備制造業(yè)371鐵路運(yùn)輸設(shè)備制造藍(lán)、酸處理、有鈍化工藝的熱鍍鋅、熱處理、鑄造工藝。、《部分工業(yè)行業(yè)淘汰落后生產(chǎn)工藝裝備和產(chǎn)品指導(dǎo)目錄》、《浙江省淘汰和禁止發(fā)展的落后生產(chǎn)能力目錄》中所有限制、禁止類產(chǎn)品372城市軌道交通設(shè)備制造374航空、航天器及設(shè)備制造379潛水救撈及其他未列明運(yùn)輸設(shè)備制造機(jī)械和器材制造業(yè)381電機(jī)制造居民區(qū)200米范圍內(nèi)新進(jìn)、技改含產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)物工段和排放惡臭氣體項(xiàng)目;禁止新進(jìn)或技改排放揮發(fā)性有機(jī)物5噸以上項(xiàng)藍(lán)、酸處理、有鈍化工藝的熱鍍鋅、熱處理、鑄造工藝。382輸配電及控制設(shè)備制造383電線、電纜、光纖及電工器材制造389其他電氣機(jī)械及器材制造39計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)391計(jì)算機(jī)制造392通信設(shè)備制造393廣播電視設(shè)備制造3940雷達(dá)及配套設(shè)備制造395視聽設(shè)備制造396智能消費(fèi)設(shè)備制造40儀器儀表制造業(yè)402專用儀器儀表制造409其他儀器儀表制造業(yè)表1.2-2開發(fā)區(qū)主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)環(huán)境準(zhǔn)國(guó)民經(jīng)濟(jì)分類類別名稱禁止清單行業(yè)清單工藝清單產(chǎn)品清單C制造業(yè)其他火力發(fā)電(燃煤);煉鐵、球團(tuán)、燒結(jié);煉鋼;鐵合金冶煉;錳、鉻冶煉;有色金屬冶煉(含再生有色金屬冶煉);有色金屬合金制造(全部);金屬制品表面處理及熱處理加工(電鍍、有鈍化工藝的熱鍍鋅);水泥制造;原油加工、天然氣加工、油母頁巖提煉原油、煤制原油、生物制油及其他石油制品;基本化學(xué)原料制造;肥料制造;農(nóng)藥制造;2、有鈍化工藝的熱鍍鋅;3、化學(xué)反應(yīng)過程或化學(xué)處理工藝;4、濕法印花、染色、水洗工藝;5、制革、毛皮鞣制;6、發(fā)酵工《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》、《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄》、《浙江省制造業(yè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄》、《杭州市產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄與空間布局指引》、《杭州市招商引資產(chǎn)業(yè)空間布局導(dǎo)引手冊(cè)(2015)》、《部分工業(yè)行業(yè)淘汰落后生產(chǎn)工藝裝備和產(chǎn)品指導(dǎo)目錄》、8涂料、染料、顏料、油墨及其類似產(chǎn)品制造;合成材料制造;專用化學(xué)品制造;炸藥、火工及焰火產(chǎn)品制造;食品及飼料添加劑等制造(有化學(xué)反應(yīng)過程的);日用化學(xué)品制造(有化學(xué)反應(yīng)過程的);化學(xué)藥品制造;紙漿制造、造紙(含廢紙?jiān)旒垼?;皮革、毛皮、羽毛(絨)制品(制革、毛皮鞣制);化學(xué)纖維制造;紡織品制造(有染整工段的)等重污染行業(yè)項(xiàng)目。7、有機(jī)涂層?!墩憬√蕴徒拱l(fā)展的落后生產(chǎn)能力目錄》中所有限制、禁止類產(chǎn)品表1.2-3開發(fā)區(qū)主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)環(huán)境準(zhǔn)國(guó)民經(jīng)濟(jì)分類類別名稱限制清單行業(yè)清單工藝清單產(chǎn)品清單C制造業(yè)397電子器件制造/單位廢水排放量超過區(qū)域平均值項(xiàng)目/398電子元件及電子專用材料制造//3990其他電子設(shè)備制造//塊的限制準(zhǔn)入類產(chǎn)業(yè)。且項(xiàng)目實(shí)施后新增污削減替代后不會(huì)導(dǎo)致區(qū)域污染物排放量突破件。嚴(yán)格控制重要水系源頭地區(qū)和重要生態(tài)入。優(yōu)化完善區(qū)域產(chǎn)業(yè)布局,合理規(guī)劃布局9削減污染物排放總量。新建二類、三類工業(yè)達(dá)到同行業(yè)國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。加快落實(shí)污水處目,推進(jìn)工業(yè)園區(qū)(工業(yè)企業(yè))“污水零直排區(qū)重點(diǎn)管控單元產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)-江干區(qū)下沙南部、下沙園區(qū)北部產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單元(ZH33010420002)要求如下:三線一單有關(guān)要求本項(xiàng)目情況符合性分析生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單空間布局約束根據(jù)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)塊的功能定位,建立分區(qū)差別化的產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入條件。合理規(guī)劃居住區(qū)與工業(yè)功能區(qū),在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護(hù)綠地、生活綠地等隔離帶。項(xiàng)目位于江干區(qū)下沙南部、下沙園區(qū)北部有產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)重點(diǎn)管控單元(ZH33010420002),項(xiàng)目所在地屬工業(yè)用地,與周邊工業(yè)區(qū)、居民區(qū)之間均設(shè)有防護(hù)綠化帶、隔離帶等。符合污染物排放管控嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制度,根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo),削減污染物排放總量。所有企業(yè)實(shí)現(xiàn)雨污分流。項(xiàng)目所在區(qū)域已實(shí)現(xiàn)雨污分流;項(xiàng)目廢氣、廢水、噪聲經(jīng)相應(yīng)處理措施處理后均能達(dá)標(biāo)排放,本項(xiàng)目新增的VOCs、CODCr和氨氮總量指標(biāo)進(jìn)行區(qū)域替代削減后滿足總量控制要符合環(huán)境險(xiǎn)強(qiáng)化工業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范設(shè)施設(shè)備建設(shè)和正常運(yùn)行監(jiān)管,加強(qiáng)重點(diǎn)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控企業(yè)應(yīng)急預(yù)案制定,建立常態(tài)化的企業(yè)隱患排查整治監(jiān)管機(jī)制,加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)。本項(xiàng)目通過制定風(fēng)險(xiǎn)防范措施,制定安全生產(chǎn)規(guī)范,通過加強(qiáng)員工的安全、環(huán)保知識(shí)和風(fēng)險(xiǎn)事故安全教育,提高職工的風(fēng)險(xiǎn)意識(shí),以減少風(fēng)險(xiǎn)生的概率,要求企業(yè)編制突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案并進(jìn)行備案。其次通過加強(qiáng)對(duì)環(huán)保處理設(shè)施的維護(hù),確保降低廢氣、廢水處理設(shè)施故障。符合資源開發(fā)效率要求///符合性分析生態(tài)保護(hù)紅線項(xiàng)目位于江干區(qū)下沙南部、下沙園區(qū)北部有產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)重點(diǎn)管控單元(ZH33010420002),不屬于生態(tài)保護(hù)紅線內(nèi)。資源利用上線項(xiàng)目原料均從正規(guī)合法單位購(gòu)得,水和電等公共資源由當(dāng)?shù)叵嚓P(guān)單位供應(yīng),且整體而言項(xiàng)目所用資源相對(duì)較小,也不占用當(dāng)?shù)仄渌匀毁Y源和能源,不觸及資源利用上限。環(huán)境質(zhì)量底線區(qū)域大氣環(huán)境不達(dá)標(biāo),其中臭氧略微超過二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),聲環(huán)境質(zhì)量和地表水環(huán)境質(zhì)量均達(dá)標(biāo),項(xiàng)目廢水、廢氣經(jīng)處理后達(dá)標(biāo)排放,噪聲落實(shí)隔聲降噪措施后,均不會(huì)改變所在環(huán)境功能區(qū)的質(zhì)量,因此項(xiàng)目不觸及環(huán)境質(zhì)量底線。負(fù)面清單項(xiàng)目也不屬所在環(huán)境功能區(qū)的負(fù)面清單中根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》(2017年07月16日修正),建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例符合性分析是否符合四性建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境可行性本項(xiàng)目位于杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),項(xiàng)目建設(shè)符合《關(guān)于以改善環(huán)境質(zhì)量為核心加強(qiáng)環(huán)境評(píng)價(jià)管理的通知》(環(huán)環(huán)評(píng)[2016]150號(hào))中“三線一單”要求。符合要求環(huán)境影響分析預(yù)測(cè)評(píng)估的可靠性根據(jù)環(huán)境影響分析,本項(xiàng)目廢氣經(jīng)處理后可實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。廢水經(jīng)污水站處理后可實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。符合要求環(huán)境保護(hù)措施的有效性本項(xiàng)目產(chǎn)生的污染物有較為成熟的技術(shù)進(jìn)行處理,從技術(shù)上分析,只要切實(shí)落實(shí)本報(bào)告提出的污染防治措施,本項(xiàng)目廢氣、廢水、噪聲可做到達(dá)標(biāo)排放,固廢可做到妥善處置。符合要求環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論的科學(xué)性本環(huán)評(píng)結(jié)論客觀、過程公開、評(píng)價(jià)公正,并綜合考慮建設(shè)項(xiàng)目實(shí)施后對(duì)各種環(huán)境因素可能造成的影響,環(huán)評(píng)結(jié)論是科學(xué)的。