(高清版)GBT 17421.10-2021 機(jī)床檢驗(yàn)通則 第10部分：數(shù)控機(jī)床探測系統(tǒng)測量性能的測定

performanceofprobingsystemsofnumericallycontrolledmachinetools國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)發(fā)布國家市場監(jiān)督管理總局I Ⅲ 1范圍 1 1 13.1通用術(shù)語 23.2關(guān)于探測系統(tǒng)的術(shù)語 23.3與探測相關(guān)的術(shù)語 53.4與掃描測頭相關(guān)的術(shù)語(見附錄 64一般要求 7 7 7 74.4檢驗(yàn)工具 8 84.6檢驗(yàn)順序 8 8 84.9檢測結(jié)果報(bào)告 8 95.1總則 9 95.3其他熱變形檢測 9 96.1總則 96.2探測的重復(fù)性 206.10外形尺寸測量性能檢測 24Ⅱ7刀具探測 257.1總則 7.2刀具設(shè)置系統(tǒng)標(biāo)定 7.3刀具設(shè)定重復(fù)性 附錄A(資料性附錄)應(yīng)用符號的說明 附錄B(資料性附錄)掃描測頭測量性能 Ⅲ—第4部分：數(shù)控機(jī)床的圓檢驗(yàn)； 本部分是GB/T17421的第10部分。本部分按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本部分使用翻譯法等同采用ISO230-10:2016《機(jī)床檢驗(yàn)通-—GB/T17421.1—1998機(jī)床檢驗(yàn)通則第1部分：在無負(fù)荷或精加工條件下機(jī)床的幾何精度-—GB/T17421.2—2016機(jī)床檢驗(yàn)通則第2部分：數(shù)控軸線的定位精度和重復(fù)定位精度的確——GB/T17421.3—2009機(jī)床檢驗(yàn)通則第3部分1GB/T16857.5—2017產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)坐標(biāo)測量機(jī)的驗(yàn)收檢測和復(fù)檢檢測第5部ISO230-2機(jī)床檢驗(yàn)通則第2部分：數(shù)控軸線的定位精度和重復(fù)定位精度的確定(Testcodeformachinetools—Part2:Determinationofaccuracyandrepeatabilityofpositioningofnumericallycon-Determinationofthermaleffects)2機(jī)床坐標(biāo)系machinecoordinatesystem相對機(jī)床的機(jī)械軸或計(jì)算軸而確定的坐標(biāo)系。工件坐標(biāo)系workpiececoordinatesystem相對工件而確定的坐標(biāo)系。[GB/T16857.1—2002,定義2.4]測量空間measuringvolume機(jī)床上包括全部線性坐標(biāo)便于測量的3D空間。3.2關(guān)于探測系統(tǒng)的術(shù)語在探測時(shí)有感知特性并發(fā)出信號的裝置。開關(guān)式測頭switchingprobe觸及被測量(檢測)表面發(fā)出二進(jìn)制信號的測頭。比例測頭proportionalprobe發(fā)出的信號(模擬或數(shù)字)與探針觸點(diǎn)位移成正比的測頭。接觸式測頭contactingprobe需與被測量(檢測)表面發(fā)生實(shí)體接觸的測頭。例如：電路通非接觸式測頭non-contactingprobe不需與被測量(檢測)表面發(fā)生實(shí)體接觸的測頭。例如：光學(xué)和激光系統(tǒng)、電感和電容系統(tǒng)。3探測系統(tǒng)probingsystem軟件及可附加配置的測頭加長桿、測頭轉(zhuǎn)換系統(tǒng)、探針和探針加長桿組成的系統(tǒng)，與適當(dāng)?shù)臄?shù)控機(jī)床連接成一體的系統(tǒng)。