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文檔簡(jiǎn)介
JJF××××─2023
江蘇省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范
JJF（蘇）XXXX-2023
銅箔測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范
CalibrationSpecificationforCopperCladThickness
MeasuringInstrument
2023-xx-xx發(fā)布2023-xx-xx實(shí)施
江蘇省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布
1
JJF××××─2023
目錄
目錄................................................................................................................................I
引言...............................................................................................................................II
1范圍...........................................................................................................................1
2引用文獻(xiàn)...................................................................................................................1
3術(shù)語(yǔ)...........................................................................................................................1
4概述...........................................................................................................................1
5計(jì)量特性....................................................................................................................2
6校準(zhǔn)條件....................................................................................................................3
6.1環(huán)境條件.................................................................................................................3
6.2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備.............................................................................................3
7校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法................................................................................................4
7.1示值重復(fù)性.............................................................................................................4
7.2示值誤差.................................................................................................................4
7.3示值穩(wěn)定性.............................................................................................................5
7.4標(biāo)準(zhǔn)覆銅板、標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片厚度.....................................................................5
8校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)............................................................................................................6
9復(fù)校時(shí)間間隔............................................................................................................6
附錄A標(biāo)準(zhǔn)覆銅板厚度測(cè)量的示值誤差不確定度評(píng)定..........................................7
附錄B標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片厚度測(cè)量的示值誤差不確定度評(píng)定................................10