符合要求五不批(一)建設(shè)項(xiàng)目類型及其選址、布局、規(guī)模等不符合環(huán)境保護(hù)法項(xiàng)目符合當(dāng)?shù)乜傮w規(guī)劃,符合國(guó)家、地方產(chǎn)業(yè)政策,符合“三線一單”要求,項(xiàng)目營(yíng)運(yùn)過程中各類污染源均可得到有效控制并能做到達(dá)標(biāo)排放,符合總量控制和審批要求律法規(guī)和相關(guān)法定規(guī)劃達(dá)標(biāo)排放的原則,對(duì)環(huán)境影響不大,項(xiàng)目實(shí)施不會(huì)改變所在地的環(huán)境質(zhì)量水平和環(huán)境功能,符合環(huán)境保護(hù)法律法規(guī)和相關(guān)法定規(guī)劃。(二)所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量未達(dá)到國(guó)家或者地方環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),且建設(shè)項(xiàng)目擬采取的措施不能滿足區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)管理要求項(xiàng)目所在區(qū)域空氣質(zhì)量不達(dá)標(biāo),其中臭氧略微超過二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),地表水環(huán)境均為達(dá)標(biāo)區(qū),聲環(huán)境質(zhì)量較好。項(xiàng)目廢水經(jīng)達(dá)標(biāo)處理后排入杭州七格污水處理廠,不排入周圍水環(huán)境,不會(huì)對(duì)周邊水環(huán)境質(zhì)量造成沖擊;廢氣經(jīng)治理后均可實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放;通過對(duì)噪聲采取隔聲、降噪等措施后,外排噪聲均能達(dá)標(biāo)排放;固廢可做到無害化處置。因此采取本環(huán)評(píng)提出的相關(guān)防治措施后,本項(xiàng)目排放的污染物不會(huì)對(duì)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量底線造成沖擊。符合(三)建設(shè)項(xiàng)目采取的污染防治措施無法確保污染物排放達(dá)到國(guó)家和地方排放標(biāo)準(zhǔn),或者未采取必要措施預(yù)防和控制生態(tài)破壞根據(jù)預(yù)測(cè)分析,項(xiàng)目廢氣、廢水經(jīng)處理后可實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。符合要求(四)改建、擴(kuò)建和技術(shù)改造項(xiàng)原有環(huán)境污染和生態(tài)破壞提出有效防治措施本項(xiàng)目為新建項(xiàng)目,無現(xiàn)有污染源。符合(五)建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境影響報(bào)告書、環(huán)境影響報(bào)告表的基礎(chǔ)資料數(shù)據(jù)明顯不實(shí),內(nèi)容存在重大缺陷、遺漏,或者環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論不明確、不合理。建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告的基礎(chǔ)資料數(shù)據(jù)真實(shí)可靠,內(nèi)容不存在缺陷、遺漏,環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論明確、合理。符合根據(jù)以上分析,本項(xiàng)目符合杭州市“三線一單”的具體管控要本項(xiàng)目污染物排放經(jīng)治理后均能達(dá)標(biāo),只要企業(yè)能落實(shí)各項(xiàng)污染治理措施,則運(yùn)營(yíng)期污染物排放能達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)要求,符合根據(jù)工程分析可知,項(xiàng)目納入總量控制的污染因子為CODCr、NH3-N和VOCs。本項(xiàng)目新增CODCVOCs3.009t/a。新增的總量控制指標(biāo)經(jīng)區(qū)域替代削減進(jìn)行總量控制本項(xiàng)目按環(huán)評(píng)要求設(shè)置污染物治理措施后,各類污染物均能達(dá)本項(xiàng)目主要進(jìn)行半導(dǎo)體器件的生產(chǎn),屬于國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)類別中的“C397電子器件制造”,項(xiàng)目位于杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)的東南產(chǎn)業(yè)區(qū)。根據(jù)企業(yè)提供的建設(shè)用地規(guī)劃許可證,項(xiàng)目地塊為二類工業(yè)用地;項(xiàng)目所在地屬于《杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)總體發(fā)展規(guī)劃(2017-2035年)》用地布局中的工業(yè)用地區(qū)塊;項(xiàng)目屬于電子器件制造,符合所在區(qū)域的產(chǎn)業(yè)定位。經(jīng)綜合分析,項(xiàng)目符合所在地相關(guān)規(guī)劃項(xiàng)目位于杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)的東南產(chǎn)業(yè)區(qū),根據(jù)企業(yè)提供的建設(shè)用地規(guī)劃許可證,項(xiàng)目用地性質(zhì)為二類工業(yè)用地,符合浙江省主體功能區(qū)規(guī)劃,符合杭州市土地利用總體規(guī)劃以及錢塘區(qū)總體規(guī)本項(xiàng)目主要進(jìn)行半導(dǎo)體器件的生產(chǎn),對(duì)照《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)),淘汰類產(chǎn)業(yè);也不屬于《浙江省工業(yè)污染項(xiàng)目(產(chǎn)品、工藝)禁止和限制發(fā)展目錄》所規(guī)定的禁止類和限制類產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。因此,本項(xiàng)根據(jù)《杭州市產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄與空間布局指引(2019年本)》,本項(xiàng)目不屬于其中的限制類和禁止(淘汰)類產(chǎn)業(yè)。對(duì)照《杭州市錢塘區(qū)人民政府辦公室關(guān)于印發(fā)錢塘區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄與產(chǎn)業(yè)平臺(tái)布局指引的通知》(錢政辦發(fā)[2022]6號(hào)),項(xiàng)目不屬于限1.6與《長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南(試行,2022年版)浙江省實(shí)表1.6-1與《長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南(試行,2022年條款本項(xiàng)目情況是否符合第五條禁止在自然保護(hù)地的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設(shè)不符合《浙江省自然保護(hù)地建設(shè)項(xiàng)目準(zhǔn)入負(fù)面清單(試行)》的項(xiàng)目。禁止在自然保護(hù)地的岸線和河段范圍內(nèi)采石、采砂、采土、砍伐及其他嚴(yán)重改變地形地貌、破壞自然生態(tài)、影響自然景觀的開發(fā)利用行為。禁止在I級(jí)林地、一級(jí)國(guó)家級(jí)公益林內(nèi)建設(shè)項(xiàng)目。自然保護(hù)地由省林業(yè)局會(huì)同相關(guān)管理機(jī)構(gòu)界定。本項(xiàng)目位于重點(diǎn)管控單元產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)-江干區(qū)下沙南部、下沙園區(qū)北部產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單元,不涉及各類保護(hù)區(qū)。符合第六條禁止在飲用水水源一級(jí)保護(hù)區(qū)、二級(jí)保護(hù)區(qū)、準(zhǔn)保護(hù)區(qū)的岸線和河段范圍本項(xiàng)目位于杭州市錢塘新區(qū)內(nèi),不涉符合內(nèi)投資建設(shè)不符合《浙江省飲用水源保護(hù)條例》的項(xiàng)目。飲用水水源一級(jí)保護(hù)區(qū)、二級(jí)保護(hù)區(qū)、準(zhǔn)保護(hù)區(qū)由省生態(tài)環(huán)境廳會(huì)同相關(guān)管理機(jī)構(gòu)界定。及飲用水水源保護(hù)區(qū),不涉及違法利用、占用長(zhǎng)江流域河湖岸線。第九條禁止違法利用、占用長(zhǎng)江流域河湖岸本項(xiàng)目位于杭州市錢塘新區(qū)內(nèi),不涉及違法利用、占用長(zhǎng)江流域河湖岸線第十條禁止在《長(zhǎng)江岸線保護(hù)和開發(fā)利用總體規(guī)劃》劃定的岸線保護(hù)區(qū)和保留區(qū)內(nèi)投資建設(shè)除事關(guān)公共安全及公眾利益的防洪護(hù)岸、河道治理、供水、生態(tài)環(huán)境保護(hù)、國(guó)家重要基礎(chǔ)設(shè)施以外的項(xiàng)目。本項(xiàng)目位于杭州市錢塘新區(qū)內(nèi),不涉及劃定的岸線保護(hù)區(qū)和保留區(qū)第十一條禁止在《全國(guó)重要江河湖泊水功能區(qū)劃》劃定的河段及湖泊保護(hù)區(qū)、保留區(qū)內(nèi)投資建設(shè)不利于水資源及自然生態(tài)保護(hù)的項(xiàng)目。本項(xiàng)目位于杭州市錢塘新區(qū)內(nèi),不涉及劃定的河段及湖泊保護(hù)區(qū)、保留符合第十三條禁止在長(zhǎng)江支流、太湖等重要岸線一公里范圍內(nèi)新建、擴(kuò)建化工園區(qū)和化工項(xiàng)目。本項(xiàng)目位于杭州市錢塘新區(qū)內(nèi),不涉及長(zhǎng)江支流、太湖等重要岸線一公里范圍內(nèi)區(qū)域。符合第十禁止在長(zhǎng)江重要支流岸線一公里范圍內(nèi)新建、改建、擴(kuò)建尾礦庫、冶煉渣庫和磷石膏庫,以提升安全、生態(tài)環(huán)境保護(hù)水平為目的的改擴(kuò)建除外。符合第十五條禁止在合規(guī)園區(qū)外新建、擴(kuò)建鋼鐵、石化、化工、焦化、建材、有色、制漿造紙等高污染項(xiàng)目。高污染項(xiàng)目清單參照生態(tài)環(huán)境部《環(huán)境保護(hù)綜合目錄》中的高污染產(chǎn)品目錄執(zhí)行本項(xiàng)目不屬于鋼鐵、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染項(xiàng)目。