探測系統(tǒng)的標(biāo)定probingsystemqualification建立為后續(xù)測量所必需的探測系統(tǒng)參數(shù)的操作(根據(jù)制造商/供應(yīng)商規(guī)定)。測頭探針觸點(diǎn)觸及被測量(檢測)表面的第一點(diǎn)與測頭信號開始發(fā)出的點(diǎn)之間的距離。探針觸點(diǎn)直徑(尺寸)被探測軟件用來補(bǔ)償被測部位的特征尺寸。探針觸點(diǎn)stylustip與被測物體直接接觸的機(jī)械元件。探針系統(tǒng)stylussystem由探針及探針元件組成(若有)的系統(tǒng)?！肚蛐翁结樣|點(diǎn)>從探針觸點(diǎn)中心到探針系統(tǒng)肩部的距離。4GB/T17421.10— 圖1探測系統(tǒng)長度探測工具probingtool由測頭及探針系統(tǒng)組成，能連接到刀柄上。注：見圖2。L——探測工具長度。圖2探測工具長度探測工具長度probing-toollength從探針觸點(diǎn)最突出點(diǎn)到與探測工具連接的機(jī)床刀具主軸基準(zhǔn)端面或基準(zhǔn)線的距離。注2:某些測頭系統(tǒng)確定探測工具長度是以探針觸點(diǎn)表面中心到與探測工具連接的機(jī)床刀具主軸基面的距離。注3:對于實(shí)心柄刀柄，主軸基準(zhǔn)面就是主軸錐面準(zhǔn)線；對于其他刀柄(中空柄)主軸基面是主軸端面。注4:確定探測工具長度的程序按制造商/供應(yīng)商說明書進(jìn)行。探針觸點(diǎn)偏移stylustipoffset探針觸點(diǎn)中心到裝有探測工具的主軸軸平均線的距離。5GB/T17421.10—2021/ISO3.3與探測相關(guān)的術(shù)語測定數(shù)值(例如：坐標(biāo)值、長度值、無效/真實(shí)值)的動(dòng)作。注1:改寫GB/T16857.1—2002,定義2.7。每一次探測運(yùn)動(dòng)只沿平行于一個(gè)機(jī)床坐標(biāo)軸或一個(gè)工件坐標(biāo)軸方向。探測運(yùn)動(dòng)在一個(gè)平面內(nèi)沿矢量方向進(jìn)行。注1:通常接觸式測頭沿-X、+X、-Y、+Y和-Z方向運(yùn)動(dòng)，這些方向的任意合成運(yùn)動(dòng)被認(rèn)為是2.5D探測。這些接觸式測頭不沿+Z方向(或運(yùn)行非常受限)運(yùn)動(dòng)。注2:裝有多測頭的測頭系統(tǒng)能作沿+Z方向測量，如圖3所示，探針觸點(diǎn)2(沿+Z方向移動(dòng))接觸工件表面，測頭注3:探針觸點(diǎn)1和探針觸點(diǎn)2的單獨(dú)標(biāo)定以及附加檢測的相關(guān)規(guī)定，見GB/T16857.5。2——探針觸點(diǎn)2;圖3裝有兩個(gè)探針的探測工具探測運(yùn)動(dòng)在空間沿任意矢量方向進(jìn)行。6探測重復(fù)性probingrepeatability探測系統(tǒng)在同一檢測條件重復(fù)進(jìn)行同樣測量測得坐標(biāo)值接近的程度。機(jī)床用探測系統(tǒng)測定基準(zhǔn)器具半徑的范圍。3.4與掃描測頭相關(guān)的術(shù)語(見附錄B)靜止位置restposition在靜止和觸及表面未偏轉(zhuǎn)時(shí)，測頭探針觸點(diǎn)中心位置。最大掃描偏轉(zhuǎn)maximumscanningdeflection制造商設(shè)定的掃描檢測時(shí)，測頭探針觸點(diǎn)中心允許的最大偏轉(zhuǎn)。測頭探針觸點(diǎn)中心從靜止位置偏轉(zhuǎn)至未引起測頭探針整體損壞的最大行程。最小掃描偏轉(zhuǎn)minimumscanningdeflection在掃描測量時(shí)允許探針觸點(diǎn)中心相對靜止位置的最小偏轉(zhuǎn)。制造商/供應(yīng)商規(guī)定的標(biāo)定掃描線與實(shí)際掃描線之間允許的最大距離。 