附錄C銅箔測(cè)厚儀示值誤差不確定度評(píng)定示例....................................................14
附錄D校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)信息及格式............................................................................17
I
JJF××××─2023
引言
本規(guī)范是針對(duì)銅箔測(cè)厚儀校準(zhǔn)的計(jì)量技術(shù)法規(guī)。JJF1001-2011
《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表
示》、JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》共同構(gòu)成支撐本
校準(zhǔn)規(guī)范修訂工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本規(guī)范為首次發(fā)布。
II
JJF××××─2023
銅箔測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范
1范圍
本規(guī)范適用于銅箔測(cè)厚儀的校準(zhǔn)。
2引用文獻(xiàn)
本規(guī)范引用下列文獻(xiàn)：
JJF1001-2011通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義
JJF1059.1-2012測(cè)量不確定度評(píng)定與表示
JJF1094-2002測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定
GB/T36476-2018印制電路用金屬基覆銅箔層壓板通用規(guī)范
凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范。
3術(shù)語(yǔ)
OZ（盎司）
OZ（盎司），一般為重量單位和容量單位，在印制電路板行業(yè)，
表示印制電路板表面鍍銅的厚度，來源于把1OZ重的8.9g/cm3密度
的純銅平鋪到1平方英尺的面積上所形成的厚度，1OZ約等于35μm。
4概述
銅箔測(cè)厚儀是一種利用電阻法的測(cè)量原理，用于印制電路板行業(yè)
測(cè)量覆銅板上的銅箔厚度和銅箔片厚度的儀器。根據(jù)讀數(shù)方式的不同，
分為數(shù)顯式銅箔測(cè)厚儀和銅箔分級(jí)測(cè)試儀。數(shù)顯式銅箔測(cè)厚儀可以直
接測(cè)量銅箔的厚度，其常見外形示意圖見圖1；銅箔分級(jí)測(cè)試儀的測(cè)
量點(diǎn)一般為5μm（1/8OZ）、9μm（1/4OZ）、12μm（1/3OZ）、18μm
1
JJF××××─2023
（1/2OZ）、35μm（1OZ）、70μm（2OZ）、105μm（3OZ）、135μm（4OZ）
和170μm（5OZ）等。其常見外形示意圖見圖2。
2
2
3
1
1-殼體2—顯示器3—測(cè)頭
圖1數(shù)顯式銅箔測(cè)厚儀的示意圖
2
1
3
1-殼體2—示值指示燈3—測(cè)針
圖2銅箔分級(jí)測(cè)試儀示意圖
5計(jì)量特性
5.1示值重復(fù)性
5.2示值誤差
5.3示值穩(wěn)定性
2
JJF××××─2023
5.4標(biāo)準(zhǔn)覆銅板、標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片厚度
標(biāo)準(zhǔn)覆銅板、標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片厚度測(cè)量結(jié)果不確定度及均勻性見表1
表1標(biāo)準(zhǔn)覆銅板、標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片計(jì)量特性要求
測(cè)量結(jié)果不確定度
序號(hào)名稱范圍均勻性
（k=2）
1標(biāo)準(zhǔn)覆銅板H≤10μm≤7%Urel≤7%
10＜H≤50μm≤0.3μmU≤0.3μm
標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚
2度片
H＞50μm≤0.6%Urel≤0.6%
6校準(zhǔn)條件
6.1環(huán)境條件
校準(zhǔn)室內(nèi)溫度在（20±2）℃范圍內(nèi)，相對(duì)濕度不大于75%。校準(zhǔn)
前，銅箔測(cè)厚儀與標(biāo)準(zhǔn)器平衡溫度時(shí)間不少于2小時(shí)。
6.2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備
校準(zhǔn)時(shí)所需的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其它設(shè)備如表2所示。推薦使用表2所
列測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備，允許使用滿足測(cè)量不確定度要求的其他測(cè)量
標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。
表2主要校準(zhǔn)器具
序號(hào)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)和其它設(shè)備技術(shù)要求
1標(biāo)準(zhǔn)覆銅板H≤10μm時(shí)Urel≤7%
10＜H≤50μm時(shí)U≤0.3μm
2標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片
H＞50μm時(shí)Urel≤0.6%
3X射線熒光鍍層測(cè)厚儀MPE：±5%
4光柵式測(cè)微儀0.2μm級(jí)
3
JJF××××─2023
7校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法
7.1示值重復(fù)性
在儀器有效測(cè)量范圍，選取一片標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片，其厚度值大約
