GB∕T 23611-2023 金及金合金靶材（正式版）

金及金合金靶材2023-08-06發(fā)布國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件代替GB/T23611—2009《金靶材》,與GB/T23611—2009相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動a)增加了“術(shù)語和定義”一章(見第3章);b)增加了AuGe及AuGeNi合金靶材品種(見4.1.2);c)增加了結(jié)構(gòu)形式及供貨狀態(tài)(見4.1.4、4.1.5);d)增加了AuGe及AuGeNi合金靶材技術(shù)要求和試驗方法(見5.1、6.1);e)增加了金靶材化學(xué)成分表(見5.1);f)增加了靶材焊接質(zhì)量要求(見5.5);g)更改了金靶材外形尺寸及允許偏差(見5.6,2009年版的3.4);h)增加了矩形靶材外形尺寸及允許偏差要求(見5.6)。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC243)歸口。本文件起草單位：有研億金新材料有限公司、北京有色金屬與稀土應(yīng)用研究所有限公司、貴研鉑業(yè)股份有限公司、紫金礦業(yè)集團(tuán)黃金冶煉有限公司、有研資源環(huán)境技術(shù)研究院(北京)有限公司、深圳市眾誠達(dá)應(yīng)用材料科技有限公司。本文件于2009年首次發(fā)布為GB/T23611—2009《金靶材》,本次為第一次修訂。1金及金合金靶材1范圍及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于半導(dǎo)體電子器件用金及金合金靶材(以下簡稱“靶材”)。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T6394金屬平均晶粒度測定方法GB/T8651金屬板材超聲板波探傷方法GB/T11066.1金化學(xué)分析方法金量的測定火試金法GB/T11066.10金化學(xué)分析方法硅量的測定鉬藍(lán)分光光度法GB/T11066.11金化學(xué)分析方法測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法GB/T15077貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法GB/T25934(所有部分)高純金化學(xué)分析方法YS/T837濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗方法3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。在濺射沉積技術(shù)中的陰極部分，該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在陽極表面沉積。注：靶材由靶坯和背板組成。陰極上用作濺射材料的材料。用來支撐或固定靶材的材料。24分類和標(biāo)記4.1.1純金靶材的類型按金的純度分為IC-Au99.99、IC-Au99.999兩種。4.1.2根據(jù)合金材料不同，金合金靶材分為AuGe、AuGeNi兩種。4.1.3按外形分，主要有圓形和矩形兩種。4.1.4按結(jié)構(gòu)形式分為單體和焊接兩種。4.1.5靶材以加工態(tài)供貨。注：靶材背板為銅及銅合金等冷卻性較好的材料。產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、文件編號、牌號、規(guī)格的順序表示。示例1:如某一金靶材的牌號為IC-Au99.99,形狀為圓形，大外徑344mm,總厚度5mm,標(biāo)記為：金靶GB/T23611-IC-Au99.99-φ344×5示例2:如某一金靶材的牌號為IC-Au99.999,形狀為矩形，長度381mm、寬度127mm、厚度6mm,標(biāo)記為：金靶GB/T23611-IC-Au99.999-381×127×6示例3:如某一金合金靶材牌號為AuGeNi,形狀為圓形，大外徑203mm,總厚度5mm,標(biāo)記為：金鍺鎳靶GB/T23611-AuGeNi-p203×55技術(shù)要求5.1化學(xué)成分金靶材IC-Au99.99、IC-Au99.999的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。金合金靶材的化學(xué)成分應(yīng)符合表2的規(guī)定。表1金靶材化學(xué)成分牌號化學(xué)成分°(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/%不大于AgFePbBiPdIC-Au99.990.0050.0020.0020.0010.0020.0010.0050.005IC-Au99.9990.00050.00010.00030.00010.00010.00010.00030.00013表1金靶材化學(xué)成分(續(xù))牌號化學(xué)成分(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/%不大于MgAsNiMn雜質(zhì)總和”需方對某種特定雜質(zhì)元素含量有要求的，由供需雙方協(xié)商解決?！