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文檔簡(jiǎn)介
008—2021透明硬脆材料三維輪廓激光加工規(guī)程
processing
of
contour
of
transparent
hardbrittle
materials2021-10-08
發(fā)布 2021-10-10
實(shí)施武漢·中國(guó)光谷激光加工產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟武 漢 激 光 學(xué) 會(huì)
發(fā)布
3.1 3.2 3.3
4.1 4.2 4.3
6.1 6.2
6.4
本文件按照GB/T
1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則
第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起
ZL
202010671876.4II
部分：設(shè)備分類、要求
中界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1
激光脈沖持續(xù)時(shí)間在皮秒（103.2
3.3
4.1
透明硬脆材料可包括玻璃、藍(lán)寶石、硅片等。
4.2
4.3
圖1
6.1
激光加工系統(tǒng)組成應(yīng)包含但不限于超快激光器、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、顯微物鏡、
軸升降臺(tái)、
激光加工系統(tǒng)可采用以下工作方式：激光器的輸出端連接擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡的輸入端，擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡的
XY直線電機(jī)上方且與
直線電機(jī)同步運(yùn)動(dòng)，顯微物鏡與
軸升降臺(tái)連接，控制系統(tǒng)分別與激光器、
圖2
a)
1550nm～2500nm
b)
c)
XY
XY
6.2
采用具有
PSO
XY
圖3
根據(jù)加工深度調(diào)整激光加工能量，根據(jù)所述對(duì)應(yīng)關(guān)系針對(duì)不同的加工深度進(jìn)行激光加工能量的
同時(shí)配合每層對(duì)應(yīng)的加工軌跡，調(diào)整
軸高度，使激光束從透明硬脆材料的下表面往上表面逐
6.3
a)
1min～2min
b)
c)
d)
最后，把透明硬脆材料從水中取出，透明硬脆材料三維輪廓與廢料分離，也可借助機(jī)械外力分
a)
b)
25%
HF
HF：HNO：HO=1：1：100
HF：HNO：Hc)
d)
e)
f)
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