浙江宇芯集成電路有限公司6吋高可靠集成電路生產(chǎn)基地建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告

1 9 13 31 33—1—2108-330791-04-01-3改建擴(kuò)建技術(shù)改造不予批準(zhǔn)后再次申報(bào)項(xiàng)目超五年重新審核項(xiàng)目重大變動(dòng)重新報(bào)批項(xiàng)目2108-330791-04-01-34況4.生態(tài)專項(xiàng)評(píng)價(jià)：本項(xiàng)目不涉及取水口下游500米—2—2、與《金華市區(qū)呂塘單元、秋濱單元（ZX30.31）控制性詳細(xì)規(guī)劃環(huán)境影響滿足相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量良好，項(xiàng)目建設(shè)可以滿足環(huán)境標(biāo)對(duì)周圍環(huán)境影響在可接受范圍內(nèi)，不會(huì)導(dǎo)致評(píng)價(jià)區(qū)域的環(huán)境功能的改變。本3、與《金華市區(qū)呂塘單元、秋濱單元（ZX30.31）控制性詳細(xì)規(guī)劃環(huán)境根據(jù)規(guī)劃環(huán)評(píng)審查意見（金環(huán)函[2021]10號(hào)），本項(xiàng)目位于開發(fā)區(qū)產(chǎn)業(yè)集聚類重點(diǎn)管控單元內(nèi)，建設(shè)滿足區(qū)域準(zhǔn)入要求及相關(guān)規(guī)劃要求，廢氣治理采用高效治理措施；廠區(qū)建設(shè)嚴(yán)格執(zhí)行雨污分流制度，廢水納管排放；固體—3—應(yīng)當(dāng)符合生態(tài)保護(hù)紅線、環(huán)境質(zhì)量底線、資源利用上線和生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單管控的要求；排放污染物應(yīng)當(dāng)符合國(guó)家、省規(guī)定的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)和重點(diǎn)污染物排放總量控制要求。建設(shè)項(xiàng)目還應(yīng)當(dāng)符合國(guó)土空間規(guī)劃、國(guó)家和省產(chǎn)業(yè)方案>的通知》（金環(huán)發(fā)[2020]39號(hào)）以及《金華市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》文本，屬于金華市金華開發(fā)區(qū)工業(yè)重點(diǎn)管控區(qū)，編號(hào)：境質(zhì)量均可符合環(huán)境質(zhì)量功能區(qū)劃要求；項(xiàng)目實(shí)施后要求完善企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控應(yīng)急措施，建立常態(tài)化隱患排查整治監(jiān)管機(jī)制；項(xiàng)目所需各類能源資源將市區(qū)生態(tài)功能極重要、生態(tài)環(huán)境極敏感的區(qū)域，禁止開發(fā)區(qū)域，以及其他因此，項(xiàng)目建設(shè)可以滿足生態(tài)保護(hù)紅線、環(huán)境質(zhì)量底線、資源利用上線2、國(guó)家、省規(guī)定的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)符合性分析：項(xiàng)目產(chǎn)生的污染物經(jīng)有效治理后，能夠做到達(dá)標(biāo)排放。廢水納管能達(dá)到中特別排放限值、《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)二級(jí)新改擴(kuò)建限值等標(biāo)準(zhǔn)要求；廠界噪聲滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB18599-2020），危險(xiǎn)廢貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2001)及其修改單要求。綜上所述，項(xiàng)目在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的污染物經(jīng)有效措施治理后，均可實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。根據(jù)《關(guān)于印發(fā)<建設(shè)項(xiàng)目主要污染物排放總量指標(biāo)審核及管理暫行辦控制污染物為CODCr、NH3-N、NOX和VOCs，項(xiàng)目污染物經(jīng)區(qū)域替代削減后本項(xiàng)目位于金華經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)南二環(huán)西路2688號(hào)二號(hào)廠房一樓，廠房—4—備等均未列入限制和淘汰類目錄內(nèi)。本項(xiàng)目已經(jīng)取得出具金華經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管委會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展局的備案通知書，建設(shè)符合國(guó)家及省、市的相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策—5—建設(shè)內(nèi)容件等產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的企業(yè)。