符合第十六條禁止新建、擴(kuò)建不符合國(guó)家石化、現(xiàn)代煤化工等產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃的項(xiàng)目符合第十七條禁止新建、擴(kuò)建法律法規(guī)和相關(guān)政策明令禁止的落后產(chǎn)能項(xiàng)目,對(duì)列入《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》淘汰類中本項(xiàng)目不屬于落后產(chǎn)能項(xiàng)目,不屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指符合的落后生產(chǎn)工藝裝備、落后產(chǎn)品投資項(xiàng)目,列入《外商投資準(zhǔn)入特別管理措施(負(fù)面清單)》的外商投資項(xiàng)目,一律不得核準(zhǔn)、備案。禁止向落后產(chǎn)能項(xiàng)目和嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)項(xiàng)目供應(yīng)土地。導(dǎo)目錄(2019年本)》(2021年修訂)中淘汰類和禁止類項(xiàng)目,不屬于外商投資項(xiàng)目。第十八條禁止新建、擴(kuò)建不符合國(guó)家產(chǎn)能置換要求的嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)的項(xiàng)目。部門、機(jī)構(gòu)禁止辦理相關(guān)的土地(海域)供應(yīng)、能評(píng)、環(huán)評(píng)審批和新增授信支持等業(yè)務(wù)。本項(xiàng)目不屬于嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)的項(xiàng)符合第十九條禁止新建、擴(kuò)建不符合要求的高耗能高排放項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于高耗能高排放項(xiàng)目。符合杭州美迪凱光電科技股份有限公司位于杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)20號(hào)大街578號(hào),成立于2010年,注冊(cè)資金40,133.3334萬元,公司主要從事光學(xué)光電子、半導(dǎo)體光學(xué)、半導(dǎo)體晶圓加工、半導(dǎo)體封測(cè)的研發(fā)、制造、銷售和服務(wù)。按照應(yīng)用領(lǐng)域分類,公司主要有四大類產(chǎn)品和服務(wù),包括半導(dǎo)體零部件及精密加工服務(wù)、生物識(shí)別零部件及精密加工服務(wù)、影像光學(xué)零部件、AR/MR光學(xué)零部件精密加工服務(wù)等。公司成立全資子公司杭州美迪凱微電驗(yàn),擁有多項(xiàng)核心技術(shù)。杭州市錢塘新區(qū)具有良好的營(yíng)商環(huán)境、區(qū)位優(yōu)勢(shì)及雄厚的人才資源,并高度重視及扶持高端制造業(yè)、高新科技企業(yè)在本地區(qū)的發(fā)展。企業(yè)擬抓住機(jī)遇,投資10億元,在杭州市錢塘新區(qū),新增用地面積101.98畝,購(gòu)置土地并進(jìn)行廠房建造。地塊東至21號(hào)大街,西至美町寶地塊,南至12號(hào)大街,北至佑本動(dòng)物疫苗地塊。項(xiàng)目擬引進(jìn)包括光刻機(jī)、干刻機(jī)、鍍膜機(jī)等高精尖生產(chǎn)和檢測(cè)等設(shè)備,實(shí)施年產(chǎn)20億顆(件、套)半該項(xiàng)目已于2022年6月通過錢塘新區(qū)行政審批局同意備案,項(xiàng)目代碼:2206-330114-89-01-811734。根據(jù)《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》、《中華人民共和國(guó)環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》和國(guó)務(wù)院第682號(hào)令《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》和浙江省建設(shè)項(xiàng)目環(huán)保管理的有關(guān)規(guī)定,建設(shè)項(xiàng)目必須進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià),科學(xué)客觀地評(píng)價(jià)項(xiàng)目建設(shè)過程和建成后可能對(duì)周圍環(huán)境造成的影響,從環(huán)保角度論證項(xiàng)目建設(shè)可行性,提出防治或最大限度削減環(huán)境污染的對(duì)策與措施。根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類管理名錄》(2021年版)中“三十六、計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造中80電子器件制造397,其他(顯示器件制造;集成電路制造;使用有機(jī)溶劑的;有酸洗的以根據(jù)《固定污染源排污許可分類管理名錄》(2019年版),本項(xiàng)目屬用10噸及以上溶劑型涂料及稀釋劑,后續(xù)如有重大調(diào)整,則應(yīng)按屬地管理),表2.1-1企業(yè)固定污染源排污許可管理類別判定表行業(yè)類別重點(diǎn)管理簡(jiǎn)化管理登記管理三十四、計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)39計(jì)算機(jī)制造391,電子器件制造397,電子元件及電子專用材料制造398,其他電子設(shè)備制造399納入重點(diǎn)排污單位名錄的除重點(diǎn)管理以外的年使用10噸及以上溶劑型涂料(含稀釋劑)的其他企業(yè)擬抓住機(jī)遇,投資10億元,在杭州市錢塘新區(qū)新增用地面積101.98畝,購(gòu)置土地并進(jìn)行廠房建造,引進(jìn)包括光刻機(jī)、干刻機(jī)、鍍膜機(jī)等高精尖生產(chǎn)和檢測(cè)等設(shè)備,實(shí)施年產(chǎn)20億顆(件、套)半導(dǎo)體器件建設(shè)項(xiàng)序號(hào)產(chǎn)品名稱生產(chǎn)能力(臺(tái)/年)1半導(dǎo)體器件20億顆(件、套)/a其中微電路產(chǎn)品10億顆(件、套)/a光路程產(chǎn)品10億顆(件、套)/a注:項(xiàng)目微電路產(chǎn)品中部分產(chǎn)品需要涉及液體鍍膜,產(chǎn)量約占微電路產(chǎn)品中的80%,即8億顆(件、套)/a(折成片數(shù)約4萬片/a)。而芯片封裝是根據(jù)客戶需要生產(chǎn),產(chǎn)污根據(jù)設(shè)備配置進(jìn)行分析。主體工程新建建筑面積約197259.24平方米,建設(shè)兩棟廠房FAB廠房和半導(dǎo)體封裝廠房)、一棟測(cè)試中心、一棟試驗(yàn)中心、一棟非生產(chǎn)性用房(用于行政辦公、員工食堂及配套用房)、一棟動(dòng)力中心和甲乙類倉庫等。半導(dǎo)體封裝廠房共計(jì)4層,本項(xiàng)目微電路產(chǎn)品位于半導(dǎo)體封裝廠房1-3層,光路程產(chǎn)品位于半導(dǎo)體封裝廠房4層;FAB廠房為后續(xù)項(xiàng)目預(yù)留。公用工程給水廠區(qū)生產(chǎn)、生活與消防用水合用一套供水系統(tǒng),水源來自杭州自來水排水采用雨污分流、清污分流制。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理系統(tǒng)處理后與經(jīng)化糞池預(yù)處理后的生活污水一并納管。供電項(xiàng)目供電由園區(qū)變電所10kV線路供電,經(jīng)電力變壓器一級(jí)變壓為0.4kV使用。項(xiàng)目總裝機(jī)容量為18707.7kW,需新增變壓器容量20700KVA。根據(jù)測(cè)算,項(xiàng)目年用電量7982.45萬kWh,項(xiàng)目用電準(zhǔn)備有10KV進(jìn)線,進(jìn)電力變壓器一級(jí)變壓為0.4KV使用,新增變壓器容量7臺(tái)2500KVA、2臺(tái)1600KVA,共計(jì)新增變壓器容量20700KVA環(huán)保工程廢水項(xiàng)目生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理系統(tǒng)處理后與經(jīng)化糞池預(yù)處理后的生活污水一并納管。廢氣晶片有機(jī)清洗和去膠有機(jī)清洗產(chǎn)生的廢氣經(jīng)收集后采用二級(jí)活性炭吸附處理后通過15米高排氣筒排放;晶片酸洗工序和濕法刻蝕工序產(chǎn)生的酸霧廢氣經(jīng)堿液噴淋塔噴淋處理后15米高空排放,氨氣等堿性廢氣經(jīng)一套稀酸噴淋塔處理后15米高空排放;涂膠工序和光刻顯影過程產(chǎn)生的有機(jī)廢氣經(jīng)1套二級(jí)活性炭吸附處理裝置處理后通過15米高排氣筒排放;異丙醇回收廢氣收集后經(jīng)二級(jí)水噴淋處理后15米高空排放;鍍膜廢氣中正硅酸乙酯、乙烯廢氣經(jīng)電離燃燒+酸堿洗滌塔處理后25米高空排放,鍍膜沉積產(chǎn)生的NH3經(jīng)電離燃燒+水噴淋后進(jìn)入鍍膜共用的酸堿洗滌塔處理后25米高空排放,干法刻蝕產(chǎn)生的氟化物和氯氣經(jīng)水噴淋處理后進(jìn)入鍍膜共用的酸堿洗滌塔處理后25米高空排放;食堂油煙通過油煙凈化器處理后引至屋頂高空排放;污水站廢氣加蓋收集后通過一級(jí)堿噴淋處理后15米高空排放。固廢本項(xiàng)目擬在廠區(qū)西北側(cè)設(shè)置一般固廢暫存場(chǎng)所和危險(xiǎn)廢物暫存場(chǎng)所總圖技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)表序號(hào)項(xiàng)目名稱單位數(shù)據(jù)1項(xiàng)目總用地面積m2679842總建筑面積m2197259.24其中地上建筑面積m2163159.24地下建筑面積m234100.003容積率2.394建筑構(gòu)物占地面積m231317.165行政辦公及生活服務(wù)設(shè)施占地面積m23306.246行政辦公及生活服務(wù)設(shè)施建筑面積m224942.737建筑密度%46.068綠地面積m2135989綠地率%20建、構(gòu)筑物一覽表序號(hào)名稱數(shù)據(jù)(m2)層數(shù)建筑面積(m2)1FAB廠房9313.68438054.722半導(dǎo)體封裝廠房9313.68437754.723動(dòng)力中心2696.4411285.64危險(xiǎn)品庫736.161736.165測(cè)試中心2187.36240616食堂及配套用房3306.24824942.767試驗(yàn)中心3300.96826136.248主門衛(wèi)19廢水處理站632.28176.04地下室--134100.00合計(jì)31317.16196372.72序號(hào)名稱單位數(shù)量使用工段1涂曝顯一體機(jī)(含涂膠、光刻、顯影)套4涂膠光刻顯影2涂膠機(jī)臺(tái)5涂膠3光刻機(jī)臺(tái)5光刻4顯影機(jī)臺(tái)5顯影5鍍膜機(jī)臺(tái)真空鍍膜6干刻機(jī)臺(tái)6刻蝕7去膠清洗機(jī)臺(tái)8去膠8剝離清洗機(jī)臺(tái)8去膠9刻蝕機(jī)臺(tái)6刻蝕離子注入設(shè)備臺(tái)6真空鍍膜自動(dòng)減薄機(jī)套4減薄自動(dòng)貼膜機(jī)臺(tái)5減薄晶圓切割機(jī)臺(tái)50晶圓切割晶圓清洗機(jī)臺(tái)6切割晶圓貼合機(jī)臺(tái)8貼片錫膏印刷機(jī)臺(tái)5塑封、絲網(wǎng)印刷回焊爐臺(tái)3塑封引線鍵合機(jī)臺(tái)8塑封機(jī)臺(tái)6封測(cè)20分選機(jī)臺(tái)6測(cè)試分選21電子元器件自動(dòng)檢測(cè)機(jī)臺(tái)6測(cè)試分選22ActiveAlignment機(jī)臺(tái)5測(cè)試分選23激光打標(biāo)機(jī)臺(tái)2打標(biāo)24氧化爐臺(tái)真空鍍膜25LPCVD設(shè)備臺(tái)8真空鍍膜26沉積設(shè)備臺(tái)8真空鍍膜27快速退火爐臺(tái)5退火28CMP臺(tái)5單面減薄29調(diào)頻設(shè)備臺(tái)5真空鍍膜30槽式清洗機(jī)臺(tái)清洗32全自動(dòng)AOI檢查機(jī)臺(tái)5AOI檢測(cè)33套刻儀臺(tái)2OVL檢測(cè)34關(guān)鍵尺寸掃描電鏡臺(tái)2CD檢測(cè)35干涉儀臺(tái)3膜厚檢測(cè)31其他檢測(cè)設(shè)備臺(tái)35檢測(cè)36生產(chǎn)輔助設(shè)備臺(tái)40共用36純水制水機(jī)套4共用37恒溫恒濕中央空調(diào)設(shè)備套共用38廢水處理設(shè)備套2共用39尾氣處理設(shè)備套6真空鍍膜40噴砂(鍍膜輔助設(shè)備)6真空鍍膜41電鍍機(jī)(每臺(tái)設(shè)備設(shè)1個(gè)工位,每個(gè)工位設(shè)1個(gè)鍍液槽。