薄半s質(zhì)總和”為表中所列雜質(zhì)元素實測值之和。表2金合金靶材化學(xué)成分牌號化學(xué)成分(質(zhì)量分?jǐn)?shù))/%余量AuGeNi余量余量余量注：需方對某種特定雜質(zhì)元素含量有要求的，由供需雙方協(xié)商解決。Ge余量的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為100%減去Ni、Au的實測質(zhì)量分?jǐn)?shù)?！半s質(zhì)總和”為表中所列雜質(zhì)實測值之和。5.2晶粒尺寸靶材平均晶粒尺寸不大于100μm,最大晶粒尺寸不大于150μm,晶粒分布均勻。需方有特殊要求靶材的內(nèi)部不應(yīng)有分層、疏松、夾雜和氣孔等缺陷，由供方的生產(chǎn)工藝保證。需方有特殊要求時，由供需雙方商定。5.4表面粗糙度靶材表面粗糙度Ra值應(yīng)不大于1.6。5.5焊接質(zhì)量金及金合金靶材的固定方法為釬焊，釬焊質(zhì)量應(yīng)滿足焊接結(jié)合率不低于95%,單個缺陷面積占比不大于總面積的1%。需方如有特殊要求時，由供需雙方商定，并在訂貨單中注明。5.6外形尺寸靶材的外形尺寸及其允許偏差應(yīng)符合表3的規(guī)定。需方有特殊要求時，由供需雙方商定。4表3靶材的外形尺寸及其允許偏差單位為毫米外形外形尺寸直徑或長、寬直徑或長、寬允許偏差厚度厚度允許偏差圓形2～100—0.08>100～150土0.1>150～300300～400矩形土0.05>100～300土0.15.7外觀質(zhì)量6試驗方法6.1金靶材IC-Au99.99、IC-Au99.999的化學(xué)成分分析按GB/T25934(所有部分)的規(guī)定進(jìn)行。金合金靶材的化學(xué)成分分析按GB/T11066.1、GB/T11066.11、GB/T11066.10的規(guī)定進(jìn)行。6.2靶材晶粒尺寸的測量按GB/T6394的規(guī)定進(jìn)行。6.3內(nèi)部質(zhì)量的檢驗按GB/T8651的規(guī)定進(jìn)行。6.4表面粗糙度采用粗糙度儀檢測。6.5焊接質(zhì)量檢測按YS/T837的規(guī)定進(jìn)行。6.6外形尺寸的測量按GB/T15077的規(guī)定進(jìn)行。需方有特殊要求時，可按技術(shù)協(xié)議或按需方圖紙、來樣檢查。6.7外觀質(zhì)量采用目視檢查，如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，用10倍放大鏡鑒別。7檢驗規(guī)則7.1檢查和驗收7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件及訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗。當(dāng)檢驗結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。屬于外形尺寸及其允許偏差、外觀質(zhì)量的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個月內(nèi)提出。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方在需方共同取樣或協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗收。每批應(yīng)由同一原料、同一爐號、同一狀態(tài)和同一規(guī)格的產(chǎn)品組成。57.3檢驗項目每批產(chǎn)品均應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、晶粒尺寸、內(nèi)部質(zhì)量、表面粗糙度、焊接質(zhì)量、外形尺寸及外觀質(zhì)量的檢驗。檢驗項目、取樣位置及數(shù)量應(yīng)符合表4的規(guī)定。表4檢驗項目及取樣規(guī)定檢驗項目取樣位置取樣數(shù)量要求的章條編號試驗方法的章條編號化學(xué)成分縮孔下逐錠晶粒尺寸邊緣逐件內(nèi)部質(zhì)量靶坯逐件表面粗糙度任意表面逐件焊接質(zhì)量焊接后整體逐件外形尺寸任意部位逐件外觀質(zhì)量任意部位逐件7.5檢驗結(jié)果的判定7.5.1化學(xué)成分不合格時，判該錠生產(chǎn)的靶材產(chǎn)品不合格。7.5.2晶粒尺寸、內(nèi)部質(zhì)量、焊接質(zhì)量、外觀質(zhì)量、表面粗糙度、外形尺寸任何一項不合格時，則判該件產(chǎn)品不合格。8.1標(biāo)志在已檢驗合格的每批產(chǎn)品上應(yīng)附有如下標(biāo)記：a)產(chǎn)品名稱；b)化學(xué)成分；d)數(shù)量；e)凈重；f)爐號/批號；g)生產(chǎn)日期；h)供方名稱；i)供方技術(shù)監(jiān)督部門的檢印(或質(zhì)檢人員的簽名或印章)。8.2.1產(chǎn)品用兩層防靜電塑料袋真空封裝，并放在防止碰撞的包裝盒內(nèi)。68.2.4產(chǎn)品應(yīng)貯存于清潔的環(huán)境中。每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中