經(jīng)充分市場(chǎng)調(diào)查科技協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園及環(huán)宇企業(yè)集團(tuán)總部中心項(xiàng)目合作協(xié)），1表2-2利用租用的空置廠房設(shè)置生產(chǎn)車間，布置氧化/擴(kuò)散、光刻、刻蝕、注率70%）、冷卻水系統(tǒng)供應(yīng)工藝用水，并已考慮今后擴(kuò)能發(fā)展預(yù)留用生化”工藝處理達(dá)標(biāo)后納管排放；生活廢水經(jīng)沼氣凈化池處理后納管排—6—業(yè)提供資料，并按照項(xiàng)目設(shè)計(jì)、項(xiàng)目安評(píng)等相關(guān)資料校核本項(xiàng)目系租用金華經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)南二環(huán)西路2688生產(chǎn)用房（根據(jù)《金華環(huán)宇科技協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園及環(huán)宇開發(fā)區(qū)管委會(huì)與建設(shè)單位簽訂的投資協(xié)議，由國(guó)有廠房—7—工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析根據(jù)企業(yè)提供資料，本項(xiàng)目為6吋集成電路晶圓芯目主要的工藝包括硅片清洗、熱氧化、擴(kuò)散、光刻、刻蝕、離子注入、體工藝，這些工段均會(huì)反復(fù)交叉進(jìn)行復(fù)雜處理，所需處理步驟根據(jù)產(chǎn)品需求硅片成品清洗熱氧化光刻檢測(cè)薄膜淀積刻蝕清洗熱氧化光刻檢測(cè)薄膜淀積刻蝕擴(kuò)散離子注入離子注入現(xiàn)分別對(duì)項(xiàng)目集成電路芯片制造的主要工藝流程—8—與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題—9—區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀），—10—環(huán)境保護(hù)目標(biāo)污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目外排廢水滿足《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中間接排放限秋濱污水處理廠尾水COD、氨氮、總氮、總磷執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠主要水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB33/2169-2018）的規(guī)定，其余指標(biāo)執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》1pH234CODCr5678891pH——2——3BOD5——4CODcr——5——≤2（4）①6——≤12（15）①7——8———11—9————②金華秋濱污水處理廠尾水無(wú)氟化物控制要氨//表3.3-4廠NMHCmg/m36mg/m3項(xiàng)目營(yíng)運(yùn)期廠界噪聲排放執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB123B18599-2020）；危險(xiǎn)廢物暫存執(zhí)行《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2001)及其—12—總量控制指標(biāo)NH3-N（t/a）VOCs（t/a）—13—根據(jù)《污染源源強(qiáng)核算技術(shù)指南準(zhǔn)則》(HJ884-2018)、《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1031-2019）等相關(guān)規(guī)定/薄膜等淋是/VOCs)濕法刻蝕（堿蝕）氨淋是等附是（熱排）////////////注：①項(xiàng)目涉及的丙二醇甲醚醋酸酯、二甲基亞砜、異丙醇、乙醇、丙酮、乙二醇、醋酸等VOCs廢氣在源強(qiáng)核算分析時(shí)均以非甲烷總烴表征，這類②項(xiàng)目各污染物廢氣產(chǎn)生時(shí)間規(guī)律見表4.2-4—14—運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)蝕）、注入/薄膜等N29.041888氨N29.041864/N29.041891/N29.041868///—15—項(xiàng)目廢氣種類包括有機(jī)清洗廢氣（G1）、酸堿清洗廢氣（酸膠廢氣（G7）、注入薄膜廢氣（G8）。具體源強(qiáng)產(chǎn)生情況分（2）酸堿清洗廢氣（酸霧和堿霧G2）氯化氫以及未完全反應(yīng)的三氟甲烷等物質(zhì)，產(chǎn)生量為氟化硅175.392kg/a、氯化硅—16—項(xiàng)目濕法刻蝕主要分兩大類，即酸蝕和堿蝕。酸蝕溶液主要1231—17—），噴淋洗滌吸收法、活性炭吸附法”均屬于電子工業(yè)廢氣治理可行技術(shù)。