每個(gè)鍍液槽尺寸為650mm×650mm×520mm。)臺(tái)1液體鍍膜42全自動(dòng)液體鍍(內(nèi)有2個(gè)鍍槽,一個(gè)鍍鎳槽,一個(gè)鍍金槽,每個(gè)鍍液槽尺寸為450mm×450mm×400mm。)套1液體鍍膜43空壓機(jī)臺(tái)8共用44照明套1共用45合計(jì)序號(hào)工序槽名稱規(guī)格(約25L)槽數(shù)量更換頻次/月溫度℃1有機(jī)清洗EKC清洗槽300x280x300mm43次/月55±32酒精清洗槽300x280x300mm4常溫3二甲基亞砜清洗槽300x280x300mm43次/月常溫4NMP清洗槽300x280x300mm4常溫5丙酮清洗槽300x280x300mm21次/10d常溫6異丙醇清洗槽300x280x300mm2常溫7去離子水槽300x280x300mm180次/天常溫8酸法清洗氨水和雙氧水清洗槽300x280x300mm2常溫9氫氟酸槽300x280x300mm25次/月常溫序號(hào)物料名稱成分分析1光刻膠丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)56%、改性三聚氰胺甲醛樹脂5%、酚類化合物1%2稀釋劑丙二醇甲醚醋酸酯20~40%、丙二醇甲醚60~80%3增粘劑丙二醇甲醚,含量≥98%4顯影液四甲基氫氧化銨<4%、水>96%、表面活性劑<0.02%5BOE(半導(dǎo)體專業(yè)刻硅液)氫氟酸:2-6%,磷酸:17~23%,硝酸:11-18%,硫酸:36-43%6EKC(光刻膠去除劑)2-氨基乙醇25~50%,異丙醇胺10~40%,羥胺10~25%,芳香族溶劑2.5~10%,水<30%。7切割液聚乙二醇90~100%8玻璃清洗劑氫氧化鈉5~15%,聚氧乙烯脂肪醇1~5%,乙二胺四乙酸四鈉1~5%,兩性表面活性劑<5%,乙二胺四乙酸及其對(duì)應(yīng)鹽<5%,非離子表面活性劑<5%,陰離子表面活性劑<5%9環(huán)氧樹脂膠環(huán)氧樹脂(1)15~25%,環(huán)氧樹脂(2)10~20%,環(huán)氧樹脂(25068-38-6)30~40%,胺類添加劑10~30%,形狀控制劑2~5%助粘劑1-甲氧基-2-丙醇>99.0%,3-氨丙基硅三醇<0.5%,2-甲氧基-1-丙醇<0.3%網(wǎng)版清洗劑3-甲氧基-3-甲基丁醇40~70%銀漿銀粉80~90%,2,2,4三甲基1,3戊二醇1~10%,乙基醚纖維素1~5%,玻璃粉0.1~5%,專有成分去膠液醇類:10%芯片銅互聯(lián)電鍍液五水硫酸銅14-15%、硫酸0.8-1.0%超純鍍銅添加劑UPB3221A甲基磺酸<0.1%,聚二硫二丙烷磺酸鈉:<1%超純鍍銅添加劑UPB3221L甲基磺酸<0.1%,聚二硫二丙烷磺酸鈉:<1%銅蝕刻液過硫酸鈉92%、CuSO4.5H2O5%、有機(jī)酸3%Ti蝕刻液氟化氫銨≤5%微蝕劑五鉀雙(過硫酸鹽)雙(硫酸鹽)70~100%20活化劑硫酸9%、銅化合物<0.1%21后浸劑硫酸純品22NMREN-Ni,主要成分包含硫酸鎳、次磷酸鈉及少部分絡(luò)合劑(羥基羧酸類),鎳濃度:5.7-6.3g/L,次磷酸濃度:18-36g/L,pH:4.3-4.923鍍金液亞硫酸金鈉4~5%(Au1.2~1.7%)、無機(jī)酸鹽5~7%、有機(jī)酸鹽5~7%、有機(jī)酸0.1~0.3%、鉈化合物0.001%(Tl)、水80~90%24結(jié)晶調(diào)整劑鉈化合物0.1~0.15%(Tl0.1%)、水95~100%25添加劑有機(jī)酸鹽15~20%、無機(jī)酸鹽2~3%、水75~80%26鉻腐蝕液硝酸鈰銨10~30%、硝酸5~40%(1)氫氟酸:別名氟化氫溶液,分子式HF,分子量20.01。無色透明(35.3%與水混溶;毒理學(xué)資料(急性毒性LC501276ppm,1小時(shí)(大鼠吸入)。腐蝕性極強(qiáng);遇H發(fā)泡劑立即燃燒;能與普通金屬發(fā)生反(2)硅烷:中文名稱四氫化硅,別名甲硅烷,分子式SiH4,分子量理學(xué)資料(急性毒性):LC509600ppm,4小時(shí)(大鼠吸入)。危險(xiǎn)特性:遇明火、高熱極易燃燒。暴露在空氣中能自燃。與氟、氯等能發(fā)生劇烈的化(3)雙氧水:分子式H2O2,分子量34.01。純過氧化氫是淡藍(lán)色的粘氧氣。過氧化氫對(duì)有機(jī)物有很強(qiáng)的氧化作用,一般作為氧化劑使用。高濃度過氧化氫有強(qiáng)烈的腐蝕性。毒理學(xué)資料:急性毒性LD504060mg/kg(大鼠經(jīng)皮);LC502000mg/m3,4小時(shí)(大鼠吸入)。危險(xiǎn)特性:爆炸性強(qiáng)氧化劑。過氧化氫自身不燃,但能與可燃物反應(yīng)放出大量熱量和氣氛而引起著火爆炸。過氧化氫在pH值為3.5~4.5時(shí)最穩(wěn)定,在堿性溶液中極易分解,在遇強(qiáng)光,特別是短波射線照射時(shí)也能發(fā)生分解。當(dāng)加熱到100℃以上時(shí),開始急劇分解。它與許多有機(jī)物如糖、淀粉、醇類、石油產(chǎn)品等形成爆炸性混):本項(xiàng)目位于杭州市錢塘新區(qū)21號(hào)大街西側(cè),12號(hào)大街北側(cè)區(qū)域,項(xiàng)目導(dǎo)體封裝廠房)、一棟測(cè)試中心、一棟試驗(yàn)中心、一棟非生產(chǎn)性用房(用于行政辦公、員工食堂及配套用房)、一棟動(dòng)力中心和甲乙類倉庫等。半導(dǎo)體封裝廠房共計(jì)4層,本項(xiàng)目微電路產(chǎn)品位于半導(dǎo)體封裝廠房1-3層,光路程本項(xiàng)目生產(chǎn)車間均為潔凈車間,車間內(nèi)設(shè)置通風(fēng)系統(tǒng)。廠區(qū)平面布局見本項(xiàng)目在清洗、刻蝕、光刻等工序中均使用大量酸性、堿性溶液及各類有機(jī)溶劑,因此,有必要對(duì)其中較敏感的原輔料進(jìn)行物料衡算,以便了解其主要生產(chǎn)物料中氮、磷、氟化物、鉻、砷、銀、鎳、鉈、VOCs等物料表2.5-1本項(xiàng)目主要物料平衡表單位:t/a氮投入產(chǎn)出物料名稱投入量N含量去向產(chǎn)出量N含量硝酸369%0.42廢氣氮?dú)獍彼?25%0.618NF30.20.039有組織氨氣氨氣0.30.247NF30.00519.7%0.001一氧化二氮0.30.191/氮?dú)夤虖U廢氨液65.37%0.322顯影液2%0.031廢鉻腐蝕液5.40.0937鉻腐蝕液1/0.087廢鎳液1BOE0.360.0116//磷投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量磷酸385%0.8066廢水/TMP(磷酸三甲酯)0.010.0022固廢廢磷酸4.80.726磷烷0.0080.0073廢鉻腐蝕液5.40.4%0.0217BOE0.360.0228廢鎳液10.027%0.00027NMR0.010.0003合計(jì)0.83920.8392氟化物投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量氫氟酸449%廢氣HF0.009495%0.0089六氟化鎢0.0550.021氟化物0.0485/0.0485NF30.20.1606廢水0.8293/0.8293三氟化硼0.030.0251產(chǎn)品表面沉積物1.0908/1.0908四氟化硅0.0877固廢廢氫氟酸341.9%1.2569六氟化硫0.450.3514廢酸液67%0.419四氟化碳0.030.0259廢鉻腐蝕液5.40.2%0.0123六氟化碳0.030.0271廢Ti蝕刻液0.053%0.0015八氟環(huán)丁烷0.60.456六氟乙烷0.70.5783三氟甲烷0.030.0244二氟甲烷0.0250.0183氟甲烷0.0250.014BOE0.364%(HF0.0137Ti蝕刻液0.055%0.0017合計(jì)3.66723.6672Cr投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量10.0081廢水/0.00270.010.010.01污泥(固廢)0.50.0154合計(jì)0.01810.0181砷投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量砷烷0.00296%0.0019廢氣0.00190.0019銀投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量銀漿85%0.008產(chǎn)品85%0.008鎳投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量NMR2592/0.000009450.80.00005355鉈投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量0.010.01kg進(jìn)入廢水極微量,忽略不計(jì)/極微量,忽略不計(jì)VOCs投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量各類溶劑物料廢氣3.009/3.009廢水/固廢有機(jī)廢液36.7/36.7廢活性炭7.1295/7.1295引線鍵合:所用原料是貼好芯片的框架,銅線95%N2,5%H2)氮?dú)浠旌蠚?,在這過程中通過超聲把銅線焊到芯片和基板上,在這過程中不產(chǎn)塑封:所用原料是焊好線的框架和塑封料,通過熱熔把塑封料熔到框架產(chǎn)品切割:所用原料是水和塑封后的框架,在這過程中用機(jī)器上的金剛測(cè)試分選+激光打標(biāo):所用原料是封裝好的芯片,在這過程中通過激光本項(xiàng)目生產(chǎn)區(qū)域根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO產(chǎn)工藝要求設(shè)計(jì),生產(chǎn)時(shí)車間呈微正壓運(yùn)行,全密閉且相關(guān)的產(chǎn)生廢氣的工藝設(shè)備參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)置,正常運(yùn)行時(shí)采用密閉隔離、集氣收集、就近捕集(生產(chǎn)區(qū)域設(shè)置數(shù)十個(gè)送排風(fēng)口,采取上送風(fēng),下吸風(fēng)設(shè)計(jì),使該區(qū)域內(nèi)空氣經(jīng)過濾后循環(huán)往復(fù),換風(fēng)按照風(fēng)壓0.25千帕,次數(shù)不小于200次/h設(shè)計(jì);生產(chǎn)工段清洗藥液槽內(nèi)設(shè)置吸風(fēng)裝置,分類收集揮發(fā)的酸、堿及有機(jī)廢氣至針對(duì)性處理設(shè)施處理);對(duì)工作環(huán)境的要求也極高,溫度濕度皆為恒定,并嚴(yán)格控制進(jìn)入作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)人員數(shù)量以防止顆粒物含量升高。