常用的傳感器課件

常用的感測(cè)器§3.1概述一感測(cè)器的作用二感測(cè)器的分類下一節(jié)回首頁(yè)可轉(zhuǎn)換的信號(hào)機(jī)械信號(hào)電信號(hào)輻射信號(hào)（光波超聲波紅外波）流體信號(hào)感測(cè)器的作用返回按被測(cè)對(duì)象按工作原理機(jī)械式電子式光學(xué)式流體式按能量變換關(guān)係能量轉(zhuǎn)換型

能量控制型物性型結(jié)構(gòu)型集成化感測(cè)器多環(huán)節(jié)集成多參量集成模擬式數(shù)字式返回§3.2機(jī)械式感測(cè)器一工作原理

p58圖3-3二特點(diǎn)及應(yīng)用

n低，適於靜態(tài)測(cè)量被測(cè)量彈性元件變形（位移）敏感元件電信號(hào)首頁(yè)下一節(jié)§3.3電阻式感測(cè)器一變阻器式感測(cè)器二

電阻應(yīng)變式感測(cè)器首頁(yè)下一節(jié)1工作原理

p59圖3-5R=KiX2性能特點(diǎn)1°靈敏度Lo線性P59表3-6電阻分壓電路2°優(yōu)點(diǎn)：缺點(diǎn)：返回1

工作原理2分類比較金屬式半導(dǎo)體式絲式p60圖3-7箔式圖3-8S半=（50~70）S金電阻應(yīng)變式感測(cè)器p63表3-10，p64圖3-113環(huán)境溫度對(duì)應(yīng)變的影響p60圖3-7返回工作原理可表示為可到出傳感原理：S1+2u金屬式1.7~3.6之間線性半導(dǎo)體返回§3.4電感式感測(cè)器一

自感型二互感型—差動(dòng)變壓器式電感感測(cè)器首頁(yè)自感型1

可變磁阻式（1）工作原理（2）分類比較2渦流式上一頁(yè)工作原理返回a.改變?chǔ)氖絊≈const*差動(dòng)式p65表3-13（b）b.改變磁通互積式p65圖3-13（a）c.雙螺管線圈差動(dòng)型測(cè)量範(fàn)圍0.001~1mm測(cè)量範(fàn)圍0~300um,分辨力0.5um測(cè)量電路首頁(yè)差動(dòng)變壓器式電橋取D為參考點(diǎn)○Z1Z2D○○B(yǎng)A上一頁(yè)2

渦流式P66表3-15（1）工作原理金屬板材料ρμ↑↓線圈激勵(lì)頻率w↑↓測(cè)頻轉(zhuǎn)速鑒材與探傷測(cè)微小位移透射式測(cè)厚δ↑↓（2）性能特點(diǎn)Z↑↓首頁(yè)上一頁(yè)§3.5電容式感測(cè)器一傳感原理δε二分類比較1）δ↑↓2）A↑↓3)ε↑↓>0首頁(yè)§3.6電壓式感測(cè)器一壓電效應(yīng)二

壓電材料三壓電式感測(cè)器及其等效電路四

測(cè)量電路五特點(diǎn)及應(yīng)用首頁(yè)1.壓電單晶體2.多晶體壓電陶瓷☆銑鈦酸鉛材料系列鈦酸鋇3.壓電半導(dǎo)體壓電傳感器集成感測(cè)器半導(dǎo)體電子器件4.高分子壓電薄膜微壓機(jī)器人觸覺(jué)返回壓電式感測(cè)器為能量型感測(cè)器，也稱無(wú)源感測(cè)器，本身相當(dāng)於高內(nèi)阻微弱的電荷源CaCciqR0CqR0C=Ca+Cc在交變力的作用下產(chǎn)生交變電荷依電荷平衡原理下一頁(yè)首頁(yè)1ow↑

w→0e→0適於高頻信號(hào)測(cè)量：振動(dòng)雜訊表面粗糙度2o測(cè)量低頻信號(hào)（靜態(tài)）CRo↑↑即Ro↑↑即後級(jí)需接高輸入阻抗的測(cè)量電路，按規(guī)定電纜接線上一頁(yè)回首頁(yè)前置放大器電壓放大高輸入阻抗的比例放大器電荷放大具備深度電容負(fù)回饋的高增益的高輸入阻抗的運(yùn)放CaCcq-k1且不變電纜長(zhǎng)度及型號(hào)的影響2可測(cè)超低頻信號(hào)用於衝擊振動(dòng)與地震測(cè)量返回特點(diǎn)及應(yīng)用1、體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、頻率範(fàn)圍寬適於動(dòng)態(tài)測(cè)量2、多用於力、振動(dòng)加速度、雜訊、表面粗糙度的測(cè)量回首頁(yè)下一節(jié)1

磁電式感測(cè)器磁場(chǎng)強(qiáng)度↑↓運(yùn)動(dòng)速度↑↓↑↓Φ↑↓2半導(dǎo)體感測(cè)器半導(dǎo)體應(yīng)變式集成感測(cè)器半導(dǎo)體壓電式集成感測(cè)器3光纖感測(cè)