壓力傳感器研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)_第1頁
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秘,從生產(chǎn)的過程控制到現(xiàn)代文明生活,幾乎每一項(xiàng)技術(shù)都離不開傳感器,因此,計(jì)、水速計(jì)、壓力表、電子稱以及自動(dòng)報(bào)警裝置等。壓力傳感器已成為各類傳感量與自動(dòng)控制專業(yè)的技術(shù)人員必須了解和熟時(shí),其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的壓力硅的(001)或(110)晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上,然后在通過微機(jī)械加工工藝可以由計(jì)算機(jī)控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器,其線度可以控制在微米級(jí)范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工這是一類研究成果較多的傳感器,但投化鋁(Al2O3)構(gòu)成,其間用一個(gè)自熔焊接圓環(huán)釬焊在一起。該環(huán)在微機(jī)械加工技術(shù)逐漸完善的今天,硅微機(jī)械傳感器在汽車工業(yè)中的應(yīng)用越開創(chuàng)性的研制出組合有壓電層的柔軟光學(xué)陣列觸覺(1)小型化目前市場(chǎng)對(duì)小型壓力傳感器的需求越來越(2)集成化壓力傳感器已經(jīng)越來越多的與其它測(cè)量用傳感器集成以形成測(cè)(4)廣泛化壓力傳感器的另一個(gè)發(fā)

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