同時(shí),由于生產(chǎn)時(shí)消耗大量的溶劑,在溶劑槽液濃度下降時(shí)的添加和更換都有嚴(yán)格規(guī)定,采用密閉容器從?;穫}庫運(yùn)送至化學(xué)品中轉(zhuǎn)傳遞間,根據(jù)每種溶劑的更換周期首先將廢液排至收集容器,后在極短時(shí)間打開清洗藥液槽隔板,注入更換溶劑,由于隔板開啟時(shí)間極短和清洗槽內(nèi)集氣收集風(fēng)量較強(qiáng),溶劑無表2.6-2主要污染工序及污染因類別項(xiàng)目產(chǎn)生工序主要污染因子廢水生產(chǎn)廢水晶片清洗W1、W2CODCr、氨氮、總氮、去膠清洗W3CODCr、氨氮、總氮、SS等含銅后清洗廢水W4CODCr、SS、銅等鍍金、鎳前清洗廢水W5CODCr、SS等含金、鎳清洗廢水W6CODCr、SS、鎳、鉈等濕法刻蝕工序W7CODCr、氨氮、總氮、氟化物等鉻靶材刻蝕工序W8CODCr、鉻等單面減薄W9CODCr、SS、硅等精密切割W10CODCr、SS、硅等酸噴淋塔噴淋廢水W11CODCr、SS、總氮、氨氮等堿噴淋塔噴淋廢水W12CODCr、SS、氟化物等電子尾氣處理設(shè)備噴淋水W13CODCr、SS、總氮、氨氮等純水制備產(chǎn)生的濃水W14CODCr等生活污水職工生活CODCr、氨氮廢氣清洗工序有機(jī)廢氣G1晶片有機(jī)清洗異丙醇、丙酮清洗工序酸性廢氣G2晶片藥劑清洗硫酸霧、HCl、硝酸霧、氨氣、氟化物涂光刻膠有機(jī)廢氣G3涂光刻膠非甲烷總烴光刻顯影廢氣G4光刻顯影非甲烷總烴真空鍍膜廢氣G5真空鍍膜非甲烷總烴去膠清洗有機(jī)廢氣G6去膠有機(jī)清洗非甲烷總烴刻蝕工序廢氣G7刻蝕HF干法刻蝕廢氣G8刻蝕氯氣、氟化物塑封有機(jī)廢氣G9塑封非甲烷總烴食堂油煙廢氣G10食堂油煙污水站廢氣G11調(diào)節(jié)池惡臭設(shè)備運(yùn)行噪聲設(shè)備運(yùn)行Leq(A)晶片清洗廢丙酮S1晶片清洗廢異丙醇S2晶片清洗廢氨液S3濕法刻蝕廢氫氟酸S4晶片清洗廢磷酸S5晶片清洗廢酸液S6晶片清洗廢酸液S7涂光刻膠廢光刻膠S8光刻顯影廢顯影液S9去膠有機(jī)清洗廢EKC液S10去膠有機(jī)清洗廢酒精S11去膠有機(jī)清洗廢二甲基亞砜S12去膠有機(jī)清洗廢NMPS13去膠有機(jī)清洗廢去膠液S14涂PI膠廢PI膠S15鍍銅廢鍍銅液S16銅刻蝕廢銅蝕刻液S17Ti刻蝕廢Ti蝕刻液S18去光阻廢去光阻液S19微蝕廢微蝕液S20活化廢活化液S21后浸廢后浸液S22EN-Ni含鎳廢液S23鍍金鍍金液S24濕法刻蝕廢鉻腐蝕液S25切割、減薄廢邊角料S26切割廢切割液S27測(cè)試分選廢品S28廢氣處理廢活性炭S29原料使用廢包裝桶及瓶S30原料使用一般包裝材料S31設(shè)備維修廢機(jī)油及機(jī)油桶S32含鉻廢水處理含鉻污泥S33含鎳廢水處理含鎳污泥S34廢水處理污泥S35光刻等工序廢汞燈S36職工生活生活垃圾S37項(xiàng)目建設(shè)區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn);大氣特殊污染因子中丙酮、氯氣和氨執(zhí)行環(huán)境影響評(píng)級(jí)技術(shù)導(dǎo)則—大氣環(huán)境(HJ2.2-2018)表.D1中相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),異丙醇和乙醇參照?qǐng)?zhí)行《蘇聯(lián)居民區(qū)污染物名稱取值時(shí)間濃度限值(μg/m3)標(biāo)準(zhǔn)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)SO2年平均60《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)24小時(shí)平均1小時(shí)平均500PM10年平均7024小時(shí)平均PM2.5年平均3524小時(shí)平均75NO2年平均4024小時(shí)平均1小時(shí)平均200CO24小時(shí)平均4mg/Nm31小時(shí)平均10mg/Nm3O31小時(shí)平均200氟化物1小時(shí)平均2024小時(shí)平均7丙酮1小時(shí)平均800環(huán)境影響評(píng)級(jí)技術(shù)導(dǎo)則—大氣環(huán)境(HJ2.2-2018)氨1小時(shí)平均200氯1小時(shí)平均TVOC8小時(shí)平均600異丙醇一次值600《蘇聯(lián)居民區(qū)大氣中有害物質(zhì)的最大允許濃度》(CH245-71)一次值5000非甲烷總烴一次值2000根據(jù)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)詳解》確定根據(jù)導(dǎo)則要求,綜合考慮評(píng)價(jià)所需環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀及氣象資料等數(shù)據(jù)的質(zhì)量及代表性,本次評(píng)價(jià)選取2021年作為評(píng)價(jià)基準(zhǔn)年,以評(píng)價(jià)本項(xiàng)目周邊基本本項(xiàng)目位于杭州市錢塘區(qū),根據(jù)《杭州市生態(tài)環(huán)境狀況公報(bào)》(2021年),中,SO2、NO2、CO達(dá)到國(guó)家空氣質(zhì)量一級(jí)標(biāo)準(zhǔn),PM10、PM2.5達(dá)到國(guó)家空氣質(zhì)量二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),臭氧(O3)略超過國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。因此杭州市為環(huán)境空氣質(zhì)量不根據(jù)導(dǎo)則要求,綜合考慮評(píng)價(jià)所需環(huán)境空氣質(zhì)量污染物的環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀,本報(bào)告引用《杭州市生態(tài)年度)公布的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)來評(píng)價(jià)周邊區(qū)域基本污染物污染物年評(píng)價(jià)指標(biāo)現(xiàn)狀濃度/標(biāo)準(zhǔn)值/達(dá)標(biāo)情況(μg/m3)(μg/m3)SO2年平均質(zhì)量濃度660達(dá)標(biāo)NO2年平均3440達(dá)標(biāo)PM10年平均5570達(dá)標(biāo)PM2.5年平均2835達(dá)標(biāo)CO第95百分位日平均濃度9004000達(dá)標(biāo)O3第90百分位8h平均濃度不達(dá)標(biāo)備注:《杭州市生態(tài)環(huán)境狀況公報(bào)》尚未公布百分位數(shù)日平均或8h平均質(zhì)量濃度。根據(jù)《杭州市人民政府辦公廳關(guān)于印發(fā)杭州市大氣環(huán)境質(zhì)量限期達(dá)標(biāo)規(guī)劃期限:規(guī)劃基準(zhǔn)年為2015年。規(guī)劃期限分為近期(2016年-2020年)、中期含背景站),同時(shí)考慮杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)、富陽區(qū)、臨安區(qū)及桐廬縣、淳安通過二十年努力,全市大氣污染物排放總量顯著下降,區(qū)域大氣環(huán)境管理能力明顯提高,大氣環(huán)境質(zhì)量明顯改善,包括CO、NO2、SO2、O3、PM2.5、PM10等6項(xiàng)主要大氣污染物指標(biāo)全面穩(wěn)定達(dá)到國(guó)家環(huán)境空氣質(zhì)量二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),全到2022年,繼續(xù)“清潔排放區(qū)”建設(shè),進(jìn)一步優(yōu)化能源消費(fèi)和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),大氣環(huán)境質(zhì)量穩(wěn)步提升,市區(qū)PM2.5年均濃度控制在35微克/立方米以內(nèi),實(shí)現(xiàn)到2025年,實(shí)現(xiàn)全市域大氣“清潔排放區(qū)”建設(shè)目標(biāo),大氣污染物排放總量持續(xù)穩(wěn)定下降,基本消除重污染天氣,市區(qū)PM2.5年均濃度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的同時(shí),力爭(zhēng)年均濃度繼續(xù)下降,桐廬、淳安、建德等3縣(市)PM2.5年均濃度力爭(zhēng)達(dá)到30微克/立方米以下,全市O3濃度出現(xiàn)下降拐點(diǎn)。到2035年,大氣環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善,包括O3在內(nèi)的主要大氣污染物指標(biāo)全面穩(wěn)定達(dá)到國(guó)家空氣質(zhì)量二級(jí)標(biāo)綜合上述分析,隨著區(qū)域大氣污染防治工作的持續(xù)有效推進(jìn),預(yù)計(jì)區(qū)域整號(hào)渠,終點(diǎn)位于臨江護(hù)塘河,全長(zhǎng)5.4公里),屬于錢塘水功能區(qū)、水環(huán)境功能區(qū)劃分方案》(2015.6)和杭州市區(qū)水環(huán)境功能區(qū)劃圖(詳見附圖5),項(xiàng)目所在區(qū)域地表水水質(zhì)執(zhí)行《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》表3.1-3地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(GB3838-2002)單位:除pH外為mg/L污染物名稱III類水標(biāo)準(zhǔn)值執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)pH6~9《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)III類高錳酸鉀指數(shù)≤6CODCr≤20DO≥5氨氮≤1.0石油類≤0.05總磷≤0.2BOD5≤4錢塘江水質(zhì)狀況為優(yōu),水環(huán)境功能達(dá)標(biāo)率為100%,干、支流達(dá)到或優(yōu)于Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)比例為100%。運(yùn)河水質(zhì)狀況為優(yōu),水環(huán)境功能達(dá)標(biāo)率為100%,達(dá)到或優(yōu)于Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)的比例為100%。城巿河道水質(zhì)狀況為良好,水環(huán)境功能達(dá)標(biāo)率為100%,達(dá)到或優(yōu)于Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)的比例為87.5%。苕溪水質(zhì)狀況為優(yōu),水環(huán)境功能達(dá)標(biāo)率為100%,達(dá)到或優(yōu)于Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)的比例為100%。西湖水質(zhì)狀況為優(yōu),平均透明度為1.41米。湖區(qū)內(nèi)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位水質(zhì)均達(dá)到Ⅲ類及以上水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。