分布在儀器三分之二量程處，重復(fù)測(cè)量該標(biāo)準(zhǔn)片5次，計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)
偏差s，
R
si（1）
C
Ri——該校準(zhǔn)點(diǎn)5次示值中的極差值，即最大值與最小值之差；
C——極差系數(shù)，5次測(cè)量時(shí)取C=2.33。
注：銅箔分級(jí)測(cè)試儀不做此項(xiàng)要求。
7.2示值誤差
7.2.1數(shù)顯式銅箔測(cè)厚儀
在儀器的量程內(nèi)大致均勻分布三至五點(diǎn)作為受檢點(diǎn)（最好含最接
近量程上、下限的點(diǎn)），分別對(duì)每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片或標(biāo)準(zhǔn)覆銅板重
復(fù)測(cè)量3次并記錄儀器示值，取算術(shù)平均值h作為該校準(zhǔn)點(diǎn)測(cè)量結(jié)果，
各校準(zhǔn)點(diǎn)的算術(shù)平均值h與標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片的實(shí)際值H的差值，即為
該校準(zhǔn)點(diǎn)的示值誤差δ，按下式計(jì)算：
δ=h-H（2）
δ——校準(zhǔn)點(diǎn)的示值誤差,μm；
h——校準(zhǔn)點(diǎn)的儀器示值的平均值,μm；
H——相應(yīng)厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的實(shí)際值,μm。
7.2.2銅箔分級(jí)測(cè)試儀
選取儀器所有測(cè)量點(diǎn)指示燈能夠變化極限處厚度（極限厚度見
表3）的標(biāo)準(zhǔn)覆銅板或標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片，觀察儀器指示燈是否均變亮，
4
JJF××××─2023
記錄是否變亮作為校準(zhǔn)結(jié)果。
表3各測(cè)量點(diǎn)極限一般厚度
測(cè)量點(diǎn)（μm）上下限厚度（μm）
4
5（1/8OZ）
6
8
9（1/4OZ）
10
10
12（1/3OZ）
14
15.5
18（1/2OZ）
20.5
30
35（1OZ）
40
63
70（2OZ）
77
92
100（3OZ）
108
125
135（4OZ）
145
155
170（5OZ）
185
注：若有特殊測(cè)量點(diǎn)，可參考儀器說明書準(zhǔn)備標(biāo)準(zhǔn)器
7.3示值穩(wěn)定性
選用1塊標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片，其厚度值約為儀器二分之一量程。記
下第一次讀數(shù)，以后每間隔15min再次測(cè)量，連續(xù)記錄1h。取五次
讀數(shù)中的最大值與最小值之差作為測(cè)量結(jié)果。
7.4標(biāo)準(zhǔn)覆銅板、標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片厚度
7.4.1標(biāo)準(zhǔn)覆銅板厚度
放進(jìn)X射線熒光鍍層測(cè)厚儀載物工作臺(tái)上，在規(guī)定的測(cè)量區(qū)域
5
JJF××××─2023
內(nèi)均勻分布5點(diǎn)（見圖3）測(cè)量，取中心點(diǎn)5次測(cè)量值的平均值作為
標(biāo)準(zhǔn)覆銅板的實(shí)際厚度，取各測(cè)量點(diǎn)與實(shí)際厚度值的最大差值作為標(biāo)
準(zhǔn)覆銅板厚度的均勻性。
7.4.2標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片厚度
標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片的厚度值用0.2μm級(jí)光柵式測(cè)微儀直接法測(cè)量，
在規(guī)定的測(cè)量區(qū)域內(nèi)均勻分布5點(diǎn)（見圖3）測(cè)量，取中心點(diǎn)5次測(cè)
量值的平均值作為標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片的實(shí)際厚度，取各測(cè)量點(diǎn)與實(shí)際厚
度值的最大差值作為標(biāo)準(zhǔn)銅箔厚度片厚度的均勻性。此項(xiàng)測(cè)量允許采
用滿足測(cè)量不確定度要求的其他方法。
圖3測(cè)量位置和測(cè)量點(diǎn)
8校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)
經(jīng)校準(zhǔn)后的，應(yīng)填發(fā)校準(zhǔn)證書，校準(zhǔn)證書內(nèi)容應(yīng)符合JJF1071-2010
第5.12條規(guī)定要求。校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)信息及格式詳見附錄D。
9復(fù)校時(shí)間間隔
由于復(fù)校時(shí)間間隔的長(zhǎng)短是由銅箔測(cè)厚儀的使用狀況、使用者、
設(shè)備本身質(zhì)量等諸因素所決定的，因此，送校單位可根據(jù)儀器實(shí)際使
用情況自主決定復(fù)校時(shí)間間隔。建議復(fù)校時(shí)間間隔一般為1年。
6
JJF××××─2023
附錄A標(biāo)準(zhǔn)覆銅板厚度測(cè)量的示值誤差不確定度評(píng)定
A.1測(cè)量方法
放進(jìn)X射線熒光鍍層測(cè)厚儀載物工作臺(tái)上，在規(guī)定的測(cè)量區(qū)域
內(nèi)均勻分布5點(diǎn)（見圖1）測(cè)量，取中心點(diǎn)5次測(cè)量值的平均值作為
標(biāo)準(zhǔn)覆銅板的實(shí)際厚度，取各測(cè)量點(diǎn)與實(shí)際厚度值的最大差值作為標(biāo)
準(zhǔn)覆銅板厚度的均勻性。
A.2測(cè)量模型
——標(biāo)準(zhǔn)?覆=銅?板?的?厚度示值誤差，μm；
?——標(biāo)準(zhǔn)覆銅板理論值，μm；
?——5次測(cè)量的平均值，μm。
A.3不確定度傳播率?
考慮各分量彼此獨(dú)立，依據(jù)公式得：
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2??22
)=???=