探針觸點(diǎn)法向加速度stylustipnormalacceleration7c)被測表面受到污染(觀察);按7.3執(zhí)行。觀察溫度的影響最好采用5.2和ISO230-3給出的方法。8如果沒有規(guī)定檢驗(yàn)項(xiàng)目和相關(guān)費(fèi)用的協(xié)議，僅僅參照本部分進(jìn)行驗(yàn)收，對協(xié)議任何一方?jīng)]有約本部分描述的檢測揭示探測系統(tǒng)作為測量儀器的特征。因此，這些特征與ISO重要信息收集來自ISO/TS23—采用的基準(zhǔn)量具的定位(在適合的情況下);—環(huán)境溫度變化誤差(ETVE或漂移)由于實(shí)際檢測環(huán)境溫度超出制造商/供應(yīng)商規(guī)定的溫度范9h)采用的檢具在機(jī)床測量空間的定位(在適合的情況下);依據(jù)ISO1,工業(yè)上尺寸測量的基準(zhǔn)溫度為20℃;因此，測量儀器和測量目標(biāo)應(yīng)在溫度為20℃環(huán)ETVE檢測(見ISO230.3:2007的第5章)應(yīng)先于測頭評定檢測。檢測時(shí)間應(yīng)經(jīng)制造商/供應(yīng)商與結(jié)果的表示應(yīng)符合ISO230.3:2007中5.3的規(guī)定。本部分涉及的測試假定探測系統(tǒng)與機(jī)床Z軸運(yùn)動(dòng)已經(jīng)對準(zhǔn)，探針觸點(diǎn)中心已經(jīng)與主軸平均線對行10次測量。同樣的程序分別在Y軸和Z軸方向進(jìn)行。按X軸坐標(biāo)檢測值的范圍計(jì)算Rspr,x。按制造商/供應(yīng)商使用說明書探測基準(zhǔn)球上5點(diǎn)確定其中心坐標(biāo)。確立工件坐標(biāo)系基準(zhǔn)點(diǎn)在基準(zhǔn)10次測量X軸坐標(biāo)值取平均值X。,同樣10次測量Y軸坐標(biāo)值取平均值Y。。 (1)c)移開并重新定位探測刀具。為包含換刀重復(fù)性在測頭裝入主軸前如果預(yù)計(jì)使用自動(dòng)刀具交按孔中心X軸坐標(biāo)檢測值的范圍計(jì)算RprL.x,按孔中心Y軸坐標(biāo)檢測值的范圍計(jì)算RprL.y,按頂本檢測的目的在于評估一個(gè)通過測量參考校準(zhǔn)環(huán)形式具體的2D探測誤差。這個(gè)誤差很大程度受圖4顯示了典型探測系統(tǒng)2D測量誤差的表示。環(huán)等距的周長獲得36個(gè)測點(diǎn)的坐標(biāo)。典型的探測系統(tǒng)用數(shù)量非常有限的測點(diǎn)(通常4個(gè)或5個(gè)測點(diǎn))進(jìn)行球面測量。盡管應(yīng)適當(dāng)考慮預(yù)將一公稱直徑約25mm的基準(zhǔn)球放于機(jī)床上圖53D目標(biāo)測點(diǎn)的3D探測誤差Pru.3p的檢測b)探針觸點(diǎn)相對于主軸中心線偏移誤差(見6.3);c)探測刀具定位重復(fù)性(見6.4);d)探測誤差(見6.5和6.6);e)有效探針觸點(diǎn)直徑(見6.10);單點(diǎn)表面檢測見6.3。見6.4。見6.5和6.6。6.7.1.4.2表1分析與建議推薦如下：a)探測工件平面至少3個(gè)點(diǎn)來確定工件坐標(biāo)系基準(zhǔn)面；b)探測2點(diǎn)(可能的話或更多)連線或兩圓心連線確定工件坐標(biāo)系在基準(zhǔn)面的方位；選擇如圖6所示的檢具。所推薦的檢具為每邊長約50圖6工件坐標(biāo)系方位與角度檢具樣件有些探測系統(tǒng)僅能在XY面內(nèi)進(jìn)行校準(zhǔn)。在此情況下，檢具放置應(yīng)使其頂面A平行于機(jī)床XY面，它的一側(cè)相對于機(jī)床坐標(biāo)系偏離角度大約1°。在此情況下，應(yīng)不執(zhí)行在6.7.3給出的步驟a)的1)。根據(jù)探測系統(tǒng)預(yù)期的用途確定一定數(shù)量測點(diǎn)探測，并按下列步驟來評定工件的特征。