千島湖水質(zhì)狀況為優(yōu),平均透明度為4.34米。湖區(qū)內(nèi)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位水質(zhì)均達(dá)到Ⅲ類及以上為進(jìn)一步了解項(xiàng)目所在地水環(huán)境質(zhì)量狀況,本環(huán)評(píng)收集了智慧河道云平臺(tái)2021年10月~12月對(duì)錢塘江(下沙街道段)的水質(zhì)監(jiān)測(cè)結(jié)果,具體見下表3.1-表3.1-4地表水監(jiān)測(cè)結(jié)果單位:除pH外均為mg/L監(jiān)測(cè)斷面監(jiān)測(cè)時(shí)間pHDOCODMn總磷氨氮錢塘江(下沙街道段)20020.03208.582.50.040.06200.0870.13Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)值(mg/L)6~9≥5≤6≤0.2≤1.0達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)由監(jiān)測(cè)結(jié)果可知,本項(xiàng)目所在地附近錢塘江達(dá)到相應(yīng)功能類別水質(zhì)要求,地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀屬于達(dá)標(biāo)區(qū)。本項(xiàng)目廢水納管排放,不向附近水體排放廢項(xiàng)目所在區(qū)域地下水功能尚未區(qū)劃,參照使用功能進(jìn)行評(píng)價(jià)。目前該區(qū)域及周邊用地主要為工業(yè)用地,地下水暫參照?qǐng)?zhí)行《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》表3.1-4地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(GB/T14848-2017)單位:除pH,均為mg/L序號(hào)項(xiàng)目III類序號(hào)項(xiàng)目III類1pH6.5~8.5鎘≤0.0052氨氮≤0.5鐵≤0.33硝酸鹽≤20錳≤0.14亞硝酸鹽≤1.0溶解性總固體≤10005揮發(fā)酚≤0.002高錳酸鹽指數(shù)≤3.06總硬度≤450硫酸鹽≤2507砷≤0.01氯化物≤2508汞≤0.001總大腸菌群(CFU/ml)≤3.09六價(jià)鉻≤0.0520鎳≤0.02鉛≤0.0121耗氧量≤3.0氟化物≤1.0氰化物≤0.05根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制技術(shù)指南(污染影響類試行)》,原則上不開展環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀調(diào)查。建設(shè)項(xiàng)目存在土壤、地下水環(huán)境污染途徑的,應(yīng)結(jié)合污染源、保護(hù)目標(biāo)分布情況開展現(xiàn)狀調(diào)查以留作背景值??紤]到企業(yè)廢水產(chǎn)生及排放量大,危廢種類及暫存量較多,可能存在地下水環(huán)境污染途徑,故本項(xiàng)目在最可能存在污染途徑的污水站及生產(chǎn)車間設(shè)置了地下水企業(yè)委托浙江華標(biāo)檢測(cè)技術(shù)有限公司于2021年11月29日對(duì)廠區(qū)地下水實(shí)施監(jiān)測(cè),共設(shè)置水質(zhì)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位2個(gè),水位監(jiān)測(cè)點(diǎn)位4個(gè),監(jiān)測(cè)點(diǎn)采樣時(shí)間采樣點(diǎn)位水位m2021.11.29企業(yè)東側(cè)C7.83企業(yè)污水站D7.86企業(yè)東側(cè)E7.82企業(yè)西側(cè)F7.87采樣時(shí)間項(xiàng)目名稱及單位采樣點(diǎn)位企業(yè)東側(cè)C企業(yè)污水站D2021.11.29子鉀mg/L7.517.38鉀×1(價(jià)態(tài))mEq/L0.190.19鈉mg/L61.648.3鈉×1(價(jià)態(tài))mEq/L2.682.10鈣mg/L82.692.7鈣×2(價(jià)態(tài))mEq/L4.134.64鎂mg/L3.386.80鎂×2(價(jià)態(tài))mEq/L0.280.57陽離子合計(jì)mEq/L7.287.50子碳酸鹽mg/L<1.00<1.00碳酸鹽×2(價(jià)態(tài))mEq/L<0.02<0.02重碳酸鹽mg/L317310重碳酸鹽×1(價(jià)態(tài))mEq/L5.205.08氯離子mg/L43.453.5氯離子×1(價(jià)態(tài))mEq/L硫酸根離子mg/L24.029.8硫酸根離子×2(價(jià)態(tài))mEq/L0.500.62陰離子合計(jì)mEq/L6.947.23相對(duì)誤差E<1.00<1.00采樣時(shí)間項(xiàng)目名稱及單位采樣點(diǎn)位企業(yè)東側(cè)C企業(yè)污水站D達(dá)標(biāo)情況2021.11.29pH值*無量綱7.17.2達(dá)標(biāo)氨氮mg/L0.3830.413達(dá)標(biāo)硝酸鹽(以N計(jì))mg/L達(dá)標(biāo)亞硝酸鹽(以N計(jì))mg/L<0.005<0.005達(dá)標(biāo)揮發(fā)酚mg/L<0.0003<0.0003達(dá)標(biāo)氰化物mg/L<0.004<0.004達(dá)標(biāo)砷μg/L0.490.67達(dá)標(biāo)汞μg/L<0.025<0.025達(dá)標(biāo)六價(jià)鉻mg/L<0.004<0.004達(dá)標(biāo)總硬度mg/L202253達(dá)標(biāo)鉛μg/L<1.24<1.24達(dá)標(biāo)氟化物mg/L<0.006<0.006達(dá)標(biāo)鎘μg/L達(dá)標(biāo)溶解性總固體mg/L498532達(dá)標(biāo)鐵mg/L0.040.05達(dá)標(biāo)錳mg/L0.060.05達(dá)標(biāo)高錳酸鹽指數(shù)mg/L2.32.5達(dá)標(biāo)硫酸鹽mg/L24.029.8達(dá)標(biāo)氯化物mg/L43.453.5達(dá)標(biāo)總大腸菌群MPN/100mL<1.0達(dá)標(biāo)菌落總數(shù)CFU/mL2732達(dá)標(biāo)樣品性狀無色、澄清無色、澄清/由監(jiān)測(cè)結(jié)果可知,項(xiàng)目所在地地下水水質(zhì)滿足《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》本項(xiàng)目所在區(qū)域?qū)儆诠I(yè)用地,土壤環(huán)境質(zhì)量執(zhí)行《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)(試行)》(GB36600-2018)中表1第二類用地的篩表3.1-8建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)篩選值和管制值單位:mg/kg序號(hào)污染物項(xiàng)目篩選值管制值第二類用地第二類用地1砷602鎘653鉻(六價(jià))5.778480025006汞387鎳9002000揮發(fā)性有機(jī)物8四氯化碳2.8369氯仿0.9氯甲烷371,1-二氯乙烷91,2-二氯乙烷5211,1-二氯乙烯66200順-1,2-二氯乙烯5962000反-1,2-二氯乙烯54二氯甲烷61620001,2-二氯丙烷5476.85020四氯乙烯5321840840221,1,2-三氯乙烷2.823三氯乙烯2.820241,2,3-三氯丙烷0.5525氯乙烯0.434.326苯44027氯苯270281,2-二氯苯560560291,4-二氯苯20200302828031苯乙烯3233間二甲苯+對(duì)二甲苯57057034鄰二甲苯640640半揮發(fā)性有機(jī)物35硝基苯7676036苯胺260663372-氯酚2256450038苯并[a]蒽39苯并[a]芘40苯并[b]熒蒽41苯并[k]熒蒽42?1290043二苯并[a,b]蒽44茚并[a1,2,3-cd]芘45萘70700石油烴類46石油烴(C10~C40)45009000根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制技術(shù)指南(污染影響類試行)》,原則上不開展環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀調(diào)查。建設(shè)項(xiàng)目存在土壤、地下水環(huán)境污染途徑的,應(yīng)結(jié)合污染源、保護(hù)目標(biāo)分布情況開展現(xiàn)狀調(diào)查以留作背景值??紤]到企業(yè)廢水產(chǎn)生及排放量大,危廢種類及暫存量較多,可能存在土壤環(huán)境污染途徑,故本項(xiàng)目在最可能存在污染途徑的污水站設(shè)置了土壤監(jiān)測(cè)點(diǎn)位,廠外為了解建設(shè)項(xiàng)目周邊土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀,企業(yè)委托浙江華標(biāo)檢測(cè)科技有限采樣時(shí)間項(xiàng)目名稱及單位采樣點(diǎn)位廠區(qū)內(nèi)土壤采樣點(diǎn)場(chǎng)外土壤采樣點(diǎn)達(dá)標(biāo)情況0-0.2m0-0.2m2021.11.29樣品編號(hào)2021H11902A12021H11902B1達(dá)標(biāo)銅mg/kg2826達(dá)標(biāo)鉛mg/kg25.422.8達(dá)標(biāo)六價(jià)鉻六價(jià)鉻mg/kg達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)砷mg/kg達(dá)標(biāo)汞mg/kg0.1160.128達(dá)標(biāo)鎳mg/kg2426達(dá)標(biāo)鎘mg/kg0.100.06達(dá)標(biāo)四氯化碳μg/kg<1.3<1.3達(dá)標(biāo)氯仿μg/kg<1.1<1.1達(dá)標(biāo)氯甲烷μg/kg<1.0<1.0達(dá)標(biāo)1,1-二氯乙烷μg/kg<1.2<1.2達(dá)標(biāo)1,2-二氯乙烷μg/kg<1.3<1.3達(dá)標(biāo)1,1-二氯乙烯μg/kg<1.0<1.0達(dá)標(biāo)順-1,2-二氯乙烯μg/kg<1.3<1.3達(dá)標(biāo)反-1,2-二氯乙烯μg/kg<1.4<1.4達(dá)標(biāo)二氯甲烷μg/kg<1.5<1.5達(dá)標(biāo)1,2-二氯丙烷μg/kg<1.1<1.1達(dá)標(biāo)<1.2<1.2達(dá)標(biāo)1,1,2,2-四氯乙烷μg/kg<1.2<1.2達(dá)標(biāo)四氯乙烯μg/kg<1.4<1.4達(dá)標(biāo)<1.3<1.3達(dá)標(biāo)1,1,2-三氯乙烷μg/kg<1.2<1.2達(dá)標(biāo)三氯乙烯μg/kg<1.2<1.2達(dá)標(biāo)1,2,3-三氯丙烷μg/kg<1.2<1.2達(dá)標(biāo)氯乙烯μg/kg<1.0<1.0達(dá)標(biāo)苯μg/kg<1.9<1.9達(dá)標(biāo)氯苯μg/kg<1.2<1.2達(dá)標(biāo)1,2-二氯苯μg/kg<1.5<1.5達(dá)標(biāo)1,4-二氯苯μg/kg<1.5<1.5達(dá)標(biāo)<1.2<1.2達(dá)標(biāo)苯乙烯μg/kg<1.1<1.1達(dá)標(biāo)<1.3<1.3達(dá)標(biāo)間二甲苯+對(duì)二甲苯μg/kg<1.2<1.2達(dá)標(biāo)鄰二甲苯μg/kg<1.2<1.2達(dá)標(biāo)硝基苯mg/kg<0.09<0.09達(dá)標(biāo)苯胺mg/kg<0.01<0.01達(dá)標(biāo)2-氯苯酚②mg/kg<0.06<0.06達(dá)標(biāo)苯并[a]蒽mg/kg<0.1<0.1達(dá)標(biāo)苯并[a]芘mg/kg<0.1<0.1達(dá)標(biāo)苯并[b]熒蒽mg/kg<0.2<0.2達(dá)標(biāo)苯并[k]熒蒽mg/kg<0.1<0.1達(dá)標(biāo)?mg/kg<0.1<0.1達(dá)標(biāo)二苯并[a,h]蒽mg/kg<0.1<0.1達(dá)標(biāo)茚并[1,2,3-cd]芘mg/kg<0.1<0.1達(dá)標(biāo)萘mg/kg<0.09<0.09達(dá)標(biāo)pH值無量綱6.827.06達(dá)標(biāo)石油烴(C10~C40)mg/kg57達(dá)標(biāo)總氟化物mg/kg563591達(dá)標(biāo)樣品性狀淺棕色、固體由監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)可知,項(xiàng)目所在地土壤環(huán)境質(zhì)量滿足《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)(試行)》(GB3本項(xiàng)目所在區(qū)域?qū)儆诠I(yè)區(qū)。