根據(jù)上述廢氣處理綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）新污染源二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求、《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》組織排放，預(yù)計(jì)廠區(qū)內(nèi)廠房外VOCs排放可滿足《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB37822-2019）中特別排放限值要求，廠區(qū)外亦可滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》非正常工況一般包括開停車、檢修、環(huán)保設(shè)施不達(dá)1—18—11111氨11—19—類法藝術(shù)化是/a2///水////////////////////////////統(tǒng)////活//h/aNH3-N2/生活廢水NH3-N物N29.039727—20——21—2.1廢水源強(qiáng)分析根據(jù)工程分析，本項(xiàng)目主要產(chǎn)生的廢水包括工藝清洗廢水（W1+W2）、地面清洗水（W3）、噴淋廢水（W4）、制純水濃水（W5）、循環(huán)水排水（W6）以及員工生活廢水水污染物濃度預(yù)計(jì)為CODcr1000mg/L、氨氮20mg/L，則廢水污染物產(chǎn)生量為CODcr經(jīng)轉(zhuǎn)化折算，最終噴淋廢水中污染物產(chǎn)生量約為CODcr2.815t/a、氨氮0.020t/a、硫酸鹽—22—根據(jù)上述生產(chǎn)廢水源強(qiáng)分析，生產(chǎn)廢水產(chǎn)生總量約為32736t/a，污染物標(biāo)納管，納管濃度執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中間接排放限水中污染物濃度平均CODCr350mg/L，NH3-N35mg/L計(jì)算，其污染物產(chǎn)生量約為CODCr標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中間接排放限值（半導(dǎo)體器件）要求納入工業(yè)區(qū)污水管網(wǎng)，進(jìn)入金華市秋濱污水處理廠處理達(dá)標(biāo)（CODCr40mg/L，NH3-N22.2廢水納管可行性分析特別是生產(chǎn)廢水，建議采用管廊架空方式輸送；確因—23—溝內(nèi)不得敷設(shè)與雨水收集無(wú)關(guān)的管網(wǎng)，嚴(yán)防嚴(yán)禁污水混入雨水企業(yè)后期擴(kuò)產(chǎn)發(fā)展使用。參照《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ金華市秋濱污水處理廠目前設(shè)計(jì)總處理規(guī)模為32萬(wàn)3.1項(xiàng)目噪聲源強(qiáng)及達(dá)標(biāo)符合性分析），源/套h/a法114—24—3.2噪聲例行監(jiān)測(cè)計(jì)劃—25—期環(huán)境影響和保護(hù)序號(hào)稱節(jié)期性1洗2等34T5T67射//8//9理理T裝5—26—裝//備2//活////—27—），行。項(xiàng)目危險(xiǎn)廢物的收集和轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程應(yīng)根據(jù)按照《危險(xiǎn)廢物收集貯存運(yùn)輸技術(shù)規(guī)范》—28—5.1污染物類型和污染途徑托盤等應(yīng)急措施，泄漏的各類物質(zhì)能及時(shí)有效收集，因此本項(xiàng)目不會(huì)出現(xiàn)地面漫為了保護(hù)地下水和土壤環(huán)境，建設(shè)單位可參照《石油化工工程防滲技術(shù)規(guī)范》5.2分區(qū)防控要求入地下。按照《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則地下水環(huán)境》（HJ610-2016）中分區(qū)防控措施要 /—29——30—），放口監(jiān)控及應(yīng)急切斷設(shè)施，并要求做好初期雨水池、應(yīng)急事故水池的聯(lián)動(dòng)控制要求。123456—31—/污染源996）新污染源二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)/集，加強(qiáng)設(shè)備維護(hù)管污染源無(wú)組織監(jiān)控要標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》境等定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢查維修，使設(shè)備正常運(yùn)無(wú)///收集后出售給相關(guān)單位綜合利用。一般固廢—32—危險(xiǎn)廢物收集后必須委托有相應(yīng)危廢處置資質(zhì)的單位點(diǎn)防滲區(qū)域進(jìn)行防滲處理，結(jié)合《石油化工防滲工程技術(shù)規(guī)范》（GB/T50934-2013（1）企業(yè)設(shè)置專業(yè)的環(huán)保管理機(jī)構(gòu)，配備環(huán)保管理人員，建立環(huán)保管理制度，加強(qiáng)（2）企業(yè)應(yīng)定期向社會(huì)公開企業(yè)環(huán)保管理內(nèi)容，包括污染物排放達(dá)標(biāo)情況、環(huán)保管（3）企業(yè)應(yīng)按照《環(huán)境保護(hù)圖形標(biāo)志排放口(源)》(GB15562.1)規(guī)定，在廠區(qū)設(shè)置規(guī)（4）企業(yè)項(xiàng)目應(yīng)嚴(yán)格按照本環(huán)評(píng)內(nèi)容和要