a)階段1:工件坐標(biāo)系定向與定位確定：1)通過探測檢具A面確定工件坐標(biāo)系基準(zhǔn)面(見圖6);2)通過探測檢具B面上的線L確定工件坐標(biāo)系在基準(zhǔn)面的方向(見圖6);3)通過探測孔C確定工件坐標(biāo)系X軸、Y軸原點(diǎn)(見圖6);5)用A面設(shè)定工件坐標(biāo)系Z軸原點(diǎn)。b)階段2:工件坐標(biāo)系定位與定向驗(yàn)證：1)在檢具A面沿Z軸方向在下列坐標(biāo)探測：X-20、Y-20;X-20、Y20;X20、Y20;X2Y-20(圖6中測點(diǎn)1至測點(diǎn)4)獲取并記錄Z軸坐標(biāo)(ZpLA);2)在檢具B面沿Y軸方向在下列坐標(biāo)探測：X-20、Z-10;X20、Z-10(圖6中測點(diǎn)5和測點(diǎn)6)獲取并記錄Y軸坐標(biāo)(YLin);3)按探測系統(tǒng)制造商/供應(yīng)商使用說明書測量并記錄孔C中心X軸、Y軸坐標(biāo)(XBOR,4)分別探測D面、B面、A面上的單點(diǎn)(圖6中測點(diǎn)7、測點(diǎn)6和測點(diǎn)4)檢測并記錄頂點(diǎn)X軸、Y軸和Z軸坐標(biāo)(Xcor,Ycor,Zcor)。將工件坐標(biāo)系X軸、Y軸原點(diǎn)設(shè)置在塊規(guī)的一個(gè)頂點(diǎn)對比以前檢測將工件坐標(biāo)系原點(diǎn)設(shè)置在孔中心將塊規(guī)放于工件通常放置的位置，并在機(jī)床測量范圍內(nèi)，相對于機(jī)床坐標(biāo)系三個(gè)方向傾斜大有些探測系統(tǒng)僅能在XY面內(nèi)進(jìn)行校準(zhǔn)。在此情況下，塊規(guī)放置應(yīng)使其頂面A平行于機(jī)床XY面，它的一側(cè)相對于機(jī)床坐標(biāo)系偏離角度大約1°。因此在下列檢測程序給出的步驟a)中的1)應(yīng)不1)通過探測塊規(guī)A面確定工件坐標(biāo)系基準(zhǔn)面(見圖7);Y軸和Z軸坐標(biāo)原點(diǎn)；4)復(fù)檢設(shè)定塊規(guī)前右頂點(diǎn)的工件坐標(biāo)系X軸、Y和Z軸坐標(biāo)原點(diǎn)。圖7使用塊規(guī)確定工件坐標(biāo)系定位和定向可供選擇的檢測b)階段2:工件坐標(biāo)系定位與定向驗(yàn)證：中測點(diǎn)1至測點(diǎn)4)獲取并記錄Z軸坐標(biāo)ZpLA;2)在塊規(guī)B面沿Y軸方向，在下列坐標(biāo)探測：X-30、Z-4;X-5、Z-4(圖7中測點(diǎn)5和測點(diǎn)6)獲取并記錄Y軸坐標(biāo)YLIn;3)分別探測A面、B面、D面上的單點(diǎn)(圖7中測點(diǎn)4,測點(diǎn)6和測點(diǎn)7)檢測并記錄前右頂點(diǎn)4)用探測系統(tǒng)內(nèi)置循環(huán)，測量塊規(guī)校準(zhǔn)長度Sy。計(jì)算工件坐標(biāo)系基準(zhǔn)面識別誤差EpLA.z,作為記錄的ZpLA取值范圍。計(jì)算工件坐標(biāo)系在基準(zhǔn)面的定向識別誤差ELn,y,作為記錄的YLn坐標(biāo)值之間的差值。計(jì)算有效探針觸點(diǎn)直徑誤差EEst.y,作為記錄的Sy值與塊規(guī)校準(zhǔn)長度值之差。EEsr.y值的一半可評估為工件坐標(biāo)系X軸、Y軸原點(diǎn)識別誤差的附加因素。對于某些應(yīng)用，工件定位與定向測量在于評定先前的加工工序，為后續(xù)工序提供幫助。在一試件上加工一個(gè)孔和上表面，并用探測系統(tǒng)進(jìn)行測量，將加工情況與測量情況對比：測量孔中心X軸、Y軸坐標(biāo)應(yīng)與編程孔中心坐標(biāo)相符合，測量上表面Z軸坐標(biāo)應(yīng)與編程Z軸坐標(biāo)相符合。