東側(cè)的21號(hào)大街屬于城市次干道,南側(cè)的12號(hào)大街屬于城市快速路,因此,廠區(qū)東側(cè)和南側(cè)噪聲執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)的4a類標(biāo)準(zhǔn),其余各廠界執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-聲環(huán)境類別晝間dB(A)夜間dB(A)企業(yè)廠界適用區(qū)域≤65≤55西、北側(cè)4a類≤70≤55東、南側(cè)為了解企業(yè)所在地聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀,企業(yè)委托浙江華標(biāo)檢測(cè)科技有限公司1、監(jiān)測(cè)點(diǎn)布設(shè):根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則—聲環(huán)境》(HJ2.4-2021)要求,聲環(huán)境現(xiàn)狀布點(diǎn)應(yīng)覆蓋整個(gè)評(píng)價(jià)范圍。根據(jù)項(xiàng)目特點(diǎn),本次項(xiàng)目在四側(cè)2、監(jiān)測(cè)方法:按《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)及《環(huán)境監(jiān)測(cè)技術(shù)5、評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn):本項(xiàng)目東側(cè)的21號(hào)大街屬于城市次干道,南側(cè)的12號(hào)大街屬于城市快速路,廠界聲環(huán)境執(zhí)行GB3095-2008中4a類標(biāo)準(zhǔn),西側(cè)和北側(cè)聲環(huán)表3.1-11噪聲現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果單位:dB測(cè)點(diǎn)編號(hào)檢測(cè)日期檢測(cè)點(diǎn)位置檢測(cè)結(jié)果dB(A)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)達(dá)標(biāo)情況晝間夜間2021.11.29東廠界58.052晝間≤70dB(A),夜間≤55dB(A)達(dá)標(biāo)2#南廠界5649達(dá)標(biāo)3#西廠界5752晝間≤65dB(A),夜間≤55dB(A)達(dá)標(biāo)4#北廠界5851達(dá)標(biāo)由噪聲現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果可知,項(xiàng)目東側(cè)和南側(cè)廠界聲環(huán)境質(zhì)量均能達(dá)到《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)4a類標(biāo)準(zhǔn),西側(cè)和北側(cè)廠界聲環(huán)境質(zhì)量均能達(dá)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)中的Ⅲ類,項(xiàng)目地序號(hào)環(huán)境敏感對(duì)象名稱方位相對(duì)廠界最近距離/m敏感描述保護(hù)級(jí)別1S70對(duì)廢水較敏感GB3838-2002Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)本項(xiàng)目施工期廢水主要為場(chǎng)地泥漿水、車輛沖洗廢水及施工人員生活污水。泥漿水經(jīng)沉淀后循環(huán)使用,車輛沖洗廢水經(jīng)隔油處理后回用于場(chǎng)地?fù)P塵。生活污水經(jīng)臨時(shí)建設(shè)的化糞池處理達(dá)到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)營(yíng)運(yùn)期生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水站處理達(dá)標(biāo)后與經(jīng)化糞池預(yù)處理的生活污水一并納管,廢水處理達(dá)《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)中的間接排放標(biāo)準(zhǔn)后納入市政污水管網(wǎng),其中NH3-N、總磷執(zhí)行浙江省人民政府批準(zhǔn)的其他企業(yè)間接排放限值;含鉻廢水、含鎳廢水經(jīng)車間污水處理系統(tǒng)處理達(dá)標(biāo)后再納入廠區(qū)污水站處理達(dá)標(biāo)后納管,最終由杭州七格污水處理廠統(tǒng)一達(dá)標(biāo)處理至《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB18918-2002)中的一級(jí)A標(biāo)準(zhǔn)后表3.3-1污水排放標(biāo)準(zhǔn)單位:mg/L(pH除外)項(xiàng)目pHCODCrLAS總鉻NH3-N氟化物總氮總磷總鎳總銅GB8978-1996三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)值6~9≤500≤20400/≤35*2/≤70≤8//GB39731-2020間接排放標(biāo)準(zhǔn)值6~9≤500≤20≤400≤1.0*1≤35*2≤20≤70≤8≤0.5*1≤2GB18918-2002一級(jí)A標(biāo)準(zhǔn)值6~9≤50≤0.5≤10≤0.1≤5 *3≤10*4≤15≤0.5≤0.05≤0.5備注:施工期執(zhí)行《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)三級(jí)標(biāo)準(zhǔn),營(yíng)運(yùn)期執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)間接排放標(biāo)準(zhǔn)。*注1:總鉻、總鎳為車間排放口允許排放濃度。注2:NH3-N執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》(DB33/887-2013)表1中的其他企業(yè)間接排放限值;注3:括號(hào)外數(shù)值為水溫>12℃時(shí)的控制指標(biāo),括號(hào)內(nèi)數(shù)值為水溫≤12℃時(shí)的控制指標(biāo)。注4:參照GB8978-1996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目施工期粉塵排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)污染物最高允許排放濃度(mg/m3)最高允許排放速率(kg/h)無組織排放監(jiān)控濃度限值排氣筒(m)二級(jí)監(jiān)控點(diǎn)濃度mg/m3顆粒物3.5周界外濃度最高點(diǎn)營(yíng)運(yùn)期大氣污染物排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-污染物最高允許排放濃度(mg/m3)最高允許排放速率(kg/h)無組織排放監(jiān)測(cè)濃度限值排氣筒二級(jí)監(jiān)控點(diǎn)濃度(mg/m3)NOx2400.77各污染物周界濃度最高點(diǎn)氟化物9.00.10周界外濃度最高點(diǎn)0.02250.38氯化氫0.26周界外濃度最高點(diǎn)0.2硫酸霧45周界外濃度最高點(diǎn)氯氣65250.52周界外濃度最高點(diǎn)0.4非甲烷總烴周界外濃度最高點(diǎn)4.02535備注:標(biāo)準(zhǔn)氟化物和非甲烷總烴25米的排放速率按內(nèi)插法計(jì)算得出。企業(yè)廠區(qū)內(nèi)無組織排放標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行《揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》),表3.3-4廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值單位:mg/m3污染物項(xiàng)目特別排放限值限值含義無組織排放監(jiān)控位置NMHC6監(jiān)控點(diǎn)處1h平均濃度值在廠房外設(shè)置監(jiān)控點(diǎn)20監(jiān)控點(diǎn)處任意一次濃度值污水站廢氣排放執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-1993)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)序號(hào)污染物項(xiàng)目最高允許排放濃度排放速率(kg/h)排放高度無組織排放監(jiān)控濃度1氨/4.9252硫化氫/0.330.063臭氣濃度2000(無量綱)20(無量綱)食堂的油煙排放執(zhí)行《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB18483-2001)中的大型規(guī)模標(biāo)準(zhǔn),最高允許排放濃度為2.0mg/m3,凈化設(shè)施最低去除效率為85%。見規(guī)模小型大型基準(zhǔn)灶頭數(shù)≥1,<3≥3,<6≥6對(duì)應(yīng)灶頭總功率103J/H≥1.67≥5.00≥10對(duì)應(yīng)排氣罩面總投影面積≥1.1≥3.3≥6.6最高允許排放濃度(mg/m3)2.0凈化設(shè)施最低去除率(%)6075注:標(biāo)準(zhǔn)中還規(guī)定“排放油煙的飲食業(yè)單位必須安裝油煙凈化設(shè)施并保證操作時(shí)間按要求運(yùn)行。油煙無組織排放視同超標(biāo)。”