下列因素將影響這樣的測試：1)在機(jī)床工作臺上放置厚度至少為25mm的試件，加工備用。試件材料應(yīng)由制造商/供應(yīng)2)加工一個(gè)直徑大約φ25mm高精度孔，孔的表面粗糙度應(yīng)保證檢測系統(tǒng)的重復(fù)性要求。1)將經(jīng)過認(rèn)定的探測刀具裝到主軸上。c)順次將主軸移動(dòng)到X5、Y5、Z-4處(圖7中測點(diǎn)7前面);g)順次將主軸移動(dòng)到Y(jié)-5、Z-4、X-5處(圖7中測點(diǎn)6前面);k)順次將主軸移動(dòng)到Z5、X-5、Y5處(圖7中測點(diǎn)4前面);(ECIReleTimeDelayvariation,Diamete)與(ECIRcle.TimeDelayvariatio采用36個(gè)測點(diǎn)進(jìn)行本檢測如同2D探測誤差檢測Prru,2p(見6.5)。本檢測尤其適用于在外形定位未知步驟如下：a)將一孔徑約25mm的基準(zhǔn)圓環(huán)放于機(jī)床，校準(zhǔn)直徑和外形，與機(jī)床坐標(biāo)系進(jìn)行對正，使孔軸線平行于機(jī)床Z軸；b)通過探測4個(gè)測點(diǎn)測量基準(zhǔn)圓環(huán)孔中心坐標(biāo)，建立工件坐標(biāo)系原點(diǎn)即測量中心；d)重復(fù)c)項(xiàng)9次，按表2調(diào)整基準(zhǔn)圓環(huán)的名義位置。圓環(huán)本身不動(dòng)，但是生成的孔測量新探測路徑是假設(shè)圓環(huán)已經(jīng)偏移到新位置。所有計(jì)算應(yīng)包括基準(zhǔn)測量結(jié)果。計(jì)算X軸時(shí)間延遲變化誤差EcIR,TD.x,對于圓中心定位取測得的XciR,Tp坐標(biāo)值范圍。計(jì)算Y軸時(shí)間延遲變化誤差EcIR,TD.y,對于圓中心定位取測得的YciR.TD坐標(biāo)值范圍。對于采用36個(gè)測點(diǎn)的檢測，計(jì)算時(shí)間延遲變化誤差，EciR.TD.F,取測得圓形狀誤差值F范圍，同時(shí)表2XY平面圓測量時(shí)間延遲變化檢測X軸與YXYZ123456789注：本表中名義中心位置采用隔一定間距布置模式，在XY面，半徑0.3mm圓內(nèi)，相隔40°。(EsPHere.TimeDehayvariatiom.Diamete)和(EsPlere.TimeDelay本檢測在于確定測量工具路徑并非準(zhǔn)確隨動(dòng)外廓時(shí)，探測系統(tǒng)正確測量球的直徑和位置的能力。本檢測適用于能測量球的通用探測系統(tǒng)。采用25個(gè)測點(diǎn)進(jìn)行本檢測如同3D檢測誤差檢測Pru,3(見6.6)。本檢測尤其適用于在外廓定位未知d)重復(fù)c)項(xiàng)9次，按表3調(diào)整基準(zhǔn)球的名義位置。球本身不動(dòng)，但是生成的外廓測量新探測路XYZ123456789注：本表中名義中心位置用3D表示，在XY面，半徑0.3mm圓內(nèi)，相隔40°。按不同Z坐3點(diǎn)，在XY面內(nèi)每組3點(diǎn)之間相隔120°。GB/T17421.10—2021/ISOb)用探測系統(tǒng)自帶的測量程序測量和記錄塊規(guī)長度Sx共10次；d)用探測系統(tǒng)自帶的測量程序測量和記錄塊規(guī)長度Sy共10次。通用的探測系統(tǒng)可通過3個(gè)測點(diǎn)或4個(gè)測點(diǎn)完成圓的測量。由于測量表面(可能)存在的雜質(zhì)污物平行于機(jī)床Z軸；通用的探測系統(tǒng)可通過4個(gè)測點(diǎn)或5個(gè)測點(diǎn)完成球的測量。由于測量表面(可能)存在的雜質(zhì)污物c)按所選點(diǎn)數(shù)測量并記錄球直徑D,共測10次。