本項(xiàng)目施工期噪聲執(zhí)行《建筑施工場(chǎng)界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12523-),表3.3-7建筑施工場(chǎng)界環(huán)境噪聲排放限值單位:dB(A)晝間夜間7055);2、當(dāng)場(chǎng)界距噪聲敏感建筑物較近,其室外不滿足測(cè)量條件時(shí),可在噪聲敏感建筑物室內(nèi)測(cè)量,并將營(yíng)運(yùn)期企業(yè)東側(cè)和南側(cè)廠界噪聲控制執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)中的4類標(biāo)準(zhǔn),其余各廠界噪聲控制執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠表3.3-8工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)單位:dB廠界外聲環(huán)境類別晝間夜間65554類7055),工業(yè)固體廢物過程的污染控制,不適用《一般工業(yè)環(huán)境保護(hù)要求;危險(xiǎn)廢物的排放執(zhí)行《危險(xiǎn)(GB18597-20012013年修訂)和《中華人民共和國(guó)固體廢物污染環(huán)境防治總量控制指標(biāo)為控制環(huán)境污染的進(jìn)一步加劇,推行可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略,國(guó)家提出污染物排放總量控制的要求,并把總量控制目標(biāo)分解到省。根據(jù)《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)“十三五”節(jié)能減排綜合工作方案的通知》(國(guó)發(fā)[2016]74號(hào))中明確規(guī)定了“十三五”期間污染物減排目標(biāo),對(duì)二氧化硫、化學(xué)需氧量、氨氮、氮氧化物、揮發(fā)性有根據(jù)《關(guān)于加強(qiáng)重點(diǎn)行業(yè)建設(shè)項(xiàng)目區(qū)域削減措施監(jiān)督管理的通知》(環(huán)辦環(huán)評(píng)〔2020〕36號(hào))要求,所在區(qū)域、流域控制單元環(huán)境質(zhì)量未達(dá)到國(guó)家或者地方環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的,建設(shè)項(xiàng)目應(yīng)提出有效的區(qū)域削減方案,主要污染物實(shí)行區(qū)域倍量削減,確保項(xiàng)目投產(chǎn)后區(qū)域環(huán)境質(zhì)量有改善;所在區(qū)域、流域控制單元環(huán)境質(zhì)量達(dá)到國(guó)家或者地方環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的,原則上建設(shè)項(xiàng)目主要污染物實(shí)根據(jù)杭州市2021年環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析,杭州市空氣環(huán)境屬于不達(dá)標(biāo)區(qū)。根據(jù)地表水現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)分析,項(xiàng)目所在區(qū)域附近及污水處理廠排污水體水質(zhì)均屬于達(dá)標(biāo)水質(zhì),地表水屬于達(dá)標(biāo)區(qū)域,因此,項(xiàng)目總量控制因子另根據(jù)關(guān)于印發(fā)《浙江省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于印發(fā)浙江省重金屬污染防控工作方案的通知》(浙環(huán)發(fā)〔2022〕14號(hào))要求,本項(xiàng)目非涉重重點(diǎn)行業(yè),因此僅根據(jù)工程分析,本項(xiàng)目新增污染物排放量為CODCr17.053t/a、NH3-N1.705表3.4-1本項(xiàng)目總量控制表單位:t/a污染物本項(xiàng)目實(shí)施排放量項(xiàng)目實(shí)施后總量控制建議值平衡替代比例區(qū)域平衡替代削減量化學(xué)需氧量17.05317.0531:117.053氨氮1:1VOCs3.0093.0096.018總鉻0.000133*0.000133*//總鎳0.000133*0.000133*//*注:根據(jù)《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1031-2019),總鉻、總鎳為車間排放口控制總量。綜上所述,本項(xiàng)目實(shí)施后企業(yè)總量控制指標(biāo)建議為:CODCr排環(huán)境總量≤施在整個(gè)施工期,產(chǎn)生揚(yáng)塵的作業(yè)有平整土地、打澆、材料運(yùn)輸、裝卸和攪拌等過程,如遇干旱無有關(guān)文獻(xiàn)資料介紹,施工工地的揚(yáng)塵主要是運(yùn)輸表4.1-1建設(shè)期場(chǎng)地灑水抑距離(m)52050TSP小時(shí)濃度(mg/m3)不灑水2.890.86灑水2.010.670.60土石方、建材的大型車輛,若不做好施工現(xiàn)場(chǎng)管塵,危害環(huán)境,因此必須在大風(fēng)干燥天氣實(shí)施灑水量視具體情況而定,在采取上述抑塵措施后,施工期間水污染物主要包括施工人員的生活污水不同階段施工人數(shù)不盡相同,一般為幾十人施工人員約100人,每人每天生活污水產(chǎn)生量污水可依托臨時(shí)廢水收集及處理設(shè)施,經(jīng)處理得泥漿水應(yīng)集中經(jīng)沉淀池后,污水達(dá)標(biāo)方可排入施工噪聲主要由施工機(jī)械所產(chǎn)生,具有階段性、工期間主要噪聲源為土建階段挖掘機(jī)、打樁機(jī)、振搗歇使用的切割機(jī)等高噪聲設(shè)備,不同階段,有不同噪序號(hào)聲源名稱噪聲級(jí)范圍(距源10m處)[dB(A)]序號(hào)聲源名稱噪聲級(jí)范圍(距源10m處)[dB(A)]1推土機(jī)78~965攪拌機(jī)75~882打樁機(jī)6運(yùn)輸卡車85~943挖土機(jī)80~937卷揚(yáng)機(jī)75~884澆搗機(jī)90~988空氣壓縮機(jī)80~95施工噪聲具有階段性、臨時(shí)性和不固定性,不同的施工設(shè)備產(chǎn)生的噪聲表4.1-3為主要施工設(shè)備噪聲的距離衰減情況。由表可知,這類機(jī)械噪聲序號(hào)施工機(jī)械55dB60dB65dB70dB75dB1挖掘機(jī)75m40m22m2混凝土攪拌機(jī)75m42m25m3混凝土振搗機(jī)200m66m37m21m4升降機(jī)80m44m25m根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)踏勘情況來看,該項(xiàng)目周邊無居住區(qū),施工機(jī)械多數(shù)時(shí)間在地塊中部。施工單位在施工作業(yè)中應(yīng)選用低噪聲的施工機(jī),同時(shí)必須合理安排各類施工機(jī)械的工作時(shí)間,采用靜壓打樁,夜間嚴(yán)禁打樁機(jī)等強(qiáng)噪聲機(jī)械進(jìn)行施工,同時(shí)對(duì)不同施工階段,嚴(yán)格按《建筑施工場(chǎng)界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12523-2011)對(duì)施工場(chǎng)界進(jìn)行噪聲控制,以減少這類噪聲對(duì)周圍環(huán)境影響。還要做到安排好工作時(shí)間,晚上禁止工程作業(yè),以減少施工期噪聲對(duì)周要求該項(xiàng)目與建筑施工單位簽訂環(huán)保協(xié)議,定,施工單位必須加強(qiáng)現(xiàn)場(chǎng)噪聲管理,嚴(yán)格執(zhí)行《放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12523-2011)標(biāo)準(zhǔn)。高噪聲設(shè)備須加施工噪聲影響,可調(diào)整或縮短噪聲施工時(shí)間,將噪聲22:00-6:00禁止施工,以減輕施工產(chǎn)生的噪聲對(duì)周圍企業(yè)根據(jù)工程分析,施工期固體廢棄物主要包括工施工過程中產(chǎn)生的各類棄渣應(yīng)有序堆放,及時(shí)清運(yùn)輸過程中,運(yùn)輸車輛上需加蓬蓋,防止其撒落。圾沒有做出妥善的安排,則會(huì)嚴(yán)重影響施工區(qū)的力下降,尤其是在夏天,施工區(qū)的生活廢棄物亂則致使施工區(qū)工人爆發(fā)流行疾病,同時(shí)使附近居本項(xiàng)目建成達(dá)產(chǎn)后,所排放的廢氣主要有:生產(chǎn)工藝過程的清洗、腐蝕、去膠等工序使用氫氟酸、硫酸等化學(xué)試劑揮發(fā)產(chǎn)生的酸性廢氣;清洗、涂膠、顯影、刻蝕、鍍膜等工序產(chǎn)生有機(jī)溶劑廢氣和一般工藝熱氣。本項(xiàng)目生產(chǎn)車間基本為潔凈室,全封閉式操作,易揮發(fā)廢氣抽取到廢氣處理系統(tǒng)處理后再通過15米高排氣筒高空排放,且車間配備潔凈室(工藝區(qū)及封裝工藝區(qū)為千級(jí)凈化區(qū),設(shè)備灰區(qū)為萬級(jí)凈化區(qū)),無組織排放源經(jīng)車間潔凈室通1、G1晶片有機(jī)清洗廢氣(異丙醇、丙酮)和G6去膠有機(jī)清洗廢氣))主要來自晶片有機(jī)清洗和去膠有機(jī)清洗工序,產(chǎn)生的異丙醇、丙酮、二U——蒸發(fā)液體表面上的空氣流速(m/s),應(yīng)以實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)為準(zhǔn)。無條件實(shí)測(cè)時(shí),可取0.2~0.5或查表計(jì)算;考慮上方設(shè)置了集氣罩,U取廢氣種類MU(m/s)P*(mmHg)F(m2)槽數(shù)量產(chǎn)生量(t/a)異丙醇根據(jù)異丙醇用量,因開蓋時(shí)間較短,大部分進(jìn)入廢液中,部分隨晶片進(jìn)入后續(xù)廢水中,其少量揮發(fā)考慮以1%計(jì)6丙酮根據(jù)丙酮用量,因開蓋時(shí)間較短,大部分進(jìn)入廢液中,部0.3分隨晶片進(jìn)入后續(xù)廢水中,其少量揮發(fā)考慮以1%計(jì)二甲基亞砜780.50.3750.3×0.2840.012酒精根據(jù)酒精用量,因開蓋時(shí)間較短,大部分進(jìn)入廢液中,部分隨晶片進(jìn)入后續(xù)廢水中,其少量揮發(fā)考慮以1%計(jì)NMP9×0.2840.0136注:本項(xiàng)目有機(jī)溶劑清洗按6h/d開蓋時(shí)間計(jì)算。根據(jù)企業(yè)提供資料,EKC主要成分為2-氨基乙醇25~50%,異丙醇胺為10%醇類物質(zhì),因清洗過程為加蓋封閉式清洗,僅進(jìn)出時(shí)開蓋,清洗過程中揮發(fā)的EKC量約為使用量的5%,去膠液按有機(jī)物全部揮發(fā)考慮,EKC使晶圓來料清洗時(shí)使用2道異丙醇清洗,第一道異丙醇清洗槽清洗一定時(shí)間后溶劑內(nèi)含有一定雜質(zhì)后需要更換。第二道異丙醇主要是對(duì)晶圓進(jìn)行快干處理,使用一定時(shí)間后槽內(nèi)會(huì)含還有大量的水分,當(dāng)槽內(nèi)異丙醇濃度低于40%后,直接與清洗廢水一起一并排入污水站生化處理。第一道異丙醇需要定期更換,預(yù)計(jì)廢異丙醇量約45t/a。經(jīng)廠區(qū)回收裝置回收處理后循環(huán)使用。根據(jù)企業(yè)提供資料,更換下來的異丙醇經(jīng)異丙醇回收裝置(導(dǎo)熱油加熱蒸餾+風(fēng)冷卻)回收處理后循環(huán)使用。根據(jù)設(shè)計(jì)方案,異丙醇回收效率可達(dá)92%,異丙醇不凝尾氣經(jīng)管道接至一套水噴淋裝置二級(jí)噴淋處理后15米高空排放,風(fēng)機(jī)風(fēng)量按2000m3/h計(jì)
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