采用制造商/供應(yīng)商提供的程序測量與記錄刀具長度L,共10次采用制造商/供應(yīng)商提供的程序測量與記錄刀具長度L,共ZX圖10旋轉(zhuǎn)刀具長度設(shè)定重復(fù)性測量圖11旋轉(zhuǎn)刀具直徑設(shè)定重復(fù)性測量n=S/(2π·r·0.001) (2)F=n·△ (3)說明A圓直徑測量誤差圓形時(shí)間延遲變化誤差圓形時(shí)間延遲變化誤差最大值說明圓直徑測量重復(fù)性圓心位置在X軸方向的重復(fù)性圓心位置在Y軸方向的重復(fù)性2D掃描檢測時(shí)間3D掃描檢測時(shí)間本檢驗(yàn)是本部分第6章和第7章規(guī)定的分散點(diǎn)檢測的補(bǔ)充。接觸式探測系統(tǒng)不支持分散點(diǎn)測量的本部分的第1章至第5章適用于本附錄。 B.3注意事項(xiàng)床上，掃描內(nèi)表面和外表面產(chǎn)生較大的不確定性差異時(shí)，兩項(xiàng)檢測可以互為補(bǔ)充。推薦兩項(xiàng)檢測都Errorscamming,3D.FORGB/T17421.10—2021/ISO230-10:20圖B.1目標(biāo)掃描線和3D性能掃描檢測要求的掃描方向B.5.3檢測設(shè)置和步驟步驟如下：a)在機(jī)床測量范圍內(nèi)，工件通常放置的位置處，將一個(gè)形狀和大小均校準(zhǔn)的直徑約25mm的檢測球放置于適當(dāng)?shù)奈恢?。b)在規(guī)定的測量范圍，用戶可以任意選擇檢測球安裝位置。但不要將檢測球放置在用于探測系c)在探測系統(tǒng)標(biāo)定前探針觸點(diǎn)和基準(zhǔn)/檢測球應(yīng)清洗干凈，確保不會(huì)留有影響測量或檢驗(yàn)結(jié)果的殘余污物。d)確保探測系統(tǒng)按制造商/供應(yīng)商使用說明書進(jìn)行標(biāo)定。e)通過測量5個(gè)或更多個(gè)分散點(diǎn)確定檢測球的中心坐標(biāo)。確立工件坐標(biāo)系的原點(diǎn)在檢測球的測量中心。f)采用B5.2規(guī)定的球測量程序掃描球。按表B.1中的值設(shè)定球的標(biāo)定位置，應(yīng)掃描球10次。g)記錄檢測Tsc,3p所需時(shí)間，從第一次測量的第一步掃描開始(在中間點(diǎn))至最后一次測量的最后一步掃描結(jié)束(在中間點(diǎn))算起。XYZ1000200XYZ30040050060070089R×(一0.500)R×(一0.183)R×(一0.683)Rxy是制造商/供應(yīng)商規(guī)定的XY平面掃描測量范圍。Rzpos和RzsnG是制造商/供應(yīng)商規(guī)定的Z軸測量范圍(分別是正和負(fù)部分情況)R是Rxy、Rzpos和RzNpG中最小者。在經(jīng)制造商/供應(yīng)商與用戶同意情況下3D性能掃描檢測可以使用濾出系數(shù)。如使用濾出系數(shù)應(yīng) a)計(jì)算3D掃描位置再現(xiàn)性Esc,3D,Pos,為從測量點(diǎn)1記錄的球心位置開始在測量點(diǎn)2至測量點(diǎn)于機(jī)床的Z軸。b)在規(guī)定的測量范圍用戶可以任意選擇基準(zhǔn)環(huán)安裝位置。但不要將基準(zhǔn)環(huán)放置在用于探測系e)通過測量4個(gè)或更多個(gè)分散點(diǎn)確定基準(zhǔn)環(huán)的中心坐標(biāo)。確立工件坐標(biāo)系的原點(diǎn)在基準(zhǔn)環(huán)的測XYZ1020304050607Rxy×(一0.707)Rxy×(一0.707)0809Rxy×(一0.707)0Rxy是制造商/供應(yīng)商規(guī)定的XY平面掃描測量范圍。a)計(jì)算2D掃描位置再現(xiàn)性Esc,2p,Pos,為從測量點(diǎn)1記錄的基準(zhǔn)環(huán)中心位置開始在測量點(diǎn)2至測量點(diǎn)9所有記錄的中心位置的最大距離；[3]GB/T16857.4產(chǎn)品幾何量技o(jì)metricalproductspecificationandroductfwithhorizontalspindmetricalproductspecifications(GPS)fw